JP7404760B2 - 発振器、電子機器、及び移動体 - Google Patents
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Description
そのため、例えば特許文献1では、共通の圧電板に発振信号出力用の第1の振動部と温度検出用の第2の振動部とを設け、1つの圧電板に発振信号出力用と温度検出用の2つの振動子を形成し、2つの振動子間での熱伝達時間差をなくし、発振信号出力用の振動子の温度を正確に測定する構成が開示されている。
先ず、第1実施形態に係る振動素子1について、図1及び図2を参照して説明する。
図1は、第1実施形態に係る振動素子1の概略構成を示す平面図である。図2は、図1のA-A線での断面図である。なお、図中のX軸、Y’軸、Z’軸は、互いに直交する水晶の結晶軸であり、Y’軸、Z’軸は、Y軸、Z軸をX軸のまわりに回転させたときの軸である。また、X軸に沿う方向を「X方向」、Y’軸に沿う方向を「Y’方向」、Z’軸に沿う方向を「Z’方向」とし、矢印の方向がプラス方向である。また、Y’方向のプラス方向を「上」又は「上方」、Y’方向のマイナス方向を「下」又は「下方」として説明する。
振動素子1は、一対の第1励振電極21が形成された第1振動部11で第1振動素子X1を構成し、一対の第2励振電極22が形成された第2振動部12で第2振動素子X2を構成しており、第1振動素子X1と第2振動素子X2とが結合している。
第1振動部11及び第2振動部12と固定部13との間には、夫々第1貫通孔14、第2貫通孔15、及び幅狭部16a,16b,16cが設けられている。そのため、パッケージへの実装に伴う応力が固定部13から第1振動部11及び第2振動部12へ伝わるのを低減することができる。なお、幅狭部とは、幅狭部のZ’方向の長さが水晶基板10のZ’方向の長さより短い部分である。
第2振動部12は、第1主面11aに対して傾斜している傾斜面12aを有し、傾斜面12aと第2主面11bとの夫々に一対の第2励振電極22が平面視で重なるように形成されている。第2振動部12の傾斜面12aは、第1振動部11から離れるにしたがって第2振動部12の厚さが薄くなるように傾斜している。
第1振動部11の第2主面11bには、第1励振電極21と、端子25と、第1励振電極21と端子25とを電気的に接続するリード電極23と、が形成されている。
第2振動部12の第2主面11bには、第2励振電極22と、端子26と、第2励振電極22と端子26とを電気的に接続するリード電極24と、が形成されている。
第2振動素子X2は、一対の第2励振電極22が第2振動部12を水晶基板10の厚さ方向に挟むように形成され、つまり、一対の第2励振電極22が第2振動部12の傾斜面12aと第2主面11bとに形成され、端子26に電圧を印加することで、第2振動部12を振動させることができる。
図3は、水晶基板10の切断角度θを説明する図である。図4は、水晶基板10の切断角度θに対する周波数-温度特性を示す図である。図5は、振動素子1の周波数-温度特性を示す図である。
図6は、振動素子1の主要な製造工程を示すフローチャートである。図7~図12は、振動素子1の製造工程を説明する断面図である。
先ず、ステップS1において、振動素子1の量産性や製造コストを考慮し、大型基板から複数個の振動素子1をバッチ処理方式で製造できる大型水晶基板80を準備する。なお、大型水晶基板80は、水晶原石を所定の切断角度θ1、例えば、35.25°(35°15′)で切断し、ラッピングやポリッシュ加工等を施し、所望の厚さとなっている。
次に、ステップS2において、図7に示すように、大型水晶基板80上にレジスト82を塗布する。
次に、ステップS3において、図8に示すように、レジスト82上に傾斜面12aが形成される領域が開口した、所謂、クロムなどの光遮蔽膜がパターニングされていない領域を有するフォトマスク84をレジスト82上に配置し、露光装置等を用いて光を照射する。この時、大型水晶基板80の板厚を薄くする部分に照射される光量が板厚を薄くしない部分より大きくなる条件化でレジスト82を露光し、現像することで、レジスト82の板厚の厚い部分から板厚の薄い部分に向けて徐々に板厚が薄くなる膜厚分布を有するレジスト82を形成することができる。なお、この露光方法は、露光の強弱を調整して露光するグレイスケール露光といわれる。
次に、ステップS4において、プラズマエッチング装置等を用いて、大型水晶基板80の上方からドライエッチングしてレジスト82を除去すると、図10に示すように、図9で形成された傾斜を有する形状が大型水晶基板80に転写され、傾斜面12aが大型水晶基板80に形成される。なお、傾斜面12aの形成は、上述の方法以外によって形成してもよい。例えば、傾斜面12aの形状に対応した窪みを有する金型に感光性樹脂を充填し、大型水晶基板80に転写して硬化させた後に、ドライエッチング法で傾斜面12aを形成してもよい。
次に、ステップS5において、図11に示すように、例えば、ダイシングブレード等を用いて傾斜面12aを有する大型水晶基板80を切断し、個片化する。
次に、ステップS6において、図12に示すように、第1励振電極21、第2励振電極22、リード電極23,24、及び端子25,26を個片化した水晶基板10上に、例えば、スパッタ装置や蒸着装置等で形成する。以上によって、傾斜面12aを有する振動素子1が得られる。
なお、電極形成は、個片化工程前に、フォトリソグラフィー技法で形成しても構わない。
次に、第2実施形態に係る振動素子1aについて、図13及び図14を参照して説明する。
図13は、第2実施形態に係る振動素子1aの概略構成を示す平面図である。図14は、図13のB-B線での断面図である。
次に、第3実施形態に係る振動素子1bについて、図15及び図16を参照して説明する。
図15は、第3実施形態に係る振動素子1bの概略構成を示す平面図である。図16は、図15のC-C線での断面図である。
次に、第4実施形態に係る振動素子1cについて、図17及び図18を参照して説明する。
図17は、第4実施形態に係る振動素子1cの概略構成を示す平面図である。図18は、図17のD-D線での断面図である。
次に、第5実施形態に係る振動素子1dについて、図19及び図20を参照して説明する。
図19は、第5実施形態に係る振動素子1dの概略構成を示す平面図である。図20は、図19のE-E線での断面図である。
次に、第6実施形態に係る振動素子1,1a,1b,1c,1dを備えている発振器100について、図21及び図22を参照して説明する。なお、以下の説明では、振動素子1を適用した構成を例示して説明する。
図21は、第6実施形態に係る発振器100の概略構造を示す平面図である。図22は、図21のF-F線での断面図である。
図23は、発振器100の回路構成を示すブロック図である。なお、以下の説明では、発振器100の一例について、TCXOを挙げて説明する。
次に、第7実施形態に係る発振器100を備えている電子機器の一例として、スマートフォン1200を挙げて説明する。
図24は、第7実施形態に係る発振器100を備える電子機器としてのスマートフォン1200の構成を示す斜視図である。
このような電子機器は、上述した発振器100を備えていることから、上記実施形態で説明した効果が反映され、性能に優れている。
次に、第8実施形態に係る発振器100を備えている移動体の一例として、自動車1500を挙げて説明する。
図25は、第8実施形態に係る発振器100を備える移動体としての自動車1500の構成を示す斜視図である。
Claims (11)
- 第1振動部と第2振動部とを有する水晶基板、前記第1振動部において前記水晶基板の両主面に形成されている一対の第1励振電極、および、前記第2振動部において前記第2振動部を前記水晶基板の厚さ方向に挟むように形成されている一対の第2励振電極を備え、前記一対の第2励振電極のうちの少なくとも一方の前記第2励振電極は、前記両主面に対して傾斜している傾斜面に形成されている振動素子と、
前記第1励振電極に電気的に接続され、第1発振信号を出力する第1発振回路と、
前記第2励振電極に電気的に接続され、第2発振信号を出力する第2発振回路と、
前記第2発振信号に基づいて、前記第1発振信号の発振周波数を制御する制御信号を出力する制御信号出力回路と、を備えている、
発振器。 - 前記両主面と前記傾斜面とは、切断角度が異なる、
請求項1に記載の発振器。 - 前記第1振動部と前記第2振動部とは、周波数-温度特性が異なる、
請求項1又は請求項2に記載の発振器。 - 前記第2振動部の前記周波数-温度特性は、前記第1振動部の前記周波数-温度特性よりも周波数変化量が大きい、
請求項3に記載の発振器。 - 前記傾斜面は、前記第1振動部から離れるにしたがって前記第2振動部の厚さが薄くなるように傾斜している、
請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の発振器。 - 前記傾斜面は、前記第1振動部に近づくにしたがって前記第2振動部の厚さが薄くなるように傾斜している、
請求項1乃至請求項4の何れか一項に記載の発振器。 - 前記第1振動部は、前記両主面のうちの少なくとも一方の前記主面に凸部が形成されている、
請求項1乃至請求項6の何れか一項に記載の発振器。 - 前記振動素子は、前記振動素子をパッケージに固定する固定部を有し、前記第1振動部及び前記第2振動部と、前記固定部との間に、貫通孔及び幅狭部の少なくとも一方を備えている、
請求項1乃至請求項7の何れか一項に記載の発振器。 - 前記第1振動部と前記第2振動部との間に、貫通孔及び薄肉部の少なくとも一方を備える、
請求項1乃至請求項8の何れか一項に記載の発振器。 - 請求項1乃至請求項9の何れか一項に記載の発振器を備えている、
電子機器。 - 請求項1乃至請求項9の何れか一項に記載の発振器を備えている、
移動体。
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CN115200635A (zh) * | 2022-05-27 | 2022-10-18 | 电子科技大学 | 一种多功能集成化的mems传感器系统 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008178022A (ja) | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Epson Toyocom Corp | 音叉型圧電振動片 |
JP2013051673A (ja) | 2011-07-29 | 2013-03-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子及び水晶発振器 |
Family Cites Families (18)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
GB2251143B (en) | 1990-09-28 | 1994-10-12 | Nec Corp | A temperature detector and a temperature compensated oscillator using the temperature detector |
JP2748740B2 (ja) | 1990-09-28 | 1998-05-13 | 日本電気株式会社 | 温度補償発振器および温度検出装置 |
JPH0918279A (ja) * | 1995-06-29 | 1997-01-17 | Kinseki Ltd | 水晶振動子 |
JP2001203535A (ja) * | 2000-01-20 | 2001-07-27 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 複合振動子とそれを用いた電圧制御型圧電発振器 |
JP5218543B2 (ja) * | 2000-12-12 | 2013-06-26 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電デバイス |
JP2005184665A (ja) * | 2003-12-22 | 2005-07-07 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 圧電基板の製造方法、圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器 |
JP4640511B2 (ja) * | 2009-01-15 | 2011-03-02 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動素子、圧電振動子、及び圧電発振器 |
JP2012023526A (ja) * | 2010-07-14 | 2012-02-02 | Seiko Epson Corp | 屈曲振動片、振動子、発振器および電子機器 |
JP2013098841A (ja) | 2011-11-02 | 2013-05-20 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動子及びこの圧電振動子を備えた発振器 |
JP6179104B2 (ja) * | 2013-01-18 | 2017-08-16 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2014171151A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2014179769A (ja) * | 2013-03-14 | 2014-09-25 | Sii Crystal Technology Inc | 水晶振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP6107332B2 (ja) * | 2013-03-29 | 2017-04-05 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
JP2015226070A (ja) * | 2014-05-26 | 2015-12-14 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP2016140023A (ja) * | 2015-01-29 | 2016-08-04 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
JP2017017569A (ja) * | 2015-07-02 | 2017-01-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動デバイス、電子機器及び移動体 |
JP6611534B2 (ja) * | 2015-09-18 | 2019-11-27 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
JP6852547B2 (ja) | 2017-04-28 | 2021-03-31 | セイコーエプソン株式会社 | 回路装置、発振器、電子機器及び移動体 |
-
2019
- 2019-10-18 JP JP2019190899A patent/JP7404760B2/ja active Active
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2020
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-
2023
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Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008178022A (ja) | 2007-01-22 | 2008-07-31 | Epson Toyocom Corp | 音叉型圧電振動片 |
JP2013051673A (ja) | 2011-07-29 | 2013-03-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子及び水晶発振器 |
Also Published As
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