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即ち、本発明の水晶振動子の第1の態様は、水晶音叉基部と前記水晶音叉基部に接続された少なくとも第1水晶音叉腕と第2水晶音叉腕を備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子で、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各音叉腕は、第1主面とその第1主面に対抗する第2主面と、内側側面とその内側側面に対抗する外側側面とを有し、前記第1水晶音叉腕の内側側面は前記第2水晶音叉腕の内側側面に対向していて、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の内側側面に電極が配置され、前記第1水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性と前記第2水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性が異なるように各電極が配置され、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なく一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に、部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の溝が形成され、前記溝の第1側面と第2側面の各側面は水晶音叉腕の長さ方向に延在し、前記溝の第3側面は第1側面と第2側面の各側面の延在する方向と異なる方向にあって、第1側面は第3側面を介して第2側面に接続され、第1側面と第2側面の各側面は内側側面に対抗して形成され、かつ、第3側面に直接に接続され、第1側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅で与えられ、第2側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅と異なる第2部分幅で与えられるとき、溝幅より小さい前記部分幅は第1部分幅と第2部分幅とを備えていて、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記音叉型屈曲水晶振動子の2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なくとも一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とが決定されている水晶振動子である。
本発明の水晶振動子の第2の態様は、第1の態様において、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なく一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された、第1部分幅と第2部分幅とを備えた部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の前記溝が、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成され、前記溝の第4側面と第5側面の各側面は対応する水晶音叉腕の幅方向に延在し、第4側面は内側側面に対抗し、かつ、第3側面に直接に接続された第1側面に直接に接続され、第5側面は内側側面に対抗し、かつ、第3側面に直接に接続された第2側面に直接に接続されていて、前記基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とが決定されている水晶振動子である。
本発明の水晶ユニットの第1の態様は、第1の態様または第2の態様に記載の水晶振動子と、蓋とケースとを備えた水晶ユニットで、前記溝の溝幅と前記溝を備えた水晶音叉腕の腕幅との比が、0.35から0.85の範囲内にあり、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に固定され、かつ、前記蓋が前記ケースに接続されている水晶ユニットである。
本発明の水晶発振器の第1の態様は、第2の態様に記載の水晶振動子と、蓋とケースとを備えた水晶発振器で、第1電極端子を形成するために、前記第1水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の第1側面と第2側面の各側面に配置された電極は、前記第2水晶音叉腕の内側側面と外側側面の各側面に配置された電極に接続され、第2電極端子を形成するために、前記第2水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の第1側面と第2側面の各側面に配置された電極は、前記第1水晶音叉腕の内側側面と外側側面の各側面に配置された電極に接続され、前記第1電極端子を形成した第1電極は前記ケースの固定部に配置された第1電極に接続され、かつ、前記ケースの固定部に配置された前記第1電極は前記ケースの裏面の一端部に配置された第1電極に接続され、前記第2電極端子を形成した第2電極は前記ケースの固定部に配置された第2電極に接続され、かつ、前記ケースの固定部に配置された前記第2電極は前記ケースの裏面の他端部に配置された第2電極に接続されていて、前記ケースは貫通穴を有し、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に導電性接着剤あるいは半田によって固定され、低融点ガラスあるいは金属が前記ケースの貫通穴に配置されている水晶発振器である。
本発明の第携帯機器の1の態様は、第1の態様または第2の態様に記載の水晶振動子と、あるいは、第1の態様に記載の水晶ユニットと、あるいは、第1の態様に記載の水晶発振器を備えて構成されている携帯機器である。
本発明の水晶振動子の製造方法の第1の態様は、水晶音叉基部と前記水晶音叉基部に接続された少なくとも第1水晶音叉腕と第2水晶音叉腕を備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各々は、第1主面とその第1主面に対抗する第2主面と、内側側面とその内側側面に対抗する外側側面とを有し、前記第1水晶音叉腕の内側側面は前記第2水晶音叉腕の内側側面に対向していて、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の内側側面に電極が配置され、前記第1水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性と前記第2水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性が異なるように各電極を配置する工程と、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なく一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に、部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の溝を形成し、前記溝の第1側面と第2側面の各側面は水晶音叉腕の長さ方向に延在し、前記溝の第3側面は第1側面と第2側面の各側面の延在する方向と異なる方向にあって、第1側面は第3側面を介して第2側面に接続され、第1側面と第2側面の各側面は内側側面に対抗して形成され、かつ、第3側面に直接に接続され、第1側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅で与えられ、第2側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅と異なる第2部分幅で与えられるとき、前記部分幅は第1部分幅と第2部分幅とを備え、前記部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の前記溝を形成する工程と、前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記音叉型屈曲水晶振動子の2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なくとも一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とを決定する工程と、を含む水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶振動子の製造方法の第2の態様は、第1の態様において、第1部分幅と第2部分幅とを備えた前記部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の前記溝は、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成され、前記基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とを決定する工程と、前記溝の溝幅と前記溝を備えた水晶音叉腕の腕幅との比が0.35から0.85の範囲内にあるように、前記溝を形成する工程とを含む水晶振動子の製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第1の態様は、第1の態様または第2の態様に記載の水晶振動子の製造方法と、前記音叉型屈曲水晶振動子をケースの固定部に固定する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程とを含む水晶ユニットの製造方法である。

Claims (8)

  1. 水晶音叉基部と前記水晶音叉基部に接続された少なくとも第1水晶音叉腕と第2水晶音叉腕を備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子で、
    前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各音叉腕は、第1主面とその第1主面に対抗する第2主面と、内側側面とその内側側面に対抗する外側側面とを有し、前記第1水晶音叉腕の内側側面は前記第2水晶音叉腕の内側側面に対向していて、
    前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の内側側面に電極が配置され、前記第1水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性と前記第2水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性が異なるように各電極が配置され、
    前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なく一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に、部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の溝が形成され、前記溝の第1側面と第2側面の各側面は水晶音叉腕の長さ方向に延在し、前記溝の第3側面は第1側面と第2側面の各側面の延在する方向と異なる方向にあって、第1側面は第3側面を介して第2側面に接続され、第1側面と第2側面の各側面は内側側面に対抗して形成され、かつ、第3側面に直接に接続され、第1側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅で与えられ、第2側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅と異なる第2部分幅で与えられるとき、溝幅より小さい前記部分幅は第1部分幅と第2部分幅とを備えていて、
    前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記音叉型屈曲水晶振動子の2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なくとも一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とが決定されていることを特徴とする水晶振動子。
  2. 請求項1において、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なく一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された、第1部分幅と第2部分幅とを備えた部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の前記溝が、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成され、前記溝の第4側面と第5側面の各側面は対応する水晶音叉腕の幅方向に延在し、第4側面は内側側面に対抗し、かつ、第3側面に直接に接続された第1側面に直接に接続され、第5側面は内側側面に対抗し、かつ、第3側面に直接に接続された第2側面に直接に接続されていて、前記基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とが決定されていることを特徴とする水晶振動子。
  3. 請求項1または請求項2に記載の水晶振動子と、蓋とケースとを備えた水晶ユニットで、前記溝の溝幅と前記溝を備えた水晶音叉腕の腕幅との比が、0.35から0.85の範囲内にあり、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に固定され、かつ、前記蓋が前記ケースに接続されていることを特徴とする水晶ユニット。
  4. 請求項2に記載の水晶振動子と、蓋とケースとを備えた水晶発振器で、第1電極端子を形成するために、前記第1水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の第1側面と第2側面の各側面に配置された電極は、前記第2水晶音叉腕の内側側面と外側側面の各側面に配置された電極に接続され、第2電極端子を形成するために、前記第2水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の第1側面と第2側面の各側面に配置された電極は、前記第1水晶音叉腕の内側側面と外側側面の各側面に配置された電極に接続され、前記第1電極端子を形成した第1電極は前記ケースの固定部に配置された第1電極に接続され、かつ、前記ケースの固定部に配置された前記第1電極は前記ケースの裏面の一端部に配置された第1電極に接続され、前記第2電極端子を形成した第2電極は前記ケースの固定部に配置された第2電極に接続され、かつ、前記ケースの固定部に配置された前記第2電極は前記ケースの裏面の他端部に配置された第2電極に接続されていて、前記ケースは貫通穴を有し、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に導電性接着剤あるいは半田によって固定され、低融点ガラスあるいは金属が前記ケースの貫通穴に配置されていることを特徴とする水晶発振器。
  5. 請求項1または請求項2に記載の水晶振動子と、あるいは、請求項3に記載の水晶ユニットと、あるいは、請求項4に記載の水晶発振器を備えて構成されていることを特徴とする携帯機器。
  6. 水晶音叉基部と前記水晶音叉基部に接続された少なくとも第1水晶音叉腕と第2水晶音叉腕を備えて構成される音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、
    前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各々は、第1主面とその第1主面に対抗する第2主面と、内側側面とその内側側面に対抗する外側側面とを有し、前記第1水晶音叉腕の内側側面は前記第2水晶音叉腕の内側側面に対向していて、
    前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の内側側面に電極が配置され、前記第1水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性と前記第2水晶音叉腕の内側側面に配置された電極の電気的極性が異なるように各電極を配置する工程と、
    前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なく一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に、部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の溝を形成し、前記溝の第1側面と第2側面の各側面は水晶音叉腕の長さ方向に延在し、前記溝の第3側面は第1側面と第2側面の各側面の延在する方向と異なる方向にあって、第1側面は第3側面を介して第2側面に接続され、第1側面と第2側面の各側面は内側側面に対抗して形成され、かつ、第3側面に直接に接続され、第1側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅で与えられ、第2側面の外側端部と内側側面の外側端部の間の距離が第1部分幅と異なる第2部分幅で与えられるとき、前記部分幅は第1部分幅と第2部分幅とを備え、前記部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の前記溝を形成する工程と、
    前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記音叉型屈曲水晶振動子の2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の少なくとも一つの水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とを決定する工程と、を含むことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
  7. 請求項6において、第1部分幅と第2部分幅とを備えた前記部分幅が溝幅より小さくなる四角形と異なる多角形の前記溝は、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成され、前記基本波モード振動の等価直列抵抗Rが、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗Rより小さくなるように、前記第1水晶音叉腕と前記第2水晶音叉腕の各水晶音叉腕の第1主面と第2主面の少なくとも一面に形成された前記溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法とを決定する工程と、前記溝の溝幅と前記溝を備えた水晶音叉腕の腕幅との比が0.35から0.85の範囲内にあるように、前記溝を形成する工程とを含むことを特徴とする水晶振動子の製造方法。
  8. 請求項6または請求項7に記載の水晶振動子の製造方法と、前記音叉型屈曲水晶振動子をケースの固定部に固定する工程と、蓋を前記ケースに接続する工程とを含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
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Families Citing this family (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5724672B2 (ja) 2011-06-24 2015-05-27 セイコーエプソン株式会社 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器
JP5910287B2 (ja) * 2012-04-25 2016-04-27 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器および電子機器
JP2013251672A (ja) * 2012-05-31 2013-12-12 Seiko Epson Corp 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法
CN104022754A (zh) * 2014-06-19 2014-09-03 苏州普京真空技术有限公司 一种新型石英晶振片
CN104022753A (zh) * 2014-06-19 2014-09-03 苏州普京真空技术有限公司 一种双金属晶振片

Family Cites Families (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5320845A (en) * 1976-08-11 1978-02-25 Seiko Instr & Electronics Ltd Quartz crystal watch
JPS5335462A (en) * 1976-09-14 1978-04-01 Seiko Instr & Electronics Ltd Crystal watch
JPS5393792A (en) * 1977-01-26 1978-08-17 Seiko Instr & Electronics Ltd Crystal vibrator
FR2467487A1 (fr) * 1979-10-15 1981-04-17 Ebauches Sa Resonateur piezoelectrique
JPS58146117A (ja) * 1982-02-24 1983-08-31 Kinseki Kk 圧電振動子の製造方法
JP2756559B2 (ja) * 1987-11-11 1998-05-25 セイコーインスツルメンツ株式会社 圧電振動子の製造方法
JP3322153B2 (ja) * 1997-03-07 2002-09-09 セイコーエプソン株式会社 音叉型水晶振動片
JPH10294631A (ja) * 1997-04-18 1998-11-04 Seiko Epson Corp 振動子片の構造
JP3926000B2 (ja) * 1997-09-26 2007-06-06 シチズン電子株式会社 圧電振動子とその製造方法
JP2000004138A (ja) * 1998-03-31 2000-01-07 Seiko Epson Corp 振動子の製造方法及び電子機器
US6661162B1 (en) * 1998-07-24 2003-12-09 Seiko Epson Corporation Piezoelectric resonator and method of producing the same
JP3523502B2 (ja) * 1998-09-28 2004-04-26 京セラ株式会社 圧電振動子用容器ならびに圧電振動子およびその製造方法
JP4852195B2 (ja) * 1999-01-20 2012-01-11 セイコーエプソン株式会社 音叉型水晶振動子
JP2000307368A (ja) * 1999-04-26 2000-11-02 Seiko Epson Corp 圧電振動子の製造方法
JP3433728B2 (ja) * 2000-08-11 2003-08-04 セイコーエプソン株式会社 圧電デバイス
JP3812724B2 (ja) * 2001-09-13 2006-08-23 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器及び電子機器

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