JPWO2014002892A1 - 音叉型水晶振動子 - Google Patents

Abstract

振動特性の向上を図り得る音叉型水晶振動子を提供する。基部３と、第１の端部４ａ，５ａと第２の端部４ｂ，５ｂとを有し、第１の端部４ａ，５ａが基部３に連ねられている振動アーム部４，５とを有し、かつ水晶からなる音叉型振動片２と、振動アーム部４，５に設けられている振動電極７，８とを備え、振動アーム部４，５には、貫通孔４ｃと、４個以上の桟６とが設けられており、振動アーム部４，５の第１の端部４ａ，５ａと第２の端部４ｂ，５ｂとを結ぶ方向を振動アーム部４，５の長さ方向とし、振動アーム部４，５の長さ方向と直交する方向を振動アーム部４，５の幅方向としたとき、貫通孔４ｃの長さ方向が振動アーム部４，５の長さ方向と同じ方向とされており、桟６の幅方向が振動アーム部４，５の長さ方向と同じ方向とされており、開口率＝｛（貫通孔４ｃの長さ方向の寸法−桟６の幅方向の寸法×桟６の数）／貫通孔４ｃの長さ方向の寸法｝が０．５０〜０．９３の範囲にある、音叉型水晶振動子１。

Description

本発明は、水晶を用いた音叉型水晶振動子に関し、特に、振動アーム部に貫通孔が設けられている音叉型水晶振動子に関する。

従来、発振子等に音叉型水晶振動子が用いられている。下記の特許文献１には、図１６に平面図で示す音叉型水晶振動子１００１が開示されている。

音叉型水晶振動子１００１は、基部１００２と、基部１００２に第１の端部が連結されている振動アーム部１００３，１００４とを有する。基部１００２及び振動アーム部１００３，１００４は水晶基板を加工することにより設けられている。振動アーム部１００３には、その長さ方向に延びる複数の貫通孔１００５が設けられている。

図１７は、図１６のＢ−Ｂ線に沿う部分の断面図である。図１７に示すように、振動アーム部１００３における貫通孔１００５の両側の振動アーム部分の分極方向は、図示の矢印で示す方向である。また、この振動アーム部分においては、貫通孔１００５に臨む側面に第１の振動電極１００６が設けられており、外側の側面に第２の振動電極１００７が設けられている。第１，第２の振動電極１００６，１００７から交番電界を印加することにより、振動アーム部１００３における貫通孔１００５の両側の振動アーム部分が逆位相で伸縮する。従って、振動アーム部１００３は屈曲モードで振動する。振動アーム部１００４も同様である。

特許文献１に記載の音叉型水晶振動子１００１では、上記貫通孔１００５が設けられている領域において、複数本のサイドバー１００８が設けられている。

特許第３９００５１３号公報

上記音叉型水晶振動子１００１では、振動アーム部１００３，１００４における貫通孔１００５の両側の振動アーム部分が逆位相で伸縮するため、振動アーム部１００３，１００４が屈曲モードで振動する。そして、振動アーム部１００３，１００４では、サイドバー１００８が設けられていることにより、貫通孔１００５が設けられていることにより低下した機械的強度が補強されている。

しかしながら、特許文献１に記載の音叉型水晶振動子１００１では、屈曲モードの振動がくずれ、良好な振動特性を得ることができないことがあった。

本発明の目的は、振動アーム部に設けられた貫通孔を有する音叉型水晶振動子であって、より一層良好な振動特性を得ることができる音叉型水晶振動子を提供することにある。

本発明に係る音叉型水晶振動子は、音叉型振動片と、振動電極とを備える。音叉型振動片は、水晶からなり、基部と、複数の振動アーム部とを有する。複数の振動アーム部は、第１の端部と第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、第１の端部が基部に連ねられている。振動電極は、振動アーム部に設けられている。振動アーム部には、貫通孔と、貫通孔を横切る４個以上の桟とが設けられている。振動アーム部の第１の端部と第２の端部とを結ぶ方向を振動アーム部の長さ方向とし、振動アーム部の長さ方向と直交する方向を振動アーム部の幅方向としたとき、貫通孔の長さ方向が振動アーム部の長さ方向と同じ方向とされており、桟の幅方向が振動アーム部の長さ方向と同じ方向とされている。以下のように定義される開口率が０．５０〜０．９３の範囲にある。

開口率＝｛（貫通孔の長さ方向の寸法−桟の幅方向の寸法×桟の数）／貫通孔の長さ方向の寸法｝。

本発明に係る音叉型水晶振動子のある特定の局面では、桟の幅方向の寸法をＷｂとし、振動アーム部の幅方向において貫通孔の両側に位置する部分である、振動アーム部分の前記振動アーム部の幅方向の寸法をＷａとしたとき、Ｗｂ／Ｗａが１．０以上である。この場合には、耐衝撃性を効果的に高めることができる。

本発明に係る音叉型水晶振動子の他の特定の局面では、貫通孔が、振動アーム部の第１の端部側に寄せられて設けられている。より好ましくは、貫通孔が、第１の端部近傍から第２の端部に向かって延ばされている。このように、貫通孔が第１の端部側に寄せられている場合には、振動特性をより一層高めることができる。

本発明に係る音叉型水晶振動子のさらに他の特定の局面では、振動アーム部の第２の端部に連ねられており、幅方向が振動アーム部の幅方向と同じ方向とされており、かつ該幅方向の寸法が振動アーム部の幅方向の寸法よりも大きい錘部をさらに有する。この場合には、共振周波数を低めることができ、小型化を実現することができる。

好ましくは、錘部が、貫通孔または凹部を有する。この場合には、錘部を含む音叉型振動片をエッチング等の加工により形成する場合、エッチングばらつきによる共振周波数の変動を抑制することができる。

本発明に係る音叉型水晶振動子によれば、上記貫通孔を横切るように４個以上の桟が設けられており、かつ開口率が上記特定の範囲内とされているため、振動特性を効果的に高めることが可能となる。

図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子の略図的斜視図であり、図１（ｂ）は、貫通孔が設けられている部分における第１の振動アーム部の横断面図であり、図１（ｃ）は、桟が設けられている部分における第１の振動アーム部の横断面図である。 図２は、本発明の第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子が屈曲モードで振動している時の振動姿態を示す模式的平面図である。 図３は、本発明の第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子に衝撃が加わった際の変位状態を示す模式的平面図である。 図４は、比較例に係る音叉型水晶振動子が屈曲モードで振動している時の振動姿態を示す模式的平面図である。 図５は、比較例に係る音叉型水晶振動子に衝撃が加わった際の変位状態を示す模式的平面図である。 図６は、本発明の第２の実施形態に係る音叉型水晶振動子が屈曲モードで振動している時の振動姿態を示す模式的平面図である。 図７は、本発明の第２の実施形態に係る音叉型水晶振動子に衝撃が加わった際の変位状態を示す模式的平面図である。 図８は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、桟の数と振動特性を示すｋ^２Ｑとの関係を示す図である。 図９は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、開口率と振動特性を示すｋ^２Ｑとの関係を示す図である。 図１０は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、桟の数と耐衝撃強度であるミーゼス相当応力との関係を示す図である。 図１１は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、開口率と耐衝撃強度であるミーゼス相当応力との関係を示す図である。 図１２は、貫通孔が設けられた錘部を有する実施形態と、貫通孔が設けられていない錘部を有する参考例とにおいて、エッチングによる加工寸法ずれと共振周波数の変動量との関係を示す図である。 図１３は、本発明の第３の実施形態に係る音叉型水晶振動子の略図的斜視図である。 図１４は、本発明の第４の実施形態に係る音叉型水晶振動子の略図的斜視図である。 図１５は、本発明の第５の実施形態に係る音叉型水晶振動子の略図的斜視図である。 図１６は、従来の音叉型水晶振動子の平面図である。 図１７は、図１６のＢ−Ｂ線に沿う部分の断面図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の具体的な実施形態を説明することにより、本発明を明らかにする。

本発明の第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１は、音叉型振動片２と、第１の振動電極７と、第２の振動電極８とを有する。図１（ａ）は、本発明の第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１の略図的斜視図である。図１（ａ）では、第１，第２の振動電極７，８の図示は省略してあることを指摘しておく。すなわち、図１（ａ）では、音叉型水晶振動子１の音叉型振動片２が斜視図で示されていることになる。

音叉型振動片２は、基部３を有する。基部３は、振動特性を阻害しないように音叉型水晶振動子１を保持するための部分である。従って、基部３は、ある程度の面積を有する板状部分であることが望ましい。本実施形態では、基部３は矩形の平面形状を有する。もっとも基部３の形状は特に限定されるものではない。

基部３に、第１，第２の振動アーム部４，５が連ねられている。本実施形態では、基部３及び第１，第２の振動アーム部４，５は水晶からなり一体に形成されている。

第１の振動アーム部４は、第１の端部４ａと、第１の端部４ａとは反対側の第２の端部４ｂとを有する。第１の端部４ａ側において、基部３に第１の振動アーム部４が連ねられている。第２の振動アーム部５も同様に、第１，第２の端部５ａ，５ｂを有する。第２の振動アーム部５は、第１の端部５ａ側において、基部３に連ねられている。第１，第２の振動アーム部４，５は、横断面が矩形の略棒状の形状を有する。第１の端部４ａ，５ａと第２の端部４ｂ，５ｂとを結ぶ方向を第１，第２の振動アーム部４，５の長さ方向とする。また、第１，第２の振動アーム部４，５の長さ方向と直交する方向を第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向とする。第１，第２の振動アーム部４，５の長さ方向及び幅方向と直交する方向を第１，第２の振動アーム部４，５の厚み方向とする。

本実施形態では、水晶基板をエッチング等により加工することにより、音叉型振動片２が形成されている。従って、基部３の厚みと、第１，第２の振動アーム部４，５の厚みは等しくされている。もっとも、第１，第２の振動アーム部４，５の厚みは、基部３と同じである必要は必ずしもない。

第１の振動アーム部４には、貫通孔４ｃが設けられている。貫通孔４ｃは、略矩形の平面形状を有している。貫通孔４ｃの長さ方向は、第１の振動アーム部４の長さ方向と同じ方向とされている。貫通孔４ｃの長さ方向の寸法は、第１の振動アーム部４の長さ方向の寸法をＬとしたとき、０．３Ｌ以上とすることが望ましい。それによって、第１の振動アーム部４を効果的に屈曲モードで振動させることができる。貫通孔４ｃの深さ方向は、第１，第２の振動アーム部４，５の厚み方向と同じ方向とされている。

第１の振動アーム部４には、貫通孔４ｃを横切るように、第１の振動アーム部４の幅方向に延びる複数の桟６が設けられている。貫通孔４ｃは、複数の桟６によって複数の貫通孔部分に分割されている。桟６の幅方向は、第１，第２の振動アーム部４，５の長さ方向と同じ方向とされている。桟６は、本実施形態では、貫通孔４ｃの深さ方向全長にわたり設けられている。従って、桟６の上面は第１の振動アーム部４の上面と同一平面上にあり、桟６の下面は第１の振動アーム部４の下面と同一平面上にある。もっとも、桟６は、貫通孔４ｃの深さ方向全長にわたり設けられている必要は必ずしもない。

図１（ｂ）は、貫通孔４ｃが設けられている部分である図１（ａ）のｂ−ｂ線に沿う部分における、第１の振動アーム部４の横断面図である。図１（ｃ）は、桟６が設けられている部分である図１（ａ）のｃ−ｃ線に沿う部分における、第１の振動アーム部４の横断面図である。

第１の振動アーム部４は、第１の振動アーム部４の幅方向において貫通孔４ｃの両側に位置する部分である、振動アーム部分４ｄ，４ｅを有する。図１（ｂ）に示すように、第１の振動アーム部４における貫通孔４ｃが設けられている部分では、振動アーム部分４ｄ，４ｅに印加される電界の向きが矢印で示すように逆方向とされている。また、図１（ｃ）に示すように、第１の振動アーム部４における桟６が設けられている部分では、第１の振動アーム部４における幅方向外側の部分に印加される電界の向きが矢印で示すように逆方向とされている。

第１の振動電極７及び第２の振動電極８が、図１（ｂ），（ｃ）に示すように第１の振動アーム部４に設けられている。すなわち、第１の振動電極７は、振動アーム部分４ｄ，４ｅの内側面、すなわち貫通孔４ｃに臨む内側面と、桟６の上面及び下面とに設けられている。また、第２の振動電極８は、振動アーム部分４ｄ，４ｅの内側面、すなわち貫通孔４ｃに臨む内側面とは反対側に位置している外側面と、桟６が設けられている部分の外側面とに設けられている。従って、第１の振動電極７と第２の振動電極８との間に交番電界を印加することにより、第１の振動アーム部４を屈曲モードで振動させることができる。

なお、第２の振動アーム部５は、第１の振動アーム部４と同様に、貫通孔と桟とが設けられている。第２の振動アーム部５についても同様に、第２の振動アーム部５における貫通孔が設けられている部分では、第２の振動アーム部５の幅方向において貫通孔の両側に位置する部分である、振動アーム部分に印加される電界の向きが逆方向とされている。また、第２の振動アーム部５における桟が設けられている部分では、第２の振動アーム部５における幅方向外側の部分に印加される電界の向きが逆方向とされている。第１の振動電極が、第２の振動アーム部５の幅方向において貫通孔の両側に位置する部分である、振動アーム部分の内側面、すなわち貫通孔に臨む内側面と、桟の上面及び下面とに設けられている。また、第２の振動電極が、第２の振動アーム部５の幅方向において貫通孔の両側に位置する部分である、振動アーム部分の内側面、すなわち貫通孔に臨む内側面とは反対側に位置している外側面と、桟が設けられている部分の外側面とに設けられている。従って、第１の振動電極と第２の振動電極との間に交番電界を印加することにより、第２の振動アーム部５を屈曲振動させることができる。

音叉型水晶振動子１では、上記屈曲モードの振動特性を利用することが可能とされている。本実施形態の特徴は、上記桟６の数が、第１，第２の振動アーム部４，５において４個以上であり、かつ下記の開口率が０．５０〜０．９３の範囲にあることにある。開口率＝｛（貫通孔４ｃの長さ方向の寸法−桟６の幅方向の寸法×桟６の数）／貫通孔４ｃの長さ方向の寸法｝。それによって、第１，第２の振動アーム部４，５の機械的強度を高め得るだけでなく、良好な振動特性を得ることができる。これを以下において具体的に説明する。

図２は、第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１が屈曲モードで振動した際の振動姿態を示す模式的平面図である。また、図３は、音叉型水晶振動子１に２００００Ｇの衝撃が第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向から加わった際の変位状態を示す模式的平面図である。

なお、図２及び図３に示す変位は、第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１を以下の寸法とした場合の結果である。

なお、桟６の幅方向の寸法をＷｂとする。また、第１の振動アーム部４の幅方向において貫通孔４ｃの両側に位置する部分である、振動アーム部分４ｄ，４ｅのそれぞれの第１の振動アーム部４の幅方向の寸法をＷａとする。本実施形態では、貫通孔４ｃは、第１の振動アーム部４の幅方向において中央に設けられているため、振動アーム部分４ｄの第１の振動アーム部４の幅方向の寸法Ｗａと振動アーム部分４ｅの第１の振動アーム部４の幅方向の寸法Ｗａとは等しい。第２の振動アーム部５も同様である。

第１の振動アーム部４及び第２の振動アーム部５の長さ方向の寸法Ｌ＝１．２０とし、幅方向の寸法＝０．０５とし、厚み方向の寸法＝０．１０とする。

貫通孔４ｃの長さ方向の寸法＝０．７２、幅方向の寸法＝０．０３、深さ方向の寸法＝０．１０。

桟６の幅方向の寸法Ｗｂ＝０．０１とする。

振動アーム部分４ｄ，４ｅのそれぞれの第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向の寸法Ｗａ＝０．０１とする。

用いた水晶基板＝Ｚカット水晶基板。

桟６の数＝９個。

比較例として、桟の数が１個であることを除いては、第１の実施形態と同様にして作製した音叉型水晶振動子１００を用意した。図４は、比較例に係る音叉型水晶振動子１００が屈曲モードで振動した際の振動姿態を示す模式的平面図である。図５は、図３と同様に、比較例に係る水晶振動子１００に２００００Ｇの衝撃が第１，第２の振動アーム部の幅方向から加わった際の変位状態を示す模式的平面図である。

図２に示すように、桟６が９個設けられている第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１では、屈曲モードに従って第１，第２の振動アーム部４，５が変形していることがわかる。これに対して、図４に示すように、桟が１個だけ設けられている比較例に係る音叉型水晶振動子１００では、貫通孔が設けられていることにより機械的強度が低下しているためか、貫通孔形成部分における振動姿態が屈曲モードの振動姿態からずれていることがわかる。

また、図３と図５との比較から明らかなように、第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１は、比較例に係る音叉型水晶振動子１００に比べて、衝撃が加わった際にも形状の変化が小さく、従って耐衝撃強度を効果的に高め得ることがわかる。

上記のように、第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１において、比較例に係る音叉型水晶振動子１００に比べて振動特性及び耐衝撃強度を高め得るのは、音叉型水晶振動子１は桟６の数が９個と多く、かつ上述した開口率が上記特定の範囲内にあることにある。

桟６の数が９個、開口率が０．７２であることを除いては第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１と同様に構成された、第２の実施形態の音叉型水晶振動子１ａを用意した。図６は、第２の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ａが屈曲モードで振動した際の振動姿態を示す模式的平面図である。図７は、音叉型水晶振動子１ａに２００００Ｇの衝撃が第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向から加わった際の変位状態を示す模式的平面図である。

図６に示すように、第２の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ａにおいても、屈曲モードの振動姿態からのずれが小さく、良好な振動特性が得られることがわかる。また、図７に示すように、第２の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ａにおいても、衝撃が加わった際にも形状の変化が小さく、耐衝撃強度を効果的に高め得ることがわかる。

本願発明者は、第１の実施形態と同様の構造において、桟の数を種々変化させ、ＷｂとＷａの比であるＷｂ／Ｗａを０．５、１．０または２．０と変化させ、振動特性を評価した。同様に、上記開口率についても種々変化させ、振動特性の変化を求めた。結果を図８〜図１１に示す。

図８は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、桟の数と振動特性を示すｋ^２Ｑとの関係を示す図である。図９は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、開口率と振動特性を示すｋ^２Ｑとの関係を示す図である。図１０は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、桟の数と耐衝撃強度であるミーゼス相当応力との関係を示す図である。図１１は、Ｗｂ／Ｗａを０．５、１．０、２．０とした場合における、開口率と耐衝撃強度であるミーゼス相当応力との関係を示す図である。図１０及び図１１の縦軸のミーゼス相当応力は、音叉型水晶振動子に外部から２００００Ｇの衝撃を加えた場合に音叉型水晶振動子の振動アーム部に発生する応力の値である。このミーゼス相当応力は、有限要素法により計算することができる。

図８及び図１０から明らかなように、桟６の数を５以上とすることにより、振動特性を良好としつつ、衝撃が加わった際の応力を小さくすることができ、従って振動特性及び耐衝撃強度の改善を図り得ることがわかる。

また、図１１から、開口率を０．９３以下とすれば、０．９３を越えた場合に比べ、衝撃が加わった際の応力を著しく小さくすることができ、それによって耐衝撃強度を高め得ることがわかる。

特に、図９及び図１１から明らかなように、Ｗｂ／Ｗａを１．０以上とした場合には、開口率を０．９３以下とすることにより、良好な振動特性及びより一層良好な耐衝撃強度を発現し得ることがわかる。

なお、耐衝撃強度を高めるには、開口率は低い方が好ましい。もっとも、図９に示すように、開口率が０．７５から低くなるにつれて若干振動特性が低下する。従って、開口率は、図９の範囲の下限である０．４７以上、より好ましくは０．５０以上とすることが望ましい。

上記のように、桟６の数が多いほど、第１，第２の振動アーム部４，５の機械的強度が高められる。加えて、第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向において貫通孔の両側に位置する部分である、振動アーム部分における応力が桟６によって伝達されるため、振動姿態がより一層屈曲モードの振動姿態に近づくことになる。従って、桟６の数が多いほど、屈曲モードの振動の振動特性を高めることが可能とされていると考えられる。

また、第１，第２の振動アーム部４，５に貫通孔４ｃが設けられている場合、第１，第２の振動アーム部４，５の機械的強度が低下するため、衝撃が加わった際の変位が大きくなる。これに対して、本実施形態では桟６が４個以上設けられているため、上記衝撃が加わった際の応力を低め、耐衝撃強度を高め得ることが可能とされている。

図１３は、本発明の第３の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｂの略図的斜視図である。本実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｂは、第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１の構成に加えて、支持アーム１１，１２を備えている。具体的には、本実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｂでは、音叉型振動片２において、第１，第２の振動アーム部４，５が設けられている部分の第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向外側に、さらに、第１，第２の振動アーム部４，５と平行に延びる支持アーム１１，１２が設けられている。このような支持アーム１１，１２を設けることにより、第１，第２の振動アーム部４，５の振動エネルギーを効果的に閉じ込めることができる。それによって、支持構造による損失を低減することができる。従って振動特性をより一層高めることができる。

図１４は、本発明の第４の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｃの略図的斜視図である。本実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｃは、第１の実施形態に係る音叉型水晶振動子１の構成に加えて、錘部２１，２２を備えている。具体的には、本実施形態では、音叉型振動片２において、第１，第２の振動アーム部４，５の先端すなわち第２の端部４ｂ，５ｂ側にそれぞれ錘部２１，２２が連ねられている。

錘部２１，２２の幅方向は、第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向と同じ方向とされており、錘部２１，２２の幅方向の寸法は、第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向の寸法よりも長くされている。錘部２１，２２は、特に限定されるわけではないが、上記水晶からなり、第１，第２の振動アーム部４，５と一体に形成されていることが望ましい。錘部２１，２２を設けたことにより、共振周波数を低下させることができる。それによって音叉型水晶振動子を小型化することができる。

図１５は、本発明の第５の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｄの略図的斜視図である。本実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｄは、第４の実施形態に係る音叉型水晶振動子１ｃの構成に加えて、錘部２１，２２にそれぞれ複数の貫通孔２１ａ，２２ａが設けられている。貫通孔２１ａ，２２ａが設けられていることにより、エッチングによる加工ばらつきによる共振周波数の変動を抑制することができる。

図１２は、錘部２１，２２に貫通孔２１ａ，２２ａが設けられている本実施形態と、錘部に貫通孔が設けられていない参考例において、エッチングによる加工寸法ずれと共振周波数の変動量との関係を示す図である。ここで、横軸の加工寸法ずれとは、目標とする寸法からのずれ量である。図１２に示すように、錘部に貫通孔が設けられていない参考例の場合には、エッチングによる加工寸法ずれに伴い、共振周波数が大きく変動していることがわかる。

一方、図１２に示すように、エッチングによる加工寸法ずれが変動した場合であっても、本実施形態によれば、共振周波数の変動を抑制することができる。この理由は、以下の通りである。エッチング量が多過ぎると、第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向の寸法が小さくなる。そのため共振周波数が低くなるように作用する。この場合、錘部２１，２２に設けられた貫通孔２１ａ，２２ａの寸法は大きくなり、錘部２１，２２による質量付加効果が小さくなり、共振周波数が高くなるように作用する。従って、共振周波数の変動を抑制することができる。逆にエッチング量が少ない場合には、この逆の現象が生じ、その場合においても共振周波数の変動を抑制することができる。

すなわち、加工量の増減による共振周波数の変動を、上記貫通孔２１ａ，２２ａを設けることにより抑制させることができる。上記のように、エッチング量の変化による第１，第２の振動アーム部４，５の幅方向の寸法の変化に基づく共振周波数の変動方向と、エッチング量の変化による錘部２１，２２に基づく質量付加効果による共振周波数の変化方向とは逆方向となる。従って、エッチング量のばらつきすなわち加工ばらつきによる外形寸法のずれによる共振周波数の変動を抑制することができる。

なお、本実施形態では錘部２１，２２に貫通孔２１ａ，２２ａを設けたが、貫通孔２１ａ，２２ａに代えて、錘部２１，２２の上面及び／または下面に凹部を設けてもよい。

１，１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ…音叉型水晶振動子
２…音叉型振動片
３…基部
４…第１の振動アーム部
５…第２の振動アーム部
４ａ…第１の端部
４ｂ…第２の端部
５ａ…第１の端部
５ｂ…第２の端部
４ｃ…貫通孔
４ｄ，４ｅ…振動アーム部分
６…桟
７…第１の振動電極
８…第２の振動電極
１１，１２…支持アーム
２１，２２…錘部
２１ａ，２２ａ…貫通孔

Claims (6)

1. 水晶からなり、基部と、第１の端部と前記第１の端部とは反対側の第２の端部とを有し、前記第１の端部が前記基部に連ねられている複数の振動アーム部とを有する、音叉型振動片と、
   前記振動アーム部に設けられている振動電極とを備え、
   前記振動アーム部には、貫通孔と、前記貫通孔を横切る４個以上の桟とが設けられており、
   前記振動アーム部の前記第１の端部と前記第２の端部とを結ぶ方向を前記振動アーム部の長さ方向とし、前記振動アーム部の長さ方向と直交する方向を前記振動アーム部の幅方向としたとき、前記貫通孔の長さ方向が前記振動アーム部の長さ方向と同じ方向とされており、前記桟の幅方向が前記振動アーム部の長さ方向と同じ方向とされており、
   開口率＝｛（貫通孔の長さ方向の寸法−桟の幅方向の寸法×桟の数）／貫通孔の長さ方向の寸法｝が０．５０〜０．９３の範囲にある、音叉型水晶振動子。
2. 前記桟の幅方向の寸法をＷｂとし、前記振動アーム部の幅方向において前記貫通孔の両側に位置する部分である、振動アーム部分の前記振動アーム部の幅方向の寸法をＷａとしたとき、Ｗｂ／Ｗａが１．０以上である、請求項１に記載の音叉型水晶振動子。
3. 前記貫通孔が、前記振動アーム部の前記第１の端部側に寄せられて設けられている、請求項１または２に記載の音叉型水晶振動子。
4. 前記貫通孔が、前記第１の端部近傍から前記第２の端部に向かって延ばされている、請求項３に記載の音叉型水晶振動子。
5. 前記振動アーム部の前記第２の端部に連ねられており、幅方向が前記振動アーム部の幅方向と同じ方向とされており、かつ該幅方向の寸法が前記振動アーム部の幅方向の寸法よりも大きい錘部をさらに有する、請求項１〜４のいずれか１項に記載の音叉型水晶振動子。
6. 前記錘部が貫通孔または凹部を有する、請求項５に記載の音叉型水晶振動子。

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