JP2004282230A - 圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器 - Google Patents
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Abstract
【課題】圧電振動片を小型化しても、周波数を低く抑えて、優れた振動特性を備える圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器を提供すること。
【解決手段】固定される基部20aを有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕24,26を有する圧電振動片であって、複数の振動腕24,26の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部61,62を有し、拡大部は有底の孔64,64を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘70,70が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図3
【解決手段】固定される基部20aを有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕24,26を有する圧電振動片であって、複数の振動腕24,26の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部61,62を有し、拡大部は有底の孔64,64を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘70,70が設けられていることを特徴とする。
【選択図】 図3
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、HDD(ハード・ディスク・ドライブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスが広く使用されている。
図12は、この圧電デバイスに用いられる圧電振動片1の概略斜視図である。
【0003】
この図において、圧電振動片1は、矩形の基部2と、この基部2から図において左方向に平行に延びる一対の振動腕3,4とを備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂音叉型圧電振動片となっている。
この圧電振動片1は、基部2のみが接着剤等を用いてケース或いはパッケージ5に接続され、片持ち式に固定されている。
【0004】
また、圧電振動片1には、振動腕3,4を励振するための励振電極(図示せず)が設けられ、この励振電極(図示せず)に駆動電圧が印加されると、振動腕3,4の先端部3a,4aが、互いに接近離間(図12の矢印の方向)するように屈曲振動する。
そして、このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御用のクロック信号等の各種信号に利用されるようになっている。
【0005】
ところで、近年の電子機器の小型化に伴って、この電子機器に用いられる圧電デバイスについても、振動腕3,4の長さLを短くした圧電振動片1が要求されている。ところが、圧電振動片1の周波数は、振動腕3,4の長さLの2乗に反比例するため、振動腕3,4の長さLを短くしてしまうと、周波数が高くなってしまう。そこで、図12における圧電振動片1では、先端部3a,4aの幅Waを根元側の幅Wbより大きくするようにして段付きの振動腕3,4としている。このようにして、先端部3a,4aに質量を付加して、慣性モーメントによる負荷質量効果をもたらせて、振動腕3,4の長さLを短くしても周波数が高くならないようにしている(例えば、非特許文献1参照)。
なお、振動腕の先端部を大きくした圧電振動片としては、特許文献1も見受けられるが、この特許文献1は、上述のように、振動腕の先端部3a,4aが互いに接近離間する屈曲振動ではなく、振動腕が捩れ振動をする圧電振動片となっている。
【0006】
【非特許文献1】永井健三、近野正著,「電子回路素子としての電気・機械振動子とその応用」,コロナ社出版,昭和49年3月,p.218−220
【特許文献1】特開平5−129875号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように、振動腕3,4の先端部3a,4aの幅Waを大きくして、例えば32kHzの周波数を維持しながら、圧電振動片1を小型化することには限界がある。すなわち、音叉型振動子の周波数は、振動腕の長さと振動腕の幅により決定され、振動腕の長さの二乗に反比例し、振動腕の幅に比例することが知られている。したがって、振動腕の長さを短くする(小型化)と、振動腕の幅をより狭くすることになるために、振動腕の幅の製造上の限界から、振動腕の長さの限界が決定されてしまうためである。さらに、例えば、振動腕が捩れ振動をする圧電振動片ならばともかく、上述のように屈曲振動をする圧電振動片1については、低周波数を得るために振動腕3,4の先端部3a,4aを大きくし過ぎると、振動腕3と振動腕4とが接触してしまうことになる。一方、振動腕3と振動腕4との接触を避けるために、振動腕3と振動腕4との間隔Wcを大きくすると、圧電デバイスの小型化の要請に応えることができなくなってしまう。
このように、従来の圧電デバイスにおいて、小型化と低周波数の維持の両立が難しいのは、先端部3a,4aを形成する圧電材料の比重が小さいためである。
【0008】
そこで、振動腕3,4の先端部3a,4aに、圧電材料より比重の大きい金属の膜を被覆して、先端部3a,4aの重量を大きくする手法も考えられる。
ところが、振動腕3,4の長さLを通常より短くした圧電振動片1から、例えば32kHzの低い周波数を取り出すためには、先端部3a,4aを十分に重くしなければならい。そのためには、先端部3a,4aに、複数層にわたって金属膜を被覆しなければならず、多くの製造時間が必要となってしまう。
さらに、圧電材料と金属とは、一般的に接合力が弱いため、振動腕3,4が屈曲運動をしている際に、金属が先端部3a,4aから外れてしまう恐れもある。
【0009】
本発明の目的は、上述の課題を解決するためのものであり、圧電振動片を小型化しても、周波数を低く抑えて、優れた振動特性を備える圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこの圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、第1の発明によれば、固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片であって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている、圧電振動片により達成される。
【0011】
第1の発明の構成によれば、複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、この拡大部に圧電材料より比重が大きい錘が設けられている。これにより、拡大部のみにより振動腕の先端部を重くした従来と比べて先端部を重くすることができるため、より短い振動腕を得ると共に、低い周波数を得ることができる。
また、錘は、拡大部の有底の孔に圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより設けられている。これにより、錘と拡大部との接合面積が大きくなり、錘が拡大部から外れてしまうことを有効に防止できる。
したがって、本発明の効果として、圧電振動片を小型化しても、周波数を低く抑えて、優れた振動特性を備える圧電振動片を得ることができる。
【0012】
第2の発明は、第1の発明の構成において、前記有底の孔は、前記圧電振動片の上下面、若しくはいずれか一方の面に設けられていることを特徴とする。
第2の発明の構成によれば、有底の孔は、圧電振動片の上下面、若しくはいずれか一方の面に設けられている。このため、複数の振動腕が、互いに接近離間するようにして屈曲振動をしても、有底の孔に充填された錘の動きは、有底の孔の内壁によって規制される。これにより、錘が屈曲振動により動いて、拡大部から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0013】
第3の発明は、第1または第2の発明のいずれかの構成において、前記錘は、前記圧電材料より比重が大きい材料を前記孔に充填するようにして形成され、前記孔の内壁が曲面で形成されていることを特徴とする。
第3の発明の構成によれば、錘は、圧電材料より比重が大きい材料を孔に充填するようにして形成されているため、孔の内壁に角部があると、錘の材料が角部に充填しづらく、錘と孔の内壁とに隙間が生じる恐れがある。ところが、孔の内壁は曲面で形成されているため、錘の材料は内壁との間に隙間をつくることなく、内壁の全周に付着する。これにより、錘と孔の内壁との接触面積が大きくなり、錘が拡大部から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0014】
第4の発明は、第1ないし第3の発明のいずれかの構成において、前記孔の内面に、前記拡大部と前記圧電材料より比重が大きい材料との接合強度を高めるための接続膜が形成されていることを特徴とする。
これにより、接続膜を介して、錘と拡大部との接合力を高めて、錘が拡大部から外れてしまうことを防止できる。
【0015】
第5の発明は、第4の発明の構成において、前記複数の振動腕には、前記圧電振動片を励振させる励振電極が設けられており、この励振電極と前記接続膜とが同じ材料から形成されていることを特徴とする。
このため、励振電極を形成する工程と同時に接続膜を形成できるので、別途、接続膜を形成する工程を設けなくても済み、製造コストを低廉化できる。
【0016】
第6の発明は、第1ないし第5の発明のいずれかの構成において、前記有底の孔は、前記圧電振動片の上面および下面に設けられ、この上面および下面に設けられた孔の底部に、前記上面の孔と下面の孔とをつなぐ貫通孔を有し、この貫通孔を通じて、前記上面の孔および下面の孔に設けられた錘が一体となるように形成されていることを特徴とする。
第6の発明の構成によれば、拡大部は、有底の孔を上面および下面に有し、この上下面の孔に錘が設けられている。これにより、例えば上面の孔にのみ錘を設けた圧電振動片に比べて振動腕の先端部が重くなるため、より短い振動腕を得ると共に、低い周波数を得ることができる。また、振動腕の上下の重量のバランスを取ることができるため、振動腕の水平方向(互いに接近離間する方向)の振動を阻害してしまうことを有効に防止できる。
しかし、このように上下面に設けた有底の孔に錘を設けると、特に、下面に設けられた錘が、その自重や振動腕の屈曲振動等により、拡大部から外れ易くなってしまう。
ところが、上面および下面に設けられた孔の底部に、上面の孔と下面の孔とをつなぐ貫通孔を有し、この貫通孔を通じて、上面の孔および下面の孔に設けられた錘が一体となるように形成されている。このため、例えば下面に充填された錘が、拡大部から抜け落ちようとしても、上面に充填された錘が上面の孔の底部にあたって、その抜け落ちを防止することができる。
【0017】
第7の発明によれば、第6の発明の構成において、前記貫通孔は、前記孔の底部に十字状に形成されている。このため、上面および下面に設けられた錘が水平方向に移動してしまうことを防止できる。
【0018】
また、上記目的は、第8の発明によれば、パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスであって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている、圧電デバイスにより達成される。
【0019】
また、上記目的は、第9の発明によれば、パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、携帯電話装置により達成される。
【0020】
また、上記目的は、第10の発明によれば、パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスを利用した電子機器であって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、電子機器により達成される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【0022】
図1および図2は、本発明の圧電デバイスの実施の形態を示しており、図1はその概略平面図、図2は、図1のA−A線概略断面図である。
図において、圧電デバイス10は、圧電振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス10は、パッケージ30内に圧電振動片20を収容している。
パッケージ30は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。すなわち、図2に示されるように、この実施形態では、パッケージ30は、下から第1の基板31、第2の基板32を重ねて形成されている。
この第2の基板32は、その内側に所定の孔32aを形成することで、第1の基板31に積層した場合に、パッケージ30の内側に所定の内部空間S1を形成するようにされている。この内部空間S1が圧電振動片20を収容するための収容空間である。
【0023】
パッケージ30の内部空間S1内の図において左端部付近において、内部空間S1に露出して内側底部を構成する第1の基板31には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した電極部40,40が設けられている。この電極部40,40は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部40,40の上に導電性接着剤42,42が塗布され、この導電性接着剤42,42の上に圧電振動片20の基部20aが載置されて、導電性接着剤42,42が硬化することにより、圧電振動片20が固定されるようになっている。なお、導電性接着剤42,42としては、接合力を発揮する接着成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、エポキシ系、ポリイミド系またはシリコーン系導電性接着剤等を利用することができる。
【0024】
また、パッケージ30の開放された上端にある開放端面32bは、例えば、低融点ガラス等のロウ材43を介して、蓋体34が接合されることにより、封止されている。
【0025】
圧電振動片20は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態において、圧電振動片20は、水晶の単結晶から切り出された基板を加工することにより形成されている。この際、図1に示すX軸が電気軸、Y軸が機械軸、Z軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出され、そして、この切り出された水晶材料でなる基板を、エッチングすることにより図1に示される形状が形成されている。すなわち、圧電振動片20は、小型に形成して必要な性能を得るために、パッケージ30に固定される基部20aと、この基部20aを基端として、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる1対の振動腕24,26とを備えるように形成され、全体が音叉のような形状とされた、所謂音叉型水晶振動片で構成されている。
【0026】
圧電振動片20の基部20aは、その端部の幅方向両端付近に、引き出し電極36,37が形成されている。各引き出し電極36,37は、図2に示されるように、圧電振動片20の基部20aの下面にも同様に形成されている。これら各引き出し電極36,37は、上述したように図1に示されるパッケージ30側の電極部40,40と導電性接着剤42,42により接続される部分である。
【0027】
また、基部20aは、図1に示されるように、各振動腕24,26の基端部近傍に、基部20aの幅を縮幅するようにして設けられたくびれ部、若しくは切り欠き部28,28を備えている。これにより、各振動腕24,26からの振動の基部20aへの漏れ込みを抑制し、クリスタルインピーダンス値(以下、「CI値」と云う。)を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片20のCI値を、従来の圧電振動片と同様のCI値となるように形成して、振動腕24,26の長さL2を短くすることができる。
【0028】
図3は、圧電振動片20のみを拡大した拡大斜視図であり、図4は、図3のB−B線切断端面図である。これらの図に示されているように、圧電振動片20の各振動腕24,26には、長さ方向に延びる長溝21,22が形成されている。各長溝21,22は、各振動腕24,26の上下両面に形成されている。この長溝21,22には、振動腕24,26を励振させる励振電極54,55が設けられ、また、長溝21,22の内壁と対向する各振動腕24,26の両側面にも、励振電極56,57が設けられている。そして、各励振電極54,55,56,57は、圧電振動片20の表面を引き回されて、引き出し電極36,37のいずれか一方と接続され、一方の振動腕、例えば、振動腕24に関しては、長溝21内の励振電極54と、側面部の励振電極56とが互いに異極となるようにされている。このようにして、励振電極54,55,56,57に電圧を印加すると、図4に示すように、E方向に沿って電界を効率よく発生させることができ、圧電振動片20のCI値を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片20のCI値を、従来の圧電振動片と同様のCI値となるように形成して、振動腕24,26の長さL2を短くすることができる。
【0029】
ここで、図3に示されるように、各振動腕24,26の先端部は、励振させる振動腕部の幅W1より、広い幅W2を有する拡大部61,62を有している。本実施形態の場合、拡大部61,62は矩形状に形成され、振動腕24,26が屈曲振動した場合に(図3における矢印の方向)、拡大部61と拡大部62とが接触してしまわないように、所定の間隔W3を有している。これにより、各振動腕24,26の先端部は、励振させる振動腕部よりも重くなるため、慣性モーメントによる負荷質量効果をもたらせて、低周波数化が可能となる。
なお、拡大部61と拡大部62とは略同様の構成をしており、説明の煩雑さを避けるため、以下、拡大部61についてだけ説明する。
【0030】
拡大部61は、周縁に枠を残すようにして、圧電振動片20の上面に、有底の孔64を有している。本実施形態においては、図1のC−C線切断端面図である図5に示されるように、拡大部61は、下面にも、上面側の有底の孔64と略同様の形状をした有底の孔66を有している。これら上下面の有底の孔64,66は、後述する錘を充填するための孔であり、例えばハーフエッチングすることにより形成されている。
【0031】
そして、この拡大部61の上下面に形成された有底の孔64,66には、圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘70,70が設けられている。この錘70,70は、拡大部61の外形を従来より大きくすることなく、拡大部61を重くするための錘である。すなわち、錘70,70は、有底の孔64,66が設けられていない場合の拡大部より拡大部61が重くなるように所定の量を有しており、かつ、この所定の量を各有底の孔64,66に充填した場合であっても、拡大部61の開口端面よりも外側に突出しないように形成されている。
【0032】
具体的には、本実施形態の場合、錘70,70は、各有底の孔64,66に、水晶材料より比重の大きい金属から形成されたボールを配置し、この金属のボールにレーザ光を照射する等して溶融することにより形成されている。
この際、錘70,70は、溶融して各有底の孔64,66に付着した場合に、圧電振動片20の上面側の重量と、下面側の重量とが同じになるように形成されている。
【0033】
また、錘70,70は、圧電振動片20に錘70,70を配設した後に、その後の製造工程においてパッケージ30内を加熱しても、拡大部61から溶け落ちることがない金属から形成されている。本実施形態においては、拡大部61に錘70,70を配設した後、上述したように、導電性接着剤42を溶融して圧電振動片20を固定し、次いでロウ材43を溶融して蓋封止するため、導電性接着剤42の硬化温度およびロウ材43の融点より高い融点を有する、例えば、Au/Sn合金、Au/Ge合金、銀ロウ等が選択されている。
【0034】
本発明の第1の実施形態は以上のように構成され、振動腕24の先端部を錘により重くすることで、低周波数を維持しつつ、拡大部61を従来より大きくすることなく、振動腕24の長さL2を短くした圧電デバイス10を得ることができる。しかも、この振動腕24の先端部を重くするための錘70,70は、有底の孔64,66に金属を充填して形成されているので、拡大部61との接合面積を大きくして、錘70,70が拡大部61から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0035】
また、錘70,70は、圧電振動片20の上下面に設けられた有底の孔64,66に、金属を充填して形成されている。このため、振動腕24,26が、互いに接近離間するようにして屈曲振動をし、この屈曲振動に追従して錘70,70が動こうとしても、錘70,70の動きは、有底の孔64,66の内壁64a,66a(図5参照)によって制止される。したがって、錘70,70が屈曲振動により動いて、拡大部61から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0036】
さらに、圧電振動片20の上面側と下面側の重量とが、同じになるように錘70,70が設けられているので、拡大部61の上下面の重量バランスをとることができる。これにより、振動腕24の上面と下面との重量のバランスが崩れたことにより生じる振動のアンバランスを防止し、圧電振動片20の振動特性に悪影響を与えることを防止できる。
【0037】
なお、上述のように、拡大部62は拡大部61と同様の構成をしているため、拡大部61と同様に、有低の孔64,66および錘70,70を設けたことによる作用効果を発揮する。
【0038】
図6は、本発明の第1の実施形態にかかる変形例であって、振動腕24の拡大部61から錘70を取り外した場合の概略斜視図である。なお、振動腕26およびこの振動腕26に形成された拡大部62については、振動腕24側と同様であるため、説明を省略する。
この図において、図1ないし図5の圧電デバイス10と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【0039】
この振動腕24の拡大部61が、第1の実施形態と異なるのは、有底の孔の形状が異なっている点のみである。
すなわち、図6に示される拡大部61については、有底の孔72の形状を長円にすることにより、有底の孔72の内壁72aが曲面になるように形成されている。なお、本第1の変形例においては、内壁72aが曲面に形成できれば、有底の孔72の形状は、長円に限られず例えば正円でもよく、或いは、図7に示されるように、例えば長円からなる複数の有底の孔72,72,72,72を形成するようにしてもよい。
そして、この図6に示される有底の孔72、或いは図7に示される複数の有底の孔72,72,72,72に、第1の実施形態と同様に、水晶材料より比重の大きい金属から形成されたボールを配置し、この金属のボールを溶融することで錘70(図示せず)が形成されている。
【0040】
本第1の実施形態の変形例は以上のように構成され、このため、錘70を形成する際に溶融した金属が、孔72の内面に濡れ拡がると、孔72の内壁72aは曲面で形成されているため、溶融した金属は、内壁72aとの間に隙間をつくることなく、内壁72aの全周に付着する。これにより、錘70と孔72の内壁72aとの接触面積が大きくなり、錘70が拡大部61から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0041】
図8は、本発明の第2の実施形態にかかる圧電デバイス12について、拡大部の概略縦断面図であり、第1の実施形態にかかる図5に対応した図である。
この図において、図1ないし図7の圧電デバイス10と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
なお、拡大部61と拡大部62とは略同様の構成をしているため、以下、拡大部61についてだけ説明する。
【0042】
この圧電デバイス12が、第1の実施形態と異なるのは、有底の孔64,66と錘70,70との間に接続膜74,74を設けた点のみである。
すなわち、本発明の第1の実施形態では、上述のように、有底の孔64,66は、水晶材料をハーフエッチングすることにより形成されるため、水晶の異方性により、有底の孔64,66の内壁、特に図8に示される左側の内壁64a,66aが中心に向かって除々に孔の深さを増すような傾斜を備えている。このため、有底の孔64,66の形状は、錘70,70が拡大部61から外れやすい形状となっているので、拡大部61と錘70,70との接合力を高める接続膜74,74が、有底の孔64,66の内面に設けられている。
【0043】
本第2の実施形態において接続膜74,74は、上述のように錘70,70がAu/Sn合金等から形成されているため、例えば、有底の孔64,66の内面にCrを被膜し、その上にAuを被膜するようにして形成されている。
また、このように、接続膜74,74の材料としてCr/Auを選択することにより、振動腕24,26の表面に設けられた励振電極54,55,56,57(図3参照)と同じ材料になるようにされている。
【0044】
本発明の第2の実施形態は以上のように構成され、このため、接続膜74,74を介して、錘70,70と拡大部61との接合力を高め、錘70,70が拡大部61から外れてしまうことを防止できる。なお、上述のように、拡大部62は拡大部61と同様の構成をしているため、拡大部61と同様に、接続膜74,74を設けたことによる作用効果を発揮する。
また、接続膜74,74と励振電極54,55,56,57(図3参照)とが同じ金属から形成されているため、励振電極54,55,56,57を形成する工程と同時に接続膜74,74を形成できるので、別途、接続膜74,74を形成する工程を設けなくても済み、製造コストを低廉化できる。
【0045】
図9は、本発明の第3の実施形態にかかる圧電デバイス14について、拡大部の概略縦断面図であり、第1の実施形態にかかる図5、及び第2の実施形態にかかる図8に対応した図である。
この図において、図1ないし図8の圧電デバイス10,12と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
なお、拡大部61と拡大部62とは略同様の構成をしているため、以下、拡大部61についてだけ説明する。
【0046】
この圧電デバイス14が、他の実施形態と異なるのは、有底の孔の形状と、この有底の孔に配設した錘の形状のみである。
すなわち、拡大部61に設けられた有底の孔64,66は、その底部64b,66bに、上面の孔64と下面の孔66とをつなぐ貫通孔76を有している。図9において、貫通孔76は、有底の孔64,66の底部64b,66bの一部に設けられているが、これに限られず複数部に設けられていてもよい。また、貫通孔76は、貫通孔の変形例を説明するための拡大部の平面図である図10に示されるように、平面視した場合に十字状に形成されていてもよい。
また、第1の実施形態において説明したように、錘70,70は、有底の孔64,66に金属ボールを配置し、これを溶融して形成されるため、金属ボールが貫通孔76を通り抜けてしまわないように、貫通孔76の内周は金属ボールの外周よりも小さく形成されている。
【0047】
そして、この貫通孔76内にも、水晶材料より比重の大きい金属が充填されるようにして錘70が設けられており、貫通孔76を通じて、上面の孔64に設けられた錘70と、下面の孔66に設けられた錘70とが一体となるように形成されている。
【0048】
本発明の第3の実施形態は以上のように構成され、このため、例えば下面の有底の孔66に充填された錘70が、拡大部61から抜け落ちようとしても、上面の有底の孔64に充填された錘70が、上面の孔の底部64bにあたる。したがって、図8に示される接続膜74を設けなくても、錘70が拡大部61から抜け落ちたりすることを防止できる。すなわち、錘70,70の図9における縦方向の移動を防止することができる。
また、図10に示すように、貫通孔76が孔の底部64b,66bに十字状に形成されている場合には、錘70,70が図9における水平方向に移動しようとしても、貫通孔76内に充填されている錘70が貫通孔76の内壁にあたって、その水平方向の移動を防止できる。
なお、上述のように、拡大部62は拡大部61と同様の構成をしているため、拡大部61と同様に、貫通孔76を設けたことによる作用効果を発揮する。
【0049】
図11は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置300の概略構成を示す図である。
図において、マイクロフォン308により電気信号に変換された送信者の音声は、デモジュレータ,コーデック部でデジタル変調され、送信部307においてRF(Radio Frequency)帯に周波数変換後、アンテナを通して基地局(図示せず)に送信される。また、基地局からのRF信号は受信部306において周波数変換後、デモジュレータ,コーデック部において音声信号に変換され、スピーカー309から出力される。また、CPU(Central Processing Unit)301は液晶表示装置及びキーボードからなる入出力部302をはじめ、デジタル式携帯電話装置300の全体の動作を制御している。メモリ303はCPU301により制御される、RAM,ROMからなる情報記憶手段であり、これらの中にはデジタル式携帯電話装置300の制御プログラムや電話帳などの情報が格納されている。
このように、デジタル式携帯電話装置300のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電デバイス10,12,14を搭載することにより、圧電デバイス10,12,14の低周波数を利用したとしても、小型化され、かつ、品質のよいデジタル式携帯電話装置300を実現することができる
【0050】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜相互に組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振動片と、これに接続される電子部品を含むものであれば、圧電発信器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問わずに適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の圧電デバイスに係る概略平面図。
【図2】図1のA−A線概略断面図。
【図3】本発明の第1の実施形態の圧電振動片を拡大した拡大斜視図。
【図4】図3のB−B線切断端面図。
【図5】図1のC−C線切断端面図。
【図6】本発明の第1の実施形態に係る変形例であって、振動腕の拡大部から錘を取り外した場合の概略斜視図。
【図7】本発明の第1の実施形態に係る変形例であって、振動腕の拡大部から錘を取り外した場合の概略斜視図。
【図8】本発明の第2の実施形態に係る圧電デバイスについて、拡大部の概略縦断面図。
【図9】本発明の第3の実施形態に係る圧電デバイスについて、拡大部の概略縦断面図。
【図10】貫通孔の変形例を説明するための拡大部の平面図。
【図11】圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図12】圧電デバイスに用いられる圧電振動片の概略斜視図。
【符号の説明】
10,12,14・・・圧電デバイス、20・・・圧電振動片、21,22・・・長溝、24,26・・・振動腕、28・・・切り欠き部、30・・・パッケージ、54,55,56,57・・・励振電極、61,62・・・拡大部、64,66,72・・・有底の孔、70・・・錘、74・・・接続膜、76・・・貫通孔
【発明の属する技術分野】
本発明は、圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこれを利用した携帯電話装置、電子機器に関するものである。
【0002】
【従来の技術】
従来より、HDD(ハード・ディスク・ドライブ)、モバイルコンピュータ、あるいはICカード等の小型の情報機器や、携帯電話、自動車電話、またはページングシステム等の移動体通信機器において、パッケージ内に圧電振動片を収容した圧電デバイスが広く使用されている。
図12は、この圧電デバイスに用いられる圧電振動片1の概略斜視図である。
【0003】
この図において、圧電振動片1は、矩形の基部2と、この基部2から図において左方向に平行に延びる一対の振動腕3,4とを備えており、全体が音叉のような形状とされた、所謂音叉型圧電振動片となっている。
この圧電振動片1は、基部2のみが接着剤等を用いてケース或いはパッケージ5に接続され、片持ち式に固定されている。
【0004】
また、圧電振動片1には、振動腕3,4を励振するための励振電極(図示せず)が設けられ、この励振電極(図示せず)に駆動電圧が印加されると、振動腕3,4の先端部3a,4aが、互いに接近離間(図12の矢印の方向)するように屈曲振動する。
そして、このような振動に基づく振動周波数を取り出すことにより、制御用のクロック信号等の各種信号に利用されるようになっている。
【0005】
ところで、近年の電子機器の小型化に伴って、この電子機器に用いられる圧電デバイスについても、振動腕3,4の長さLを短くした圧電振動片1が要求されている。ところが、圧電振動片1の周波数は、振動腕3,4の長さLの2乗に反比例するため、振動腕3,4の長さLを短くしてしまうと、周波数が高くなってしまう。そこで、図12における圧電振動片1では、先端部3a,4aの幅Waを根元側の幅Wbより大きくするようにして段付きの振動腕3,4としている。このようにして、先端部3a,4aに質量を付加して、慣性モーメントによる負荷質量効果をもたらせて、振動腕3,4の長さLを短くしても周波数が高くならないようにしている(例えば、非特許文献1参照)。
なお、振動腕の先端部を大きくした圧電振動片としては、特許文献1も見受けられるが、この特許文献1は、上述のように、振動腕の先端部3a,4aが互いに接近離間する屈曲振動ではなく、振動腕が捩れ振動をする圧電振動片となっている。
【0006】
【非特許文献1】永井健三、近野正著,「電子回路素子としての電気・機械振動子とその応用」,コロナ社出版,昭和49年3月,p.218−220
【特許文献1】特開平5−129875号公報
【0007】
【発明が解決しようとする課題】
しかしながら、上述のように、振動腕3,4の先端部3a,4aの幅Waを大きくして、例えば32kHzの周波数を維持しながら、圧電振動片1を小型化することには限界がある。すなわち、音叉型振動子の周波数は、振動腕の長さと振動腕の幅により決定され、振動腕の長さの二乗に反比例し、振動腕の幅に比例することが知られている。したがって、振動腕の長さを短くする(小型化)と、振動腕の幅をより狭くすることになるために、振動腕の幅の製造上の限界から、振動腕の長さの限界が決定されてしまうためである。さらに、例えば、振動腕が捩れ振動をする圧電振動片ならばともかく、上述のように屈曲振動をする圧電振動片1については、低周波数を得るために振動腕3,4の先端部3a,4aを大きくし過ぎると、振動腕3と振動腕4とが接触してしまうことになる。一方、振動腕3と振動腕4との接触を避けるために、振動腕3と振動腕4との間隔Wcを大きくすると、圧電デバイスの小型化の要請に応えることができなくなってしまう。
このように、従来の圧電デバイスにおいて、小型化と低周波数の維持の両立が難しいのは、先端部3a,4aを形成する圧電材料の比重が小さいためである。
【0008】
そこで、振動腕3,4の先端部3a,4aに、圧電材料より比重の大きい金属の膜を被覆して、先端部3a,4aの重量を大きくする手法も考えられる。
ところが、振動腕3,4の長さLを通常より短くした圧電振動片1から、例えば32kHzの低い周波数を取り出すためには、先端部3a,4aを十分に重くしなければならい。そのためには、先端部3a,4aに、複数層にわたって金属膜を被覆しなければならず、多くの製造時間が必要となってしまう。
さらに、圧電材料と金属とは、一般的に接合力が弱いため、振動腕3,4が屈曲運動をしている際に、金属が先端部3a,4aから外れてしまう恐れもある。
【0009】
本発明の目的は、上述の課題を解決するためのものであり、圧電振動片を小型化しても、周波数を低く抑えて、優れた振動特性を備える圧電振動片、及びこれを利用した圧電デバイス、並びにこの圧電デバイスを利用した携帯電話装置、電子機器を提供することを目的とする。
【0010】
【課題を解決するための手段】
上記目的は、第1の発明によれば、固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片であって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている、圧電振動片により達成される。
【0011】
第1の発明の構成によれば、複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、この拡大部に圧電材料より比重が大きい錘が設けられている。これにより、拡大部のみにより振動腕の先端部を重くした従来と比べて先端部を重くすることができるため、より短い振動腕を得ると共に、低い周波数を得ることができる。
また、錘は、拡大部の有底の孔に圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより設けられている。これにより、錘と拡大部との接合面積が大きくなり、錘が拡大部から外れてしまうことを有効に防止できる。
したがって、本発明の効果として、圧電振動片を小型化しても、周波数を低く抑えて、優れた振動特性を備える圧電振動片を得ることができる。
【0012】
第2の発明は、第1の発明の構成において、前記有底の孔は、前記圧電振動片の上下面、若しくはいずれか一方の面に設けられていることを特徴とする。
第2の発明の構成によれば、有底の孔は、圧電振動片の上下面、若しくはいずれか一方の面に設けられている。このため、複数の振動腕が、互いに接近離間するようにして屈曲振動をしても、有底の孔に充填された錘の動きは、有底の孔の内壁によって規制される。これにより、錘が屈曲振動により動いて、拡大部から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0013】
第3の発明は、第1または第2の発明のいずれかの構成において、前記錘は、前記圧電材料より比重が大きい材料を前記孔に充填するようにして形成され、前記孔の内壁が曲面で形成されていることを特徴とする。
第3の発明の構成によれば、錘は、圧電材料より比重が大きい材料を孔に充填するようにして形成されているため、孔の内壁に角部があると、錘の材料が角部に充填しづらく、錘と孔の内壁とに隙間が生じる恐れがある。ところが、孔の内壁は曲面で形成されているため、錘の材料は内壁との間に隙間をつくることなく、内壁の全周に付着する。これにより、錘と孔の内壁との接触面積が大きくなり、錘が拡大部から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0014】
第4の発明は、第1ないし第3の発明のいずれかの構成において、前記孔の内面に、前記拡大部と前記圧電材料より比重が大きい材料との接合強度を高めるための接続膜が形成されていることを特徴とする。
これにより、接続膜を介して、錘と拡大部との接合力を高めて、錘が拡大部から外れてしまうことを防止できる。
【0015】
第5の発明は、第4の発明の構成において、前記複数の振動腕には、前記圧電振動片を励振させる励振電極が設けられており、この励振電極と前記接続膜とが同じ材料から形成されていることを特徴とする。
このため、励振電極を形成する工程と同時に接続膜を形成できるので、別途、接続膜を形成する工程を設けなくても済み、製造コストを低廉化できる。
【0016】
第6の発明は、第1ないし第5の発明のいずれかの構成において、前記有底の孔は、前記圧電振動片の上面および下面に設けられ、この上面および下面に設けられた孔の底部に、前記上面の孔と下面の孔とをつなぐ貫通孔を有し、この貫通孔を通じて、前記上面の孔および下面の孔に設けられた錘が一体となるように形成されていることを特徴とする。
第6の発明の構成によれば、拡大部は、有底の孔を上面および下面に有し、この上下面の孔に錘が設けられている。これにより、例えば上面の孔にのみ錘を設けた圧電振動片に比べて振動腕の先端部が重くなるため、より短い振動腕を得ると共に、低い周波数を得ることができる。また、振動腕の上下の重量のバランスを取ることができるため、振動腕の水平方向(互いに接近離間する方向)の振動を阻害してしまうことを有効に防止できる。
しかし、このように上下面に設けた有底の孔に錘を設けると、特に、下面に設けられた錘が、その自重や振動腕の屈曲振動等により、拡大部から外れ易くなってしまう。
ところが、上面および下面に設けられた孔の底部に、上面の孔と下面の孔とをつなぐ貫通孔を有し、この貫通孔を通じて、上面の孔および下面の孔に設けられた錘が一体となるように形成されている。このため、例えば下面に充填された錘が、拡大部から抜け落ちようとしても、上面に充填された錘が上面の孔の底部にあたって、その抜け落ちを防止することができる。
【0017】
第7の発明によれば、第6の発明の構成において、前記貫通孔は、前記孔の底部に十字状に形成されている。このため、上面および下面に設けられた錘が水平方向に移動してしまうことを防止できる。
【0018】
また、上記目的は、第8の発明によれば、パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスであって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている、圧電デバイスにより達成される。
【0019】
また、上記目的は、第9の発明によれば、パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、携帯電話装置により達成される。
【0020】
また、上記目的は、第10の発明によれば、パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスを利用した電子機器であって、前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした、電子機器により達成される。
【0021】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の好適な実施の形態を添付図面に基づいて詳細に説明する。
なお、以下に述べる実施の形態は、本発明の好適な具体例であるから、技術的に好ましい種々の限定が付されているが、本発明の範囲は、以下の説明において特に本発明を限定する旨の記載がない限り、これらの形態に限られるものではない。
【0022】
図1および図2は、本発明の圧電デバイスの実施の形態を示しており、図1はその概略平面図、図2は、図1のA−A線概略断面図である。
図において、圧電デバイス10は、圧電振動子を構成した例を示しており、この圧電デバイス10は、パッケージ30内に圧電振動片20を収容している。
パッケージ30は、例えば、絶縁材料として、酸化アルミニウム質のセラミックグリーンシートを成型して形成される複数の基板を積層した後、焼結して形成されている。すなわち、図2に示されるように、この実施形態では、パッケージ30は、下から第1の基板31、第2の基板32を重ねて形成されている。
この第2の基板32は、その内側に所定の孔32aを形成することで、第1の基板31に積層した場合に、パッケージ30の内側に所定の内部空間S1を形成するようにされている。この内部空間S1が圧電振動片20を収容するための収容空間である。
【0023】
パッケージ30の内部空間S1内の図において左端部付近において、内部空間S1に露出して内側底部を構成する第1の基板31には、例えば、タングステンメタライズ上にニッケルメッキ及び金メッキで形成した電極部40,40が設けられている。この電極部40,40は、外部と接続されて、駆動電圧を供給するものである。この各電極部40,40の上に導電性接着剤42,42が塗布され、この導電性接着剤42,42の上に圧電振動片20の基部20aが載置されて、導電性接着剤42,42が硬化することにより、圧電振動片20が固定されるようになっている。なお、導電性接着剤42,42としては、接合力を発揮する接着成分としての合成樹脂剤に、銀製の細粒等の導電性の粒子を含有させたものが使用でき、エポキシ系、ポリイミド系またはシリコーン系導電性接着剤等を利用することができる。
【0024】
また、パッケージ30の開放された上端にある開放端面32bは、例えば、低融点ガラス等のロウ材43を介して、蓋体34が接合されることにより、封止されている。
【0025】
圧電振動片20は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム等の圧電材料を利用することができる。本実施形態において、圧電振動片20は、水晶の単結晶から切り出された基板を加工することにより形成されている。この際、図1に示すX軸が電気軸、Y軸が機械軸、Z軸が光軸となるように水晶の単結晶から切り出され、そして、この切り出された水晶材料でなる基板を、エッチングすることにより図1に示される形状が形成されている。すなわち、圧電振動片20は、小型に形成して必要な性能を得るために、パッケージ30に固定される基部20aと、この基部20aを基端として、図において右方に向けて、二股に別れて平行に延びる1対の振動腕24,26とを備えるように形成され、全体が音叉のような形状とされた、所謂音叉型水晶振動片で構成されている。
【0026】
圧電振動片20の基部20aは、その端部の幅方向両端付近に、引き出し電極36,37が形成されている。各引き出し電極36,37は、図2に示されるように、圧電振動片20の基部20aの下面にも同様に形成されている。これら各引き出し電極36,37は、上述したように図1に示されるパッケージ30側の電極部40,40と導電性接着剤42,42により接続される部分である。
【0027】
また、基部20aは、図1に示されるように、各振動腕24,26の基端部近傍に、基部20aの幅を縮幅するようにして設けられたくびれ部、若しくは切り欠き部28,28を備えている。これにより、各振動腕24,26からの振動の基部20aへの漏れ込みを抑制し、クリスタルインピーダンス値(以下、「CI値」と云う。)を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片20のCI値を、従来の圧電振動片と同様のCI値となるように形成して、振動腕24,26の長さL2を短くすることができる。
【0028】
図3は、圧電振動片20のみを拡大した拡大斜視図であり、図4は、図3のB−B線切断端面図である。これらの図に示されているように、圧電振動片20の各振動腕24,26には、長さ方向に延びる長溝21,22が形成されている。各長溝21,22は、各振動腕24,26の上下両面に形成されている。この長溝21,22には、振動腕24,26を励振させる励振電極54,55が設けられ、また、長溝21,22の内壁と対向する各振動腕24,26の両側面にも、励振電極56,57が設けられている。そして、各励振電極54,55,56,57は、圧電振動片20の表面を引き回されて、引き出し電極36,37のいずれか一方と接続され、一方の振動腕、例えば、振動腕24に関しては、長溝21内の励振電極54と、側面部の励振電極56とが互いに異極となるようにされている。このようにして、励振電極54,55,56,57に電圧を印加すると、図4に示すように、E方向に沿って電界を効率よく発生させることができ、圧電振動片20のCI値を低く抑えることができる。したがって、このような圧電振動片20のCI値を、従来の圧電振動片と同様のCI値となるように形成して、振動腕24,26の長さL2を短くすることができる。
【0029】
ここで、図3に示されるように、各振動腕24,26の先端部は、励振させる振動腕部の幅W1より、広い幅W2を有する拡大部61,62を有している。本実施形態の場合、拡大部61,62は矩形状に形成され、振動腕24,26が屈曲振動した場合に(図3における矢印の方向)、拡大部61と拡大部62とが接触してしまわないように、所定の間隔W3を有している。これにより、各振動腕24,26の先端部は、励振させる振動腕部よりも重くなるため、慣性モーメントによる負荷質量効果をもたらせて、低周波数化が可能となる。
なお、拡大部61と拡大部62とは略同様の構成をしており、説明の煩雑さを避けるため、以下、拡大部61についてだけ説明する。
【0030】
拡大部61は、周縁に枠を残すようにして、圧電振動片20の上面に、有底の孔64を有している。本実施形態においては、図1のC−C線切断端面図である図5に示されるように、拡大部61は、下面にも、上面側の有底の孔64と略同様の形状をした有底の孔66を有している。これら上下面の有底の孔64,66は、後述する錘を充填するための孔であり、例えばハーフエッチングすることにより形成されている。
【0031】
そして、この拡大部61の上下面に形成された有底の孔64,66には、圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘70,70が設けられている。この錘70,70は、拡大部61の外形を従来より大きくすることなく、拡大部61を重くするための錘である。すなわち、錘70,70は、有底の孔64,66が設けられていない場合の拡大部より拡大部61が重くなるように所定の量を有しており、かつ、この所定の量を各有底の孔64,66に充填した場合であっても、拡大部61の開口端面よりも外側に突出しないように形成されている。
【0032】
具体的には、本実施形態の場合、錘70,70は、各有底の孔64,66に、水晶材料より比重の大きい金属から形成されたボールを配置し、この金属のボールにレーザ光を照射する等して溶融することにより形成されている。
この際、錘70,70は、溶融して各有底の孔64,66に付着した場合に、圧電振動片20の上面側の重量と、下面側の重量とが同じになるように形成されている。
【0033】
また、錘70,70は、圧電振動片20に錘70,70を配設した後に、その後の製造工程においてパッケージ30内を加熱しても、拡大部61から溶け落ちることがない金属から形成されている。本実施形態においては、拡大部61に錘70,70を配設した後、上述したように、導電性接着剤42を溶融して圧電振動片20を固定し、次いでロウ材43を溶融して蓋封止するため、導電性接着剤42の硬化温度およびロウ材43の融点より高い融点を有する、例えば、Au/Sn合金、Au/Ge合金、銀ロウ等が選択されている。
【0034】
本発明の第1の実施形態は以上のように構成され、振動腕24の先端部を錘により重くすることで、低周波数を維持しつつ、拡大部61を従来より大きくすることなく、振動腕24の長さL2を短くした圧電デバイス10を得ることができる。しかも、この振動腕24の先端部を重くするための錘70,70は、有底の孔64,66に金属を充填して形成されているので、拡大部61との接合面積を大きくして、錘70,70が拡大部61から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0035】
また、錘70,70は、圧電振動片20の上下面に設けられた有底の孔64,66に、金属を充填して形成されている。このため、振動腕24,26が、互いに接近離間するようにして屈曲振動をし、この屈曲振動に追従して錘70,70が動こうとしても、錘70,70の動きは、有底の孔64,66の内壁64a,66a(図5参照)によって制止される。したがって、錘70,70が屈曲振動により動いて、拡大部61から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0036】
さらに、圧電振動片20の上面側と下面側の重量とが、同じになるように錘70,70が設けられているので、拡大部61の上下面の重量バランスをとることができる。これにより、振動腕24の上面と下面との重量のバランスが崩れたことにより生じる振動のアンバランスを防止し、圧電振動片20の振動特性に悪影響を与えることを防止できる。
【0037】
なお、上述のように、拡大部62は拡大部61と同様の構成をしているため、拡大部61と同様に、有低の孔64,66および錘70,70を設けたことによる作用効果を発揮する。
【0038】
図6は、本発明の第1の実施形態にかかる変形例であって、振動腕24の拡大部61から錘70を取り外した場合の概略斜視図である。なお、振動腕26およびこの振動腕26に形成された拡大部62については、振動腕24側と同様であるため、説明を省略する。
この図において、図1ないし図5の圧電デバイス10と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
【0039】
この振動腕24の拡大部61が、第1の実施形態と異なるのは、有底の孔の形状が異なっている点のみである。
すなわち、図6に示される拡大部61については、有底の孔72の形状を長円にすることにより、有底の孔72の内壁72aが曲面になるように形成されている。なお、本第1の変形例においては、内壁72aが曲面に形成できれば、有底の孔72の形状は、長円に限られず例えば正円でもよく、或いは、図7に示されるように、例えば長円からなる複数の有底の孔72,72,72,72を形成するようにしてもよい。
そして、この図6に示される有底の孔72、或いは図7に示される複数の有底の孔72,72,72,72に、第1の実施形態と同様に、水晶材料より比重の大きい金属から形成されたボールを配置し、この金属のボールを溶融することで錘70(図示せず)が形成されている。
【0040】
本第1の実施形態の変形例は以上のように構成され、このため、錘70を形成する際に溶融した金属が、孔72の内面に濡れ拡がると、孔72の内壁72aは曲面で形成されているため、溶融した金属は、内壁72aとの間に隙間をつくることなく、内壁72aの全周に付着する。これにより、錘70と孔72の内壁72aとの接触面積が大きくなり、錘70が拡大部61から外れてしまうことを有効に防止できる。
【0041】
図8は、本発明の第2の実施形態にかかる圧電デバイス12について、拡大部の概略縦断面図であり、第1の実施形態にかかる図5に対応した図である。
この図において、図1ないし図7の圧電デバイス10と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
なお、拡大部61と拡大部62とは略同様の構成をしているため、以下、拡大部61についてだけ説明する。
【0042】
この圧電デバイス12が、第1の実施形態と異なるのは、有底の孔64,66と錘70,70との間に接続膜74,74を設けた点のみである。
すなわち、本発明の第1の実施形態では、上述のように、有底の孔64,66は、水晶材料をハーフエッチングすることにより形成されるため、水晶の異方性により、有底の孔64,66の内壁、特に図8に示される左側の内壁64a,66aが中心に向かって除々に孔の深さを増すような傾斜を備えている。このため、有底の孔64,66の形状は、錘70,70が拡大部61から外れやすい形状となっているので、拡大部61と錘70,70との接合力を高める接続膜74,74が、有底の孔64,66の内面に設けられている。
【0043】
本第2の実施形態において接続膜74,74は、上述のように錘70,70がAu/Sn合金等から形成されているため、例えば、有底の孔64,66の内面にCrを被膜し、その上にAuを被膜するようにして形成されている。
また、このように、接続膜74,74の材料としてCr/Auを選択することにより、振動腕24,26の表面に設けられた励振電極54,55,56,57(図3参照)と同じ材料になるようにされている。
【0044】
本発明の第2の実施形態は以上のように構成され、このため、接続膜74,74を介して、錘70,70と拡大部61との接合力を高め、錘70,70が拡大部61から外れてしまうことを防止できる。なお、上述のように、拡大部62は拡大部61と同様の構成をしているため、拡大部61と同様に、接続膜74,74を設けたことによる作用効果を発揮する。
また、接続膜74,74と励振電極54,55,56,57(図3参照)とが同じ金属から形成されているため、励振電極54,55,56,57を形成する工程と同時に接続膜74,74を形成できるので、別途、接続膜74,74を形成する工程を設けなくても済み、製造コストを低廉化できる。
【0045】
図9は、本発明の第3の実施形態にかかる圧電デバイス14について、拡大部の概略縦断面図であり、第1の実施形態にかかる図5、及び第2の実施形態にかかる図8に対応した図である。
この図において、図1ないし図8の圧電デバイス10,12と同一の構成には、共通する符号を付して重複する説明は省略し、相違点を中心に説明する。
なお、拡大部61と拡大部62とは略同様の構成をしているため、以下、拡大部61についてだけ説明する。
【0046】
この圧電デバイス14が、他の実施形態と異なるのは、有底の孔の形状と、この有底の孔に配設した錘の形状のみである。
すなわち、拡大部61に設けられた有底の孔64,66は、その底部64b,66bに、上面の孔64と下面の孔66とをつなぐ貫通孔76を有している。図9において、貫通孔76は、有底の孔64,66の底部64b,66bの一部に設けられているが、これに限られず複数部に設けられていてもよい。また、貫通孔76は、貫通孔の変形例を説明するための拡大部の平面図である図10に示されるように、平面視した場合に十字状に形成されていてもよい。
また、第1の実施形態において説明したように、錘70,70は、有底の孔64,66に金属ボールを配置し、これを溶融して形成されるため、金属ボールが貫通孔76を通り抜けてしまわないように、貫通孔76の内周は金属ボールの外周よりも小さく形成されている。
【0047】
そして、この貫通孔76内にも、水晶材料より比重の大きい金属が充填されるようにして錘70が設けられており、貫通孔76を通じて、上面の孔64に設けられた錘70と、下面の孔66に設けられた錘70とが一体となるように形成されている。
【0048】
本発明の第3の実施形態は以上のように構成され、このため、例えば下面の有底の孔66に充填された錘70が、拡大部61から抜け落ちようとしても、上面の有底の孔64に充填された錘70が、上面の孔の底部64bにあたる。したがって、図8に示される接続膜74を設けなくても、錘70が拡大部61から抜け落ちたりすることを防止できる。すなわち、錘70,70の図9における縦方向の移動を防止することができる。
また、図10に示すように、貫通孔76が孔の底部64b,66bに十字状に形成されている場合には、錘70,70が図9における水平方向に移動しようとしても、貫通孔76内に充填されている錘70が貫通孔76の内壁にあたって、その水平方向の移動を防止できる。
なお、上述のように、拡大部62は拡大部61と同様の構成をしているため、拡大部61と同様に、貫通孔76を設けたことによる作用効果を発揮する。
【0049】
図11は、本発明の上述した実施形態に係る圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置300の概略構成を示す図である。
図において、マイクロフォン308により電気信号に変換された送信者の音声は、デモジュレータ,コーデック部でデジタル変調され、送信部307においてRF(Radio Frequency)帯に周波数変換後、アンテナを通して基地局(図示せず)に送信される。また、基地局からのRF信号は受信部306において周波数変換後、デモジュレータ,コーデック部において音声信号に変換され、スピーカー309から出力される。また、CPU(Central Processing Unit)301は液晶表示装置及びキーボードからなる入出力部302をはじめ、デジタル式携帯電話装置300の全体の動作を制御している。メモリ303はCPU301により制御される、RAM,ROMからなる情報記憶手段であり、これらの中にはデジタル式携帯電話装置300の制御プログラムや電話帳などの情報が格納されている。
このように、デジタル式携帯電話装置300のような電子機器に、上述した実施形態に係る圧電デバイス10,12,14を搭載することにより、圧電デバイス10,12,14の低周波数を利用したとしても、小型化され、かつ、品質のよいデジタル式携帯電話装置300を実現することができる
【0050】
本発明は上述の実施形態に限定されない。各実施形態の各構成はこれらを適宜相互に組み合わせたり、省略し、図示しない他の構成と組み合わせることができる。
この発明の圧電デバイスは、パッケージ内に圧電振動片と、これに接続される電子部品を含むものであれば、圧電発信器、圧電振動子、フィルタ等その名称を問わずに適用できるものである。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の第1の実施形態の圧電デバイスに係る概略平面図。
【図2】図1のA−A線概略断面図。
【図3】本発明の第1の実施形態の圧電振動片を拡大した拡大斜視図。
【図4】図3のB−B線切断端面図。
【図5】図1のC−C線切断端面図。
【図6】本発明の第1の実施形態に係る変形例であって、振動腕の拡大部から錘を取り外した場合の概略斜視図。
【図7】本発明の第1の実施形態に係る変形例であって、振動腕の拡大部から錘を取り外した場合の概略斜視図。
【図8】本発明の第2の実施形態に係る圧電デバイスについて、拡大部の概略縦断面図。
【図9】本発明の第3の実施形態に係る圧電デバイスについて、拡大部の概略縦断面図。
【図10】貫通孔の変形例を説明するための拡大部の平面図。
【図11】圧電デバイスを利用した電子機器の一例としてのデジタル式携帯電話装置の概略構成を示す図。
【図12】圧電デバイスに用いられる圧電振動片の概略斜視図。
【符号の説明】
10,12,14・・・圧電デバイス、20・・・圧電振動片、21,22・・・長溝、24,26・・・振動腕、28・・・切り欠き部、30・・・パッケージ、54,55,56,57・・・励振電極、61,62・・・拡大部、64,66,72・・・有底の孔、70・・・錘、74・・・接続膜、76・・・貫通孔
Claims (10)
- 固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片であって、
前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている
ことを特徴とする圧電振動片。 - 前記有底の孔は、前記圧電振動片の上下面、若しくはいずれか一方の面に設けられていることを特徴とする、請求項1に記載の圧電振動片。
- 前記錘は、前記圧電材料より比重が大きい材料を前記孔に充填するようにして形成され、前記孔の内壁が曲面で形成されていることを特徴とする、請求項1または2のいずれかに記載の圧電振動片。
- 前記孔の内面に、前記拡大部と前記圧電材料より比重が大きい材料との接合強度を高めるための接続膜が形成されていることを特徴とする、請求項1ないし3のいずれかに記載の圧電振動片。
- 前記複数の振動腕には、前記圧電振動片を励振させる励振電極が設けられており、この励振電極と前記接続膜とが同じ材料から形成されていることを特徴とする、請求項4に記載の圧電振動片。
- 前記有底の孔は、前記圧電振動片の上面および下面に設けられ、この上面および下面に設けられた孔の底部に、前記上面の孔と下面の孔とをつなぐ貫通孔を有し、この貫通孔を通じて、前記上面の孔および下面の孔に設けられた錘が一体となるように形成されていることを特徴とする、請求項1ないし5のいずれかに記載の圧電振動片。
- 前記貫通孔は、前記孔の底部に十字状に形成されていることを特徴とする、請求項6に記載の圧電振動片。
- パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスであって、
前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている
ことを特徴とする圧電デバイス。 - パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスを利用した携帯電話装置であって、
前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした
ことを特徴とする携帯電話装置。 - パッケージと、このパッケージに固定される基部を有し、この基部から平行に延びる複数の振動腕を有する圧電振動片とを備える圧電デバイスを利用した電子機器であって、
前記複数の振動腕の先端部は、励振させる振動腕部の幅より広い幅を有する拡大部を有し、前記拡大部は有底の孔を有していて、この有底の孔には圧電材料より比重が大きい材料が充填されることにより錘が設けられている圧電デバイスにより、制御用のクロック信号を得るようにした
ことを特徴とする電子機器。
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