JP2002204141A - 屈曲水晶振動子 - Google Patents

屈曲水晶振動子

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    • H03H9/215—Crystal tuning forks consisting of quartz

Abstract

(57)【要約】 【課題】 等価直列抵抗Ｒ1 の小さい超小型の音叉型屈
曲水晶振動子を提供することにある。 【解決手段】 音叉腕の中立線を挟んだ中央部の上下面
に溝を設け、当該溝と側面に電極を設け、音叉形状に構
成されている。音叉腕の中立線を挟んで溝を設けるの
で、電界が垂直に働く。その結果、電気機械変換効率が
良くなるので、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい音叉型屈曲水
晶振動子が得られる。同時に、Ｑ値が高くなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は屈曲水晶振動子の形
状及び電極構成に関する。特に、小型化、高精度化、耐
衝撃性、低廉化の要求の強い携帯機器用の基準信号源と
して最適な新形状、新電極構成の屈曲水晶振動子に関す
る。
【０００２】
【従来の技術】従来の技術としては、音叉型水晶振動子
がよく知られている。図２２にこの従来例の概観図を示
す。図２２に於いて水晶振動子２００は２本の音叉腕２
０１，２０２を具えている。励振電極は音叉腕の表裏面
と側面に配置されている。図２３には図２２の音叉腕の
断面図を示す。音叉腕の断面形状は一般的には長方形を
している。一方の音叉腕の断面の上面には電極２０３が
下面には電極２０４が配置されている。側面には電極２
０５と２０６が設けられている。他方の音叉腕の上面に
は電極２０７が下面には電極２０８が、更に側面には電
極２０９，２１０が配置され２電極端子Ｈ−Ｈ′構造を
成している。今、Ｈ−Ｈ′間に直流電圧を印加すると電
界は矢印方向に働く。その結果、一方の音叉腕が内側に
曲がると他方の音叉腕も内側に曲がる。この理由は、ｘ
軸方向の電界成分Ｅｘが各音叉腕の内部で方向が反対に
なるためである。交番電圧を印加することにより振動を
持続することができる。このように、従来の音叉型屈曲
水晶振動子は、その水晶振動子の用途に対応した、互い
に同一寸法形状の複数本の音叉腕を有している。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】音叉型屈曲水晶振動子
では、電界成分Ｅｘが大きいほど損失等価直列抵抗Ｒ1
が小さくなり、品質係数Ｑ値が大きくなる。しかしなが
ら、従来から使用されている音叉型屈曲水晶振動子は、
図２３で示したように、各音叉腕の表裏側面の４面に電
極を配置している。そのために電界が直線的に働かず、
かかる音叉型屈曲振動子を小型化させると、電界成分Ｅ
ｘが小さくなってしまい、損失等価直列抵抗Ｒ1 が大き
くなり、品質係数Ｑ値が小さくなるなどの課題が残され
ていた。このようなことから、超小型で、品質係数Ｑ値
が高くなるような新形状で、電気機械変換効率の良い電
極配置構成を具える音叉型の屈曲水晶振動子が所望され
ていた。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明は、以下の方法で
従来の課題を有利に解決した屈曲水晶振動子を提供する
ことを目的とするものである。
【０００５】すなわち、本発明の屈曲水晶振動子の第１
の態様は、音叉腕の中立線を挟んだ中央部の上下面に溝
が設けられ、当該溝には同極となる電極が、側面には異
電極が配置され、一方の音叉腕の溝の電極と他方の音叉
腕の側面電極とは同極になり、更に、一方の音叉腕の側
面電極と他方の音叉腕の溝の電極とは同極となるように
構成することにより課題を解決している。
【０００６】本発明の屈曲水晶振動子の第２の態様は、
音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕の中立線を挟んだ中央部
と、各音叉腕を連結する基部とに溝が設けられた屈曲水
晶振動子である。
【０００７】本発明の屈曲水晶振動子の第３の態様は、
前記各音叉腕の側面と溝及び前記基部の溝に電極が配置
され、且つ隣接する電極が異電極となるように構成され
た第２の態様に記載の屈曲水晶振動子である。
【０００８】本発明の屈曲水晶振動子の第４の態様は、
２個の前記音叉型屈曲水晶振動子が音叉基部で接続さ
れ、且つ、一体に形成されている第１の態様に記載の屈
曲水晶振動子である。
【０００９】本発明の屈曲水晶振動子の第５の態様は、
音叉腕と音叉基部とが一体に形成されて屈曲振動モード
で振動する音叉型屈曲水晶振動子において、前記音叉腕
の中立線を挟んだ幅方向略中央部の上下面に各々１個の
溝が設けられ、前記上下面の溝には同極となる電極が、
側面には前記溝の前記電極と異なる極の電極が配置され
るとともに、一方の前記音叉腕の溝に配置された電極と
他方の前記音叉腕の側面に配置された電極とが同極とさ
れ、更に、前記一方の音叉腕の側面に配置された電極と
前記他方の音叉腕の溝に配置された電極とが同極とされ
た屈曲水晶振動子である。
【００１０】本発明の屈曲水晶振動子の第６の態様は、
屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子の前記
音叉腕に設けられた溝の両側面に電極が配置され、前記
溝側面の電極とその電極に対抗する腕側面の電極とが互
いに異極となる２電極端子を構成された第１の態様又は
第５の態様に記載の屈曲水晶振動子である。
【００１１】本発明の屈曲水晶振動子の第７の態様は、
前記音叉腕の中立線を挟んだ中央部に設けられた溝は、
各音叉腕が連結された音叉基部にまで延在している第１
の態様又は第５の態様に記載の屈曲水晶振動子である。
【００１２】本発明の屈曲水晶振動子の第８の態様は、
音叉腕と音叉基部とを具えて構成されて屈曲振動モード
で振動する音叉型屈曲水晶振動子の前記音叉腕と連結す
る前記音叉基部の部分に複数個の溝が設けられ当該溝に
電極が配置された屈曲水晶振動子である。
【００１３】本発明の屈曲水晶振動子の第９の態様は、
前記各音叉腕と連結する前記音叉基部の部分の上下面に
各々１個の溝が設けられ前記上下面の各々の前記溝同士
の間に更に溝が設けられた第８の態様に記載の屈曲水晶
振動子である。
【００１４】本発明の屈曲水晶振動子の第１０の態様
は、上下面の溝の音叉基部の厚さ方向に対抗して配置さ
れた電極は互いに同極となるようにされ、且つ、同一面
の隣接する溝の側面に対抗して配置された電極は互いに
異極となるように配置されている第８の態様又は第９の
態様に記載の屈曲水晶振動子である。
【００１５】本発明の屈曲水晶振動子の第１１の態様
は、音叉腕と音叉基部とを具えて構成され一体に形成さ
れる音叉型屈曲水晶振動子において、前記音叉腕の幅方
向の上下面に各々１個の段差を設け前記段差の段差部に
電極が配置され前記電極に対抗する前記音叉腕の側面に
は異極となる電極が配置されている屈曲水晶振動子であ
る。
【００１６】本発明の屈曲水晶振動子の第１２の態様
は、複数個の前記音叉型屈曲水晶振動子が前記音叉基部
で互いに接続され、且つ、一体に形成されている第５の
態様又は第８の態様又は第１１の態様に記載の屈曲水晶
振動子である。
【００１７】
【作用】このように、本発明は音叉型屈曲水晶振動子
で、しかも、音叉腕の中立線を挟んだ中央部に溝を設
け、且つ、電極を配置することにより、電気的諸特性に
優れた超小型の音叉屈曲水晶振動子が得られる。
【００１８】加えて、音叉腕に設けた溝を、各音叉腕と
連結する音叉基部の部分まで延在させることで、音叉基
部における歪の量を著しく大きくさせることができる。
これにより、等価直列抵抗Ｒ1 が小さくなり、品質係数
Ｑ値の高い超小型の音叉型の屈曲水晶振動子を得ること
ができる。
【００１９】
【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づき具体的
に述べる。 （実施例１）図１は、本発明の第１実施例の音叉型屈曲
水晶振動子１の外観図とその座標系を示すものである。
座標系は原点０、電気軸ｘ、機械軸ｙ、光軸ｚからなり
０−ｘｙｚを構成している。本実施例の音叉型屈曲水晶
振動子１は音叉腕２、音叉腕３と音叉基部４とから成
り、音叉腕２と音叉腕３とは音叉基部４に接続されてい
る。更に、音叉腕２の上面には中立線を挟んで溝５が設
けられ、又、音叉腕３の上面には音叉腕２と同様に溝１
１が設けられている。なお、角度θは、ｘ軸廻りの回転
角であり、通常、０〜１０°の範囲で選ばれる。
【００２０】図２は図１の音叉型屈曲水晶振動子１の断
面図を示す。ここでは、図１中の、音叉腕２のＡ−Ａ′
断面図を、図２において紙面の右側に示し、又、図１中
の、音叉腕３のＢ−Ｂ′断面図を図２において紙面の左
側に示す。音叉腕２の上下面には中立線１７（図３参
照）を挟んで溝５，６が設けられている。更に、溝５に
は電極７が、溝６には電極８が配置され、その側面には
電極９，１０が配置されていて、電極７，８と電極９，
１０とは異電極となるように構成されている。
【００２１】音叉腕３の上下面にも音叉腕２と同様に中
立線１８（図３参照）を挟んで溝１１，１２が設けられ
ている。そして、溝１１には電極１３が、溝１２には電
極１４が配置されている。更に、その側面には電極１
５，１６が配置されていて、電極１３，１４と電極１
５，１６とは互いに異電極となるように構成されてい
る。又、音叉腕２と音叉腕３との電極は図２に示すよう
に接続されて、２電極端子構造Ｃ−Ｃ′を形成する。
今、電極端子Ｃ−Ｃ′間に直流電圧を印加すると、音叉
腕２と音叉腕３とには電界Ｅｘが各矢印方向に働く。こ
の電界Ｅｘは音叉腕内で電極に垂直に、すなわち直線的
に働くので、電界Ｅｘが大きくなり、歪の発生が大きく
なる。その結果、音叉型屈曲水晶振動子１を小型化した
場合でも損失等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値
の高い音叉型屈曲水晶振動子が得られる。
【００２２】図３は図１の音叉型屈曲水晶振動子１の上
面図を示す。図３では溝５，１１の配置及び寸法等を詳
述する。すなわち、この実施例の音叉型屈曲水晶振動子
１には、音叉腕２の中立線１７を挟むようにして溝５が
設けられ、他方の音叉腕３にも中立線１８を挟んで溝１
１が設けられている。そして、それら溝５および溝１１
の幅Ｗ2 は、中立線１７と中立線１８とを挟んだ寸法と
することが好ましい。この理由は、屈曲モードを引き起
こすとき、音叉腕２，３の振動を容易にすることができ
るからである。これにより、等価直列抵抗Ｒ1 を小さく
することができ、品質係数Ｑ値の高い振動子を実現でき
る。
【００２３】更に、音叉腕２，３の全幅ＷはＷ＝Ｗ1 ＋
Ｗ2 ＋Ｗ3 で与えられ、通常はＷ1＝Ｗ3 となるように
設計される。又、溝幅Ｗ2 はＷ2 ≧Ｗ1 ，Ｗ3 を満足す
る条件で設計される。一方、溝５および溝１１の長さｌ
1 については、溝５，１１が、音叉腕２，３から音叉基
部４の長さｌ2 にまで延在するような寸法とされてい
る。また、音叉型水晶振動子１の全長ｌは要求される周
波数や収納容器の大きさから決定される。なお、図４は
図３の音叉型水晶振動子１を下方からみた図で、厚さｔ
の振動子であることを示している。また、この実施例で
は、音叉基部４は、図３中、振動子１の長さｌ2 の下側
部分全体とされ、又、音叉腕２及び音叉腕３は、図３
中、振動子１の長さｌ2の部分から上側の部分全体とさ
れている。（以下、その他の実施例についても、音叉腕
および音叉基部を同様に定義するものとする。）
【００２４】（実施例２）図５は、本発明の第２実施例
の音叉型屈曲水晶振動子１９の外観図とその座標系を示
すものである。この実施例の音叉型屈曲水晶振動子１９
では、先に述べた第１実施例における音叉型屈曲水晶振
動子１と同様に、音叉腕２０と音叉腕２６とに、溝２１
と溝２７とがそれぞれ設けられるとともに、さらに、音
叉基部４０に、溝３２と溝３６とが設けられている。
【００２５】図６は、図５の音叉型屈曲水晶振動子１９
の音叉基部４０のＤ−Ｄ′断面図を示す。図６では図５
の水晶振動子の音叉基部４０の断面形状並びに電極配置
について詳述する。音叉腕２０と連結する音叉基部４０
には溝２１，２２が設けられている。同様に、音叉腕２
６と連結する音叉基部４０には溝２７，２８が設けられ
ている。更に、溝２１と溝２７との間には溝３２と溝３
６とが設けられている。又、溝２２と溝２８との間には
溝３３と溝３７とが設けられている。そして、溝２１と
溝２２とには電極２３，２４が、溝３２と溝３３とには
電極３４，３５が、溝３６と溝３７とには電極３８，３
９が、溝２７と溝２８とには電極２９，３０が配置さ
れ、音叉基部４０の両側面には電極２５，３１が配置さ
れている。
【００２６】更に、電極２５，２９，３０，３４，３５
は一方の同極に、電極２３，２４，３１，３８，３９は
他方の同極になるように配置されていて、２電極端子構
造Ｅ−Ｅ′を構成する。即ち、ｚ軸方向に対抗する溝電
極は同極に、且つ、ｘ軸方向に隣接する電極は異極にな
るように構成されている。今、２電極端子Ｅ−Ｅ′に直
流電圧を印加（Ｅ端子に正、Ｅ′端子に負）すると電界
Ｅｘは図６に示した矢印のように働く。電界Ｅｘは水晶
振動子の側面と溝内の側面とに配置された電極により電
極に垂直に、即ち、直線的に引き出されるので、電界Ｅ
ｘが大きくなり、その結果、発生する歪の量も大きくな
る。従って、音叉型屈曲水晶振動子を小型化させた場合
でも、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値の高い
音叉型屈曲水晶振動子が得られる。
【００２７】図７は図５の音叉型屈曲水晶振動子１９の
上面図を示すものである。図７では溝２１，２７の配置
について特に詳述する。音叉腕２０の中立線４１を挟む
ようにして溝２１が設けられている。他方の音叉腕２６
も中立線４２を挟むようにして溝２７が設けられてい
る。更に、本実施例の音叉型屈曲水晶振動子１９では、
音叉基部４０の、溝２１と溝２７との間に挟まれた部分
にも溝３２と溝３６とが設けられている。それら溝２
１，２７及び溝３２，３６を設けたことで、音叉型屈曲
水晶振動子１９には、先に述べたように、電界Ｅｘが図
６に示した矢印のように働き、電界Ｅｘは水晶振動子の
側面と溝内の側面とに配置された電極により電極に垂直
に、即ち、直線的に引き出されるので、電界Ｅｘが大き
くなり、その結果、発生する歪の量も大きくなる。この
ように、本実施例の音叉型屈曲水晶振動子１９の形状と
電極構成とは、音叉型屈曲水晶振動子を小型化した場合
でも電気的諸特性に優れた、即ち、等価直列抵抗Ｒ1 の
小さい、品質係数Ｑ値の高い水晶振動子を実現できる。
尚、幅寸法Ｗ＝Ｗ1 ＋Ｗ2 ＋Ｗ3 と長さ寸法ｌ1 ，ｌ2
とについては先に述べた実施例１と同様の寸法条件とす
ることが望ましく、これらの寸法条件は、既に図３の説
明の際に詳述したので、ここでは省略する。
【００２８】（実施例３）図８は、本発明の第３実施例
の音叉型屈曲水晶振動子の上面図である。この実施例の
音叉型屈曲水晶振動子は、各々二本の音叉腕を持つ２個
の音叉型屈曲水晶振動子１０１および１０２を、角度φ
にて、互いの音叉基部１０３で一体に形成したものであ
る。又、一方の音叉型屈曲水晶振動子１０１の音叉腕１
０４と音叉腕１０６とには各々溝１０５と溝１０７とが
設けられている。他方の音叉型屈曲水晶振動子１０２の
音叉腕１０８と音叉腕１１０とには溝１０９と溝１１１
とが設けられている。このように両音叉型屈曲水晶振動
子１０１，１０２に角度φを持たせると、各水晶振動子
には異なる周波数温度特性を持たせることができる。更
に、これらの水晶振動子を電気的に並列に接続すること
により、音叉型屈曲水晶振動子の周波数温度特性を改善
することができる。また図９に、両音叉型屈曲水晶振動
子１０１，１０２の電気的な接続図を示す。
【００２９】図１０に上記実施例の音叉型屈曲水晶振動
子の周波数温度特性の一例を示す。図８の、一方の振動
子１０１が温度特性１２０を、他方の振動子１０２が温
度特性１２１を有する場合、電気的に並列に接続される
と両水晶振動子の周波数温度特性は曲線１２２のように
なる。即ち、本実施例の音叉型屈曲振動子は、曲線１２
２に示すような周波数温度特性を有することとなり、こ
れにより、温度変化に対して周波数変化の少ない安定し
た特性の水晶振動子とすることができる。この結果、本
実施例の音叉型屈曲水晶振動子は超小型で、しかも、周
波数温度特性に優れた水晶振動子を実現できる。
【００３０】（実施例４）図１１は、本発明の第４実施
例の音叉型屈曲水晶振動子の形状を示す上面図である。
この実施例の音叉型屈曲水晶振動子は、先に述べた第３
実施例における音叉型屈曲水晶振動子と同様に、２つの
音叉型屈曲水晶振動子１３０と音叉型屈曲水晶振動子１
３１とが互いの音叉の基部１３２を介して互いに大略平
行な状態で一体に形成されたものである。また、図８に
示すように第３実施例における音叉型屈曲水晶振動子で
は両振動子間に角度φを設けたが、本実施例では、振動
子の外形寸法ｘ1 ，ｙ1 とｘ2 ，ｙ2 とを換えることに
より各振動子の周波数温度特性を変えている。音叉型屈
曲水晶振動子の場合、周波数温度特性は幅x 1 と長さｙ
1 との比（ｘ1 ／ｙ1 ）あるいは幅ｘ2 と長さｙ2 との
比（ｘ2 ／ｙ2 ）によって変わるので、各水晶振動子が
異なる値を持つように設計する。その結果、前述の図１
０で示したような周波数温度特性１２２と同様に周波数
温度特性に優れた水晶振動子が得られる。
【００３１】更に、図１１の振動子形状について詳述す
ると、上述のように、一方の音叉型屈曲水晶振動子１３
０は他方の音叉型屈曲水晶振動子１３１と両振動子音叉
基部１３２で一体に接続されて形成されている。そし
て、音叉型屈曲水晶振動子１３０の音叉腕１３３，１３
５には溝１３４，１３６が、更にその振動子１３０の音
叉基部に溝１３７，１３８が設けられている。一方の音
叉型屈曲水晶振動子１３１の音叉腕１３９，１４１には
溝１４０，１４２が、又、その振動子１３１の音叉基部
に溝１４３，１４４が設けられている。
【００３２】かかる溝１３７，１３８，１４３，１４４
を設けたことにより、それぞれの振動子１３０，１３１
の音叉基部に発生する歪が大きくなるので、等価直列抵
抗Ｒ 1 の小さい音叉型屈曲振動子が得られる。そして、
このような両音叉型屈曲水晶振動子１３０，１３１が音
叉基部１３２で一体に接続されて形成されるので、小型
化ができ、かつ、周波数温度特性の異なる２つの水晶振
動子を容易に得ることができるとともに、これらの振動
子を電気的に並列に接続することにより、より周波数温
度特性に優れた音叉型屈曲水晶振動子を実現できる。
【００３３】（実施例５）図１２は、本発明の第５実施
例の音叉型屈曲水晶振動子１４５の上面図である。音叉
型屈曲水晶振動子１４５は、音叉腕１４６，１４７と音
叉基部１４８とを具えて構成されている。即ち、音叉腕
１４６，１４７の一端部が音叉基部１４８に接続されて
いる。本実施例では、音叉基部１４８にのみ複数個の溝
１４９，１５０，１５１，１５２が設けられている。
又、図１２には示されていないが、音叉基部１４５の裏
面にも溝１４９，１５０，１５１，１５２と対抗する位
置に複数個の溝が設けられている。又、溝１４９と溝１
５０とは、音叉腕１４６と音叉腕１４７との各々の一端
部が接続された音叉基部１４８内に設けられている。
【００３４】更に、溝１５１と溝１５２は、音叉基部１
４８の、溝１４９と溝１５０との間に挟まれた部分に設
けられている。また、図１２では、電極配置及びその構
成法は図示されていないが、前述の第２実施例において
図６で説明した電極配置とその構成方法は同じである。
このように溝１４９，１５０，１５１，１５２を全て音
叉基部１４８に設けるとともに第２実施例と同様の電極
構成とすることにより、音叉基部１４８に発生する歪が
大きくなるので、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい音叉型屈曲
振動子が得られる。
【００３５】（実施例６）図１３は、本発明の第６実施
例の音叉型屈曲水晶振動子１５３を示す上面図である。
本実施例の音叉型屈曲水晶振動子１５３は、音叉腕１５
４，１５５と音叉基部１５６とを具えて構成されてい
る。音叉腕１５４と音叉腕１５５とには、音叉基部１５
６にまで延在して設けられた溝１５７と溝１５８とが存
在する。又、音叉基部１５６の、溝１５７と溝１５８と
の間に挟まれた部分には、溝１５９が設けられている。
【００３６】図１４は、図１３の音叉型屈曲水晶振動子
１５３の音叉基部１５６のＦ−Ｆ′断面の形状を示すも
のである。ここでは、図１３の水晶振動子１５３の音叉
基部１５６の断面形状並びに電極配置について詳述す
る。図１４に示すように、この実施例の水晶振動子１５
３では、音叉腕１５４とその腕に連結する音叉基部１５
６との上下面に溝１５７と溝１６０とが互いに対抗して
設けられている。同様に、音叉腕１５５とその腕に連結
する音叉基部１５６との上下面にも溝１５８と溝１６１
とが互いに対抗して設けられている。更に、溝１５７と
溝１５８との間には、溝１５９が設けられ、又、溝１６
０と溝１６１との間には溝１６２が溝１５９に対抗して
設けられている。
【００３７】そして、溝１５７と溝１６０とには同極と
なる電極１６３と電極１６４とが、溝１５９と溝１６２
とには、電極１６５，１６６と電極１６７，１６８と
が、溝１５８と溝１６１とには、同極となる電極１６９
と電極１７０とがそれぞれ配置され、音叉基部１５６の
両側面（図１４中紙面の左右方向に向く面）には、互い
に異極となる電極１７１と電極１７２とが配置されてい
る。しかも、溝１５７，１５８，１５９，１６０，１６
１，１６２によって形成された音叉基部１５６の凸部を
挟んで対抗配置された電極は互いに異極となっている。
即ち、電極１６５，１６７，１６９，１７０，１７１は
一方の同極に、電極１６３，１６４，１６６，１６８，
１７２は他方の同極になるように配置されていて、２電
極端子構造Ｇ−Ｇ′を構成する。これにより、溝１５９
には異極となる電極１６５と電極１６６とが配置され、
同様に、溝１６２にも異極となる電極１６７と電極１６
８とが配置されることとなる。更に、ｘ軸方向に隣接す
る溝の側面に配置された対抗電極は異極となるように配
置される。
【００３８】即ち、本実施例では、溝１５９側の一方の
側面に配置された電極１６５とそれに対抗する側面の電
極１７３とは異極に、同様に、他方の側面に配置された
電極１６６とそれに対抗する側面の電極１７４とは異極
に、全く同様に、溝１６２側の一方の側面の電極１６７
とそれに対抗する側面の電極１７５並びに、他方の側面
の電極１６８とそれに対抗する側面の電極１７６とは互
いに異極となるように配置されている。又、溝１５７と
それに対抗する厚さ（ｚ方向）の溝１６０に配置された
電極１６３と電極１６４とは同極になるように構成され
ている。全く同様に、溝１５８とそれに対抗する厚さ
（ｚ方向）の溝１６１とに配置された電極１６９と電極
１７０とは同極になるように構成される。更に、溝１５
７，１６０，１５８，１６１に配置された電極１６３，
１６４，１６９，１７０及び音叉基部１５６の側面の電
極１７１と電極１７２とは、音叉基部１５６から音叉腕
１５４，１５５まで延在して配置されている。
【００３９】今、２電極端子Ｇ−Ｇ′間に交番電圧を印
加すると電界Ｅｘは、図１４中、実線と点線とで示した
矢印方向に交互に働き、屈曲振動を引き起こす。又、電
界Ｅｘは、溝の側面に配置された電極間に電極に対して
垂直に、即ち直線的に生じるので、電界Ｅｘが大きくな
り、且つ、音叉基部１５６にも溝１５９，１６２と電極
１６５，１６６，１６７，１６８とが設けられているの
で、発生する歪の量が著しく大きくなる。即ち、音叉型
屈曲水晶振動子を小型化させた場合でも、等価直列抵抗
Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値の高い屈曲水晶振動子が得
られる。
【００４０】（実施例７）図１５は、本発明の第７実施
例の音叉型屈曲水晶振動子３００の外観図とその座標系
を示すものである。そして、図１６は、図１５の振動子
３００の上面図であり、又、図１７は、図１６の音叉型
屈曲水晶振動子３００のＩ−Ｉ′断面の形状を示す断面
図である。図１５に示すように、振動子３００の座標系
は水晶の結晶軸であるｘ軸（電気軸）廻りに回転角θ度
回転されている。そして、水晶の結晶軸であるｙ軸（機
械軸）およびｚ軸（光軸）の回転後の新軸はそれぞれ
ｙ′軸又はｚ′軸とされており、かかる角度θは通常０
°〜１０°の範囲内の角度に設定される。この音叉型屈
曲水晶振動子３００は、音叉腕３０１と音叉腕３０２と
音叉基部３０３とを具えて構成された、厚さｔを有する
ものである。さらに、音叉腕３０１には段差が設けられ
て、上面部３０１ａと中面部３０１ｂとの間に段差部
（上面部３０１ａの内側面）３０４が形成され、その中
面部３０１ｂおよび段差部３０４は音叉基部３０３にま
で延在している。又、音叉腕３０２の上面にも音叉腕３
０１と同様に図１６及び図１７に示すように中面部３０
２ｂおよび段差部３０５が形成されている。そして、音
叉基部３０３にも、上面部３０３ａ，中面部３０３ｂ及
び段差部３０６が形成されている。
【００４１】即ち、図１６に示すように、この振動子３
００の音叉腕３０１には段差部３０４が、一方、音叉腕
３０２には段差部３０５が、それぞれ音叉基部３０３に
まで延在して設けられ、それら段差部３０４及び段差部
３０５は、音叉基部３０３の段差部３０６にそれぞれ接
続されている。
【００４２】さらに、図１７に示すように、音叉腕３０
１の下面にも上面と同様に段差が設けられて、下面部３
０１ｃと中面部３０１ｄとの間に段差部３０７が形成さ
れ、その段差部３０７は音叉基部３０３にまで延在して
いる。ここで、上面の段差部３０４は、音叉腕３０１の
内側に向き、また、下面の段差部３０７は、音叉腕３０
１の外側に向いている。そして、段差部３０４には電極
３０８が、中面部３０１ｂにはその電極３０８に連なる
電極３０９が配置されている。一方、段差部３０７には
電極３１０が、中面部３０１ｄにはその電極３１０に連
なる電極３１１が配置されている。また、音叉腕３０１
の、段差部３０４に配置された電極３０８に対抗する側
面（音叉腕３０１の上面部３０１ａの外側面）には電極
３１２が配置され、段差部３０７に配置された電極３１
０に対抗する側面（音叉腕３０１の下面部３０１ｃの内
側面）には電極３１３が配置されている。
【００４３】このように電極を配置することにより、電
界Ｅｘは電極３０８と電極３１２間及び電極３１０と電
極３１３間でそれら電極に垂直に働く。これと同様に音
叉腕３０２にも、音叉腕３０１と左右対称に段差が設け
られて各電極が配置されている。即ち、音叉腕３０２
の、上面と下面とには段差部３０５，３１４，上面部３
０２ａ及び中面部３０２ｂが設けられ、段差部３０５に
は電極３１５が、中面部３０２ｂにはその電極３１５に
連なる電極３１６が配置されている。又、段差部３１４
には電極３１７が、上面部３０２ａにはその電極３１７
に連なる電極３１８が配置されている。更に、音叉腕３
０２の、電極３１５に対抗する側面（音叉腕３０２の上
面部３０２ａの外側面）には電極３１９が、電極３１７
に対抗する側面（音叉腕３０２の中面部３０２ｂの内側
面）には電極３２０が配置されている。更に、電極構成
について詳述すると、電極３０８，３０９，３１０，３
１１，３１９，３２０は一方の同極に、電極３１２，３
１３，３１５，３１６，３１７，３１８は他方の同極に
されて２電極端子Ｋ−Ｋ′を構成している。
【００４４】今、電極端子Ｋ−Ｋ′に交番電圧を印加す
ると、電界Ｅｘは図１７の実線と点線との矢印で示すよ
うに電極間に垂直かつ交互に働き、屈曲振動を容易に引
き起こすことができる。この結果、損失等価直列抵抗Ｒ
1 の小さい、品質係数Ｑ値の高い音叉型屈曲水晶振動子
が得られる。
【００４５】（実施例８）図１８は、本発明の第８実施
例の音叉型屈曲水晶振動子３２１の外観図とその座標系
を示すものである。そして、図１９は、図１８の振動子
３２１の上面図であり、又、図２０は、図１９の音叉型
屈曲水晶振動子３２１のＪ−Ｊ′断面の形状を示す断面
図である。なお、本実施例の座標系は図１５に示す座標
系と同じである。ここでの音叉型屈曲水晶振動子３２１
は、音叉腕３２２と音叉腕３２３と音叉基部３２４とを
具えて構成され、厚みｔを有している。
【００４６】さらに、音叉腕３２２には段差が設けられ
て、図１８及び図２０に示すように、上面部３２２ａ，
中面部３２２ｂ，中面部３２２ｄ及び下面部３２２ｃが
形成されるとともに、段差部（上面部３２２ａの内側
面）３２５が形成され、その中面部３２２ｂおよび段差
部３２５は音叉基部３２４にまで延在している。又、音
叉腕３２３の上面にも音叉腕３２２と同様に図１９及び
図２０に示すように中面部３２３ｂおよび段差部３２６
が形成されている。そして、音叉基部３２４にも、上面
部３２４ａ，中面部３２４ｂおよび下面部３２４ｃ（図
示されていない）及び段差部３２７が形成されている。
【００４７】即ち、図１９と図２０に示すように、音叉
腕３２２および音叉腕３２３には段差部３２５と段差部
３２６が設けられ、それら段差部３２５，３２６は、音
叉基部３２４にまで延在し、段差部３２７に接続されて
いる。さらに、音叉腕３２２の上面には段差部３２５と
下面には段差部３２８とが設けられ、又、音叉腕３２３
の上面には段差部３２６と下面には段差部３２９とが設
けられている。
【００４８】ここで、上面の段差部３２５および下面の
段差部３２８は音叉腕３２２の内側に向き、上面の段差
部３２６および下面の段差部３２９は音叉腕３２３の内
側に向いている。そして、段差部３２５には電極３３０
が、中面部３２２ｂにはその電極３３０に連なる電極３
３１が配置され、又、段差部３２８には電極３３２が、
中面部３２２ｄにはその電極３３２に連なる電極３３３
が配置される。更に、音叉腕３２２の内側面には電極３
３４が、音叉腕３２２の外側面には電極３３５が配置さ
れている。これにより、電極３３０および電極３３２に
対抗するように異極の電極３３５が配置されることとな
る。
【００４９】かかる音叉腕３２２と同様に、音叉腕３２
３にも音叉腕３２２と左右対称に段差が設けられて各電
極が配置されている。即ち、音叉腕３２３には、段差部
３２６，３２９，上面部３２３ａ，中面部３２３ｂ，中
面部３２３ｄ及び下面部３２３ｃが設けられ、段差部３
２６には電極３３６が、中面部３２３ｂにはその電極３
３６に連なる電極３３７が配置される一方、段差部３２
９には電極３３８が、中面部３２３ｄにはその電極３３
８に連なる電極３３９が配置されている。又、音叉腕３
２３の内側面には電極３４０が、音叉腕３２３の外側面
には電極３４１が配置されることから、電極３３６およ
び電極３３８に対抗するように異極の電極３４１が配置
された構成となる。さらに、図２０に示すように、電極
３３０，３３１，３３２，３３３，３４０，３４１は一
方の同極に、電極３３４，３３５，３３６，３３７，３
３８，３３９は他方の同極にされ、２電極端子Ｌ−Ｌ′
を構成する。
【００５０】今、２電極端子Ｌ−Ｌ′に交番電圧を印加
すると、電界Ｅｘは図２０の実線と点線との矢印で示す
ように電極間に垂直かつ交互に働き、屈曲振動を容易に
引き起こすことができる。この結果、損失等価直列抵抗
Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値の高い音叉型屈曲水晶振動
子が得られる。なお、本実施例では、音叉腕３２２，３
２３の内側に中面部３２２ｂ，３２２ｄ，３２３ｂ，３
２３ｄを設けているが、音叉腕３２２，３２３の外側に
中面部を設けても同様の効果を有する。
【００５１】（実施例９）図２１は、本発明の第９実施
例の音叉型屈曲水晶振動子３４２の上面図を示すもので
ある。本実施例では、複数個の音叉型屈曲水晶振動子と
しての、３個の音叉型屈曲水晶振動子３４３，３４４，
３４５が音叉基部で接続されて一体に形成されている。
なお、各振動子３４３，３４４，３４５は、上記第７実
施例における音叉型屈曲水晶振動子３００又は第８実施
例における音叉型屈曲水晶振動子３２１と同様に、段差
の形成されたものを用いている。ここでは、第１の振動
子３４３は、音叉腕３４６と音叉腕３４７と音叉基部３
４８とを具えて構成されている。又、第２の振動子３４
４は、音叉腕３４９と音叉腕３５０と音叉基部３５１と
を具えて構成されている。更に、第３の振動子３４５
は、音叉腕３５２と音叉腕３５３と音叉基部３５４とを
具えて構成されている。
【００５２】そして、第１の振動子３４３と第２の振動
子３４４とは、音叉基部３４８と音叉基部３５１とが基
部部分３５５を介して一体に形成されている。同様に、
第２の振動子３４４と第３の振動子３４５とは、音叉基
部３５１と音叉基部３５４とが基部部分３５６を介して
一体に形成されている。これらの振動子３４３，３４
４，３４５は、音叉腕の幅と音叉腕の長さの比が互いに
異なるように設計されている。このようにすることによ
り、周波数温度特性の互いに異なる三種類の音叉型屈曲
水晶振動子３４３，３４４，３４５が一体として（１個
の水晶振動子として）得られる。又、これらの振動子３
４３，３４４，３４５を電気的に並列に接続することに
より、第３および第４実施例と同様にして周波数温度特
性を改善することができる。なお、本実施例では３個の
振動子について説明したが、より多くの振動子を接続し
ても同様の効果が得られる。
【００５３】更に、複数個の音叉型屈曲水晶振動子が音
叉基部で接続され一体に形成された各音叉型屈曲水晶振
動子の振動モードは、各振動子が同じ振動モードで振動
するように各振動子に電極を配置しても良く、あるいは
隣接する振動子の振動モードが互いに逆相になるように
各振動子に電極を配置しても良い。又、第３，第４実施
例及び第９実施例の音叉型屈曲水晶振動子では、各振動
子の音叉基部の側面で接続され一体に形成されている
が、本発明では、音叉基部の側面での接続、一体形成に
限定されるものでなく、音叉基部での接続、一体形成で
あればいかなる形状での接続、一体形成をも包含するも
のである。
【００５４】以上、図示例に基づき説明したが、この発
明は上述の例に限定されるものではなく、例えば、上記
第３，第４実施例及び第９実施例における音叉型水晶振
動子では、二本の音叉腕を有する音叉型屈曲水晶振動子
であって互いに特性が異なる二種類又は三種類の屈曲振
動子を一体に結合して形成しているが、一体結合する各
音叉型屈曲振動子は、三本以上の複数本の音叉腕を有す
るものであっても良く、また一体結合する音叉型屈曲振
動子の種類は四種類以上であっても良い。
【００５５】更に、第３実施例では、２個の音叉型屈曲
水晶振動子を角度φにて、互いの音叉基部で一体に形成
しているが、各振動子の音叉基部は平行にして角度φを
二本の音叉腕が内側に向くように、あるいは外側に向く
ように形成しても良い。
【００５６】
【発明の効果】以上述べたように、本発明の屈曲水晶振
動子のような、振動子形状と電極とを有する音叉型屈曲
水晶振動子を提供することにより、次の如き著しい効果
が得られる。 （１）音叉腕の中立線を挟んで溝を設けることにより、
電界が垂直に働く。その結果、電気機械変換効率が良く
なるので、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい音叉型屈曲水晶振
動子が得られる。同時に、品質係数Ｑ値が高くなる。 （２）屈曲水晶振動子を小型化させた場合でも等価直列
抵抗Ｒ1 を小さくすることができる。 （３）２個の音叉型屈曲水晶振動子をエッチング法によ
って一体に形成でき、小型で周波数温度特性に優れた水
晶振動子を実現できる。 （４）水晶振動子をエッチング法によって形成できるの
で、量産性に優れ、１枚のウエハ上に多数個の振動子を
一度にバッチ処理にて形成できるので、安価な水晶振動
子が実現できる。 （５）本発明の振動子は音叉形状に加工されるので、リ
ード線等の支持による振動エネルギー損失が小さくな
り、耐衝撃性に優れた音叉型の屈曲水晶振動子が得られ
る。 （６）音叉基部に複数個の溝を設け、隣接する溝の側面
に対抗して異極となる電極が配置されるので、歪の発生
量を著しく大きくすることができる。その結果、等価直
列抵抗Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値の高い超小型の音叉
型の屈曲水晶振動子が得られる。 （７）音叉腕の中立線を挟んで溝を設け、当該溝に電極
を配置し、かかる溝が音叉基部にまで延在しているの
で、音叉基部での歪の量が著しく大きくなる。それ故、
等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値の高い超小型
の音叉型の屈曲水晶振動子が得られる。 （８）音叉腕の幅方向の上下面に段差を設けることによ
り形成される段差部に電極が配置され、前記電極に対抗
する音叉腕の側面には前記電極と異極となる電極が配置
されているので、電気機械変換効率が非常に良くなる。
その結果、等価直列抵抗Ｒ1 の小さい、品質係数Ｑ値の
高い音叉型屈曲水晶振動子が実現できる。 （９）音叉腕に段差を設けているので、十分な電気機械
変換効率を維持したまま音叉腕の幅を著しく小さくでき
る。即ち、小型化が可能である。 （１０）複数個の音叉型屈曲水晶振動子を一体に形成
し、更に、電気的に並列に接続されるので等価直列抵抗
Ｒ1 が小さくなる。例えば、２個の場合で同じ等価直列
抵抗Ｒ1 を有する時、本発明の振動子では半分の等価直
列抵抗Ｒ1 になる。それゆえ、一体結合する振動子の個
数を増やすことができ、これにより、更に等価直列抵抗
Ｒ1 を小さくすることができる。 （１１）複数個の音叉型屈曲水晶振動子を一体に形成す
るので、何らかの理由でそれら振動子のうちの１個が破
損しても、振動子としての機能を維持することができ
る。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の屈曲水晶振動子の第１実施例の音叉
型屈曲水晶振動子の音叉形状の具体例の外観図とその座
標系を示す。
【図２】 図１の音叉腕Ａ−Ａ′断面図とＢ−Ｂ′断面
図である。
【図３】 図１の音叉型屈曲水晶振動子の上面図であ
る。
【図４】 図３の音叉型屈曲水晶振動子を下方から見た
図である。
【図５】 本発明の屈曲水晶振動子の第２実施例の、音
叉型屈曲水晶振動子の音叉形状の具体例の外観図とその
座標系を示す。
【図６】 図５の音叉型屈曲水晶振動子の音叉基部Ｄ−
Ｄ′断面図である。
【図７】 図５の音叉型屈曲水晶振動子の上面図であ
る。
【図８】 本発明の屈曲水晶振動子の第３実施例の音叉
型屈曲水晶振動子の上面図である。
【図９】 図８の音叉型屈曲水晶振動子の電気的な接続
図である。
【図１０】 上記第３実施例の音叉型屈曲水晶振動子の
周波数温度特性の一例を示す関係線図である。
【図１１】 本発明の屈曲水晶振動子の第４実施例の音
叉型屈曲水晶振動子の上面図である。
【図１２】 本発明の屈曲水晶振動子の第５実施例の、
音叉型屈曲水晶振動子の上面図である。
【図１３】 本発明の屈曲水晶振動子の第６実施例の、
音叉型屈曲水晶振動子を示す上面図である。
【図１４】 図１３の音叉型屈曲水晶振動子の音叉基部
のＦ−Ｆ′断面図である。
【図１５】 本発明の屈曲水晶振動子の第７実施例の、
音叉型屈曲水晶振動子の外観図とその座標系を示す。
【図１６】 上記第７実施例の、音叉型屈曲水晶振動子
の上面図である。
【図１７】 図１６の音叉腕のＩ−Ｉ′断面の形状を示
す断面図である。
【図１８】 本発明の屈曲水晶振動子の第８実施例の、
音叉型屈曲水晶振動子の外観図とその座標系を示す。
【図１９】 図１８の音叉型屈曲振動子を示す上面図で
ある。
【図２０】 図１９の音叉腕のＪ−Ｊ′断面の形状を示
す断面図である。
【図２１】 本発明の屈曲水晶振動子の第９実施例の、
音叉型屈曲水晶振動子の外観図とその座標系を示す。
【図２２】 従来の音叉型の屈曲水晶振動子をその座標
系とともに示す斜視図である。
【図２３】 図２２の従来の音叉型の屈曲水晶振動子の
音叉腕を示す断面図である。
【符号の説明】
ｘ，ｙ，ｚ 水晶の結晶軸 １，１９，１０１，１０２，１３０，１３１，１４５，
１５３，２００，３００，３２１，３４２，３４３，３
４４，３４５ 音叉型屈曲水晶振動子 ２，３，２０，２６，１０４，１０６，１０８，１０
９，１３３，１３５，１３９，１４１，１４６，１４
７，１５４，１５５，２０１，２０２，３０１，３０
２，３２２，３２３，３４６，３４７，３４９，３５
０，３５２，３５３ 音叉腕 ５，６，１１，１２，２１，２２，２７，２８，３２，
３３，３６，１０５，１０７，１０９，１１１，１３
４，１３６，１３７，１３８，１４０，１４２，１４
３，１４４，１４９，１５０，１５１，１５２，１５
７，１５８，１５９，１６０，１６１，１６２ 溝 ４，４０，１０３，１３２，１４８，１５６，３０３，
３２４，３４８，３５１，３５４ 音叉基部 ３５５，３５６ 基部部分 ７，８，９，１０，１３，１４，１５，１６，２３，２
４，２５，２９，３０，３１，３４，３５，３８，３
９，１６３，１６４，１６５，１６６，１６７，１６
８，１６９，１７０，１７１，１７２，２０３，２０
４，２０５，２０６，２０７，２０８，２０９，２１
０，３０８，３０９，３１０，３１１，３１２，３１
３，３１５，３１６，３１７，３１８，３１９，３２
０，３３０，３３１，３３２，３３３，３３４，３３
５，３３６，３３７，３３８，３３９，３４０，３４１
電極 １７，１８，４１，４２ 音叉腕の中立線 ３０４，３０５，３０６，３０７，３１４，３２５，３
２６，３２７，３２８，３２９ 段差部 ３０１ａ，３０２ａ，３０３ａ，３２２ａ，３２３ａ，
３２４ａ 上面部 ３０１ｂ，３０１ｄ，３０２ｂ，３０２ｄ，３０３ｂ，
３２２ｂ，３２２ｄ，３２３ｂ，３２３ｄ，３２４ｂ
中面部 ３０１ｃ，３０２ｃ，３２２ｃ，３２３ｃ，３２４ｃ
下面部 Ｅｘ，Ｅｚ ｘ軸とｚ軸方向の電界 Ｃ−Ｃ′，Ｅ−Ｅ′，Ｈ−Ｈ′，Ｇ−Ｇ′，Ｋ−Ｋ′，
Ｌ−Ｌ′ 電極端子 Ｗ2 溝幅 Ｗ 音叉腕の全幅 Ｗ1 ，Ｗ3 音叉腕の部分幅 ｌ1 溝の長さ ｌ2 音叉基部の長さ ｌ 音叉型水晶振動子の全長 ｔ 厚さ Ａ−Ａ′，Ｂ−Ｂ′，Ｄ−Ｄ′，Ｆ−Ｆ′，Ｉ−Ｉ′，
Ｊ−Ｊ′ 断面記号 １７３，１７４，１７５，１７６ 側面の電極
【外１】
【外２】 １２０，１２１ 音叉型屈曲水晶振動子の周波数温度特
性 １２２ 補正された周波数温度特性 ｘ1 ，ｘ2 音叉腕の幅 ｙ1 ，ｙ2 音叉腕の長さ θ，φ 角度
─────────────────────────────────────────────────────
【手続補正書】
【提出日】平成１３年７月１０日（２００１．７．１
０）
【手続補正１】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】００４３
【補正方法】変更
【補正内容】
【００４３】このように電極を配置することにより、電
界Ｅｘは電極３０８と電極３１２間及び電極３１０と電
極３１３間でそれら電極に垂直に働く。これと同様に音
叉腕３０２にも、音叉腕３０１と左右対称に段差が設け
られて各電極が配置されている。即ち、音叉腕３０２
の、上面と下面とには段差部３０５，３１４，上面部３
０２ａ及び中面部３０２ｂが設けられ、段差部３０５に
は電極３１５が、中面部３０２ｂにはその電極３１５に
連なる電極３１６が配置されている。又、段差部３１４
には電極３１７が、中面部３０２ｄにはその電極３１７
に連なる電極３１８が配置されている。更に、音叉腕３
０２の、電極３１５に対抗する側面（音叉腕３０２の上
面部３０２ａの外側面）には電極３１９が、電極３１７
に対抗する側面（音叉腕３０２の中面部３０２ｂの内側
面）には電極３２０が配置されている。更に、電極構成
について詳述すると、電極３０８，３０９，３１０，３
１１，３１９，３２０は一方の同極に、電極３１２，３
１３，３１５，３１６，３１７，３１８は他方の同極に
されて２電極端子Ｋ−Ｋ′を構成している。
【手続補正２】
【補正対象書類名】明細書
【補正対象項目名】図２１
【補正方法】変更
【補正内容】
【図２１】 本発明の屈曲水晶振動子の第９実施例の、
音叉型屈曲水晶振動子の上面図である。

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】 音叉腕の中立線を挟んだ中央部の上下面
    に溝が設けられ、当該溝には同極となる電極が、側面に
    は異電極が配置され、一方の音叉腕の溝の電極と他方の
    音叉腕の側面電極とは同極になり、更に、一方の音叉腕
    の側面電極と他方の音叉腕の溝の電極とは同極となるよ
    うに構成された事を特徴とする屈曲水晶振動子。
  2. 【請求項２】 音叉型屈曲水晶振動子の音叉腕の中立線
    を挟んだ中央部と、各音叉腕を連結する基部とに溝が設
    けられた事を特徴とする屈曲水晶振動子。
  3. 【請求項３】 前記各音叉腕の側面と溝及び前記基部の
    溝に電極が配置され、且つ隣接する電極が異電極となる
    ように構成された事を特徴とする請求項２項記載の屈曲
    水晶振動子。
  4. 【請求項４】 ２個の前記音叉型屈曲水晶振動子が音叉
    基部で接続され、且つ、一体に形成されている事を特徴
    とする請求項１項記載の屈曲水晶振動子。
  5. 【請求項５】 音叉腕と音叉基部とが一体に形成されて
    屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子におい
    て、 前記音叉腕の中立線を挟んだ幅方向略中央部の上下面に
    各々１個の溝が設けられ、前記上下面の溝には同極とな
    る電極が、側面には前記溝の前記電極と異なる極の電極
    が配置されるとともに、一方の前記音叉腕の溝に配置さ
    れた電極と他方の前記音叉腕の側面に配置された電極と
    が同極とされ、更に、前記一方の音叉腕の側面に配置さ
    れた電極と前記他方の音叉腕の溝に配置された電極とが
    同極とされた事を特徴とする屈曲水晶振動子。
  6. 【請求項６】 屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水
    晶振動子の前記音叉腕に設けられた溝の両側面に電極が
    配置され、前記溝側面の電極とその電極に対抗する腕側
    面の電極とが互いに異極となる２電極端子を構成された
    事を特徴とする請求項１又は請求項５記載の屈曲水晶振
    動子。
  7. 【請求項７】 前記音叉腕の中立線を挟んだ中央部に設
    けられた溝は、各音叉腕が連結された音叉基部にまで延
    在している事を特徴とする請求項１又は請求項５記載の
    屈曲水晶振動子。
  8. 【請求項８】 音叉腕と音叉基部とを具えて構成されて
    屈曲振動モードで振動する音叉型屈曲水晶振動子の前記
    音叉腕と連結する前記音叉基部の部分に複数個の溝が設
    けられ、当該溝に電極が配置された事を特徴とする屈曲
    水晶振動子。
  9. 【請求項９】 前記各音叉腕と連結する前記音叉基部の
    部分の上下面に各々１個の溝が設けられ前記上下面の各
    々の前記溝同士の間に更に溝が設けられたことを特徴と
    する請求項８記載の屈曲水晶振動子。
  10. 【請求項１０】 上下面の溝の音叉基部の厚さ方向に対
    抗して配置された電極は互いに同極となるようにされ、
    且つ、同一面の隣接する溝の側面に対抗して配置された
    電極は互いに異極となるように配置されている事を特徴
    とする請求項８又は請求項９記載の屈曲水晶振動子。
  11. 【請求項１１】 音叉腕と音叉基部とを具えて構成され
    一体に形成される音叉型屈曲水晶振動子において、 前記音叉腕の幅方向の上下面に各々１個の段差を設け前
    記段差の段差部に電極が配置され前記電極に対抗する前
    記音叉腕の側面には異極となる電極が配置されているこ
    とを特徴とする屈曲水晶振動子。
  12. 【請求項１２】 複数個の前記音叉型屈曲水晶振動子が
    前記音叉基部で互いに接続され、且つ、一体に形成され
    ている事を特徴とする請求項５又は請求項８又は請求項
    １１に記載の屈曲水晶振動子。
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