JP2016219946A - 振動腕形成方法および振動素子 - Google Patents

Abstract

【課題】振動腕の横断面形状の所望形状からのズレを低減することのできる振動腕形成方法、および、この方法で形成された振動腕を備えた振動素子を提供する。
【解決手段】水晶基板２０の上面に振動腕２２の平面視形状に対応した第１マスクＭ１を形成すると共に、他方の面に開口を有する第２マスクＭ２を形成するマスク形成工程と、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２を介して水晶基板２０をウエットエッチングするエッチング工程と、を有し、マスク形成工程では、第２マスクＭ２の＋Ｘ軸側の端部Ｍ２１が、第１マスクＭ１の＋Ｘ軸側の端部Ｍ１１よりも＋Ｘ軸側に位置し、第２マスクＭ２の−Ｘ軸側の端部Ｍ２２が、第１マスクＭ１の−Ｘ軸側の端部Ｍ１２よりも−Ｘ軸側に位置している。
【選択図】図３

Description

本発明は、振動腕形成方法および振動素子に関するものである。

特許文献１には、ジャイロ素子が開示されており、このジャイロ素子の側面には稜線が形成されている。特許文献１では、稜線の位置および高さを制御することで、ゼロ点温度ドリフトのバラつきを抑えている。ここで、ジャイロ素子の外形形状は、フォトリソグラフィー技法とエッチング技法を用いて水晶基板をパターニングすることで得る。具体的には、水晶基板の上面および下面に外形形状に対応したレジストマスクを形成し、このレジストマスクを介して水晶基板をウエットエッチングすることで、ジャイロ素子の外形形状が得られる。

しかしながら、このような方法では、上下のマスクがずれてしまい、駆動腕の断面形状が設計形状からずれてしまうという問題がある。ちなみに、この問題は、装置の精度上避けることが困難である。マスクずれが生じたジャイロ素子では、断面形状が歪なものとなり、面内振動に結合して面外にも振動してしまう。面外への振動が生じると、振動漏れやノイズが生じ、角速度の検出精度が低下する。

特開２００３−１４８９６４号公報

本発明の目的は、振動腕の横断面形状の所望形状からのズレを低減することのできる振動腕形成方法、および、この方法で形成された振動腕を備えた振動素子を提供することにある。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］
本適用例の振動腕形成方法は、基板をウエットエッチングすることで前記基板の面内方向に含まれる第１方向に屈曲振動する振動腕を形成する振動腕形成方法であって、
前記基板の一方の面に前記振動腕の平面視形状に対応した第１マスクを形成すると共に、前記基板の他方の面に、開口を有する第２マスクを形成するマスク形成工程と、
前記第１マスクおよび前記第２マスクを介して前記基板をウエットエッチングすることで前記振動腕の外形形状を得るエッチング工程と、を有し、
前記マスク形成工程では、
前記基板の平面視で、
前記第２マスクの前記第１方向の一方側の端部が、前記第１マスクの前記第１方向の一方側の端部よりも前記一方側に位置し、
前記第２マスクの前記第１方向の他方側の端部が、前記第１マスクの前記第１方向の他方側の端部よりも前記他方側に位置していることを特徴とする。
これにより、振動腕の横断面形状の所望形状からのズレを低減することができる。そのため、より所望形状に近い振動腕が得られる。

［適用例２］
本適用例の振動腕形成方法では、前記第２マスクの前記一方側の端部と前記第１マスクの前記一方側の端部との前記第１方向の離間距離、および、前記第２マスクの前記他方側の端部と前記第１マスクの前記他方側の端部との前記第１方向の離間距離は、それぞれ、１μｍ以上であることが好ましい。
これにより、装置の精度発生してしまう誤差に影響を受け難くなる。

［適用例３］
本適用例の振動腕形成方法は、基板をウエットエッチングすることで前記基板の面内方向に含まれる第１方向に屈曲振動する振動腕を形成する振動腕形成方法であって、
前記基板の一方の面に前記振動腕の平面視形状に対応した第１マスクを形成すると共に、前記基板の他方の面に、開口を有する第２マスクを形成するマスク形成工程と、
前記第１マスクおよび前記第２マスクを介して前記基板をウエットエッチングすることで前記振動腕の外形形状を得るエッチング工程と、を有し、
前記振動腕の前記第１方向の一方側の側面のエッチングレートが他方側の側面のエッチングレートよりも早く、
前記マスク形成工程では、
前記基板の平面視で、前記第２マスクの前記第１方向の前記一方側の端部が、前記第１マスクの前記第１方向の前記一方側の端部よりも前記一方側に位置し、
前記第２マスクの前記他方側の端部と前記第１マスクの前記他方側の端部との前記第１方向の離間距離が、前記第２マスクの前記一方側の端部と前記第１マスクの前記一方側の端部との前記第１方向の離間距離よりも小さいことを特徴とする。
これにより、振動腕の横断面形状の所望形状からのズレを低減することができる。そのため、より所望形状に近い振動腕が得られる。

［適用例４］
本適用例の振動腕形成方法では、前記基板は、水晶基板であり、
水晶の結晶軸である電気軸をＸ軸とし、機械軸をＹ軸とし、光軸をＺ軸としたとき、
前記第１方向は、Ｘ軸方向に沿っていることが好ましい。
これにより、振動腕の横断面形状の所望形状からのズレをより低減することができる。

［適用例５］
本適用例の振動素子は、上記適用例の振動腕形成方法によって形成された振動腕を有することを特徴とする。
これにより、所望の振動特性を発揮することのできる振動素子が得られる。

本発明の第１実施形態に係る振動素子を示す平面図である。 図１中のＡ−Ａ線断面図である。 図１に示す振動素子の振動腕形成方法を示す断面図である。 図１に示す振動素子の振動腕形成方法を示す断面図である。 本発明の第２実施形態に係る振動腕形成方法を示す断面図である。 本発明の第２実施形態に係る振動腕形成方法を示す断面図である。 振動子の好適な実施形態を示す断面図である。 発振器の好適な実施形態を示す断面図である。 電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。 電子機器を適用した携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。 電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。 移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。

以下、本発明の振動腕形成方法および振動素子に基づいて詳細に説明する。
＜第１実施形態＞
図１は、本発明の第１実施形態に係る振動素子を示す平面図である。図２は、図１中のＡ−Ａ線断面図である。図３および図４は、それぞれ、図１に示す振動素子の振動腕形成方法を示す断面図である。

［振動素子］
図１に示す振動素子１は、水晶基板からなる振動片２と、振動片２の表面に形成された電極３１、３２および端子５１、５２と、を有している。

なお、振動片２の構成材料としては、水晶に限定されず、例えば、ニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ₃）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ_３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ_２Ｂ_４Ｏ_７）、ランガサイト（Ｌａ_３Ｇａ_５ＳｉＯ_１４）等の各種圧電体材料を用いてもよい。ただし、水晶を用いることで、他の圧電体材料を用いたときと比較して、優れた周波数温度特性を有する振動素子１が得られる。

図１に示すように、振動片２は、水晶の結晶軸であるＸ軸（電気軸）およびＹ軸（機械軸）およびで規定されるＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸（光軸）方向に厚みを有する板状をなしている。すなわち、振動片２は、Ｚカット水晶板で構成されている。なお、本実施形態では、Ｚ軸が振動片２の厚さ方向と一致しているが、これに限定されず、常温近傍における周波数温度変化を小さくする観点から、Ｚ軸を振動片２の厚さ方向に対して若干（例えば、±１５°未満程度）傾けてもよい。なお、以下では、＋Ｚ軸側を「上」とも言い、−Ｚ軸側を「下」とも言う。

このような振動片２は、音叉型をなし、基部２１と、基部２１の＋Ｙ軸側の端部から＋Ｙ軸側へ延出する一対の振動腕２２、２３と、を有している。振動片２の厚さは、特に限定されないが、例えば、５０μｍ〜２５０μｍ程度である。

基部２１は、ＸＹ平面に広がりを有し、Ｚ軸方向厚さを有する平板状をなしている。そして、基部２１において振動素子１が対象物（例えば、後述するパッケージ８のベース８１）に固定される。また、基部２１の下面には駆動信号端子５１および駆動接地端子５２が設けられている。

振動腕２２、２３は、Ｘ軸方向に並んで設けられ、互いに基部２１から＋Ｙ軸側へ延出している。また、図２に示すように、振動腕２２は、上面２２１に開口する溝２２８と下面２２２に開口する溝２２９とを有しており、略「Ｈ」型の横断面形状となっている。同様に、振動腕２３は、上面２３１に開口する溝２３８と下面２３２に開口する溝２３９とを有しており、略「Ｈ」型の横断面形状となっている。このように、振動腕２２、２３に溝２２８、２２９、２３８、２３９を設けることで、熱弾性損失が低減され、Ｑ値が高まり、より優れた振動特性を発揮することができる。

また、図２に示すように、振動腕２２、２３には、それぞれ、駆動信号電極３１および駆動接地電極３２が設けられている。駆動信号電極３１は、振動腕２２の両主面（上面および下面）および振動腕２３の両側面に配置され、駆動接地電極３２は、振動腕２２の両側面および振動腕２３の両主面（上面および下面）に配置されている。また、駆動信号電極３１は、図示しない配線を介して駆動信号端子５１に接続されており、駆動接地電極３２は、図示しない配線を介して駆動接地端子５２に接続されている。

そのため、駆動信号端子５１および駆動接地端子５２を介して、駆動信号電極３１および駆動接地電極３２間に交番電圧を印加すると、振動腕２２、２３が互いに接近、離間を繰り返すようにＸ軸方向（面内方向）の振動を主成分として所定の周波数で屈曲振動する。

［振動片の製造方法（振動腕形成方法）］
次に、上述した振動片２の製造方法（振動腕形成方法）について説明する。

振動片２の製造方法は、水晶基板２０を用意し、水晶基板２０の上下面にマスクを形成するマスク形成工程と、マスクを介して水晶基板２０をウエットエッチングするエッチング工程と、を有している。以下、これら各工程について順次詳細に説明する。

（マスク形成工程）
まず、図３（ａ）に示すように、水晶基板（水晶ウエハ）２０を用意する。次に、図３（ｂ）に示すように、水晶基板２０の上面（＋Ｚ軸側の面。一方の面）に第１マスクＭ１を形成すると共に、下面（他方の面）に第２マスクＭ２を形成する。なお、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２は、フォトリソグラフィー技法およびエッチング技法によって形成することができる。

第１、第２マスクＭ１、Ｍ２のうち、第１マスクＭ１は、振動片２の平面視形状にほぼ一致している。一方、第２マスクＭ２は、少なくともＸ軸方向（振動腕２２、２３の幅方向）において、振動片２の平面視形状よりも一回り大きく形成されている。そのため、第２マスクＭ２の＋Ｘ側（第１方向の一方側）の端部Ｍ２１が第１マスクＭ１の＋Ｘ軸側の端部Ｍ１１よりも＋Ｘ軸に位置し、反対に、第２マスクＭ２の−Ｘ軸側（第１方向の他方側）の端部Ｍ２２が、第１マスクＭ１の−Ｘ軸側の端部Ｍ１２よりも−Ｘ軸側に位置している。

（エッチング工程）
第１、第２マスクＭ１、Ｍ２を形成した水晶基板２０をエッチング液に浸漬し、水晶基板２０を第１、第２マスクＭ１、Ｍ２を介してウエットエッチングすることで、図３（ｃ）に示すように、振動片２が得られる。

このような形成方法によれば、次のような効果が得られる。
第１の効果として、前述したように、第１マスクＭ１を振動片２の平面視形状に一致させて形成し、第２マスクＭ２をそれよりも大きく形成しているため、水晶基板２０は、第１マスクＭ１に支配されてエッチングされる。具体的に説明すると、本工程でのエッチングは、図４に示すように進行するが、同図から分かるように、振動腕２２、２３の断面形状は、第１マスクＭ１側からのエッチングにより決定されており、第２マスクＭ２側からのエッチングの影響をほとんど受けていない。したがって、仮に、第１マスクＭ１と第２マスクＭ２が所定の位置関係からＸ軸方向にずれたとしても、所望の断面形状を有する振動腕２２、２３を形成することができ、面外振動等の合成が十分に低減された振動片２が得られる。

ここで、前述したように、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２は、フォトリソグラフィー技法およびエッチング技法によって形成されるが、露光装置の露光精度の限界から、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２のずれが生じる可能性がある。このようなずれは、装置によっても異なるが、一般的に、大きいものでも０．５μｍ以内に収まる。そこで、第２マスクＭ２の＋Ｘ軸側の端部Ｍ２１と第１マスクＭ１の＋Ｘ軸側の端部Ｍ１１とのＸ軸方向の離間距離Ｌ１、および、第２マスクＭ２の−Ｘ軸側の端部Ｍ２２と第１マスクＭ１の−Ｘ軸側の端部Ｍ１２とのＸ軸方向の離間距離Ｌ２を、１μｍ以上とすることが好ましい。言い換えると、第２マスクＭ２のＸ軸方向の幅Ｗ２は、第１マスクＭ１のＸ軸方向の幅Ｗ１よりも２μｍ以上大きいことが好ましい。離間距離Ｌ１、Ｌ２をそれぞれこのような範囲に設定することで、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２にずれが生じても、そのズレに影響されることなく、所定の横断面形状を有する振動腕２２、２３を形成することができる。また、離間距離Ｌ１、Ｌ２をこのような範囲に設定することで、上記効果の他にも、第２マスクＭ２側からのエッチングが振動腕２２、２３の外形形成に影響を及ぼすことをより効果的に低減することができる。

さらに、第２の効果として、第２マスクＭ２にもエッチング液を供給する開口が設けられているため、水晶基板２０を第２マスクＭ２側からもエッチングすることができ、水晶基板２０のエッチング時間をより短くすることができる。

＜第２実施形態＞
図５および図６は、それぞれ、本発明の第２実施形態に係る振動腕形成方法を示す断面図である。

以下、第２実施形態の振動腕形成方法について、前述した第１実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。また、前述した第１実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。

［振動腕形成方法］
本実施形態の振動腕２２、２３の形成方法は、水晶基板２０を用意し、水晶基板２０の上下面にマスクを形成するマスク形成工程と、マスクを介して水晶基板２０をウエットエッチングするエッチング工程と、を有している。以下、これら各工程について順次詳細に説明する。

（マスク形成工程）
まず、図５（ａ）に示すように、水晶基板（水晶ウエハ）２０を用意する。次に、図５（ｂ）に示すように、水晶基板２０の上面（＋Ｚ軸側の面。一方の面）に第１マスクＭ１を形成すると共に、下面（他方の面）に第２マスクＭ２を形成する。なお、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２は、フォトリソグラフィー技法およびエッチング技法によって形成することができる。

第１、第２マスクＭ１、Ｍ２のうち、第１マスクＭ１は、振動片２（振動腕２２、２３）の平面視形状にほぼ一致している。一方、第２マスクＭ２は、少なくとも−Ｘ軸側において、振動片２の平面視形状よりも一回り大きく形成されている。そのため、第２マスクＭ２の−Ｘ側（第１方向の一方側）の端部Ｍ２２が第１マスクＭ１の−Ｘ軸側の端部Ｍ１２よりも−Ｘ軸に位置している。

また、第２マスクＭ２の＋Ｘ軸側の端部Ｍ２１と第１マスクＭ１の＋Ｘ軸側の端部Ｍ１１とのＸ軸方向の離間距離Ｌ１は、第２マスクＭ２の−Ｘ軸側の端部Ｍ２２と第１マスクＭ１の−Ｘ軸側の端部Ｍ１２とのＸ軸方向の離間距離Ｌ２よりも短い。第１、第２マスクＭ１、Ｍ２をこのように形成するのは、水晶基板２０を＋Ｚ軸側からエッチングしたとき、＋Ｘ軸側の面が−Ｘ軸側の面と比べてエッチングレートが低いことに関係している。すなわち、第１、第２マスクＭ１、Ｍ２をこのように形成することで、振動腕２２、２３の両側面のうち、エッチングレートの高い−Ｘ軸側の面については実質的に第１マスクＭ１側のエッチングのみで形成し、エッチングレートの低い＋Ｘ軸側の面については第１マスクＭ１側および第２マスクＭ２側の両側からのエッチングで形成することができる。そのため、少なくとも−Ｘ軸側の面についてはマスクずれの影響を低減することができ、かつ、エッチング時間の短縮を図ることができる。

なお、離間距離Ｌ１としては、特に限定されないが、短い程好ましく、０（ゼロ）であることがより好ましい。また、離間距離Ｌ２としては、特に限定されないが、１μｍ以上であることが好ましい。離間距離Ｌ１、Ｌ２をこのような範囲とすることで、上述した効果をより顕著に発揮することができる。

（エッチング工程）
第１、第２マスクＭ１、Ｍ２を形成した水晶基板２０をエッチング液に浸漬し、水晶基板２０を第１、第２マスクＭ１、Ｍ２を介してウエットエッチングすることで、図５（ｃ）に示すように、溝２２８、２２９、２３８、２３９が形成されていない状態の振動片２が得られる。

具体的に説明すると、本工程でのエッチングは、図６に示すように進行するが、同図から分かるように、振動腕２２、２３の−Ｘ軸側の側面は、離間距離Ｌ２が大きいため、第１マスクＭ１側からのエッチングにより形成され、＋Ｘ軸側の側面は、離間距離Ｌ１が小さいため（ほぼ０であるため）、第１マスクＭ１側および第２マスクＭ２側の両側からのエッチングにより形成されている。ここで、振動腕２２、２３の−Ｘ軸側の側面は、エッチングレートが高いため、ほぼ垂直な面とすることができ、＋Ｘ軸側の側面は、エッチングレートが低く、両側から同じようにエッチングされるため、厚さ方向のほぼ中央に稜線２２ａ、２３ａが位置する形状となっている。そのため、振動腕２２、２３は、上下にほぼ対称な横断面形状となり、面外振動の合成が十分に低減された振動片２が得られる。

このように、エッチングレートの高い方の面を水晶基板２０の片側からのエッチングで形成し、エッチングレートの低い方の面を水晶基板２０の両側からのエッチングで形成することで、エッチング時間を短縮しつつ、面外振動の合成が十分に低減された振動片２を得ることができる。

［振動子］
次に、上述した振動素子１を備える振動子１０について説明する。

図７は、振動子の好適な実施形態を示す断面図である。
図７に示す振動子１０は、前述した振動素子１と、振動素子１を収容するパッケージ８とを有している。

パッケージ８は、凹部８１１を有する箱状のベース８１と、凹部８１１の開口を塞いでベース８１に接合された板状のリッド８２とを有している。そして、凹部８１１がリッド８２によって塞がれることにより形成された収容空間に振動素子１が収納されている。収容空間は、減圧（真空）状態となっている。また、凹部８１１の底面には接続端子８３１、８３２が形成されている。これら接続端子８３１、８３２は、それぞれ、ベース８１に形成された図示しない内部配線によって、ベース８１の下面に引き出されている。

そして、振動素子１は、基部２１において導電性接着材８６１、８６２を介して凹部８１１の底面に固定されている。また、導電性接着材８６１を介して、駆動信号端子５１と接続端子８３１とが電気的に接続され、導電性接着材８６２を介して、駆動接地端子５２と接続端子８３２が電気的に接続されている。

［発振器］
次に、振動素子１を備える発振器について説明する。

図８は、発振器の好適な実施形態を示す断面図である。
図８に示す発振器１００は、振動子１０と、ＩＣチップ９とを有している。ＩＣチップ９は、凹部８１１の底面にろう材等によって固定されており、振動素子１と電気的に接続されている。また、ＩＣチップ９は、振動素子１を発振させる発振回路等を有している。なお、本実施形態では、ＩＣチップ９がパッケージ８の内部に設けられているが、ＩＣチップ９は、パッケージ８の外部に設けられていてもよい。

［電子機器］
次いで、発振器（振動素子）を備える電子機器について説明する。

図９は、電子機器を適用したモバイル型（またはノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には発振器１００が内蔵されている。

図１０は、電子機器を適用した携帯電話機（スマートフォン、ＰＨＳも含む）の構成を示す斜視図である。

この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０８が配置されている。このような携帯電話機１２００には発振器１００が内蔵されている。

図１１は、電子機器を適用したデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。このようなデジタルスチールカメラ１３００には発振器１００が内蔵されている。

以上のような電子機器は、発振器１００（振動素子１）を備えているため、高い信頼性を発揮することができる。

なお、電子機器は、図９のパーソナルコンピューター、図１０の携帯電話機、図１１のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、スマートフォン、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャ、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター等に適用することができる。

［移動体］
次いで、発振器１００（振動素子１）を備える移動体について説明する。

図１２は、移動体を適用した自動車の構成を示す斜視図である。
自動車１５００には、発振器１００が内蔵されている。発振器１００は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

以上、本発明の振動腕形成方法および振動素子を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。また、本発明は、前記各実施形態のうちの、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

また、前述した実施形態では、振動素子が音叉型の振動素子であったが、振動素子の構成としては、これに限定されず、例えば、双音叉型の振動素子であってもよい。また、振動腕の数としては、２つに限定されず、１つであってもよいし、３つ以上であってもよい。また、振動素子としては、角速度、加速度等の物理量を検出することのできるものあってもよい。

１……振動素子
１０……振動子
１００……発振器
２……振動片
２０……水晶基板
２１……基部
２２……振動腕
２２ａ……稜線
２２１……上面
２２２……下面
２２８、２２９……溝
２３……振動腕
２３ａ……稜線
２３１……上面
２３２……下面
２３８、２３９……溝
３１……駆動信号電極
３２……駆動接地電極
５１……駆動信号端子
５２……駆動接地端子
８……パッケージ
８１……ベース
８１１……凹部
８２……リッド
８３１、８３２……接続端子
８６１、８６２……導電性接着材
９……ＩＣチップ
１１００……パーソナルコンピューター
１１０２……キーボード
１１０４……本体部
１１０６……表示ユニット
１１０８……表示部
１２００……携帯電話機
１２０２……操作ボタン
１２０４……受話口
１２０６……送話口
１２０８……表示部
１３００……デジタルスチールカメラ
１３０２……ケース
１３０４……受光ユニット
１３０６……シャッターボタン
１３０８……メモリー
１３１０……表示部
１５００……自動車
Ｌ１、Ｌ２……離間距離
Ｍ１……第１マスク
Ｍ１１、Ｍ１２……端部
Ｍ２……第２マスク
Ｍ２１、Ｍ２２……端部
Ｗ１、Ｗ２……幅

Claims (5)

1. 基板をウエットエッチングすることで前記基板の面内方向に含まれる第１方向に屈曲振動する振動腕を形成する振動腕形成方法であって、
   前記基板の一方の面に前記振動腕の平面視形状に対応した第１マスクを形成すると共に、前記基板の他方の面に、開口を有する第２マスクを形成するマスク形成工程と、
   前記第１マスクおよび前記第２マスクを介して前記基板をウエットエッチングすることで前記振動腕の外形形状を得るエッチング工程と、を有し、
   前記マスク形成工程では、
   前記基板の平面視で、
   前記第２マスクの前記第１方向の一方側の端部が、前記第１マスクの前記第１方向の一方側の端部よりも前記一方側に位置し、
   前記第２マスクの前記第１方向の他方側の端部が、前記第１マスクの前記第１方向の他方側の端部よりも前記他方側に位置していることを特徴とする振動腕形成方法。
2. 前記第２マスクの前記一方側の端部と前記第１マスクの前記一方側の端部との前記第１方向の離間距離、および、前記第２マスクの前記他方側の端部と前記第１マスクの前記他方側の端部との前記第１方向の離間距離は、それぞれ、１μｍ以上である請求項１に記載の振動腕形成方法。
3. 基板をウエットエッチングすることで前記基板の面内方向に含まれる第１方向に屈曲振動する振動腕を形成する振動腕形成方法であって、
   前記基板の一方の面に前記振動腕の平面視形状に対応した第１マスクを形成すると共に、前記基板の他方の面に、開口を有する第２マスクを形成するマスク形成工程と、
   前記第１マスクおよび前記第２マスクを介して前記基板をウエットエッチングすることで前記振動腕の外形形状を得るエッチング工程と、を有し、
   前記振動腕の前記第１方向の一方側の側面のエッチングレートが他方側の側面のエッチングレートよりも早く、
   前記マスク形成工程では、
   前記基板の平面視で、前記第２マスクの前記第１方向の前記一方側の端部が、前記第１マスクの前記第１方向の前記一方側の端部よりも前記一方側に位置し、
   前記第２マスクの前記他方側の端部と前記第１マスクの前記他方側の端部との前記第１方向の離間距離が、前記第２マスクの前記一方側の端部と前記第１マスクの前記一方側の端部との前記第１方向の離間距離よりも小さいことを特徴とする振動腕形成方法。
4. 前記基板は、水晶基板であり、
   水晶の結晶軸である電気軸をＸ軸とし、機械軸をＹ軸とし、光軸をＺ軸としたとき、
   前記第１方向は、Ｘ軸方向に沿っている請求項１ないし３のいずれか１項に記載の振動腕形成方法。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項に記載の振動腕形成方法によって形成された振動腕を有することを特徴とする振動素子。

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