JP2017085341A5 - - Google Patents
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Description
[適用例1]本適用例に係る電子部品の製造方法は、切欠き部と、平面視した面に長手方向に延びる凹部と、をドライエッチング加工で形成する電子部品の製造方法であって、基板に、前記凹部の前記長手方向に沿った二側面間の最大幅を形作る第1マスク部の幅が、前記切欠き部の開口の最小幅を形作る第2マスク部の幅よりも小さいエッチングマスクを形成する工程と、前記基板に対して前記ドライエッチング加工を行い、前記切欠き部と共に、前記凹部を形成するエッチング工程と、を含んでいることを特徴とする。
[適用例2]上記適用例に記載の電子部品の製造方法において、前記エッチングマスクを形成する工程において、前記凹部の開口の前記長手方向の端部に向かうに従って、前記二側面間の幅が狭くなるように前記第1マスク部を形成することが好ましい。
なお、本明細書における長さ方向とは、基部から振動腕が突出する方向に沿った方向であり、長手方向と言い換えることができる。また、本明細書における開口の幅とは、凹部の延在方向である長さ方向に直交する方向の寸法であって、凹部が、表面もしくは裏面に接する位置の寸法である。換言すれば、凹部の開口幅は、表面もしくは裏面に沿った凹部の内側面間の間隔である。
水晶は、電気軸と呼ばれるX軸、機械軸と呼ばれるY軸および光学軸と呼ばれるZ軸を有している。音叉型振動片100をなす基材は、水晶結晶軸において直交するX軸およびY軸で規定される平面に沿って切り出されて平板状に加工され、平面と直交するZ軸方向に所定の厚みを有している。基材は、X軸を中心に0度から2度の範囲で回転して切り出したものを使用することができる。所定の厚みは、振動周波数、外形サイズ、加工性などにより適宜設定される。
基部110、振動腕120,130、および枠部115は、それぞれの外形形状を画定する側面間の間隔(幅)を有して形成される。なお、本実施形態では、それぞれの外形形状を画定する側面間の間隔(幅)の一例として、図1に振動腕120と振動腕130との間、即ち振動腕120の側面103iと振動腕130の側面103jとの間の距離を間隔A、振動腕120,130と枠部115との間、即ち振動腕120の側面103hおよび振動腕130の側面103kと枠部115の側面115aとの間の距離を間隔C、振動腕120,130の延出方向(Y軸方向)における振動腕120,130の端側面120a,130aと枠部115の側面115aとの間の距離を間隔Dとして表示している。なお、本実施形態では、外形形状を画定する側面間の間隔(幅)の内における最小幅を、振動腕120,130の延出方向(Y軸方向)における振動腕120,130と枠部との間の間隔Dとする。なお、間隔A,B,C,Dは、それぞれの構成部位の側面が表面もしくは裏面に接する位置の寸法であり、換言すれば、間隔A,B,C,Dは、各構成部位の表面もしくは裏面に沿った間隔である。
なお、上述した開口の幅とは、凹部148,158の延在方向(本形態では図中Y軸方向)である長さ方向に直交する方向(本形態では図中X軸方向)である幅方向の寸法であって、凹部148,158が、表面120f,130fもしくは裏面120b,130bに接する位置の寸法である。換言すれば、凹部148,158の開口幅は、表面120fもしくは裏面120bに沿った凹部148の内側面間の間隔、および表面130fもしくは裏面130bに沿った凹部158の内側面間の間隔である。
また、凹部148,158は、表面120f,130fもしくは裏面120b,130bから底部148t(図3参照)までの深さ寸法hを、振動腕120,130の厚さ(Z軸方向の寸法)寸法Hに対して、20%以上とすることが好ましい。なお、深さ寸法hは、凹部148,158の非貫通部の内で深さの最も深い部分の寸法であり、本実施形態では、底部148tが該当する。
第1開口部148M,158Mは、凹部148,158の長手方向(Y軸方向)に沿って設けられている。第1開口部148M,158Mは、凹部148,158の該長手方向(Y軸方向)に沿った二側面間の最大幅(本例では幅寸法Bが該当する)を形作る第1開口部148M,158M(後述する第1マスク部)の幅(本例では幅BMが該当する)が、切欠き部118の開口の最小幅を形作る第2開口部118M(後述する第2マスク部)の幅(本例では幅DMが該当する)よりも小さくなるように形成する。
したがって、上述のように第1マスク部としての第1開口部148M,158Mを、長手方向の端部に向かうに従って幅が狭くなるように形成することにより、後述するドライエッチング工程(ステップS105)において、凹部148,158の開口の長手方向の端部148a,148b,158a,158bに傾斜面148d、および曲線部148cを容易に設けることができる。
上述のようなエッチングマスク100Mを配設して、凹部148,158の開口の長手方向の端部148a,148b,158a,158bを、曲線状の傾斜(傾斜面148d、および曲線部148c)とすることにより、凹部の形成された部位(振動腕120,130)の剛性を高めることができ、例えば捻り変形などに対する耐性を向上させることが可能となる。
[電極形成工程(ステップS107)]
次に、外形が画定された音叉型振動片100に、各種電極を形成する(ステップS107)。電極形成工程(ステップS107)では、少なくとも振動腕120,130に、例えば、スパッタリング法や蒸着法などを用いて後述する導電材料を配設することによって、駆動電極121,122,121a,122aを形成する。図1および図2に示されているように、駆動電極121は、振動腕120の表面120fもしくは裏面120bの一部から側面103h,103iに亘って設けられている。駆動電極122は、振動腕130の表面130fもしくは裏面130bの一部から側面103j,103kに亘って設けられている。駆動電極122aは、振動腕120の表面120fもしくは裏面120bの一部から凹部148内の両内壁面および底部に亘って設けられている。駆動電極121aは、振動腕130の表面130fもしくは裏面130bの一部から凹部158内の両内壁面および底部に亘って設けられている。なお、駆動電極121および駆動電極121aは、同電位が供給されるようにパターニングされており、駆動電極122および駆動電極122aは、駆動電極121および駆動電極121aと逆電位が供給されるようにパターニングされている。
次に、外形が画定された音叉型振動片100に、各種電極を形成する(ステップS107)。電極形成工程(ステップS107)では、少なくとも振動腕120,130に、例えば、スパッタリング法や蒸着法などを用いて後述する導電材料を配設することによって、駆動電極121,122,121a,122aを形成する。図1および図2に示されているように、駆動電極121は、振動腕120の表面120fもしくは裏面120bの一部から側面103h,103iに亘って設けられている。駆動電極122は、振動腕130の表面130fもしくは裏面130bの一部から側面103j,103kに亘って設けられている。駆動電極122aは、振動腕120の表面120fもしくは裏面120bの一部から凹部148内の両内壁面および底部に亘って設けられている。駆動電極121aは、振動腕130の表面130fもしくは裏面130bの一部から凹部158内の両内壁面および底部に亘って設けられている。なお、駆動電極121および駆動電極121aは、同電位が供給されるようにパターニングされており、駆動電極122および駆動電極122aは、駆動電極121および駆動電極121aと逆電位が供給されるようにパターニングされている。
図11に示すように、第3実施形態に係る音叉型振動片300は、第1実施形態と同様に、基部110と、基部110から+Y軸方向に突出するように延出している一対の振動腕120,130と、基部110から延伸し、振動腕120,130の外側を囲む枠部115と、を備えている。なお、音叉型振動片300の構成の詳細については、第1実施形態と同様であるので説明を省略する。第3実施形態の音叉型振動片300は、第1実施形態の音叉型振動片100と比し、振動腕120,130に設けられている凹部348,358の構成が異なっている。以下、構成の異なる凹部348,358を中心に説明する。
このように、複数(本形態では五つ)の凹部348a〜348eを並設させた凹部348、および、複数(本形態では五つ)の凹部358a〜358eを並設させた凹部358を振動腕120および振動腕130に設けることにより、凹部348,358を設けることによる振動腕120,130の強度低下を抑制することができ、落下などの耐衝撃性を向上させることが可能な音叉型振動片300とすることができる。
(第4実施形態)
次に、電子部品(振動デバイス)の第4実施形態に係る音叉型振動片の概略構成について図12、および図13を用いて説明する。図12は、電子部品(振動デバイス)の第4実施形態に係る音叉型振動片の概略構成を模式的に示す平面図である。図13は、図12におけるP2−P2線での断面図である。なお図12および図13では、説明の便宜上、駆動電極などの電極についての図示を省略している。また、以下では、前述の第1実施形態と同様な構成については、同符号を付してその説明を省略する。
(第4実施形態)
次に、電子部品(振動デバイス)の第4実施形態に係る音叉型振動片の概略構成について図12、および図13を用いて説明する。図12は、電子部品(振動デバイス)の第4実施形態に係る音叉型振動片の概略構成を模式的に示す平面図である。図13は、図12におけるP2−P2線での断面図である。なお図12および図13では、説明の便宜上、駆動電極などの電極についての図示を省略している。また、以下では、前述の第1実施形態と同様な構成については、同符号を付してその説明を省略する。
基体501および蓋体502は、水晶材料から形成されている。基体501は、音叉型振動片100の枠部115の一面(裏面)にシロキサン結合(Si−O−Si)によって接合することができる。また、同様に、蓋体502は、音叉型振動片100の枠部115の他方面(表面)にシロキサン結合(Si−O−Si)によって接合することができる。なお、この接合は、シロキサン結合以外にも、基体501と、音叉型振動片100と、蓋体502との形成材料に応じて、陽極接合または樹脂接合により接合することができる。
なお、上述した第6実施形態では、第1実施形態の音叉型振動片100を用いた例で説明したがこれに限らず、第2実施形態の音叉型振動片200、または第3実施形態の音叉型振動片300のいずれかを用いることとしてもよい。
第7実施形態に係る振動子600によれば、音叉型振動片400に凹部148,158を備えた振動腕120,130が備えられているため、捻り変形などに対する剛性を備え、且つ効率的な屈曲振動が可能である。また、振動子600は、セラミックスなど入手容易なパッケージ605を用いているため、低コストの振動子600とすることが可能である。
Claims (13)
- 切欠き部と、平面視した面に長手方向に延びる凹部と、をドライエッチング加工で形成する電子部品の製造方法であって、
基板に、前記凹部の前記長手方向に沿った二側面間の最大幅を形作る第1マスク部の幅が、前記切欠き部の開口の最小幅を形作る第2マスク部の幅よりも小さいエッチングマスクを形成する工程と、
前記基板に対して前記ドライエッチング加工を行い、前記切欠き部と共に、前記凹部を形成するエッチング工程と、
を含んでいることを特徴とする電子部品の製造方法。 - 前記エッチングマスクを形成する工程において、
前記凹部の開口の前記長手方向の端部に向かうに従って、前記二側面間の幅が狭くなるように前記第1マスク部を形成することを特徴とする請求項1に記載の電子部品の製造方法。 - 前記エッチングマスクを形成する工程において、
前記凹部の前記二側面間の前記最大幅に対して、前記切欠き部の開口の前記最小幅が10μm以上大きく、且つ前記凹部の前記二側面間の最小幅が50μm以下となるように、前記第1マスク部および前記第2マスク部を形成することを特徴とする請求項1または請求項2に記載の電子部品の製造方法。 - 前記エッチングマスクを形成する工程において、
前記凹部の前記最小幅が、30μm以下になるように前記第1マスク部を形成することを特徴とする請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。 - 前記電子部品は、振動片であり、
前記振動片は、基部と、前記基部から同一方向に向かって突出するように配置されている振動腕と、外形により画定される前記切欠き部と、前記振動腕に形成された前記凹部と、を備え、
前記ドライエッチング加工の後に、前記振動腕に電極を形成する電極形成工程を含むことを特徴とする請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の電子部品の製造方法。 - 基部と、
前記基部から同一方向に向かって突出するように配置されている振動腕と、
前記振動腕に、非貫通部を有して設けられている凹部と、を備え、
前記凹部の開口は、前記開口の幅に対して直交する方向の長さが、前記幅よりも大きく、且つ前記幅が、外形形状を画定する側面間の最小幅よりも小さいことを特徴とする振動デバイス。 - 前記凹部は、前記長さの方向に沿った断面の形状を、底から開口に向かって広がる曲線としていることを特徴とする請求項6に記載の振動デバイス。
- 前記凹部は、
前記開口の前記長さの方向に位置する端部に向かうに従い前記幅が狭いことを特徴とする請求項6または請求項7に記載の振動デバイス。 - 前記凹部における前記非貫通部の深さは、前記振動腕の厚さに対して20%以上であることを特徴とする請求項6ないし請求項8のいずれか一項に記載の振動デバイス。
- 前記凹部は、前記非貫通部と貫通部とを備え、
前記貫通部は、前記凹部の開口に対して前記底側の開口が小さいことを特徴とする請求項6ないし請求項9のいずれか一項に記載の振動デバイス。 - 前記凹部は、前記長さの方向に沿って複数設けられていることを特徴とする請求項6ないし請求項10のいずれか一項に記載の振動デバイス。
- 請求項6ないし請求項11のいずれか一項に記載の振動デバイスが備えられていることを特徴とする電子機器。
- 請求項6ないし請求項11のいずれか一項に記載の振動デバイスが備えられていることを特徴とする移動体
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