JP2010192585A - 圧電素子 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】圧電膜6、7に少なくとも1層の埋め込み電極4を設け、埋め込み電極4の内少なくとも1層を電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とし、圧電膜6、7の成膜面に対し平行な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極1、2と圧電膜6、7の成膜面に対し垂直な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極3によって基準電極4を厚み方向に挟んだように構成する。
【選択図】図1
Description
図1は本発明の実施の形態1に係る圧電素子の図を示す。図1(a)は斜視図、図1(b)は断面図である。基板9上に下部電極3、圧電膜7、埋め込み電極4、圧電膜6、上部電極1、2を形成する。尚、圧電膜6及び圧電膜7は矢印が示す通り厚み方向に予め分極処理を施す。埋め込み電極4は、電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とする。
図2は本発明の実施の形態2に係る圧電素子の図を示す。図2(a)は斜視図、図2(b)は断面図である。基板19上に下部電極11及び下部電極12、圧電膜17、埋め込み電極14、圧電膜16、上部電極13を形成する。尚、圧電膜16及び圧電膜17は矢印が示す通り厚み方向に予め分極処理を施す。埋め込み電極は、電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とする。
図3は本発明の実施の形態3に係る圧電素子の図を示す。図3(a)は斜視図、図3(b)は断面図である。基板29上に下部電極25、圧電膜28、埋め込み電極21、22、圧電膜27、埋め込み電極24、圧電膜26、上部電極23を形成する。圧電膜26、圧電膜27及び圧電膜28は矢印が示す通り厚み方向に予め分極処理を施す。尚、下部電極25、埋め込み電極24は、電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とする。
521、522、523 上部電極
3、11、12、25、203、504、514、524 下部電極
4、14、21、22、24、204 埋め込み電極
6、7、16、17、26、27、28、206、207、506、516、526 圧電膜
9、19、29、509、519、529 基板
10 入出力パッド周辺部
101 自励発振回路
102 電流検出増幅回路
103 同期検波整流回路
104 基準電圧回路
105 出力端子
209 活性層(基板)
210 埋め込み酸化膜層
211 支持層
212 SOI基板
301、401 従来例1の測定値
302、402 従来例2の測定値
303、403 本発明の測定値
528 絶縁体
Claims (1)
- 基板、下部電極、圧電膜、上部電極を備え、前記圧電膜の成膜面に対し平行な方向及び垂直な方向の変位を駆動もしくは検出を可能とした圧電素子であって、前記圧電膜に少なくとも1層の埋め込み電極を設け、前記埋め込み電極の内の少なくとも1層を電気的に安定な電位である基準電位に接続した基準電極とし、前記圧電膜の成膜面に対し平行な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極と前記圧電膜の成膜面に対し垂直な方向の変位を駆動もしくは検出するための電極によって前記基準電極を厚み方向に挟んだ構成としたことを特徴とする圧電素子。
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