JP6238639B2 - 圧電振動子 - Google Patents
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Description
S 副振動辺
D1 接続幅
D2 接続幅
D3 保持幅
T 圧電振動板の厚み
T2 励振電極の厚み
T3 アームの厚み
10,20,30 圧電振動子
11,21,31 圧電振動板
12,22a〜22c,32a〜32e 振動部
12a,12b 主振動辺
12c,12d 副振動辺
13,23,33 アーム
14,24,34 フレーム
15 パッケージ
16 端子電極
17 第1励振電極
18 第2励振電極
19 はんだ部材
Claims (8)
- X軸、Y軸及びZ軸からなる三次元の結晶方位を有する水晶体のXZ面からなるY板を+40°〜+50°の範囲でX軸を中心に回転させ、さらに、この回転で得られるXZ’面からなるY’板を40°〜50°の範囲で平面回転させた回転角によってカットされ、
幅縦モードの主振動を伴う一対の主振動辺及びこの一対の主振動辺と直交し、長さ縦モードの副振動を伴う一対の副振動辺からなる四角形状の振動部を3つ或いは5つ有する圧電振動板と、
前記各振動部の表裏面に形成される励振電極と、
前記圧電振動板の一端を支持する支持部と、
前記圧電振動板の外周に設けられ、前記支持部が接続される基部とを備え、
前記圧電振動板は、それぞれの振動部における主振動辺と副振動辺との長さの比が、主振動辺の長さを1としたときに副振動辺の長さが1.00〜1.11に設定されると共に、
圧電振動板の厚みと主振動辺の長さとの比が、主振動辺の長さを1としたときに圧電振動板の厚みを0.1よりも小さくすることで、主振動の等価直列抵抗R1を低下させると共に、1次温度係数αと2次温度係数βとが0付近で一致させ、10〜24MHzの振動周波数を得ることを特徴とする圧電振動子。 - 前記圧電振動板は、厚み及び振動部の数を調整することによって、並列容量C0が0.4pF以上、主振動の等価直列インダクタンスL1が30〜80mHに設定される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記主振動と結合させたときの副振動の容量比が1000〜3000に設定される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記振動部は、前記圧電振動板の厚みと前記励振電極の厚みとの比が、圧電振動板の厚みを1としたときに励振電極の厚みが0.001以上且つ0.15未満に設定されると共に、主振動辺の長さに対する励振電極の厚みが0より大きく且つ0.004より小さく設定される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記支持部は、前記圧電振動板を構成する少なくとも一の振動部の主振動辺の略中央部を支持するアームを備え、振動部との接続幅が主振動辺の長さを1としたときに0.1〜0.3に設定し、前記アームの厚みが前記圧電振動板の厚みを1としたときに少なくとも1以上に設定する一方、
前記アームの他端と前記基部との接続幅が前記主振動辺の長さを1としたときに0.1〜0.3に設定される請求項1に記載の圧電振動子。 - 前記基部は、保持幅が前記主振動辺の長さ1としたときに0.5以上に設定される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動板は、主振動方向又は副振動方向に対して複数の振動部を配列して形成される請求項1に記載の圧電振動子。
- 前記圧電振動板、支持部及び基部は、水晶基板によって一体形成される請求項1に記載の圧電振動子。
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