JP2015001420A - ジャイロセンサー素子、ジャイロ装置、電子機器および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】振動腕の駆動効率の向上と、角速度の検出感度の向上とを両立させたジャイロセンサー素子を提供すること。【解決手段】振動腕と、前記振動腕の一面上に設けられている第１積層体および第２積層体と、を有し、前記第１積層体および前記第２積層体は、第１電極層、第２電極層、第３電極層、前記第１電極層と前記第２電極層との間に設けられている第１圧電層および前記第２電極層と前記第３電極層との間に設けられている第２圧電層、を含み、前記第１積層体は、前記第１電極層、前記第１圧電層および前記第２電極層を含む駆動部を有し、前記第２積層体は、前記第２電極層、前記第２圧電層および前記第３電極層を含む検出部を有し、前記第１圧電層の圧電歪定数は、前記第２圧電層の圧電歪定数より大きく、前記第２圧電層の誘電率は、前記第１圧電層の誘電率より小さいこと【選択図】図１

Description

本発明は、ジャイロセンサー素子、ジャイロ装置、電子機器および移動体に関する。

従来から、ジャイロセンサーは、船舶、航空機、ロケットなどの姿勢を自律制御する技術に使用されている。最近では、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラ、ビデオカメラおよび携帯電話の振動制御補正（いわゆる手振れ補正）などに用いられている。これら電子機器の小型化に伴い、例えば、特許文献１に記載されているように、シリコン基板からなる音叉型振動子のアームに、振動部を励振する駆動部と、振動部のたわみを検出する検知部を設けた小型なジャイロセンサーが知られていた。

特開２００５−２４９３９５号公報

特許文献１に記載のジャイロセンサーの駆動部および検出部（検知部）は、上部電極と下部電極および上部電極と下部電極とに挟まれた圧電体で形成されており、圧電体には、圧電材料の中で大きな圧電歪定数（ｄ）を有するチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）などが使用されている。駆動部にＰＺＴを用いると、与えられた電気的エネルギーを高効率で駆動振動へ変換できるという長所が得られる。しかし、一般的に、大きい圧電歪定数（ｄ）を有する圧電体は、高い誘電率を有しており、検出部にＰＺＴを用いると、検出部に蓄えられている電荷量が多く、圧電体が振動腕の厚み方向に撓むことによって生じる微少な電荷の変化を検知し難い。すなわち、振動腕の駆動効率の向上と、角速度の検出感度の向上とを両立することが難しいという課題があった。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係るジャイロセンサー素子は、振動腕と、前記振動腕の一面上に設けられている第１積層体および第２積層体と、を有し、前記第１積層体および前記第２積層体は、第１電極層、第２電極層、第３電極層、前記第１電極層と前記第２電極層との間に設けられている第１圧電層および前記第２電極層と前記第３電極層との間に設けられている第２圧電層、を含み、前記第１積層体は、前記第１積層体に設けられている前記第１電極層、前記第１圧電層および前記第２電極層を含む駆動部を有し、前記駆動部は、前記振動腕を第１の方向に屈曲振動させ、前記第２積層体は、前記第２積層体に設けられている前記第２電極層、前記第２圧電層および前記第３電極層を含む検出部を有し、前記検出部は、前記振動腕が前記第１の方向と交差する方向へ振動したことを検出し、前記第１圧電層の圧電歪定数は、前記第２圧電層の圧電歪定数より大きく、前記第２圧電層の誘電率は、前記第１圧電層の誘電率より小さいことを特徴とする。

本適用例によれば、ジャイロセンサー素子は、振動腕の上に第１積層体と第２積層体が形成され、第１積層体には第１圧電層を含む駆動部が設けられ、第２積層体には第２圧電層を含む検出部が設けられている。第１圧電層は第２圧電層の圧電歪定数より大きい圧電歪定数を有する圧電材料で形成され、第２圧電層は第１圧電層の誘電率よりも小さい誘電率を有する圧電材料で形成されている。ジャイロセンサー素子の駆動部は、逆圧電効果を利用して、第１圧電層に電圧を印加して圧電層に歪を生じさせ、振動腕に第１の方向への屈曲振動を励起させる。第１圧電層に、圧電歪定数（逆圧電効果）の大きい圧電材料を使用することで、電気エネルギー（電圧）から機械エネルギー（歪）への変換効率が高まり、振動腕を大きく屈曲振動させることができる。なお、第１の方向とは、駆動部が振動腕を屈曲振動させる方向である。検出部は、振動腕に加わる角速度で生じるコリオリ力が第２圧電層に歪を加え、圧電効果により、歪量に応じて圧電層に現れる電荷を検出する。第２圧電層に誘電率の小さい圧電材料を使用することで、検出部に滞留する電荷量を減らせるため、歪量に応じて現れる電荷を精度良く検出することができる。これによって、振動腕を効率よく屈曲振動させると共に、角速度が加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することが可能なジャイロセンサー素子を提供することができる。

［適用例２］上記適用例に記載のジャイロセンサー素子は、前記第１積層体および前記第２積層体は、前記振動腕の前記一面上より、前記第１電極層、前記第１圧電層、前記第２電極層、前記第２圧電層、前記第３電極層、の順に積層されていることが好ましい。

本適用例によれば、ジャイロセンサー素子の駆動部は、振動腕に接している第１電極層と、第１圧電層と、第２電極層とで形成され、検出部は、振動腕と第１電極層および第１圧電層を介した第２電極層と、第２圧電層と、第３電極層とで形成されている。通常、層を多層に積層すると、後から積層した層は、先に形成した下地となる層の表面形状の影響を受け、層の表面に生じる厚さ方向の凹凸が大きくなる。言い換えれば、振動腕に近い層ほど、表面形状が平坦で良好な膜質が得られ、圧電歪定数の大きい圧電層を形成することができる。したがって、第１圧電層を駆動部とすることで、振動腕を効率よく屈曲振動させることができる。また、検出部は、振動腕と第１電極層および第１圧電層を介した厚み方向に離れた位置に形成されているため、振動腕に厚み方向の力が加わると、第２圧電層に加わる歪量が大きくなる。これにより、圧電層に現れる電荷量も多くなるため、角速度が加わった時に生じる電荷の検出精度を向上することができる。

［適用例３］上記適用例に記載のジャイロセンサー素子は、前記第１積層体は、一対で設けられており、前記第２積層体は、一対の前記第１積層体の間に設けられていることが好ましい。

本適用例によれば、ジャイロセンサー素子の振動腕には、一対の駆動部が設けられているため、振動腕を効率よく屈曲振動させることができる。

［適用例４］上記適用例に記載のジャイロセンサー素子は、前記第１積層体は、前記第１積層体に設けられている前記第２電極層、前記第３電極層および前記第２圧電層を含む補正部を有し、前記補正部は、前記駆動部による屈曲振動によって前記振動腕に生ずる前記第１の方向と交差する方向の振動と逆位相の振動を前記振動腕に生じさせることが好ましい。

本適用例によれば、ジャイロセンサー素子の第１積層体には、補正部が設けられており、検出部で検知した駆動部による振動に起因して振動腕に生ずる第１の方向と交差する方向の振動（漏れ振動）と逆位相の振動を励起する電圧を補正部に印加することで、漏れ振動を制振することができる。

［適用例５］上記適用例に記載のジャイロセンサー素子は、前記第１積層体は、前記第１積層体に設けられている前記第２電極層、前記第３電極層および前記第２圧電層を含むモニター部を有し、前記モニター部は、前記振動腕の振動を検出し振幅に応じた電荷を出力することが好ましい。

本適用例によれば、ジャイロセンサー素子の第１積層体には、モニター部が設けられており、振動腕の屈曲振動で第２圧電層に生じる歪により現れる電荷を増幅して、駆動部に電圧を印加する駆動回路にモニター電圧として印加することができるため、振動腕に安定した屈曲振動をさせることができる。

［適用例６］本適用例に係るジャイロ装置は、上記適用例に記載のジャイロセンサー素子と、前記ジャイロセンサー素子を駆動する駆動回路と、前記ジャイロセンサー素子に加わった角速度に応じた信号を出力する検出回路と、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動腕を効率よく屈曲振動させると共に、角速度が加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することが可能なジャイロ装置を提供することができる。

［適用例７］本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載のジャイロセンサー素子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動腕を効率よく屈曲振動させると共に、角速度が加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することが可能なジャイロセンサー素子を備えた電子機器を提供することができる。

［適用例８］本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載のジャイロセンサー素子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動腕を効率よく屈曲振動させると共に、角速度が加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することが可能なジャイロセンサー素子を備えた移動体を提供することができる。

実施形態１に係るジャイロセンサー素子の概略構成を示す模式平面図。 図１におけるＡ−Ａ線での断面図。 変形例１に係るジャイロセンサー素子の図１におけるＡ−Ａ線での断面図。 駆動回路および補正信号生成回路の構成を示すブロック図。 検出回路の構成を示すブロック図。 駆動振動の振動形態を説明する図。 変形例２に係るジャイロセンサー素子の図１におけるＡ−Ａ線での断面図。 駆動回路の構成を示すブロック図。 ジャイロセンサー素子を備えるジャイロ装置の概略を示す断面図。 ジャイロセンサー素子を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。 ジャイロセンサー素子を備える電子機器としての携帯電話機を示す斜視図。 ジャイロセンサー素子を備える電子機器としてのデジタルスチルカメラを示す斜視図。 ジャイロセンサー素子を備える移動体としての自動車を示す斜視図。

以下、本発明の実施形態について、図面を参照して説明する。なお、以下の各図においては、各層や各部材を認識可能な程度の大きさにするため、各層や各部材の尺度を実際とは異ならせている。

＜ジャイロセンサー素子＞
（実施形態）
図１は、実施形態に係るジャイロセンサー素子１の概略構成を示す模式平面図である。図２は、図１におけるＡ−Ａ線での断面図である。ここで、図１、図２、および後述する図３、図６、図７では、説明の便宜上、互いに直交する３軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「＋側」、基端側を「−側」としている。また、以下では、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」と言い、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」と言い、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」と言う。
まず、実施形態に係るジャイロセンサー素子の概略構成について、図１と図２とを用いて説明する。

図１に示すように、ジャイロセンサー素子１は、基部１０と、基部１０から延出している一対の振動腕２０，３０などから構成されている。詳しくは、ジャイロセンサー素子１は、略矩形平板状の基部１０の＋Ｙ側の一端から、Ｙ軸方向に互いに略平行に延びる角柱状の一対の振動腕２０，３０を備えている。ジャイロセンサー素子１を構成する基部１０と振動腕２０，３０は、一体で形成され、例えば、Ｓｉ（シリコン）を主成分とする材料が用いられている。ジャイロセンサー素子１は、その平面形状より音叉型ジャイロとも呼ばれている。

振動腕２０の一面である主面１１上には、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の一対の第１積層体４０，５０が設けられている。そして、一対の第１積層体４０，５０の間には、Ｙ軸方向を長辺とする第２積層体６０が設けられている。
振動腕３０の主面１１上には、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の一対の第１積層体７０，８０が設けられている。そして、一対の第１積層体７０，８０の間には、Ｙ軸方向を長辺とする第２積層体９０が設けられている。

第１積層体４０と第１積層体５０とは、振動腕２０の主面１１上の中心線Ｃ１に対して、互いに略線対称形状に設けられ、第２積層体６０は、振動腕２０の主面１１上の中心線Ｃ１に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが互いに略線対称に設けられている。
第１積層体７０と第１積層体８０とは、振動腕３０の主面１１上の中心線Ｃ２に対して、互いに略線対称形状に設けられ、第２積層体９０は、振動腕３０の主面１１上の中心線Ｃ２に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが互いに略線対称に設けられている。

第１積層体４０は、振動腕２０の主面１１の上面より、第１電極層４１、第１圧電層４２、第２電極層４３、第２圧電層４４、第３電極層４５の順に積層され、第１電極層４１、第１圧電層４２および第２電極層４３で構成される駆動部１０１が設けられている。
第１積層体５０は、振動腕２０の主面１１の上面より、第１電極層５１、第１圧電層５２、第２電極層５３、第２圧電層５４、第３電極層５５の順に積層され、第１電極層５１、第１圧電層５２および第２電極層５３で構成される駆動部１０２が設けられている。
第２積層体６０は、振動腕２０の主面１１の上面より、第１電極層６１、第１圧電層６２、第２電極層６３、第２圧電層６４、第３電極層６５の順に積層され、第２電極層６３、第２圧電層６４および第３電極層６５で構成される検出部１１１が設けられている。

第１積層体７０は、振動腕２０の主面１１の上面より、第１電極層７１、第１圧電層７２、第２電極層７３、第２圧電層７４、第３電極層７５の順に積層され、第１電極層７１、第１圧電層７２および第２電極層７３で構成される駆動部１０３が設けられている。
第１積層体８０は、振動腕２０の主面１１の上面より、第１電極層８１、第１圧電層８２、第２電極層８３、第２圧電層８４、第３電極層８５の順に積層され、第１電極層８１、第１圧電層８２および第２電極層８３で構成される駆動部１０４が設けられている。
第２積層体９０は、振動腕２０の主面１１の上面より、第１電極層９１、第１圧電層９２、第２電極層９３、第２圧電層９４、第３電極層９５の順に積層され、第２電極層９３、第２圧電層９４および第３電極層９５で構成される検出部１１２が設けられている。

第１電極層４１，５１，６１，７１，８１，９１、第２電極層４３，５３，６３，７３，８３，９３、第３電極層４５，５５，６５，７５，８５，９５には、例えば、Ｐｔ（プラチナ）、Ａｌ（アルミニウム）、Ｍｏ（モリブデン）、Ｃｒ（クロム）、Ｔｉ（チタン）、Ｎｉ（ニッケル）、Ｃｕ（銅）、Ａｇ（銀）、Ａｕ（金）などが用いられている。
第１圧電層４２，５２，６２，７２，８２，９２には、圧電歪定数（絶対値）の大きい圧電材料として知られているＰＺＴが用いられ、第２圧電層４４，５４，６４，７４，８４，９４には、ＺｎＯ（酸化亜鉛）が用いられている。

ＰＺＴの圧電歪定数の絶対値（ｄ）は、一例として約１３０×１０^-12ｍ／Ｖであり、ＺｎＯの圧電歪係数の絶対値（ｄ）は、一例として約６×１０^-12ｍ／Ｖである。ＰＺＴの比誘電率（εｒ）は、８００〜３０００であり、ＺｎＯの比誘電率（εｒ）は、８〜１０である。ここで、比誘電率（εｒ）とは、当該物質の誘電率（ε）と真空の誘電率（ε_O）との比（εｒ＝ε／ε_O）を表す。これにより、ジャイロセンサー素子１は、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４に、検出部１１１，１１２を構成する第２圧電層６４，９４より大きい圧電歪定数（絶対値）を有する第１圧電層４２，５２，７２，８２を備え、検出部１１１，１１２に、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を構成する第１圧電層４２，５２，７２，８２より小さい誘電率を有する第２圧電層６４，９４を備えることができる。
なお、本実施形態では、第１圧電層４２，５２，６２，７２，８２，９２にＰＺＴ、第２圧電層４４，５４，６４，７４，８４，９４にＺｎＯを用いるものとして説明したが、これらの圧電材料に限定されるものではない。

第１積層体４０，５０，７０，８０および第２積層体６０，９０を形成する第１電極層４１，５１，６１，７１，８１，９１、第１圧電層４２，５２，６２，７２，８２，９２、第２電極層４３，５３，６３，７３，８３，９３、第２圧電層４４，５４，６４，７４，８４，９４、第３電極層４５，５５，６５，７５，８５，９５の成膜には、例えば、スパッタ法などが用いられ、パターニング（外形形状形成）には、例えば、フォトリソグラフィー法及びエッチング法などが用いられる。
本実施形態では、第１積層体４０，５０，７０，８０および第２積層体６０，９０は、主面１１上に設けられ、主面１１の反対側にあたる裏面１２には設けられていない。これにより、スパッタ法、フォトリゾグラフィー法やエッチング法などの一括処理を効率よく実施できる。

次に、ジャイロセンサー素子１の振動腕を第１の方向へ駆動（屈曲振動）させる方法について説明する。本実施形態では、一例として、振動腕をＸ軸方向（第１の方向）に駆動させる方法を説明する。
駆動部１０１，１０２，１０３，１０４の第１圧電層４２，５２，７２，８２は、−Ｚ軸方向に分極処理され、第２電極層４３，５３，７３，８３は、グランドに接続されている。

まず、振動腕２０の変位について説明する。第１積層体４０に備えられている駆動部１０１の第１電極層４１に＋（プラス）電位を印加すると、逆圧電効果により、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第１圧電層４２は、Ｚ軸方向に伸長し、Ｙ軸方向に収縮する。同時に、第１積層体５０に備えられている駆動部１０２の第１電極層５１に−（マイナス）電位を印加すると、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第１圧電層５２は、Ｚ軸方向に収縮し、Ｙ軸方向に伸長する。すると、振動腕２０の主面１１上の中心線Ｃ１に対して、第１積層体４０は振動腕２０の−Ｘ軸方向に、第１積層体５０は振動腕２０の＋Ｘ軸方向に、互いに略線対称形状に設けられているため、振動腕２０はＸＹ平面に沿って−Ｘ軸方向へ変位する。

次に、振動腕３０の変位について説明する。第１積層体８０に備えられている駆動部１０４の第１電極層８１に＋電位を印加すると、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第１圧電層８２は、Ｚ軸方向に伸長し、Ｙ軸方向に収縮する。同時に、第１積層体７０に備えられている駆動部１０３の第１電極層７１に−電位を印加すると、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第１圧電層７２は、Ｚ軸方向に収縮し、Ｙ軸方向に伸長する。すると、振動腕３０の主面１１上の中心線Ｃ１に対して、第１積層体８０は振動腕３０の＋Ｘ軸方向に、第１積層体７０は振動腕３０の−Ｘ軸方向に、互いに略線対称形状に設けられているため、振動腕３０はＸＹ平面に沿って＋Ｘ軸方向へ変位する。

第１積層体４０の第１電極層４１に−電位を印加すると、第１圧電層４２はＹ軸方向に伸長し、第１電極層５１に＋電位を印加すると、第１圧電層５２はＹ軸方向に収縮する。よって、振動腕２０はＸＹ平面に沿って＋Ｘ方向へ変位する。
第１積層体８０の第１電極層８１に−電位を印加すると、第１圧電層８２はＹ軸方向に伸長し、第１電極層７１に＋電位を印加すると第１圧電層７２はＹ軸方向に収縮する。よって、振動腕２０はＸＹ平面に沿って−Ｘ方向へ変位する。
したがって、第１圧電層４２，８２と第１圧電層５２，７２とに、位相が１８０度異なる交流電圧を印加すると、ジャイロセンサー素子１は、振動腕２０と振動腕３０とが、ＸＹ平面に沿って互いに逆方向へ変位する屈曲振動を繰り返す。

この際、ジャイロセンサー素子１は、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４の第１圧電層４２，５２，７２，８２の材料として圧電歪定数の大きな材料であるＰＺＴが用いられていることから、第１圧電層４２，５２，７２，８２へ印加した電気エネルギー（交流電圧）を効率よく機械エネルギー（収縮と伸長）に変換することができ、振動腕２０，３０に振幅の大きな屈曲振動をさせることができる。
これにより、ジャイロセンサー素子１は、角速度に伴って生じるコリオリ力を受けやすくなる。

なお、本実施形態では、圧電歪定数の大きなＰＺＴを材料とする第１圧電層４２，５２，７２，８２を伸縮させて、振動腕２０，３０を屈曲振動させるものとして説明したが、第３電極層４５，５５，７５，８５にも電圧を供給し、第２圧電層４４，５４，７４，８４も同時に伸縮させて、振動腕２０，３０を屈曲振動させてもよい。第２圧電層４４，５４，７４，８４には、第１圧電層４２，５２，７２，８２より圧電歪定数の小さな材料を用いているが、第２圧電層も同時に伸縮させることで、振動腕２０，３０の屈曲振動の効率を高めることができる。

次に、ジャイロセンサー素子１に加わる角速度の検出について説明する。
ジャイロセンサー素子１は、振動腕２０，３０が上述した屈曲振動をしている状態で、Ｙ軸周りに角速度ωが加わると、振動腕２０，３０にコリオリ力が発生し、振動腕２０，３０が＋Ｚ軸方向（図１の紙面手前側）と−Ｚ軸方向（図１の紙面奥側）へ変位する。

まず、振動腕２０が＋Ｚ軸方向に変位した場合について説明する。
検出部１１１の第２圧電層６４は、−Ｚ軸方向に分極処理されている。振動腕２０が＋Ｚ軸方向へ変位すると、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第２圧電層６４は、Ｙ軸方向に収縮し、Ｚ軸方向に伸長する。すると、圧電効果により、第３電極層６５に−電荷が発生する。

次に振動腕３０が−Ｚ軸方向に変位した場合について説明する。
検出部１１２の第２圧電層９４は、−Ｚ軸方向に分極処理されている。振動腕３０が−Ｚ軸方向へ変位すると、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第２圧電層９４は、Ｙ軸方向に伸長し、Ｚ軸方向に収縮する。すると、圧電効果により、第３電極層９５に＋電荷が発生する。

ジャイロセンサー素子１は、検出部１１１の第３電極層６５と、検出部１１２の第３電極層９５とに生じる電荷を検出することで、ジャイロセンサー素子１に加わる角速度ωを検知することができる。
ジャイロセンサー素子の検出部１１１，１１２を構成する第２圧電層６４，９４の材料に、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を構成する第１圧電層４２，５２，７２，８２と同じＰＺＴを用いると、ＰＺＴは他の圧電材料と比較して大きな誘電率を有しているため、検出部１１１，１１２に多くの電荷（静電容量）を帯電してしまうため、微少な電荷の変化を検出し難い。そこで、本実施形態では、第２圧電層６４，９４の材料として、ＰＺＴに比べ誘電率の小さいＺｎＯを用いている。これにより、検出部１１１，１１２の静電容量を減らせるため、角速度ωが加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することができる。
なお、検出部１１１，１１２を構成する第２積層体６０，９０は、振動腕２０，３０の主面１１上の中心線Ｃ１またはＣ２に対して、＋Ｘ側と−Ｘ側とが互いに略線対称に設けられている。このため、検出部１１１，１１２は、振動腕２０，３０がＸＹ面に沿って屈曲振動することによって発生する電荷を検出部１１１，１１２内で相殺し、Ｚ軸方向の振動により発生した電荷を検出する。

以上述べたように、本実施形態に係るジャイロセンサー素子１よれば、以下の効果を得ることができる。
本実施形態のジャイロセンサー素子１は、一対の振動腕２０，３０を有する音叉型ジャイロである。振動腕２０，３０の上に設けられた駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を構成する第１圧電層４２，５２，７２，８２には、ＰＺＴが用いられ、検出部１１１，１１２を構成する第２圧電層６４，９４には、ＺｎＯが用いられている。ＰＺＴは、ＺｎＯより大きい圧電歪定数を有し、ＺｎＯは、ＰＺＴより小さい誘電率を有している。したがって、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４の第１圧電層４２，５２，７２，８２に、検出部１１１，１１２の第２圧電層６４，９４より圧電歪定数の大きいＰＺＴを用いることで、振動腕２０，３０に振幅の大きい屈曲振動をさせることができる。また、検出部１１１，１１２の第２圧電層６４，９４に、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４の第１圧電層４２，５２，７２，８２より誘電率の小さいＺｎＯを用いることで、検出部１１１，１１２に滞留する静電容量が小さくなるため、振動腕２０，３０に加わる角速度に応じて現れる電荷を精度良く検出することができる。これによって、振動腕２０，３０を効率よく屈曲振動させると共に、角速度ωが加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することが可能なジャイロセンサー素子を提供することができる。

なお、本発明は上述した実施形態に限定されず、上述した実施形態に種々の変更や改良などを加えることが可能である。変形例を以下に述べる。

（変形例１）
変形例１では、振動腕上に形成された第１積層体に、駆動部による振動に起因して振動腕に生ずる、第１の面と交差する方向の振動と逆位相の振動を振動腕に生じさせる補正部が設けられている。
図３は、変形例１に係る図１におけるＡ−Ａ線での断面図である。
上記実施形態では、図２のように、第１積層体４０，５０，７０，８０に駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を設けるものとして説明したが、この構成に限定するものではない。
以下、変形例１に係るジャイロセンサー素子１について図１および図３を用いて説明する。なお、実施形態と同一の構成部位については、同一の番号を附し、重複する説明は省略する。

図３に示すように、第１積層体４０には、第２電極層４３、第２圧電層４４および第３電極層４５で構成される補正部１２１が設けられている。
第１積層体５０には、第２電極層５３、第２圧電層５４および第３電極層５５で構成される補正部１２２が設けられている。
第１積層体７０には、第２電極層７３、第２圧電層７４および第３電極層７５で構成される補正部１２３が設けられている。
第１積層体８０には、第２電極層８３、第２圧電層８４および第３電極層８５で構成される補正部１２４が設けられている。

ジャイロセンサー素子１の振動腕２０，３０は、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４に電圧を印加することにより、ＸＹ平面に沿って生じる屈曲振動に起因して、Ｚ軸方向の振動（漏れ振動）を生じることがある。詳しくは、振動腕２０，３０をＸＺ面に平行に切断した断面形状が、加工精度などにより中心線Ｃ１またはＣ２に対して非対称になると、振動腕２０，３０にＸＹ平面に沿った屈曲振動をさせた際に、Ｚ軸方向の漏れ振動が加わり、角速度の検出精度が低下してしまう。そこで、本変形例では、第１積層体４０，５０，７０，８０に補正部１２１，１２２，１２３，１２４を設け、振動腕２０，３０に漏れ振動と逆位相の振動が生じるように、補正部１２１，１２２，１２３，１２４に電圧を印加し、漏れ振動を抑制している。なお、補正部１２１，１２２，１２３，１２４を形成する第２圧電層４４，５４，７４，８４には、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を形成する第１圧電層４２，５２，７２，８２より圧電歪定数の小さいＺｎＯを用いているが、振動腕のＸＹ平面に沿った屈曲振動に比べて、漏れ振動の振幅は僅かであるため、ＺｎＯでも漏れ振動を十分補正することが可能である。

まず、振動腕２０に、Ｚ軸方向の漏れ振動が生じ、振動腕２０が＋Ｚ軸方向に変位した場合の補正について説明する。
補正部１２１，１２２の第２圧電層４４，５４は、−Ｚ軸方向に分極処理されており、第３電極層４５，５５に−電位を印加すると、逆圧電効果により、Ｙ軸方向を長辺とする矩形状の第２圧電層４４，５４は、Ｚ軸方向に伸長し、Ｙ軸方向に収縮する。これにより、振動腕２０は、−Ｚ軸方向に変位するため、漏れ振動により生じた＋Ｚ軸方向の変位を相殺することができる。したがって、補正部１２１，１２２に漏れ振動と逆位相の振動を生じさせる電圧を印加することで、漏れ振動を抑制することができる。

次に、図４、図５を参照して、ジャイロセンサー素子１をジャイロセンサーとして機能させるための回路構成について説明する。本変形例１に係るジャイロセンサーは、駆動回路２１０、検出回路３００、および補正信号生成回路２２０，２３０を含み構成されている。

駆動回路２１０は、Ｉ−Ｖアンプ（電流・電圧変換回路）２１４とＡＧＣ（Ａｕｔｍａｔｉｃ Ｇａｉｎ Ｃｏｎｔｒｏｌ）回路２１２、および駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を含み構成されている。Ｉ−Ｖアンプ２１４から出力された信号は、ＡＧＣ回路２１２を経て駆動信号として、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４を駆動させる第１電極層４１，５１，７１，８１へと出力されると共に、詳細を後述する補正信号生成回路２２０，２３０、および検出回路３００へと出力される。駆動部１０１，１０２，１０３，１０４からの出力信号は、帰還信号としてＩ−Ｖアンプ２１４に入力され、増幅されると共に出力される。

検出回路３００は、検出部１１１，１１２、ｑ−Ｖアンプａ３１０、ｑ−Ｖアンプｂ３２０、差動アンプ３４０、同期検波回路３６０、およびＬＰＦ（Ｌｏｗ−ｐａｓｓ ｆｉｌｔｅｒ）３８０を含み構成される。

検出回路３００では、検出部１１１，１１２からの出力信号をそれぞれｑ−Ｖアンプａ３１０、ｑ−Ｖアンプｂ３２０によって増幅し、差動アンプ３４０へ入力すると共に、ｑ−Ｖアンプａ３１０、ｑ−Ｖアンプｂ３２０によって増幅されたそれぞれの信号を、詳細を後述する補正信号生成回路２２０，２３０へと出力する。

差動アンプ３４０は、検出部１１１と検出部１１２からの出力信号の差動増幅信号を同期検波回路３６０へと出力する。同期検波回路３６０では、差動アンプ３４０から入力された差動増幅信号を駆動回路２１０におけるＩ−Ｖアンプ２１４からの出力信号を基準として位相検波する。同期検波回路３６０からの出力信号は、ＬＰＦ３８０を介して平滑化されて出力される。これにより、Ｙ軸回りの角速度ωを数値として得ることができる。

補正信号生成回路２２０，２３０は、減衰回路ａ２２２と減衰回路ｂ２３２、および補正部１２１，１２２，１２３，１２４を基本として構成されている。補正信号生成回路２２０，２３０は、補正部１２１，１２２，１２３，１２４を駆動部１０１，１０２，１０３，１０４の動作と同期させて稼動させることで、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４に電圧を印加することにより、ＸＹ平面に沿って生じる屈曲振動に起因して生ずる漏れ振動を抑制する作用を持つ。ここで、振動腕２０，３０に漏れ振動が生ずることを模式的に示すと、図６に示すように、斜め振動が生じているといえる。そして、斜め振動は、図６に示すように、２つの振動形態を有する。第１の振動形態は、振動腕２０，３０が＋Ｘ軸側に振れた際に＋Ｚ軸側に漏れ振動を生じさせるように振れ、−Ｘ軸側に振れた際に−Ｚ軸側に振れるといった形態である。また、第２の振動形態は、振動腕２０，３０が＋Ｘ軸側に振れた際に−Ｚ軸側に漏れ振動を生じさせるように振れ、−Ｘ軸側に振れた際に＋Ｚ軸側に振れるといった振動形態である。

このため、振動腕２０，３０の振動形態に応じた信号を減衰回路ａ２２２、減衰回路ｂ２３２へ入力するために、減衰回路ａ２２２、および減衰回路ｂ２３２の入力側にはそれぞれ、位相反転経路としての分岐経路と、位相シフトスイッチ２２６及び位相シフトスイッチ２３６が設けられている。分岐経路を構成する一方の経路には、位相シフト回路２２４，２３４が設けられており、入力信号の位相を１８０°反転させることを可能としている。このような構成とすることで、位相シフトスイッチ２２６，２３６の入力切り替えにより、補正部１２１，１２２，１２３，１２４の動作形態を振動腕２０，３０の振動形態に合わせて変化させることが可能となる。

減衰回路ａ２２２、減衰回路ｂ２３２では、演算回路ａ２２８、演算回路ｂ２３８によって導き出された減衰率に従って、Ｉ−Ｖアンプ２１４からの出力信号が減衰される。減衰率は、検出回路３００におけるｑ−Ｖアンプａ３１０、ｑ−Ｖアンプｂ３２０から、記憶手段であるＲＯＭａ２２９、ＲＯＭｂ２３９に入力された出力信号に基づいて、これをゼロにするための発振を得るための値として算出される。演算回路ａ２２８、演算回路ｂ２３８からは、減衰回路ａ２２２、減衰回路ｂ２３２に与える減衰率の他、位相シフトスイッチ２２６，２３６に対する切り替え信号の出力も生成される。なお、ここで、減衰率を求めるために検出回路３００におけるｑ−Ｖアンプａ３１０、ｑ−Ｖアンプｂ３２０から、記憶手段であるＲＯＭａ２２９、ＲＯＭｂ２３９に入力される出力信号は、ジャイロセンサー素子１に対する角速度ωの印加が無い状態で生ずる、いわゆる漏れ振動に起因した信号である。

減衰回路ａ２２２、減衰回路ｂ２３２からの出力信号は、駆動信号として、補正部１２１，１２２，１２３，１２４を構成する第３電極層４５，５５，７５，８５へと入力される。

このような構成のジャイロセンサー素子１によれば、減衰率の調整により、漏れ振動の抑制率を調整することができる。また、漏れ振動の方向や大きさに基づく個別調整を機械的加工により行う必要性が無いため、生産性を悪化させる虞も無い。なお、上記変形例１では、位相反転経路の選択について、位相シフトスイッチ２２６，２３６による経路の切換えを行うものとして説明したが、いずれか一方のパターンの切断により、経路の選択を行うようにしてもよい。

以上述べたように、本変形例に係るジャイロセンサー素子１によれば、実施形態での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
ジャイロセンサー素子１の第１積層体４０，５０，７０，８０には、補正部１２１，１２２，１２３，１２４が設けられており、検出部１１１，１１２で検知した漏れ振動と逆位相の振動を励起する電圧を補正部１２１，１２２，１２３，１２４に印加することで、振動腕２０，３０に生じた漏れ振動を制振することができるという効果がある。

（変形例２）
変形例２では、振動腕上に形成された第１積層体に、振動腕の振動を検出し振幅に応じた電荷を出力するモニター部が設けられている。
図７は、変形例２に係る図１におけるＡ−Ａ線での断面図である。
以下、変形例２に係るジャイロセンサー素子１について図７を用いて説明する。

第１積層体５０には、第２電極層５３、第２圧電層５４および第３電極層５５で構成されるモニター部１３２が設けられている。
第１積層体７０には、第２電極層７３、第２圧電層７４および第３電極層７５で構成されるモニター部１３３が設けられている。

ジャイロセンサー素子１は、第１圧電層４２，５２，７２，８２へ電圧を印加し、振動腕２０，３０をＸＹ平面に沿って屈曲振動させた時、第２圧電層５４，７４に生じる歪により現れる電荷を出力するモニター部１３２，１３３を備えている。モニター部１３２，１３３が出力した電荷を増幅して、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４に電圧を印加する駆動回路にモニター電圧として印加することができるため、振動腕を効率よく安定的に屈曲振動させることができる。

次に、モニター部を備えたジャイロセンサー素子を駆動するための駆動回路について説明する。
図８は、本変形例２に係る駆動回路４００の構成を表すブロック図である。
ジャイロセンサー素子１の振動腕２０，３０を駆動するための駆動回路４００は、Ｉ−Ｖアンプ４２０、ＡＧＣ回路４４０および駆動アンプ４６０を含んで構成されている。

駆動アンプ４６０から振動腕２０，３０上に設けられた駆動部１０１，１０２，１０３，１０４に電圧が印加されることで、振動腕２０，３０は、ＸＹ平面に沿って互いに逆方向へ変位する屈曲振動を生じる。この際、モニター部１３２，１３３を構成する第２圧電層５４，７４は、Ｙ軸方向への収縮およびＺ軸方向への伸長、またはＹ軸方向への伸長およびＺ軸方向への収縮をする。これにより、モニター部１３２，１３３は、圧電効果により、振動腕２０，３０の屈曲振動の振幅に応じた電荷を発生する。

その後、発生した電荷は、第３電極層５５，７５からＩ−Ｖアンプ４２０へ入力され、増幅した後にモニター電圧として出力される。そして、屈曲振動の振幅に応じたモニター電圧はＡＧＣ回路４４０で一定電圧となり、駆動アンプ４６０へ印加され、その後、駆動アンプ４６０からモニター電圧に応じた一定電圧が駆動部１０１の第１電極層４１と駆動部１０２の第１電極層５１と駆動部１０３の第１電極層７１と駆動部１０４の第１電極層８１とに印加されることにより、安定した屈曲振動を駆動することができる。

なお、本変形例では、第１積層体５０，７０にモニター部１３２，１３３を設けたものとして説明したが、第１積層体４０，８０にモニター部を設けてもよい。

以上述べたように、本変形例に係るジャイロセンサー素子１によれば、実施形態での効果に加えて、以下の効果を得ることができる。
ジャイロセンサー素子１の第１積層体５０，７０には、モニター部１３２，１３３が設けられており、振動腕２０，３０の屈曲振動で第２圧電層５４，７４に生じる歪により現れる電荷を増幅して、駆動部１０１，１０２，１０３，１０４に電圧を印加する駆動回路４００にモニター電圧として印加することができるため、振動腕２０，３０に安定した屈曲振動をさせることができるという効果がある。

＜電子デバイス＞
次に、本発明のジャイロセンサー素子１を適応したジャイロ装置について説明する。図９は、本発明のジャイロセンサー素子１を備えるジャイロ装置５００の概略を示した断面図である。

ジャイロ装置５００は、ジャイロセンサー素子１、ＩＣチップ５３０、ジャイロセンサー素子１とＩＣチップ５３０とを収容するために矩形の箱状に形成されているパッケージ本体５１０、および蓋体５２０を備えている。セラミックなどで形成されたパッケージ本体５１０の底面にはＩＣチップ５３０が配置され、Ａｕ（金）などのワイヤー５５０でパッケージ本体５１０に形成された配線（図示せず）と電気的接続がされている。ＩＣチップ５３０は、ジャイロセンサー素子１を駆動する駆動回路２１０（図４参照）と、ジャイロセンサー素子に加わった角速度を出力する検出回路３００（図５参照）とを含んでいる。

ジャイロセンサー素子１は、パッケージ本体５１０に形成された支持台５１２に、ジャイロセンサー素子１の基部１０が接着剤などの固定部材５４０を介して接着支持されている。また、支持台５１２表面には配線（図示せず）が形成され、ジャイロセンサー素子１の電極と配線間とをＡｕ（金）などのワイヤー５５０で電気的接続がされている。この固定部材５４０は、弾性のある材料であることが望ましい。弾性を有する固定部材５４０としてはシリコーンを基材とする接着剤などが知られている。そして、パッケージ本体５１０の上部の開口が蓋体５２０にて封止されている。なお、ジャイロセンサー素子１とＩＣチップ５３０とを収容するパッケージ本体５１０のキャビティー５６０内は窒素などの不活性気体雰囲気あるいは減圧雰囲気となっている。

以上述べたように、ジャイロ装置５００によれば、振動腕２０，３０を効率よく屈曲振動させると共に、角速度ωが加わった時に生じる微少な電荷の変化を精度良く検出することが可能なジャイロ装置を提供することができる。

＜電子機器＞
次に、本発明の実施形態に係るジャイロセンサー素子１、またはジャイロ装置５００を備えた電子機器について図１０から図１２を用いて説明する。なお、説明では、ジャイロセンサー素子１を用いた例を示している。

図１０は、本発明の一実施形態に係るジャイロセンサー素子１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューター１１００の構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１０００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度を検出する機能を備えたジャイロセンサー素子１が内蔵されている。

図１１は、本発明の一実施形態に係るジャイロセンサー素子１を備える電子機器としての携帯電話機１２００（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１０００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度センサー等として機能するジャイロセンサー素子１が内蔵されている。

図１２は、本発明の一実施形態に係るジャイロセンサー素子１を備える電子機器としてのデジタルスチルカメラ１３００の構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、従来のフィルムカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチルカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Ｃｈａｒｇｅ Ｃｏｕｐｌｅｄ Ｄｅｖｉｃｅ）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチルカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１０００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１０００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１０００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチルカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチルカメラ１３００には、角速度センサー等としてジャイロセンサー素子１が内蔵されている。

なお、本発明の一実施形態に係るジャイロセンサー素子１は、図１０のパーソナルコンピューター１１００（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１１の携帯電話機１２００、図１２のデジタルスチルカメラ１３００の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。

＜移動体＞
図１３は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１５００には本発明に係るジャイロセンサー素子１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１５００には、ジャイロセンサー素子１を内蔵してタイヤなどを制御する電子制御ユニット１５１０が車体に搭載されている。また、ジャイロセンサー素子１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(ＴＰＭＳ：Ｔｉｒｅ Ｐｒｅｓｓｕｒｅ Ｍｏｎｉｔｏｒｉｎｇ Ｓｙｓｔｅｍ)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：Ｅｌｅｃｔｒｏｎｉｃ Ｃｏｎｔｒｏｌ Ｕｎｉｔ）に広く適用できる。

１…ジャイロセンサー素子、１０…基部、２０，３０…振動腕、４０…第１積層体、４１…第１電極層、４２…第１圧電層、４３…第２電極層、４４…第２圧電層、４５…第３電極層、５０…第１積層体、５１…第１電極層、５２…第１圧電層、５３…第２電極層、５４…第２圧電層、５５…第３電極層、６０…第２積層体、６１…第１電極層、６２…第１圧電層、６３…第２電極層、６４…第２圧電層、６５…第３電極層、７０…第１積層体、７１…第１電極層、７２…第１圧電層、７３…第２電極層、７４…第２圧電層、７５…第３電極層、８０…第１積層体、８１…第１電極層、８２…第１圧電層、８３…第２電極層、８４…第２圧電層、８５…第３電極層、９０…第２積層体、９１…第１電極層、９２…第１圧電層、９３…第２電極層、９４…第２圧電層、９５…第３電極層、１０１，１０２，１０３，１０４…駆動部、１１１，１１２…検出部、１２１，１２２，１２３，１２４…補正部、１３２，１３３…モニター部、２１０…駆動回路、２１２…ＡＧＣ回路、２１４…Ｉ−Ｖアンプ、２２０，２３０…補正信号生成回路、３００…検出回路、４００…駆動回路、５００…ジャイロ装置、１１００…パーソナルコンピューター、１２００…携帯電話機、１３００…デジタルスチルカメラ、１５００…自動車。

Claims (8)

1. 振動腕と、
   前記振動腕の一面上に設けられている第１積層体および第２積層体と、を有し、
   前記第１積層体および前記第２積層体は、第１電極層、第２電極層、第３電極層、前記第１電極層と前記第２電極層との間に設けられている第１圧電層および前記第２電極層と前記第３電極層との間に設けられている第２圧電層、を含み、
   前記第１積層体は、前記第１積層体に設けられている前記第１電極層、前記第１圧電層および前記第２電極層を含む駆動部を有し、前記駆動部は、前記振動腕を第１の方向に屈曲振動させ、
   前記第２積層体は、前記第２積層体に設けられている前記第２電極層、前記第２圧電層および前記第３電極層を含む検出部を有し、前記検出部は、前記振動腕が前記第１の方向と交差する方向へ振動したことを検出し、
   前記第１圧電層の圧電歪定数は、前記第２圧電層の圧電歪定数より大きく、
   前記第２圧電層の誘電率は、前記第１圧電層の誘電率より小さいことを特徴とするジャイロセンサー素子。
2. 前記第１積層体および前記第２積層体は、前記振動腕の前記一面上より、前記第１電極層、前記第１圧電層、前記第２電極層、前記第２圧電層、前記第３電極層、の順に積層されていることを特徴とする請求項１に記載のジャイロセンサー素子。
3. 前記第１積層体は、一対で設けられており、
   前記第２積層体は、一対の前記第１積層体の間に設けられていることを特徴とする請求項１または２に記載のジャイロセンサー素子。
4. 前記第１積層体は、前記第１積層体に設けられている前記第２電極層、前記第３電極層および前記第２圧電層を含む補正部を有し、前記補正部は、前記駆動部による屈曲振動によって前記振動腕に生ずる前記第１の方向と交差する方向の振動と逆位相の振動を前記振動腕に生じさせることを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のジャイロセンサー素子。
5. 前記第１積層体は、前記第１積層体に設けられている前記第２電極層、前記第３電極層および前記第２圧電層を含むモニター部を有し、前記モニター部は、前記振動腕の振動を検出し振幅に応じた電荷を出力することを特徴とする請求項１から３のいずれか１項に記載のジャイロセンサー素子。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載のジャイロセンサー素子と、
   前記ジャイロセンサー素子を駆動する駆動回路と、
   前記ジャイロセンサー素子に加わった角速度に応じた信号を出力する検出回路と、を備えていることを特徴とするジャイロ装置。
7. 請求項１から５のいずれか１項に記載のジャイロセンサー素子を備えていることを特徴とする電子機器。
8. 請求項１から５のいずれか１項に記載のジャイロセンサー素子を備えていることを特徴とする移動体。

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