JP4591787B2 - 振動子および角速度測定装置 - Google Patents
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「弾性波素子技術ハンドブック」、オーム社、第491〜497頁
基部、
前記基部から第1の方向に延びる第1の支持部、
前記基部から前記第1の方向の反対方向に延びる第2の支持部、
前記第1の支持部に接続され、前記第1の方向と垂直な第2の方向に延びる第1の駆動振動アーム、
前記第1の支持部に接続され、前記第2の方向の反対方向に延びる第2の駆動振動アーム、
前記第2の支持部に接続され、前記第2の方向に延びる第3の駆動振動アーム、
前記第2の支持部に接続され、前記第2の方向の反対方向に延びる第4の駆動振動アーム、
前記基部から前記第2の方向に延びる第1の検出振動アーム、および
前記基部から前記第2の方向の反対方向に延びる第2の検出振動アーム、
を有し、
前記第1の駆動振動アーム、前記第2の駆動振動アーム、前記第3の駆動振動アーム、前記第4の駆動振動アーム、前記第1の検出振動アームおよび前記第2の検出振動アームが、それぞれ、前記第1の方向と前記第2の方向が成す面に平行でかつ凹部が形成された上面と、前記上面に対向しかつ凹部が形成された下面と、前記上面と前記下面とを接続する第1の側面と、前記第1の側面と対向する第2の側面とを有し、
前記第1の駆動振動アーム、前記第2の駆動振動アーム、前記第3の駆動振動アームおよび前記第4の駆動振動アームは、それぞれ、前記各駆動振動アームの第1の側面および前記第2の側面に形成された第1の駆動電極と、前記各駆動振動アームの前記各凹部に形成された第2の駆動電極とを有し、
前記第1の検出振動アームおよび前記第2の検出振動アームは、それぞれ、前記各検出振動アームの前記第1の側面および前記第2の側面に形成された第1の検出電極と、前記各検出振動アームの前記各凹部に形成された第2の検出電極とを有し、
前記各駆動振動アームの前記各第1の駆動電極と前記各第2の駆動電極の間にそれぞれ交流電圧が印加され、前記各駆動振動アームが屈曲運動し、かつ、前記振動子に前記第1および第2の方向に垂直な方向を回転軸とした角速度が働いたときに、前記第1の支持部および前記第2の支持部がそれぞれ屈曲振動し、この屈曲振動に対応して前記各検出振動アームが屈曲振動することを特徴とする。
前記各駆動振動アームの前記第1の駆動電極と前記第2の駆動電極との間に前記交流電圧を印加するための自励発振回路、および
前記交流電流に基づいて角速度を検出する検出回路、
を有することを特徴とする。
図1は、振動子の一対の駆動振動アーム1A、1Bを模式的に示す図である。図2(a)は、図1のアーム1A、1Bを下面1d側から見た正面図であり、図2(b)は、アーム1A、1Bを、側面1a側から見た正面図である。
Claims (3)
- 角速度を検出する振動子であって、
基部、
前記基部から第1の方向に延びる第1の支持部、
前記基部から前記第1の方向の反対方向に延びる第2の支持部、
前記第1の支持部に接続され、前記第1の方向と垂直な第2の方向に延びる第1の駆動振動アーム、
前記第1の支持部に接続され、前記第2の方向の反対方向に延びる第2の駆動振動アーム、
前記第2の支持部に接続され、前記第2の方向に延びる第3の駆動振動アーム、
前記第2の支持部に接続され、前記第2の方向の反対方向に延びる第4の駆動振動アーム、
前記基部から前記第2の方向に延びる第1の検出振動アーム、および
前記基部から前記第2の方向の反対方向に延びる第2の検出振動アーム、
を有し、
前記第1の駆動振動アーム、前記第2の駆動振動アーム、前記第3の駆動振動アーム、前記第4の駆動振動アーム、前記第1の検出振動アームおよび前記第2の検出振動アームが、それぞれ、前記第1の方向と前記第2の方向が成す面に平行でかつ凹部が形成された上面と、前記上面に対向しかつ凹部が形成された下面と、前記上面と前記下面とを接続する第1の側面と、前記第1の側面と対向する第2の側面とを有し、
前記第1の駆動振動アーム、前記第2の駆動振動アーム、前記第3の駆動振動アームおよび前記第4の駆動振動アームは、それぞれ、前記各駆動振動アームの第1の側面および前記第2の側面に形成された第1の駆動電極と、前記各駆動振動アームの前記各凹部に形成された第2の駆動電極とを有し、
前記第1の検出振動アームおよび前記第2の検出振動アームは、それぞれ、前記各検出振動アームの前記第1の側面および前記第2の側面に形成された第1の検出電極と、前記各検出振動アームの前記各凹部に形成された第2の検出電極とを有し、
前記各駆動振動アームの前記各第1の駆動電極と前記各第2の駆動電極の間にそれぞれ交流電圧が印加され、前記各駆動振動アームが屈曲運動し、かつ、前記振動子に前記第1および第2の方向に垂直な方向を回転軸とした角速度が働いたときに、前記第1の支持部および前記第2の支持部がそれぞれ屈曲振動し、この屈曲振動に対応して前記各検出振動アームが屈曲振動することを特徴とする、振動子。 - 前記各検出振動アームが屈曲運動すると、前記第1の検出電極と前記第2の検出電極との間で交流電流が発生し、この交流電流を出力信号として検出回路に出力することを特徴とする、請求項1記載の振動子。
- 請求項2記載の振動子、
前記各駆動振動アームの前記第1の駆動電極と前記第2の駆動電極との間に前記交流電圧を印加するための自励発振回路、および
前記交流電流に基づいて角速度を検出する検出回路、
を有することを特徴とする、角速度測定装置。
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2007
- 2007-04-19 JP JP2007110545A patent/JP4591787B2/ja not_active Expired - Lifetime
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