JP5050160B2 - 水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法および水晶発振器と携帯機器 - Google Patents
水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法および水晶発振器と携帯機器 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5050160B2 JP5050160B2 JP2008116257A JP2008116257A JP5050160B2 JP 5050160 B2 JP5050160 B2 JP 5050160B2 JP 2008116257 A JP2008116257 A JP 2008116257A JP 2008116257 A JP2008116257 A JP 2008116257A JP 5050160 B2 JP5050160 B2 JP 5050160B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tuning fork
- fork arm
- groove
- tuning
- arm
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
- 239000013078 crystal Substances 0.000 title claims description 202
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 28
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 75
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 75
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 36
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 36
- 238000005452 bending Methods 0.000 claims description 31
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 29
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 10
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 claims description 10
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 claims description 5
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 4
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 claims description 3
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 3
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 claims 1
- 230000005684 electric field Effects 0.000 description 18
- 230000007935 neutral effect Effects 0.000 description 13
- 238000007789 sealing Methods 0.000 description 10
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 8
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 6
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 5
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 5
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 4
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 4
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 3
- 238000005304 joining Methods 0.000 description 3
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 1
- 230000002349 favourable effect Effects 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000013081 microcrystal Substances 0.000 description 1
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 1
Images
Landscapes
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
- Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
Description
本発明の水晶ユニットの製造方法の第1の態様は、第1の態様の水晶振動子の製造方法と、貫通穴を備えたケースと蓋を準備する工程と、前記第2金属膜の上に塗布された第2レジストを除去する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記ケースの固定部に固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、前記ケースの貫通穴を真空中で封止するために、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程と、を備えた水晶ユニットの製造方法で、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記ケースの固定部に固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数をレーザーによって調整する工程と、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程の後に、前記音 叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数をレーザーによって調整する工程と、を含む水晶ユニットの製造方法である。
本発明の水晶ユニットの製造方法の第2の態様は、第1の態様の水晶振動子の製造方法と、貫通穴を備えたケースと蓋を準備する工程と、前記第2金属膜の上に塗布された前記第2レジストを除去する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記ケースの固定部に固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、前記ケースの貫通穴を真空中で封止するために、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程と、を備えた水晶ユニットの製造方法で、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数をレーザーによって調整する工程と、を含む水晶ユニットの製造方法である。
本発明の携帯機器の第1の態様は、第1の態様に記載の水晶発振器を備えて構成される携帯機器で、前記水晶発振器は前記携帯機器用の基準信号源として用いられる携帯機器である。
(1)音叉腕の中立線を挟んで溝を設けることにより、電界が垂直に働く。その結果、電気機械変換効率が良くなるので、等価直列抵抗R1の小さい、品質係数Q値の高い音叉型屈曲水晶振動子とそれを収納した水晶ユニットが得られる。
(2)等価直列抵抗R1の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子が搭載されるので、超小型の水晶ユニットが高品質で実現できる。
(3)音叉型屈曲水晶振動子の音叉寸法と溝との関係を示すことにより、2次高調波振動を抑えた基本波モードで振動する、しかも、等価直列抵抗R1の小さい超小型の音叉型屈曲水晶振動子を得ることができるので、超小型の水晶ユニットが高品質で得られる。
6,24,45,90,104,116,148,156 音叉基部
7,59,106 固定部
W2 溝幅
W 音叉腕の全幅
W1,W3 音叉腕の部分幅
l1 溝の長さ
l2 音叉基部の長さ
t 振動子の厚み
t1 溝の厚み
Claims (5)
- 音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕を備え、屈曲モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子の製造方法で、
前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は上面と前記上面に対抗する下面と、内側側面と前記内側側面に対抗する外側側面とを有し、前記第1音叉腕の前記内側側面は前記第2音叉腕の前記内側側面に対向していて、
前記音叉型屈曲水晶振動子の基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記音叉型屈曲水晶振動子の2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面に形成される溝の長さ寸法と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法を決定する工程と、
準備された水晶ウエハの上面とその上面に対抗する下面の各々に第1金属膜を蒸着又はスパッタリングにより形成する工程と、
前記第1金属膜の上に第1レジストを塗布する工程と、
前記第1金属膜と前記第1レジストとが音叉形状を残して除去された後に、化学的エッチング加工により前記第1音叉腕と前記第2音叉腕と前記音叉基部とを備えた音叉形状を形成する工程と、
化学的エッチング加工により前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に溝を形成し、前記溝は第1段差部と第2段差部とを備え、前記第1段差部と前記第2段差部の各々は前記内側側面に対抗していて、前記第1段差部の一端部は第3段差部の一端部に直接に接続され、かつ、前記第2段差部の一端部は前記第3段差部の他端部に直接に接続されると共に、前記溝は音叉腕の長さ方向において第4段差部に対向する第5段差部を備え、かつ、前記第1段差部の他端部は前記第5段差部の一端部に直接に接続され、前記第2段差部の他端部は前記第4段差部の一端部に直接に接続され、前記第1音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各段差部のみが、前記第1音叉腕の前記内側側面に対抗し、かつ、前記第2音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各段差部のみが、前記第2音叉腕の前記内側側面に対抗するように、前記溝を形成する工程と、
前記音叉基部と前記溝を備えた前記第1音叉腕と前記第2音叉腕とからなる前記音叉形状の面の上に第2金属膜を形成する工程と、
前記第2金属膜の上に第2レジストを塗布する工程と、
前記第1音叉腕の前記内側側面と前記外側側面の各々に配置された電極と、前記第2音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各々の面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記第1音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各々の面に配置された電極と、前記第2音叉腕の前記内側側面と前記外側側面の各々に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記溝の長さ寸法を有する溝に電極を形成する工程と、
前記第2金属膜の上に塗布された前記第2レジストを除去する工程と、を含むことを特徴とする水晶振動子の製造方法。 - 請求項1に記載の水晶振動子の製造方法と、貫通穴を備えたケースと蓋を準備する工程と、前記第2金属膜の上に塗布された第2レジストを除去する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記ケースの固定部に固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、前記ケースの貫通穴を真空中で封止するために、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程と、を備えた水晶ユニットの製造方法で、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記ケースの固定部に固定する工程の後に、かつ、前記蓋を前記ケースに接続する工程の前に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数をレーザーによって調整する工程と、金属を前記ケー スの貫通穴に配置する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の前記発振周波数をレーザ ーによって調整する工程と、を含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 請求項1に記載の水晶振動子の製造方法と、貫通穴を備えたケースと蓋を準備する工程と、前記第2金属膜の上に塗布された前記第2レジストを除去する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子を前記ケースの固定部に固定する工程と、前記蓋を前記ケースに接続する工程と、前記ケースの貫通穴を真空中で封止するために、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程と、を備えた水晶ユニットの製造方法で、金属を前記ケースの貫通穴に配置する工程の後に、前記音叉型屈曲水晶振動子の発振周波数をレーザーによって調整する工程と、を含むことを特徴とする水晶ユニットの製造方法。
- 水晶振動子と、その水晶振動子を収納する貫通穴を備えたケースとガラス製の蓋とを備えた水晶ユニットと、増幅器と、コンデンサーと、抵抗素子とを備えて構成される水晶発振器で、前記水晶振動子は音叉基部と前記音叉基部に接続された少なくとも第1音叉腕と第2音叉腕を備えて構成され、屈曲モードで振動し、基本波モード振動と2次高調波モード振動を備えた音叉型屈曲水晶振動子で、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の一端部は前記音叉基部に接続され、他端部は自由である音叉型屈曲水晶振動子で、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々は、上面と前記上面に対抗する下面と、内側側面と前記内側側面に対抗する外側側面とを有し、前記基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成される溝の長さ寸法l1と、前記音叉型屈曲水晶振動子の全長の寸法lが決定され、かつ、前記溝の長さ寸法l 1 と前記全長の寸法lとの比(l 1 /l)が0.2〜0.68の範囲内にあり、前記第1音叉腕の前記内側側面は前記第2音叉腕の前記内側側面に対向していて、前記第1音叉腕と前記第2音叉腕の各々の上面と下面の各々に形成された前記溝は、第1段差部と第2段差部とを備え、前記第1段差部と前記第2段差部の各々は前記内側側面に対抗していて、前記第1段差部の一端部は第3段差部の一端部に直接に接続され、かつ、前記第2段差部の一端部は前記第3段差部の他端部に直接に接続されると共に、前記溝は音叉腕の長さ方向において第4段差部に対向する第5段差部を備え、かつ、前記第1段差部の他端部は前記第5段差部の一端部に直接に接続され、前記第2段差部の他端部は前記第4段差部の一端部に直接に接続されていて、前記第1音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各段差部のみが、前記第1音叉腕の前記内側側面に対抗し、かつ、前記第2音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各段差部のみが、前記第2音叉腕の前記内側側面に対抗していて、前記第1音叉腕の前記内側側面と前記外側側面の各々に配置された電極と、前記第2音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各々の面に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記第1音叉腕の上面と下面の各々に形成された前記溝の前記第1段差部と前記第2段差部の各々の面に配置された電極と、前記第2音叉腕の前記内側側面と前記外側側面の各々に配置された電極とが同極となるように接続形成し、かつ、前記基本波モード振動の等価直列抵抗R1が、前記2次高調波モード振動の等価直列抵抗R2より小さくなるように、前記溝の長さ寸法l1を有する溝に電極が形成され、前記音叉型屈曲水晶振動子は前記ケースの固定部に固定され、ガラス製の前記蓋が前記ケースに接続され、かつ、前記ケースの貫通穴を真空中で封止するために、前記ケースの貫通穴の中に金属が配置された水晶ユニットを備えていることを特徴とする水晶発振器。
- 請求項4に記載の水晶発振器を備えて構成される携帯機器で、前記水晶発振器は前記携帯機器用の基準信号源として用いられることを特徴とする携帯機器。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2008116257A JP5050160B2 (ja) | 2001-10-31 | 2008-03-31 | 水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法および水晶発振器と携帯機器 |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2001334978 | 2001-10-31 | ||
JP2001334978 | 2001-10-31 | ||
JP2008116257A JP5050160B2 (ja) | 2001-10-31 | 2008-03-31 | 水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法および水晶発振器と携帯機器 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2004236864A Division JP2004350325A (ja) | 2001-10-31 | 2004-07-20 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器の製造方法 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011208062A Division JP5272167B2 (ja) | 2001-10-31 | 2011-09-05 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器および水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2008278489A JP2008278489A (ja) | 2008-11-13 |
JP2008278489A5 JP2008278489A5 (ja) | 2010-10-28 |
JP5050160B2 true JP5050160B2 (ja) | 2012-10-17 |
Family
ID=40050395
Family Applications (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008116257A Expired - Lifetime JP5050160B2 (ja) | 2001-10-31 | 2008-03-31 | 水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法および水晶発振器と携帯機器 |
JP2008116258A Expired - Lifetime JP4862856B2 (ja) | 2001-10-31 | 2008-03-31 | 水晶振動子と水晶ユニットと携帯機器 |
JP2009091537A Expired - Lifetime JP5103638B2 (ja) | 2001-10-31 | 2009-03-11 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器 |
JP2011208062A Expired - Lifetime JP5272167B2 (ja) | 2001-10-31 | 2011-09-05 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器および水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法 |
Family Applications After (3)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008116258A Expired - Lifetime JP4862856B2 (ja) | 2001-10-31 | 2008-03-31 | 水晶振動子と水晶ユニットと携帯機器 |
JP2009091537A Expired - Lifetime JP5103638B2 (ja) | 2001-10-31 | 2009-03-11 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器 |
JP2011208062A Expired - Lifetime JP5272167B2 (ja) | 2001-10-31 | 2011-09-05 | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器および水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (4) | JP5050160B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5724672B2 (ja) | 2011-06-24 | 2015-05-27 | セイコーエプソン株式会社 | 屈曲振動片、その製造方法、及び電子機器 |
JP5910287B2 (ja) * | 2012-04-25 | 2016-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
JP2013251672A (ja) * | 2012-05-31 | 2013-12-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、電子デバイス、電子機器および振動片の製造方法 |
CN104022754A (zh) * | 2014-06-19 | 2014-09-03 | 苏州普京真空技术有限公司 | 一种新型石英晶振片 |
CN104022753A (zh) * | 2014-06-19 | 2014-09-03 | 苏州普京真空技术有限公司 | 一种双金属晶振片 |
Family Cites Families (16)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5320845A (en) * | 1976-08-11 | 1978-02-25 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Quartz crystal watch |
JPS5335462A (en) * | 1976-09-14 | 1978-04-01 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal watch |
JPS5393792A (en) * | 1977-01-26 | 1978-08-17 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Crystal vibrator |
FR2467487A1 (fr) * | 1979-10-15 | 1981-04-17 | Ebauches Sa | Resonateur piezoelectrique |
JPS58146117A (ja) * | 1982-02-24 | 1983-08-31 | Kinseki Kk | 圧電振動子の製造方法 |
JP2756559B2 (ja) * | 1987-11-11 | 1998-05-25 | セイコーインスツルメンツ株式会社 | 圧電振動子の製造方法 |
JP3322153B2 (ja) * | 1997-03-07 | 2002-09-09 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動片 |
JPH10294631A (ja) * | 1997-04-18 | 1998-11-04 | Seiko Epson Corp | 振動子片の構造 |
JP3926000B2 (ja) * | 1997-09-26 | 2007-06-06 | シチズン電子株式会社 | 圧電振動子とその製造方法 |
JP2000004138A (ja) * | 1998-03-31 | 2000-01-07 | Seiko Epson Corp | 振動子の製造方法及び電子機器 |
WO2000005812A1 (fr) * | 1998-07-24 | 2000-02-03 | Seiko Epson Corporation | Oscillateur piezoelectrique et son procede de production |
JP3523502B2 (ja) * | 1998-09-28 | 2004-04-26 | 京セラ株式会社 | 圧電振動子用容器ならびに圧電振動子およびその製造方法 |
JP4852195B2 (ja) * | 1999-01-20 | 2012-01-11 | セイコーエプソン株式会社 | 音叉型水晶振動子 |
JP2000307368A (ja) * | 1999-04-26 | 2000-11-02 | Seiko Epson Corp | 圧電振動子の製造方法 |
JP3433728B2 (ja) * | 2000-08-11 | 2003-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
JP3812724B2 (ja) * | 2001-09-13 | 2006-08-23 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器及び電子機器 |
-
2008
- 2008-03-31 JP JP2008116257A patent/JP5050160B2/ja not_active Expired - Lifetime
- 2008-03-31 JP JP2008116258A patent/JP4862856B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2009
- 2009-03-11 JP JP2009091537A patent/JP5103638B2/ja not_active Expired - Lifetime
-
2011
- 2011-09-05 JP JP2011208062A patent/JP5272167B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2012054946A (ja) | 2012-03-15 |
JP4862856B2 (ja) | 2012-01-25 |
JP2009189039A (ja) | 2009-08-20 |
JP2008278489A (ja) | 2008-11-13 |
JP2008271565A (ja) | 2008-11-06 |
JP5272167B2 (ja) | 2013-08-28 |
JP5103638B2 (ja) | 2012-12-19 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP3646258B2 (ja) | 水晶ユニットとその製造方法 | |
JP2002204141A (ja) | 屈曲水晶振動子 | |
JP2003318699A (ja) | 水晶ユニットとその製造方法 | |
JP4862639B2 (ja) | 水晶振動子とその製造方法と水晶ユニットの製造方法 | |
JP5651822B2 (ja) | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器の各製造方法 | |
JP5272167B2 (ja) | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器および水晶振動子と水晶ユニットの各製造方法 | |
JP5066653B2 (ja) | 水晶ユニットと水晶発振器 | |
JP4822189B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法 | |
JP5103632B2 (ja) | 水晶ユニットの製造方法 | |
JP4412662B2 (ja) | 水晶ユニットの製造方法 | |
JP4868335B2 (ja) | 水晶ユニットの製造方法 | |
JP5135565B2 (ja) | 水晶振動子の製造方法と水晶ユニットの製造方法 | |
JP3749917B2 (ja) | 水晶発振器の製造方法 | |
JP2003273703A (ja) | 水晶振動子と水晶振動子の製造方法 | |
JP2004350324A (ja) | 水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器 | |
JP2004350325A (ja) | 水晶振動子、水晶ユニット、水晶発振器と携帯機器の製造方法 | |
JP4074934B2 (ja) | 水晶発振器とその製造方法 | |
JP4697196B6 (ja) | 水晶ユニットと水晶発振器の製造方法 | |
JP4697196B2 (ja) | 水晶ユニットと水晶発振器の製造方法 | |
JP2007295605A (ja) | 水晶ユニットの製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20100823 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100823 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20101020 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110118 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100823 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20110712 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20100823 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110317 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20110905 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111213 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120207 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120207 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120508 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120605 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5050160 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20180803 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |