JP2008054273A - 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法 - Google Patents
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- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 33
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 claims abstract description 9
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 44
- 239000013078 crystal Substances 0.000 description 43
- 239000010408 film Substances 0.000 description 34
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 13
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 10
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 5
- 239000011651 chromium Substances 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 4
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 description 3
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 3
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 3
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 3
- VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N Chromium Chemical compound [Cr] VYZAMTAEIAYCRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052804 chromium Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 2
- 238000003801 milling Methods 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000002542 deteriorative effect Effects 0.000 description 1
- 239000007772 electrode material Substances 0.000 description 1
- 230000005281 excited state Effects 0.000 description 1
- 230000005484 gravity Effects 0.000 description 1
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 1
- 150000002500 ions Chemical class 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 239000007769 metal material Substances 0.000 description 1
- 238000001465 metallisation Methods 0.000 description 1
- 238000001020 plasma etching Methods 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
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- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
【解決手段】 基部20と、この基部から突出するとともに励振電極23,24と周波数調整膜25,26が形成された複数の脚部21,22とからなる圧電振動片2が有り、前記周波数調整を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部5が形成され、当該凹部5によって形成される側壁部の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されている。
【選択図】 図2
Description
発振周波数を調整しようとする前記ウェハ1は、真空チャンバ内部に搬入され、画像認識装置によってウェハ1とウェハ1に形成されている各音叉型水晶振動片2,2・・・の位置が認識される。この際、音叉型水晶振動片2上の周波数調整のレーザー照射エリアである前記調整電極の位置が設定されることになる。その状態で各音叉型水晶振動片2の周波数を測定し、各音叉型水晶振動片2の調整量が決定される。
この決定された発振周波数の調整量に基づく調整信号はレーザー制御手段に送られる。このレーザー制御手段では、ウェハ1上に形成されている各音叉型水晶振動片2,2・・・に対する発振周波数を前記目標周波数との差だけ変化させるためにレーザー照射により前記調整電極が除去されるエリア(レーザー照射座標)が決定される。この決定に従って、レーザー照射機はレーザー制御手段により制御され、前記決定された調整電極が除去されるエリアに対するレーザー照射を連続して行う。
上述のレーザー照射動作が終了した後、再び、全ての音叉型水晶振動片2,2・・・に対して発振周波数の測定動作に移る。この発振周波数の測定動作では、各音叉型水晶振動片2,2・・・の発振周波数が目標周波数に一致しているか否かが判定される。この際、発振周波数が目標周波数に一致している場合にはウェハ1は真空チャンバから取り出されて後工程に搬送される。一方、発振周波数が目標周波数に一致していない場合には、前記と同様の周波数調整動作が再度行われる。
2 音叉型水晶振動片(圧電振動片)
Claims (5)
- 基部と、この基部から突出するとともに励振電極と周波数調整膜が形成された複数の脚部とからなる圧電振動片が有り、前記周波数調整膜を増減することで周波数調整されてなる圧電振動片であって、
各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に前記周波数調整膜の一部が形成されてなることを特徴とする圧電振動片。 - 前記脚部の主面には、前記凹部、あるいは凸部とは脚部の主面を介して独立して形成された溝部を有し、前記励振電極の一部が前記溝部の内部に形成されてなることを特徴とする特許請求項2に記載の圧電振動片。
- 前記周波数調整膜は脚部の表裏主面において、両主面に形成される領域と1主面のみに形成される領域を具備してなることを特徴とする特許請求項1、または特許請求項2に記載の圧電振動片。
- 特許請求項1乃至3に記載の圧電振動片がパッケージ基体に搭載されることを特徴とする圧電振動子。
- 特許請求項1乃至3に記載の圧電振動片の周波数調整方法であって、各脚部先端部であり、周波数調整側の主面領域の一部に凹部と凸部の少なくとも一方が形成され、当該凹部と凸部の少なくとも一方によって形成される側壁部の一部または全部に周波数調整膜の一部が形成されてなるとともに、前記側壁部を含んだ周波数調整膜を増減することで周波数調整することを特徴とする圧電振動片の周波数調整方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006347009A JP4687993B2 (ja) | 2006-03-13 | 2006-12-25 | 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法 |
Applications Claiming Priority (5)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2006068242 | 2006-03-13 | ||
JP2006068242 | 2006-03-13 | ||
JP2006205525 | 2006-07-28 | ||
JP2006205525 | 2006-07-28 | ||
JP2006347009A JP4687993B2 (ja) | 2006-03-13 | 2006-12-25 | 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008054273A true JP2008054273A (ja) | 2008-03-06 |
JP4687993B2 JP4687993B2 (ja) | 2011-05-25 |
Family
ID=39237837
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006347009A Expired - Fee Related JP4687993B2 (ja) | 2006-03-13 | 2006-12-25 | 圧電振動片、圧電振動子、および圧電振動片の周波数調整方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4687993B2 (ja) |
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- 2006-12-25 JP JP2006347009A patent/JP4687993B2/ja not_active Expired - Fee Related
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---|---|
JP4687993B2 (ja) | 2011-05-25 |
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