JP2014138414A5 - - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 10
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- 230000003287 optical Effects 0.000 claims 1
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Description
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の適用例として実現することが可能である。
［適用例１］
本発明の振動素子は、厚み滑り振動する振動部を含む第１領域、および前記第１領域よりも厚みが厚い第２領域を含む基板と、
前記振動部の一方の主面に設けられた第１励振電極と、
前記振動部の他方の主面に設けられ、平面視で前記第１励振電極と重なるように配置されている第２励振電極と、
前記第１励振電極から延出して前記第２領域の一方の主面まで引き出されている引出電極と、を含み、
前記基板の平面視にて、前記第１励振電極の面積をＳ１とし、前記第２励振電極と前記引出電極とが重なる部分の面積をＳ２としたとき、Ｓ２／Ｓ１≦０．１なる関係を満足することを特徴とする。
これにより、共振周波数近傍の不要なスプリアスの発生を低減することのできる振動素子が得られる。
［適用例１］
本発明の振動素子は、厚み滑り振動する振動部を含む第１領域、および前記第１領域よりも厚みが厚い第２領域を含む基板と、
前記振動部の一方の主面に設けられた第１励振電極と、
前記振動部の他方の主面に設けられ、平面視で前記第１励振電極と重なるように配置されている第２励振電極と、
前記第１励振電極から延出して前記第２領域の一方の主面まで引き出されている引出電極と、を含み、
前記基板の平面視にて、前記第１励振電極の面積をＳ１とし、前記第２励振電極と前記引出電極とが重なる部分の面積をＳ２としたとき、Ｓ２／Ｓ１≦０．１なる関係を満足することを特徴とする。
これにより、共振周波数近傍の不要なスプリアスの発生を低減することのできる振動素子が得られる。
［適用例４］
本発明の振動素子では、前記基板の厚みをｔ（ｍｍ）、前記第１励振電極の前記振動部の振動方向に沿った長さをａ（ｍｍ）としたとき、
−１０４９ｔ＋５７≦ａ／ｔ≦−６４．４ｔ＋５７なる関係を満足するのが好ましい。
これにより、安定した振動特性が得られる。
［適用例５］
本発明の振動素子では、前記基板の厚みをｔ（ｍｍ）、前記第１励振電極の前記振動方向に直交する方向に沿った長さをｂ（ｍｍ）としたとき、
−８２３ｔ＋４２≦ｂ／ｔ≦−１２０ｔ＋４２なる関係を満足するのが好ましい。
これにより、安定した振動特性が得られる。
本発明の振動素子では、前記基板の厚みをｔ（ｍｍ）、前記第１励振電極の前記振動部の振動方向に沿った長さをａ（ｍｍ）としたとき、
−１０４９ｔ＋５７≦ａ／ｔ≦−６４．４ｔ＋５７なる関係を満足するのが好ましい。
これにより、安定した振動特性が得られる。
［適用例５］
本発明の振動素子では、前記基板の厚みをｔ（ｍｍ）、前記第１励振電極の前記振動方向に直交する方向に沿った長さをｂ（ｍｍ）としたとき、
−８２３ｔ＋４２≦ｂ／ｔ≦−１２０ｔ＋４２なる関係を満足するのが好ましい。
これにより、安定した振動特性が得られる。
［適用例６］
本発明の振動素子では、前記第１領域は、前記振動方向に離間し、前記振動方向と交差する第１外縁および第２外縁と、前記振動方向に直交する方向に離間し、前記振動方向に沿った第３外縁および第４外縁と、を含み、
前記第２領域は、前記第１外縁に沿って設けられ、対象物に固定される固定部が設けられている第１厚肉部と、前記第３外縁に沿って設けられ、かつ、前記第１厚肉部と接続されている第２厚肉部と、を含むのが好ましい。
これにより、振動素子の剛性を高めることができ、振動特性の変化、不要スプリアスの発生を抑制することができる。
［適用例７］
本発明の振動素子では、前記第２外縁および前記第４外縁は、それぞれ、前記第２領域から露出しているのが好ましい。
これにより、振動素子の小型化を図ることができる。
本発明の振動素子では、前記第１領域は、前記振動方向に離間し、前記振動方向と交差する第１外縁および第２外縁と、前記振動方向に直交する方向に離間し、前記振動方向に沿った第３外縁および第４外縁と、を含み、
前記第２領域は、前記第１外縁に沿って設けられ、対象物に固定される固定部が設けられている第１厚肉部と、前記第３外縁に沿って設けられ、かつ、前記第１厚肉部と接続されている第２厚肉部と、を含むのが好ましい。
これにより、振動素子の剛性を高めることができ、振動特性の変化、不要スプリアスの発生を抑制することができる。
［適用例７］
本発明の振動素子では、前記第２外縁および前記第４外縁は、それぞれ、前記第２領域から露出しているのが好ましい。
これにより、振動素子の小型化を図ることができる。
Claims (12)
- 厚み滑り振動する振動部を含む第１領域、および前記第１領域よりも厚みが厚い第２領域を含む基板と、
前記振動部の一方の主面に設けられた第１励振電極と、
前記振動部の他方の主面に設けられ、平面視で前記第１励振電極と重なるように配置されている第２励振電極と、
前記第１励振電極から延出して前記第２領域の一方の主面まで引き出されている引出電極と、を含み、
前記基板の平面視にて、前記第１励振電極の面積をＳ１とし、前記第２励振電極と前記引出電極とが重なる部分の面積をＳ２としたとき、Ｓ２／Ｓ１≦０．１なる関係を満足することを特徴とする振動素子。 - 前記重なる部分の前記引出電極の延在している方向に沿った長さは、２０μｍ以下である請求項１に記載の振動素子。
- 前記基板の平面視にて、前記第１励振電極は、前記第２励振電極の範囲内に配置されている請求項１または請求項２に記載の振動素子。
- 前記基板の厚みをｔ（ｍｍ）、前記第１励振電極の前記振動部の振動方向に沿った長さをａ（ｍｍ）としたとき、
−１０４９ｔ＋５７≦ａ／ｔ≦−６４．４ｔ＋５７なる関係を満足する請求項３に記載の振動素子。 - 前記基板の厚みをｔ（ｍｍ）、前記第１励振電極の前記振動方向に直交する方向に沿った長さをｂ（ｍｍ）としたとき、
−８２３ｔ＋４２≦ｂ／ｔ≦−１２０ｔ＋４２なる関係を満足する請求項３または請求項４に記載の振動素子。 - 前記第１領域は、前記振動方向に離間し、前記振動方向と交差する第１外縁および第２外縁と、前記振動方向に直交する方向に離間し、前記振動方向に沿った第３外縁および第４外縁と、を含み、
前記第２領域は、前記第１外縁に沿って設けられ、対象物に固定される固定部が設けられている第１厚肉部と、前記第３外縁に沿って設けられ、かつ、前記第１厚肉部と接続されている第２厚肉部と、を含む請求項１ないし請求項５のいずれか１項に記載の振動素子。 - 前記第２外縁および前記第４外縁は、それぞれ、前記第２領域から露出している請求項６に記載の振動素子。
- 前記基板は、水晶の結晶軸である、電気軸としてのＸ軸、機械軸としてのＹ軸、及び光学軸としてのＺ軸のうち、前記Ｘ軸を回転軸として、前記Ｚ軸を前記Ｙ軸の−Ｙ方向へ＋Ｚ側が回転するように傾けた軸をＺ’軸、前記Ｙ軸を前記Ｚ軸の＋Ｚ方向へ＋Ｙ側が回転するように傾けた軸をＹ’軸とし、前記Ｘ軸及び前記Ｚ’軸を含む面を主面とし、前記Ｙ’軸に沿った方向を厚みとする水晶板である請求項１ないし請求項７のいずれか１項に記載の振動素子。
- 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の振動素子と、
前記振動素子を収容するパッケージと、を有することを特徴とする振動子。 - 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の振動素子と、
前記振動素子を駆動する発振回路と、を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項１ないし請求項８のいずれか１項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013007913A JP6179104B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2013007913A JP6179104B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2014138414A JP2014138414A (ja) | 2014-07-28 |
| JP2014138414A5 true JP2014138414A5 (ja) | 2016-03-03 |
| JP6179104B2 JP6179104B2 (ja) | 2017-08-16 |
Family
ID=51415674
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2013007913A Active JP6179104B2 (ja) | 2013-01-18 | 2013-01-18 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2017079347A (ja) * | 2015-10-19 | 2017-04-27 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動片、圧電振動子、圧電振動子の製造方法、電子機器、および移動体 |
| JP2019102857A (ja) * | 2017-11-29 | 2019-06-24 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
| JP7062999B2 (ja) * | 2018-02-20 | 2022-05-09 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器、および移動体 |
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| JP7404760B2 (ja) * | 2019-10-18 | 2023-12-26 | セイコーエプソン株式会社 | 発振器、電子機器、及び移動体 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001024470A (ja) * | 1999-07-09 | 2001-01-26 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 超高周波ａｔカット水晶振動子 |
| JP2002033640A (ja) * | 2000-07-17 | 2002-01-31 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電デバイス |
| JP4600692B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2010-12-15 | エプソントヨコム株式会社 | 水晶振動片、水晶デバイス、および水晶振動片の製造方法 |
| JP5796355B2 (ja) * | 2011-06-03 | 2015-10-21 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電振動素子、圧電振動子、電子デバイス、及び電子機器 |
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2013
- 2013-01-18 JP JP2013007913A patent/JP6179104B2/ja active Active
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