JP4668739B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
振動ジャイロ Download PDFInfo
- Publication number
- JP4668739B2 JP4668739B2 JP2005247639A JP2005247639A JP4668739B2 JP 4668739 B2 JP4668739 B2 JP 4668739B2 JP 2005247639 A JP2005247639 A JP 2005247639A JP 2005247639 A JP2005247639 A JP 2005247639A JP 4668739 B2 JP4668739 B2 JP 4668739B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- leg
- detection
- legs
- width
- vibration
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
- G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
- G01C19/56—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces
- G01C19/5607—Turn-sensitive devices using vibrating masses, e.g. vibratory angular rate sensors based on Coriolis forces using vibrating tuning forks
- G01C19/5614—Signal processing
Description
Fc=2mV×Ω ・・・・(1)
ここで、mはコリオリ力が作用する物体の質量である。
向に面取り部を備えた台形状に形成されることを特徴とする。
動のQが向上し、S/Nが向上するという効果がある。
以下に、本発明の第1の実施の形態に係わる振動ジャイロにつき図面を用いて説明する。本実施形態に係る振動ジャイロは振動子として、図1に示すような振動子1を用いるものである。
接続されている。また、キャビティ21は図示しない蓋体で気密に封止され、場合によってその内部は真空にされたり、一定気圧の不活性ガスが入れられている。
り小さくし、第3脚13の脚の長さを、第1脚9と第2脚11より長くした理由について述べる。
CI=1/(C1・2πf・Q) ・・・・(2)
で表される。従って、Qが一定のもとでCI値を下げるためにはC1を大きくすれば良い。
以下に本発明の第2の実施の形態に係わる振動ジャイロについて図面を用いて説明する。本実施形態に係わる振動ジャイロは、図12に示すような振動子1を用いるものである。図12に示す振動子1は水晶からなるものであり、第1の実施の形態と同様に基部3と基部3から伸びる3本の脚5と、基部3から脚5とは反対方向に伸びる支持部7を有している。水晶は三方晶系に属する異方性の圧電単結晶であり、光軸(Z軸)と電気軸(X軸)および光軸と電気軸に直交する機械軸(Y軸)を結晶軸として持つ。
呼ぶことにする。
である。
3 基部
5 脚
7 支持部
9 第1脚
11 第2脚
13 第3脚
15 駆動脚
17 検出脚
19 パッケージ
21 キャビティ
23 台座
25 駆動電極
27 検出電極
29 金線
31 アンプ
33 移相回路A
35 差動バッファ
37 乗算回路
39 移相回路B
41 コンパレータ
43 積分回路
Claims (11)
- 基部上に並んで配設された略同一の厚みからなる3本の脚を有し、前記3本の脚のうち、一方の端に位置する脚と中央に位置する脚の2本の脚を駆動脚とし、他方の端に位置する脚を検出脚とする振動子を備える振動ジャイロにおいて、
前記検出脚の幅は、前記駆動脚の幅の3/5より小さく、前記検出脚の長さは前記駆動脚の長さよりも長く形成されたことを特徴とする振動ジャイロ。 - 基部上に並んで配設された略同一の厚みからなる3本の脚を有し、前記3本の脚のうち、一方の端に位置する脚と中央に位置する脚の2本の脚を駆動脚とし、他方の端に位置する脚を検出脚とする振動子を備える振動ジャイロにおいて、
前記3本の脚のうち、前記検出脚のみ、その先端部の幅がこの先端部を除く部分の幅より大きく形成されるとともに、前記検出脚の前記先端部を除く部分は、その幅が前記駆動脚の幅の3/5より小さく形成されることを特徴とする振動ジャイロ。 - 前記検出脚の長さは前記駆動脚の長さ以下であることを特徴とする請求項2に記載の振動ジャイロ。
- 前記検出脚の幅は、前記駆動脚の幅に対する比率が0.1を下限とすることを特徴とする請求項1から3のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記駆動脚は、中央の脚と残りの1本の脚とで構成され、これら複数の脚で構成される駆動脚の長さは、略同一であることを特徴とする請求項1から4のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記駆動脚を前記振動子の厚み方向に垂直な平面内で面内屈曲振動させ、前記振動子の回転によるコリオリ力により、前記面内屈曲振動が前記振動子に引き起こす前記平面に垂直な面外屈曲振動に伴う、前記検出脚の振動を検出することにより、前記回転の角速度を検出することを特徴とする請求項1から5のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記検出脚の長手方向に直交する断面は、前記駆動脚の厚み方向に垂直な面内方向に面取り部を備えた台形状に形成されることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記検出脚の長手方向に直交する断面は、前記駆動脚の厚み方向に垂直な面内方向に突出部を備えた凸形状に形成されることを特徴とする請求項1から6のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記基部と3本の脚が一体であることを特徴とする請求項1から8のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記振動子は、前記基部に結合し、前記基部及び前記3本の脚をパッケージに取り付けるための支持部を備え、この支持部の少なくとも一部がパッケージに設けられた台座と結合することを特徴とする請求項1から9のいずれか一項に記載の振動ジャイロ。
- 前記基部と前記支持部とは、一体物で構成されることを特徴とする請求項10に記載の振動ジャイロ。
Priority Applications (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005247639A JP4668739B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | 振動ジャイロ |
US11/510,553 US7673511B2 (en) | 2005-08-29 | 2006-08-28 | Vibration gyro |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2005247639A JP4668739B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | 振動ジャイロ |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2007064662A JP2007064662A (ja) | 2007-03-15 |
JP2007064662A5 JP2007064662A5 (ja) | 2008-08-07 |
JP4668739B2 true JP4668739B2 (ja) | 2011-04-13 |
Family
ID=37892240
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2005247639A Expired - Fee Related JP4668739B2 (ja) | 2005-08-29 | 2005-08-29 | 振動ジャイロ |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US7673511B2 (ja) |
JP (1) | JP4668739B2 (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5201738B2 (ja) * | 2007-03-20 | 2013-06-05 | シチズンホールディングス株式会社 | 圧電振動子、および振動ジャイロ |
JP5294142B2 (ja) * | 2008-03-27 | 2013-09-18 | Tdk株式会社 | 振動ジャイロセンサ |
US8310369B1 (en) * | 2009-03-27 | 2012-11-13 | Nth Solutions, Llc | Detecting unintended flush toilet water flow |
TWI398097B (zh) | 2009-11-18 | 2013-06-01 | Wafer Mems Co Ltd | 音叉型石英晶體諧振器 |
JP5786303B2 (ja) * | 2009-12-10 | 2015-09-30 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、物理量センサー、及び電子機器 |
US8283988B2 (en) | 2010-02-25 | 2012-10-09 | Seiko Epson Corporation | Resonator element, resonator, oscillator, and electronic device |
JP6337443B2 (ja) * | 2013-10-30 | 2018-06-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、角速度センサー、電子機器及び移動体 |
JP2016085191A (ja) * | 2014-10-29 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
JP2016085190A (ja) | 2014-10-29 | 2016-05-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動素子の製造方法、電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07128068A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-19 | Toyota Motor Corp | 振動子 |
JP2000004138A (ja) * | 1998-03-31 | 2000-01-07 | Seiko Epson Corp | 振動子の製造方法及び電子機器 |
JP2000283765A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 三脚音叉振動子および角速度センサ |
JP2002204141A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-19 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 屈曲水晶振動子 |
JP2003156337A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-30 | Citizen Watch Co Ltd | 振動ジャイロ |
Family Cites Families (10)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5325574A (en) * | 1987-02-27 | 1994-07-05 | Seiko Epson Corporation | Method of forming a quartz oscillator temperature sensor |
JPH0783671A (ja) * | 1993-07-22 | 1995-03-28 | Yoshiro Tomikawa | 振動型ジャイロスコープ |
JPH0894362A (ja) * | 1994-09-20 | 1996-04-12 | Yoshiro Tomikawa | 振動型ジャイロスコープ |
WO2004079296A1 (ja) * | 2003-03-06 | 2004-09-16 | Nec Corporation | 六脚型圧電振動ジャイロスコープ |
JP4026074B2 (ja) * | 2003-06-30 | 2007-12-26 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
JP4509621B2 (ja) * | 2003-10-10 | 2010-07-21 | 日本電波工業株式会社 | 角速度センサ用音叉型水晶振動子の製造方法 |
US7140251B2 (en) * | 2004-05-19 | 2006-11-28 | Ngk Insulators, Ltd. | Devices for measuring physical values and vibrators |
JP4631329B2 (ja) * | 2004-07-01 | 2011-02-16 | パナソニック株式会社 | 角速度センサ及びその製造方法 |
DE602004013170T2 (de) * | 2004-12-20 | 2009-06-18 | Eta Sa Manufacture Horlogère Suisse | Messwertgeber zur Drehgeschwindigkeitsmessung |
US7084556B1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-08-01 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
-
2005
- 2005-08-29 JP JP2005247639A patent/JP4668739B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
2006
- 2006-08-28 US US11/510,553 patent/US7673511B2/en not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07128068A (ja) * | 1993-10-28 | 1995-05-19 | Toyota Motor Corp | 振動子 |
JP2000004138A (ja) * | 1998-03-31 | 2000-01-07 | Seiko Epson Corp | 振動子の製造方法及び電子機器 |
JP2000283765A (ja) * | 1999-03-30 | 2000-10-13 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 三脚音叉振動子および角速度センサ |
JP2002204141A (ja) * | 2000-10-31 | 2002-07-19 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 屈曲水晶振動子 |
JP2003156337A (ja) * | 2001-09-07 | 2003-05-30 | Citizen Watch Co Ltd | 振動ジャイロ |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US7673511B2 (en) | 2010-03-09 |
US20070068251A1 (en) | 2007-03-29 |
JP2007064662A (ja) | 2007-03-15 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP4668739B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
US8633637B2 (en) | Resonator element, resonator, physical quantity sensor, and electronic equipment that have steps on a side surface of a vibrating arm | |
EP2012087B1 (en) | Vibration gyro | |
JP2006201117A (ja) | 振動ジャイロ素子、振動ジャイロ素子の支持構造およびジャイロセンサ | |
JP3805837B2 (ja) | 角速度検出装置 | |
JP6031682B2 (ja) | 角速度センサとそれに用いられる検出素子 | |
JP4599848B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP5772286B2 (ja) | 屈曲振動片及び電子機器 | |
JP2006201118A (ja) | 圧電振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP2008058062A (ja) | 角速度センサ | |
JP4911690B2 (ja) | 振動ジャイロ用振動子 | |
JP5093405B2 (ja) | 振動ジャイロ素子 | |
JP2008256669A (ja) | 角速度センサ及び電子機器 | |
JP5144004B2 (ja) | 慣性センサ素子 | |
JP2012063177A (ja) | 振動片、振動子および電子機器 | |
JP6733621B2 (ja) | 振動型角速度センサ | |
JPH08278141A (ja) | セラミック圧電複合形角速度センサ | |
JP2000292174A (ja) | ジャイロスコープ | |
JP2004301510A (ja) | 音叉型角速度センサ | |
JP2013096882A (ja) | 物理量検出素子、物理量検出装置、および電子機器 | |
JP2008175679A (ja) | 振動ジャイロ | |
JP4600590B2 (ja) | 角速度センサ | |
JP3371609B2 (ja) | 振動ジャイロ | |
JP5824492B2 (ja) | 振動ジャイロ素子およびジャイロセンサ | |
JP2005077249A (ja) | 圧電体振動ジャイロセンサ |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20080528 |
|
RD03 | Notification of appointment of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7423 Effective date: 20080528 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20080625 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20101012 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20101019 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20101210 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20110111 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20110113 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140121 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 4668739 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |