JP5399888B2 - 音叉型屈曲水晶振動素子 - Google Patents

Description

本発明は、水晶振動子に用いられる音叉型屈曲水晶振動素子に関する。

図７は、従来の音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示し、（ａ）は音叉型屈曲水晶振動素子を一方の主面上より見た平面図であり、（ｂ）は他方の主面上より見た平面図である。又、図８は、図７のＣ−Ｃ部断面図である。
図７に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子７００は、水晶片７１０と、その水晶片７１０の表面に設けられた励振用電極７２０a、７２０ｂ、７２０ｃ、７２０ｄ、７２０ｅ、７２０ｆ、７２０ｇ及び７２０ｈと、接続用電極７３０ａ及び７３０ｂと、周波数調整用金属膜７４０ａ及び７４０ｂと、導配線パターン７５０ａ、７５０ｂ、７５０ｃ及び７５０ｄとにより概略構成される。

水晶片７１０は、基部７１１と第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３とから成る。基部７１１は、結晶の軸方向として電気軸がＸ軸、機械軸がＹ軸、及び光軸がＺ軸となる直交座標系としたとき、Ｘ軸周りに−５°〜＋５°の範囲内で回転させたＺ′軸の方向が厚み方向となる平面視略四角形の平板である。第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３は、基部７１１の一辺からＹ′軸の方向に平行に延設されており、その両主面には、基部７１１との境界部分から各振動腕部の先端に向って延びる溝部７１４がそれぞれ２本設けられている。

各溝部７１４は、各振動腕部の長さ方向に並んだ複数の小溝部７１５により構成されている。つまり、第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３の各主面において、小溝部７１５はそれぞれの振動腕部の長さ方向と平行に複数個並列した状態で連続するように設けられている。尚、図８に示すように、第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３の一方の主面に設けられた小溝部７１５は、一方の主面と対向する第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３の他方の主面に設けられた小溝部７１５と鏡面対称に設けられている。このような水晶片７１０は、基部７１１と第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３とが一体となって音叉形状を成しており、フォトリソグラフィ技術と化学エッチング技術により製造される。

第一の振動腕部７１２に設けられる電極は、励振用電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃ及び７２０ｄとから成る。励振用電極７２０ａは、第一の振動腕部７１２の複数の小溝部７１５からなる溝部７１４内表面を含む一方の主面に設けられている。励振用電極７２０ｂは、第一の振動腕部７１２の複数の小溝部７１５からなる溝部７１４内表面を含む他方の主面に設けられている。励振用電極７２０ｃは、第一の振動腕部７１２の第二の振動腕部７１３に対向する内側側面に設けられている。励振用電極７２０ｄは、励振用電極７２０ｃが設けられた側面に対向する第一の振動腕部７１２の外側側面に設けられている。周波数調整用金属膜７４０ａは、第一の振動腕部７１２の先端部の表面に設けられている。

第二の振動腕部７１３に設けられる電極は、励振用電極７２０ｅ、７２０ｆ、７２０ｇ及び７２０ｈとから成る。励振用電極７２０ｅは、第二の振動腕部７１３の複数の小溝部７１５からなる溝部７１４内表面を含む一方の主面に設けられている。励振用電極７２０ｆは、第二の振動腕部７１３の複数の小溝部７１５からなる溝部７１４内表面を含む他方の主面に設けられている。励振用電極７２０ｇは、第二の振動腕部７１３の第一の振動腕部７１２に対向する内側側面に設けられている。励振用電極７２０ｈは、励振用電極７２０ｇが設けられた側面に対向する第二の振動腕部７１３の外側側面に設けられている。周波数調整用金属膜７４０ｂは、第二の振動腕部７１３の先端部の表面に設けられている。

基部７１１には接続用電極７３０ａ及び７３０ｂが設けられる。接続用電極７３０ａは、基部７１１の第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３が形成されている辺とは反対側にあたる辺の一方の角端部に、基部７１１の一方の主面から他方の主面にわたって設けられている。接続用電極７３０ｂは、基部７１１の第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３が形成されている辺とは反対側にあたる辺の他方の角端部に、基部７１１の一方の主面から他方の主面にわたって設けられている。
又、基部７１１、第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３には、所定の電極間を電気的に接続させるための導配線パターン７５０ａ、７５０ｂ、７５０ｃ及び７５０ｄが設けられている。

接続用電極７３０ａは、基部７１１の一方の主面に設けられた導配線パターン７５０ａにより、第二の振動腕部７１３の一方の主面に設けられた励振用電極７２０ｅと電気的に接続している。又、接続用電極７３０ａは、第一の振動腕部７１２の外側側面に設けられた励振用電極７２０ｄと電気的に接続している。励振用電極７２０ｄは、周波数調整用金属膜７４０ａを介して、第一の振動腕部７１２の内側側面に設けられた励振用電極７２０ｃと電気的に接続している。更に、励振用電極７２０ｅは、第二の振動腕部７１３の内側側面に設けられた導配線パターン７５０ｂにより、第二の振動腕部７１３の他方の主面に設けられた励振用電極７２０ｆと電気的に接続されている。

接続用電極７３０ｂは、基部７１１の他方の主面に設けられた導配線パターン７５０ｃにより、第一の振動腕部７１２の他方の主面に設けられた励振用電極７２０ｂと電気的に接続している。又、接続用電極７３０ｂは、第二の振動腕部７１３の外側側面に設けられた励振用電極７２０ｈとも電気的に接続している。励振用電極７２０ｈは、周波数調整用金属膜７４０ｂを介して、第二の振動腕部７１３の内側側面に設けられた励振用電極７２０ｇと電気的に接続している。更に、励振用電極７２０ｂは、第一の振動腕部７１２の内側側面に設けられた導配線パターン７５０ｄにより第一の振動腕部７１２の一方の主面に設けられた励振用電極７２０ａと電気的に接続されている。

これら励振用電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｃ、７２０ｄ、７２０ｅ、７２０ｆ、７２０ｇ及び７２０ｈと、接続用電極７３０ａ及び７３０ｂと、周波数調整用金属膜７４０ａ及び７４０ｂと、導配線パターン７５０ａ、７５０ｂ、７５０ｃ及び７５０ｄとは、フォトリソグラフィ技術により形成され、Ｃｒ層の上にＡｕ層が設けられた積層構造となっている。

この音叉型屈曲水晶振動素子７００を振動させる場合、接続用電極７３０ａ及び７３０ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部７１２の励振用電極７２０ｃと７２０ｄはプラス電位となり、励振用電極７２０ａと７２０ｂはマイナス電位となり、プラスからマイナスに電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部７１３の励振用電極７２０ｇと７２０ｈはマイナス電位となり、励振用電極７２０ｅと７２０ｆはプラス電位という第一の振動腕部７１２の励振用電極に生じた極性とは反対の極性となり、プラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧により生じた電界によって、第一の振動腕部７１２及び第二の振動腕部７１３に伸縮現象が生じ、各振動腕部に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。尚、この共振周波数は、音叉型屈曲水晶振動素子７００に設けられた周波数調整用金属膜７４０ａ及び７４０ｂを構成する金属の量を増減させて調整することができる（例えば、特許文献１又は２参照。）。

特開２００４−２６０５９３号公報 特開２００７−３２９８７９号公報

しかしながら、従来における各溝部７１４を構成する小溝部７１５の深さは、各振動腕部の一方の主面に設けられた小溝部７１５と他方の主面に設けられた小溝部７１５とが鏡面対称に設けられているので、小溝部７１５内の底を貫通させないように振動腕部の厚さに対し５０％よりも浅い比率で設ける必要がある。

このような深さで設けられた小溝部７１５内の表面に励振用電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｅ及び７２０ｆを設けた場合、小溝部７１５内の長さ方向の側面に設けられる励振用電極７２０ａ、７２０ｂ、７２０ｅ及び７２０ｆは、その面積が小さいため、その励振用電極に大きな電界を印加することができない。そのため、音叉型屈曲水晶振動素子７００としてのクリスタルインピーダンス（以下、ＣＩという）値は１００ｋΩ以上となる場合があり、音叉型屈曲水晶振動素子における振動特性を悪化させる恐れがある。
そこで本発明の目的は、ＣＩ値を低減し、振動特性が良好な音叉型屈曲水晶振動素子を提供することにある。

本発明は、上記課題を解決するために成されたものであり、
基部と前記基部から同一方向に延設した２本の振動腕部とを備えた水晶片と、前記水晶片の表面に、少なくとも励振用電極と接続用電極と周波数調整用金属膜と導配線パターンとが設けられた音叉型屈曲水晶振動素子であって、
前記振動腕部の両主面には、前記基部との境界部分から前記振動腕部の先端に向って延びる溝部が、前記振動腕部の両主面間で対向するように設けられており、
前記溝部は、小溝部と仕切部とから構成されており、
前記仕切部は、前記溝部を長さ方向で複数の小溝部に仕切っており、
前記小溝部の長さ寸法は、前記水晶片の厚み寸法の２倍以下の寸法であり、
前記振動腕部の一方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、他方の主面の設けられた対向した前記溝部における前記小溝部のＶ字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられており、
前記振動腕部の他方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、一方の主面の設けられた対向した前記溝部における前記小溝部のＶ字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられていることを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子である。

本発明に係る音叉型屈曲水晶振動素子によれば、主な小溝部を、小溝部の深さが水晶片の厚さ寸法に対し５０％〜９０％の比率となるように設けることができる。従って、各小溝部内の側面の面積は、従来の小溝部の側面の面積に比べ大きくなるので、その小溝部内の側面に設けられる励振用電極の面積も大きくすることができる。よって、本発明に係る音叉型屈曲水晶振動素子は、その小溝部内の側面に設けられる励振用電極に従来と比べて大きな電界を印加することができるので、ＣＩ値を従来と比べ低くでき、振動特性が良好となる。

本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示し、（ａ）は音叉型屈曲水晶振動素子を一方の主面上より見た平面図であり、（ｂ）は他方の主面上より見た平面図である。 図１のＡ−Ａ部断面図である。 図２のＢ部拡大図である。 本発明の実施形態に係る音叉型屈曲振動素子を構成する水晶片の一例を示し、（ａ）は水晶片を一方の主面上より見た平面図であり、（ｂ）は他方の主面上より見た平面図である。 本発明の実施形態に係る音叉型屈曲振動素子について、水晶片に形成される小溝部の長さ寸法とＣＩ値との相関を示したグラフである。 本発明の実施形態に係る音叉型屈曲振動素子を構成する水晶片の変形例を示し、（ａ）は水晶片を一方の主面上より見た平面図であり、（ｂ）は他方の主面上より見た平面図である。 従来の音叉型屈曲水晶振動素子の一例を示し、（ａ）は音叉型屈曲水晶振動素子を一方の主面上より見た平面図であり、（ｂ）は他方の主面上より見た平面図である。 図７のＣ−Ｃ部断面図である。

以下に、本発明における音叉型屈曲水晶振動素子の実施形態を、図面を参照しながら説明する。尚、各図では、説明を明りょうにするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。特に、図２及び図３における各電極の厚みは著しく誇張して図示している。

図１に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、水晶片１１０と、その水晶片１１０の表面に設けられた励振用電極１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、１２０ｅ、１２０ｆ、１２０ｇ及び１２０ｈと、接続用電極１３０ａ及び１３０ｂと、周波数調整用金属膜１４０ａ及び１４０ｂと、導配線パターン１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ及び１５０ｄとにより概略構成される。

図４に示すように、水晶片１１０は、基部１１１と第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３とから成る。基部１１１は、結晶の軸方向として電気軸がＸ軸、機械軸がＹ軸、及び光軸がＺ軸となる直交座標系としたとき、Ｘ軸回りに−５°〜＋５°の範囲内で回転させたＺ′軸の方向が厚み方向となる平面視略四角形の平板である。第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３は、基部１１１の一辺からＹ′軸の方向に平行に延設されている。又、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の両主面には、基部１１１との境界部分からそれぞれの振動腕部の先端に向って延びる溝部１１４が、各振動腕部の主面間で対向するように各主面に２本設けられている。尚、各溝部１１４は、長さ寸法が同じであり、且つ幅寸法も同じである。

溝部１１４は、小溝部１１５と仕切部１１６とから構成される。各溝部１１４には、溝部１１４を長さ方向で複数の小溝部１１５に仕切る仕切部１１６が設けられている。図２及び図３に示すように、仕切部１１６は、各小溝部１１５の長さ寸法Ｐが水晶片１１０の厚み寸法ｔの２倍以下の寸法となるように設けられている。尚、各小溝部１１５の底には、各小溝部１１５の長さ寸法αを水晶片１１０の厚み寸法ｔの２倍以下の寸法とした場合、水晶結晶のエッチングの異方性により、エッチングレート（速度）の早い結晶面が発生しない。そのため、各小溝部１１５の長さ方向における底の断面形状は、底が尖ったＶ字形状となる。以下、この小溝部１１５の底のうち、尖った先端部を「最底部」という。

第一の振動腕部１１２の一方の主面の溝部１１４に設けられた仕切部１１６は、その溝部１１４に対向する他方の主面の設けられた溝部１１４を構成する各小溝部１１５の最底部に対応する位置に設けられている。更に、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の他方の主面の溝部１１４に設けられた仕切部１１６は、その溝部１１４に対向する一方の主面に設けられた溝部１１４を構成する各小溝部１１５の最底部に対応する位置に設けられている。このような水晶片１１０は、基部１１１と第一の振動腕部１１２と第二の振動腕部１１３とが一体となって音叉形状を成している。又、水晶片１１０の外形形状と溝部１１４とは、フォトリソグラフィ技術と化学エッチング技術により、同じ工程中において形成される。

図１に示すように、第一の振動腕部１１２に設けられる電極は、励振用電極１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ及び１２０ｄとから成る。励振用電極１２０ａは、小溝部１１５及び仕切部１１６により構成される各溝部１１４内表面を含む、第一の振動腕部１１２の一方の主面に設けられている。励振用電極１２０ｂは、小溝部１１５及び仕切部１１６により構成される各溝部１１４内表面を含む、第一の振動腕部１１２の他方の主面に設けられている。励振用電極１２０ｃは、第一の振動腕部１１２の第二の振動腕部１１３に対向する内側側面に設けられている。励振用電極１２０ｄは、励振用電極１２０ｃが設けられた側面に対向する第一の振動腕部１１２の外側側面に設けられている。周波数調整用金属膜１４０ａは、第一の振動腕部１１２の先端部の表面に設けられている。

第二の振動腕部１１３に設けられる電極は、励振用電極１２０ｅ、１２０ｆ、１２０ｇ及び１２０ｈとから成る。励振用電極１２０ｅは、小溝部１１５及び仕切部１１６により構成される各溝部１１４内表面を含む、第二の振動腕部１１３の一方の主面に設けられている。励振用電極１２０ｆは、小溝部１１５及び仕切部１１６により構成される各溝部１１４内表面を含む、第二の振動腕部１１３の他方の主面に設けられている。励振用電極１２０ｇは、第二の振動腕部１１３の第一の振動腕部１１２に対向する内側側面に設けられている。励振用電極１２０ｈは、励振用電極１２０ｇが設けられた側面に対向する第二の振動腕部１１３の外側側面に設けられている。周波数調整用金属膜１４０ｂは、第二の振動腕部１１３の先端部の表面に設けられている。

基部１１１には、接続用電極１３０ａ及び１３０ｂが設けられている。接続用電極１３０ａは、基部１１１の第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３が形成されている辺とは反対側にあたる辺の一方の角端部に、基部１１１の一方の主面から他方の主面にわたって設けられている。接続用電極１３０ｂは、基部１１１の第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３が形成されている辺とは反対側にあたる辺の他方の角端部に、基部１１１の一方の主面から他方の主面にわたって設けられている。又、基部１１１、第一の振動腕部１１２、及び第二の振動腕部１１３には、所定の電極間を電気的に接続させるための導配線パターン１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ及び１５０ｄが設けられている。

接続用電極１３０ａは、基部１１１の一方の主面に設けられた導配線パターン１５０ａにより、第二の振動腕部１１３の一方の主面に設けられた励振用電極１２０ｅと電気的に接続している。又、接続用電極１３０ａは、第一の振動腕部１１２の外側側面に設けられた励振用電極１２０ｄと電気的に接続している。励振用電極１２０ｄは、周波数調整用金属膜１４０ａを介して、第一の振動腕部１１２の内側側面に設けられた励振用電極１２０ｃと電気的に接続している。更に、励振用電極１２０ｅは、第二の振動腕部１１３の内側側面に設けられた導配線パターン１５０ｂにより、第二の振動腕部１１３の他方の主面に設けられた励振用電極１２０ｆと電気的に接続されている。

接続用電極１３０ｂは、基部１１１の他方の主面に設けられた導配線パターン１５０ｃにより、第一の振動腕部１１２の他方の主面に設けられた励振用電極１２０ｂと電気的に接続している。又、接続用電極１３０ｂは、第二の振動腕部１１３の外側側面に設けられた励振用電極１２０ｈとも電気的に接続している。励振用電極１２０ｈは、周波数調整用金属膜１４０ｂを介して、第二の振動腕部１１３の内側側面に設けられた励振用電極１２０ｇと電気的に接続している。更に、励振用電極１２０ｂは、第一の振動腕部の内側側面に設けられた導配線パターン１５０ｄにより第一の振動腕部１１２の一方の主面に設けられた励振用電極１２０ａと電気的に接続されている。これら励振用電極１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、１２０ｅ、１２０ｆ、１２０ｇ及び１２０ｈと、接続用電極１３０ａ及び１３０ｂと、周波数調整用金属膜１４０ａ及び１４０ｂと、導配線パターン１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ及び１５０ｄとは、フォトリソグラフィ技術により形成され、Ｃｒ、Ｔｉ、Ｎｉ等の金属層の上にＡｕ、Ａｇ、Ｐｄ等の金属層が設けられた積層構造となっている。

このような構成の音叉型屈曲水晶振動素子１００を振動させる場合、接続用電極１３０ａ及び１３０ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２の励振用電極１２０ｃと１２０ｄはプラス電位となり、励振用電極１２０ａと１２０ｂはマイナス電位となり、プラスからマイナスに電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１３の励振用電極１２０ｇと１２０ｈはマイナス電位となり、励振用電極１２０ｅと１２０ｆはプラス電位という第一の振動腕部１１２の励振用電極に生じた極性とは反対の極性となり、プラスからマイナスに電界が生じる。この交番電圧により生じた電界によって、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３に伸縮現象が生じ、各振動腕部に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。尚、この共振周波数は、音叉型屈曲水晶振動素子１００に設けられた周波数調整用金属膜１４０ａ及び１４０ｂを構成する金属の量を増減させて調整することができる。

図５に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子１００のＣＩ値は、各小溝部１１５の長さ寸法Ｐを水晶片１１０の厚み寸法ｔの２倍以下の寸法とした場合に従来に比べ低下している。尚、小溝部１１５の底は、小溝部１１５の長さ寸法Ｐを水晶片１１０の厚み寸法ｔの２倍より長くした場合、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の両主面で対向する小溝部１１５の間で貫通する。それにより、第一の振動腕部１１２と第二の振動腕部１１３との振動バランスが崩れ、２次曲線となる周波数温度特性における頂点温度が低くなってしまい振動効率が悪化する。よって、各小溝部１１５の長さ寸法Ｐを水晶片１１０の厚み寸法ｔの２倍以下の寸法とした場合に比べＣＩ値は高くなる。
例えば、水晶片１１０の厚み寸法ｔが０．１ｍｍであった場合、その水晶片１１０で構成された音叉型屈曲水晶振動素子１００のＣＩ値は、小溝部１１５の長さ寸法Ｐは０．２ｍｍ以下とした場合、６５ｋΩ以下とすることができる。尚、小溝部１１５の長さ寸法Ｐを０．２ｍｍより長い０．２５ｍｍとした場合は、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の両主面で対向する小溝部１１５の間で底が貫通し、ＣＩ値は７０ｋΩと高くなる。

このような構造の音叉型屈曲水晶振動素子１００により、主な小溝部１１５を、小溝部１１５の最底部の深さが水晶片１１０の厚みｔに対して５０％〜９０％の比率となるように設けることできる。よって、小溝部１１５内の長さ方向の側面の面積は、従来の小溝部７１５の長さ方向の側面の面積に比べ大きくなるので、その側面に設けられる励振用電極１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｅ及び１２０ｆの面積も大きくすることができる。これにより、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、その側面に設けられる励振用電極１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｅ及び１２０ｆに従来と比べて大きな電界を印加することができるので、ＣＩ値を従来に比べ低くすることができ、振動特性が良好となる。

（変形例）
図６は、本発明の実施形態に係る音叉型屈曲振動素子を構成する水晶片の変形例を示す。本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子を構成する水晶片の変形例は、第一の振動腕部１１２及び第二の振動腕部１１３の一主面に設けられた隣り合う２本の溝部１１４において、一方の溝部１１４に設けられた仕切部１１６が、他方の溝部１１４に設けられた小溝部１１５の最底部の位置に対応する位置に設けられている。
したがって、このように水晶片の変形例を構成しても、本発明の実施形態と同様の効果を奏する。

尚、前記した実施形態以外にも、本発明の要旨を逸脱しない範囲において種々の変更、改良等が可能である。前記実施形態では各振動腕部の各主面の溝部を２本とした例を示したが、溝部の本数は前記実施形態に限定されるものでなく、例えば、一主面に１本の溝部であっても構わない。

１００・・・音叉型屈曲水晶振動素子
１１０・・・水晶片
１１１・・・基部
１１２・・・第一の振動腕部
１１３・・・第二の振動腕部
１１４・・・溝部
１１５・・・小溝部
１１６・・・仕切部
１２０ａ、１２０ｂ、１２０ｃ、１２０ｄ、１２０ｅ、１２０ｆ、１２０ｇ、１２０ｈ・・・励振用電極
１３０ａ、１３０ｂ・・・接続用電極
１４０ａ、１４０ｂ・・・周波数調整用金属膜
１５０ａ、１５０ｂ、１５０ｃ、１５０ｄ・・・導配線パターン
Ｐ・・・小溝部１１５の長さ寸法
ｔ・・・水晶片１１０の厚さ寸法

Claims (1)

1. 基部と前記基部から同一方向に延設した２本の振動腕部とを備えた水晶片と、
   前記水晶片の表面に、少なくとも励振用電極と接続用電極と周波数調整用金属膜と導配線パターンとが設けられた音叉型屈曲水晶振動素子であって、
   前記振動腕部の両主面には、前記基部との境界部分から前記振動腕部の先端に向って延びる溝部が、前記振動腕部の両主面間で対向するように設けられており、
   前記溝部は、小溝部と仕切部とから構成されており、
   前記仕切部は、前記溝部を長さ方向で複数の小溝部に仕切っており、
   前記小溝部の長さ寸法は、前記水晶片の厚み寸法の２倍以下の寸法であり、
   前記振動腕部の一方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、他方の主面の設けられた対向する前記溝部における前記小溝部のＶ字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられており、
   前記振動腕部の他方の主面の前記溝部に設けられた前記仕切部は、一方の主面の設けられた対向する前記溝部における前記小溝部のＶ字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられている、
   ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子。

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