JP2015118027A - 振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
【課題】捻り振動等の不要な振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子、その振動素子を備える電子デバイス、電子機器および移動体を提供する。
【解決手段】振動素子1は、基部10と、基部10から延出している振動腕12と、振動腕12の第1主面22から第1主面22に対し反対側である第2主面20に向かって有底の溝が設けられている溝部24と、を備え、第2主面20の少なくとも一部に質量部26が設けられている。
【選択図】図1
【解決手段】振動素子1は、基部10と、基部10から延出している振動腕12と、振動腕12の第1主面22から第1主面22に対し反対側である第2主面20に向かって有底の溝が設けられている溝部24と、を備え、第2主面20の少なくとも一部に質量部26が設けられている。
【選択図】図1
Description
本発明は、振動素子、電子デバイス、電子機器および移動体に関する。
従来から、角速度センサーは、船舶、航空機、ロケット等の姿勢を自律制御する技術に使用されているが、最近では、車両における車体制御、カーナビゲーションシステムの自車位置検出、デジタルカメラ、ビデオカメラおよび携帯電話の振動制御補正(いわゆる手振れ補正)等に用いられている。これら電子機器の小型化に伴い、角速度センサーの小型化および低背化(薄型化)が要求されている。
これに対し、駆動用や検出用の振動腕を有する角速度センサー用の振動素子を小型化すると、各振動腕に設けられる電極の面積が小さくなるため、Q値が低下し、検出感度が劣化してしまうという問題があった。そのため、特許文献1では、各振動腕に溝部を設けることで、電界効率を高めQ値を向上し、検出感度を向上していることが開示されている。
しかしながら、振動腕の一方の主面からドライエッチング等で溝を形成し、振動腕を主面に平行に変位する屈曲振動をさせると、曲げモーメントの影響により捻り振動が重畳した屈曲振動となり、振動が振動腕を保持する基部に漏れQ値が低下してしまうという問題があった。また、角速度センサーに用いた場合には、駆動用の振動腕で発生した捻り振動を重畳した屈曲振動が基部を介して検出用の振動腕に伝わり、検出用の振動腕を振動させてしまい、角速度が加わっていない状態でも出力信号(0点出力)が発生し、誤差を生じてしまうという問題があった。従って、一方の主面からのみ形成された溝を備えた振動腕を屈曲振動させた場合に、捻り振動の発生を抑制することが課題であった。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る振動素子は、基部と、前記基部から延出している振動腕と、前記振動腕の第1主面から前記第1主面に対し反対側である第2主面に向かって有底の溝が設けられている溝部と、を備え、前記振動腕の延出方向に対して垂直方向の断面視において、前記振動腕の重心は、前記第1主面側よりも前記第2主面側に有し、前記第2主面の少なくとも一部に質量部が設けられていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動腕の断面の重心を第1主面側よりも第2主面側とし、溝が設けられていない振動腕の第2主面に質量部を設けることで、振動腕の延出している方向と直交する振動腕の断面において、振動腕の断面の重心から溝部先端までの長さと、振動腕の断面の重心から質量部先端までの長さと、を略均等とすることができる。そのため、振動腕を面内で屈曲振動させた場合、振動腕の断面の重心からの長さの違いによって生じる曲げモーメントを低減することができ、捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子を得ることができる。また、角速度センサーの振動素子に適用した場合には、駆動用の振動腕で発生する捻り振動を抑制し、検出用の振動腕における角速度が加わっていない状態での0点出力を低減でき、高精度の角速度センサーを得ることができるという効果がある。
[適用例2]上記適用例に記載の振動素子において、前記質量部は、前記溝部を構成する肉厚部に重なる前記第2主面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする。
本適用例によれば、溝部を構成する肉厚部に重なる第2主面に質量部を設けることで、振動腕の断面の重心から溝部先端までの長さと、振動腕の断面の重心から質量部先端までの長さと、をより均等とすることができる。そのため、振動腕を面内で屈曲振動させた場合、振動腕の断面の重心からの長さの違いによって生じる曲げモーメントをより低減することができ、捻り振動の発生をより抑制し、高いQ値を有する振動素子を得ることができるという効果がある。
[適用例3]上記適用例に記載の振動素子において、前記質量部は、前記溝部の底裾に重なる前記第2主面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする。
本適用例によれば、溝部の底裾に重なる第2主面に質量部を設けることで、質量部を肉厚部に重なる第2主面に設けるのと同様に、振動腕の断面の重心から溝部先端までの長さと、振動腕の断面の重心から質量部先端までの長さと、を略均等とすることができる。そのため、振動腕を面内で屈曲振動させた場合、振動腕の断面の重心からの長さの違いによって生じる曲げモーメントを低減することができ、捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子を得ることができるという効果がある。
[適用例4]上記適用例に記載の振動素子において、前記質量部は、前記第1主面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする。
本適用例によれば、第2主面の質量部の質量が大き過ぎて、振動腕の断面の重心から質量部先端までの長さが振動腕の断面の重心から溝部先端までの長さより長くなったとしても、第1主面に質量部を設けることで、振動腕の断面の重心から溝部先端までの長さと、振動腕の断面の重心から質量部先端までの長さと、を略均等とすることができる。そのため、振動腕を面内で屈曲振動させた場合、振動腕の断面の重心からの長さの違いによって生じる曲げモーメントを低減することができ、捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子を得ることができるという効果がある。
[適用例5]上記適用例に記載の振動素子において、前記振動腕の延出方向に沿って、溝が複数配置されていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動腕の延出方向に沿って複数の溝を直列に配置することで、溝と溝との間に肉厚部を設けることができるので、面内の屈曲振動において変位方向の剛性が強くなり、印加電圧を高め強励振しても破損が生じず、励振強度の強い振動素子を得ることができる。また、溝の振動腕の延出方向の長さを短くできるため、曲げモーメントの影響を小さくでき、捻り振動の発生をより抑制し、高いQ値を有する振動素子を得ることができるという効果がある。
[適用例6]上記適用例に記載の振動素子において、前記断面視において、溝が複数配置されていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動腕の延出方向に沿って複数の溝を並列して配置することで、電荷が発生する振動腕の延出する方向と直交する側面を多くすることができるので、電界効率をより高めることができ、より高いQ値を有する振動素子を得ることができるという効果がある。
[適用例7]上記適用例に記載の振動素子において、前記振動腕に電極が設けられ、前記電極の前記振動腕の延出方向の長さの中心が前記質量部の前記振動腕の延出方向の長さの中心よりも前記振動腕の前記基部側に配置されていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動腕の延出方向の先端側は溝による曲げモーメントの影響が振動腕の基部側に比べ大きいため、振動腕の延出方向の先端側に質量部を設けることは、曲げモーメントによる捻り振動を抑制する上で効果がある。また、振動腕の基部側に励振用の電極を設けることは、先端側に比べ振動による応力が集中しているため、面積の小さい電極でもより多くの電荷を効果的にピックアップすることができ、高いQ値を有する振動素子を得ることができるという効果がある。
[適用例8]上記適用例に記載の振動素子において、前記振動腕の延出方向の先端側に錘部が設けられていることを特徴とする。
本適用例によれば、振動腕の延出方向の先端側に錘部を設けることで、振動素子の振動周波数を低めることができるので、錘部を有さない振動素子に比べ、同じ振動周波数とすると、振動腕を短くでき、振動素子の小型化が図れるという効果がある。
[適用例9]本適用例に係る電子デバイスは、上記適用例に記載の振動素子と、回路素子と、を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、高いQ値を有し安定な振動特性を有する振動素子を備えている電子デバイスが得られるという効果がある。
[適用例10]本適用例に係る電子機器は、上記適用例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、不要な捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子を備えた電子機器が構成できるという効果がある。
[適用例11]本適用例に係る移動体は、上記適用例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。
本適用例によれば、不要な捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子を備えた移動体が構成できるという効果がある。
以下、本発明の実施の形態を図面に基づいて詳細に説明する。
[振動素子]
<第1実施形態>
本発明の第1実施形態に係る振動素子の一例として、角速度センサーに用いられるH型と呼ばれる構造の振動素子を挙げ、図1を参照して説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の構造を示す概略図であり、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)に示すA−A線の断面図である。なお、駆動用の電極や検出用の電極は省略してある。また、各図では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「+側」、基端側を「−側」としている。また、以下では、X軸に平行な方向を「X軸方向」と言い、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」と言い、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」と言う。更に、説明の便宜上、Z軸方向から見たときの平面視において、+Z軸方向の面を第2主面20、−Z軸方向の面を第1主面22として説明する。
<第1実施形態>
本発明の第1実施形態に係る振動素子の一例として、角速度センサーに用いられるH型と呼ばれる構造の振動素子を挙げ、図1を参照して説明する。
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の構造を示す概略図であり、図1(a)は平面図、図1(b)は図1(a)に示すA−A線の断面図である。なお、駆動用の電極や検出用の電極は省略してある。また、各図では、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示しており、その図示した矢印の先端側を「+側」、基端側を「−側」としている。また、以下では、X軸に平行な方向を「X軸方向」と言い、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」と言い、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」と言う。更に、説明の便宜上、Z軸方向から見たときの平面視において、+Z軸方向の面を第2主面20、−Z軸方向の面を第1主面22として説明する。
振動素子1は、水晶等の圧電材料から構成され、図1(a)に示すように、両側音叉型(H型)屈曲振動素子構造からなり、中央の概ね矩形の基部10と、基部10から一方の側に並んで平行に延出する一対の駆動用の振動腕12と、それとは反対側に並んで平行に延出する一対の検出用の振動腕14とを備えている。
駆動用の振動腕12の表面には、駆動モードにおいて駆動用の振動腕12を第1主面22および第2主面20に沿う面内方向に、例えば第1主面および第2主面に平行なXY面内で屈曲振動させるために、駆動電極(図示せず)が形成されている。検出用の振動腕14の表面には、検出モードにおいて検出用の振動腕14が第1主面22および第2主面20に交わる、例えば第1主面および第2主面に垂直なZ軸方向に屈曲振動する際に発生する電位差を検出するために、検出電極(図示せず)が形成されている。駆動モードにおいて、駆動電極に所定の交流電圧を印加すると、駆動用の振動腕12は、XY面内方向で逆向きに即ち互いに接近離反する向きに屈曲振動する。
この状態で角速度センサー用の振動素子1が長手方向のY軸回りに回転すると、その角速度に応じて発生するコリオリ力の作用により、駆動用の振動腕12は第1主面22および第2主面20に垂直な面外方向即ちZ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動する。このZ軸方向の振動に共振して、検出用の振動腕14が検出モードで、同じくZ軸方向に互いに逆向きに屈曲振動する。このとき、検出用の振動腕14の振動方向は、駆動用の振動腕12の振動方向とは逆相になる。
この検出モードにおいて、検出用の振動腕14の検出電極間に発生する電位差を取り出すことによって、振動素子1の角速度が求められる。
振動腕12は、第1主面22から第1主面22に対し反対側である第2主面20に向かって有底の溝が設けられている溝部24を備え、溝部24を構成する肉厚部28に重なる第2主面20の少なくとも一部に質量部26が設けられている。なお、溝部24と質量部26は、振動腕14に設けても構わない。
振動腕12,14は、その長さを短くしても高次振動モードの発生を抑制して振動周波数を安定にさせ得るように、先端に錘部16,18が設けられている。また、錘部16,18を設けることによって、振動素子1の小型化を図ることができたり、振動腕12,14の振動周波数を低めたりすることができる。なお、錘部16,18は、必要に応じて複数の幅(X軸方向の長さ)を有していても良く、省略しても良い。
また、錘部16,18の第2主面20には、電極30が形成されており、この電極30にレーザー光を照射して、一部蒸散させることで振動腕12,14の振動周波数を調整することができる。一対となる振動腕12,14同士を同一の振動周波数になるように調整すれば、基部10へ伝わる振動漏れが低減でき、Q値の向上を図ることができる。
駆動用の振動腕12には、延出方向(Y軸方向)に沿って長く、第1主面22側から第2主面20に向かって有底の溝が設けられている溝部24が形成されている。図1(b)に示すように、溝部24を形成する肉厚部28と重なる第2主面20の少なくとも一部には、電極を形成する部材等で構成されている質量部26が設けられている。
なお、質量部26は、例えば、金(Au)、金合金、白金(Pt)、アルミニウム(Al)、アルミニウム合金、銀(Ag)、銀合金、クロム(Cr)、クロム合金、銅(Cu)、モリブデン(Mo)、ニオブ(Nb)、タングステン(W)、鉄(Fe)、チタン(Ti)、コバルト(Co)、亜鉛(Zn)、ジルコニウム(Zr)等の金属材料やSiO2(酸化ケイ素)、AlN(窒化アルミ)、SiN(窒化ケイ素)等の絶縁材料により形成することができる。
次に、振動腕12の第1主面22側に設けられた溝部24の振動に及ぼす影響について説明する。
図2は、従来の振動素子の振動状態を説明する概略図であり、図2(a)は振動腕の断面図、図2(b)は振動状態を示す振動腕の断面図である。また、図3は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の振動状態を説明する概略図であり、図3(a)は振動腕12の断面図、図3(b)は仮想振動腕13の断面図、図3(c)は振動状態を示す仮想振動腕13の断面図である。
図2は、従来の振動素子の振動状態を説明する概略図であり、図2(a)は振動腕の断面図、図2(b)は振動状態を示す振動腕の断面図である。また、図3は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の振動状態を説明する概略図であり、図3(a)は振動腕12の断面図、図3(b)は仮想振動腕13の断面図、図3(c)は振動状態を示す仮想振動腕13の断面図である。
先ず、従来の一方の主面にのみ溝が設けられている振動素子の振動状態を説明する。
図2(a)に示すように、振動腕12の断面(XZ面)の重心の位置は、溝部24が設けられていない場合、略中央の重心G1であるが、溝部24が設けられていると略中央から+Z軸方向に偏った重心G2となる。そのため、振動腕12をXY面内で屈曲振動させると、振動腕12が+X軸方向に変位した時には、振動腕12の−Z軸方向の先端部は+Z軸方向の先端に比べ、重心G2からの長さが長いため、図2(b)に示すように、−Z軸方向の先端部に反時計回り方向の曲げモーメントが発生する。また、逆に振動腕12が−X軸方向に変位した時には、−Z軸方向の先端部に時計回り方向の曲げモーメントが発生する。従って、重心G2からの長さ違いによって生じる曲げモーメントにより、それまで、振動腕12の振動変位方向がX軸方向のみであった屈曲振動は、Y軸回りの回転運動が加わった変位方向(捻り振動変位方向)を有する捻り振動を重畳した屈曲振動となる。
図2(a)に示すように、振動腕12の断面(XZ面)の重心の位置は、溝部24が設けられていない場合、略中央の重心G1であるが、溝部24が設けられていると略中央から+Z軸方向に偏った重心G2となる。そのため、振動腕12をXY面内で屈曲振動させると、振動腕12が+X軸方向に変位した時には、振動腕12の−Z軸方向の先端部は+Z軸方向の先端に比べ、重心G2からの長さが長いため、図2(b)に示すように、−Z軸方向の先端部に反時計回り方向の曲げモーメントが発生する。また、逆に振動腕12が−X軸方向に変位した時には、−Z軸方向の先端部に時計回り方向の曲げモーメントが発生する。従って、重心G2からの長さ違いによって生じる曲げモーメントにより、それまで、振動腕12の振動変位方向がX軸方向のみであった屈曲振動は、Y軸回りの回転運動が加わった変位方向(捻り振動変位方向)を有する捻り振動を重畳した屈曲振動となる。
次に、本発明の第1実施形態に係る溝が設けられていない他方の主面に質量部26を備えている振動素子1の振動状態を説明する。
溝部24を構成する肉厚部28と同等の質量を有する質量部26を、図3(a)に示すように、肉厚部28と重なる位置に形成したとすると、振動腕12の断面(XZ面)の重心の位置は、質量部26が形成されていない場合、図2(a)と同様に、重心G2であるが、質量部26が形成されていると重心G2から+Z軸方向に偏った重心G3となる。また、溝部24を構成する肉厚部28と同等の質量を有する質量部26は、溝部24が備えられた主面と反対側に同等の仮想溝部25を構成する仮想肉厚部29に相当するものと想定でき、図3(b)に示すような仮想振動腕13の断面と想定できる。そのため、重心G3からの長さが肉厚部28の先端と仮想肉厚部29との先端とで略均等となり、図3(c)に示すように、仮想振動腕13をXY面内の屈曲振動をさせた時に生じる曲げモーメントも互いに相殺される程度の大きさとなるため、曲げモーメントの差を小さくでき、曲げモーメントによって生じる捻り振動を抑制することができる。
溝部24を構成する肉厚部28と同等の質量を有する質量部26を、図3(a)に示すように、肉厚部28と重なる位置に形成したとすると、振動腕12の断面(XZ面)の重心の位置は、質量部26が形成されていない場合、図2(a)と同様に、重心G2であるが、質量部26が形成されていると重心G2から+Z軸方向に偏った重心G3となる。また、溝部24を構成する肉厚部28と同等の質量を有する質量部26は、溝部24が備えられた主面と反対側に同等の仮想溝部25を構成する仮想肉厚部29に相当するものと想定でき、図3(b)に示すような仮想振動腕13の断面と想定できる。そのため、重心G3からの長さが肉厚部28の先端と仮想肉厚部29との先端とで略均等となり、図3(c)に示すように、仮想振動腕13をXY面内の屈曲振動をさせた時に生じる曲げモーメントも互いに相殺される程度の大きさとなるため、曲げモーメントの差を小さくでき、曲げモーメントによって生じる捻り振動を抑制することができる。
よって、溝が設けられていない振動腕12の第2主面20に質量部26を設けることで、振動腕12の延出している方向と直交する振動腕12の断面(XZ面)において、振動腕12の断面の重心G3から肉厚部28の先端までの長さと、重心G3から質量部26の先端までの長さと、を略均等とすることができる。そのため、振動腕12を面内で屈曲振動させた場合、振動腕12の断面の重心G3からの長さの違いによって生じる曲げモーメントを低減することができ、捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子1を得ることができる。また、角速度センサーの振動素子1に適用した場合には、駆動用の振動腕12で発生する捻り振動を抑制し、検出用の振動腕14における角速度が加わっていない状態での0点出力を低減でき、高精度の角速度センサーを得ることができるという効果がある。
以上、質量部26は、振動腕12の第2主面20に設ける構成について述べたが、第2主面20の他に、振動腕12の第1主面22に設ける構成でも構わない。この構成とすることで、第2主面20の質量部26の質量が大き過ぎて、振動腕12の断面の重心G3から質量部26の先端までの長さが振動腕12の断面の重心G3から肉厚部28の先端までの長さより長くなったとしても、第1主面22に質量部26を設けることで、振動腕12の断面の重心G3から肉厚部28の先端までの長さと、振動腕12の断面の重心G3から質量部26先端までの長さと、を略均等とすることができる。そのため、振動腕12を面内で屈曲振動させた場合、振動腕12の断面の重心G3からの長さの違いによって生じる曲げモーメントを低減することができ、捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子1を得ることができるという効果がある。
次に、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例1〜変形例3について説明する。
以下、変形例1、2および3では、前述した図1の第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、同符号を付してその説明を省略する。また、検出用の振動腕14は図1に示す構造と同じであるため、構造の異なる駆動用の振動腕を図示して説明する。
以下、変形例1、2および3では、前述した図1の第1実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、同符号を付してその説明を省略する。また、検出用の振動腕14は図1に示す構造と同じであるため、構造の異なる駆動用の振動腕を図示して説明する。
<変形例1>
図4は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例を示す概略図であり、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)のB−B線断面図である。
変形例1の振動素子1aは、図4(a),(b)に示すように、第1実施形態の振動素子1に比べ、振動腕12の断面(XZ面)視において、X軸方向に溝部24aが複数配置され、複数の溝部24aを構成する肉厚部28と重なる第2主面20に、質量部26aが夫々設けられている点が異なっている。振動腕12の延出方向(Y軸方向)に沿って複数の溝部24aを並列して配置することで、電荷が発生する振動腕12の幅方向(X軸方向)と直交する側面(Y−Z面)を多くすることができるので、電界効率をより高めることができ、より高いQ値を有する振動素子1aを得ることができるという効果がある。
図4は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例を示す概略図であり、図4(a)は平面図、図4(b)は図4(a)のB−B線断面図である。
変形例1の振動素子1aは、図4(a),(b)に示すように、第1実施形態の振動素子1に比べ、振動腕12の断面(XZ面)視において、X軸方向に溝部24aが複数配置され、複数の溝部24aを構成する肉厚部28と重なる第2主面20に、質量部26aが夫々設けられている点が異なっている。振動腕12の延出方向(Y軸方向)に沿って複数の溝部24aを並列して配置することで、電荷が発生する振動腕12の幅方向(X軸方向)と直交する側面(Y−Z面)を多くすることができるので、電界効率をより高めることができ、より高いQ値を有する振動素子1aを得ることができるという効果がある。
<変形例2>
図5は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例を示す概略図であり、図5(a)は平面図、図5(b)は図5(a)のC−C線断面図である。
変形例2の振動素子1bは、図5(a),(b)に示すように、第1実施形態の振動素子1に比べ、振動腕12の延出方向(Y軸方向)に対して垂直方向の断面視において、つまり、断面(XZ面)において、溝部24bがX軸方向に複数配置され、複数の溝部24bを構成する肉厚部28と重なる第2主面20に、質量部26bが夫々設けられている点が異なっている。振動腕12の延出方向(Y軸方向)に沿って複数の溝部24bを直列に配置することで、振動腕12の延出方向(Y軸方向)に沿って溝部24bと溝部24bとの間に肉厚部28があることで、XY面内の屈曲振動において変位方向の剛性が強くなり、印加電圧を高め強励振しても破損が生じず、励振強度の強い振動素子1bを得ることができる。また、溝部24bのY軸方向の長さを短くできるため、曲げモーメントの影響を小さくでき、捻り振動の発生をより抑制し、高いQ値を有する振動素子1bを得ることができるという効果がある。
図5は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例を示す概略図であり、図5(a)は平面図、図5(b)は図5(a)のC−C線断面図である。
変形例2の振動素子1bは、図5(a),(b)に示すように、第1実施形態の振動素子1に比べ、振動腕12の延出方向(Y軸方向)に対して垂直方向の断面視において、つまり、断面(XZ面)において、溝部24bがX軸方向に複数配置され、複数の溝部24bを構成する肉厚部28と重なる第2主面20に、質量部26bが夫々設けられている点が異なっている。振動腕12の延出方向(Y軸方向)に沿って複数の溝部24bを直列に配置することで、振動腕12の延出方向(Y軸方向)に沿って溝部24bと溝部24bとの間に肉厚部28があることで、XY面内の屈曲振動において変位方向の剛性が強くなり、印加電圧を高め強励振しても破損が生じず、励振強度の強い振動素子1bを得ることができる。また、溝部24bのY軸方向の長さを短くできるため、曲げモーメントの影響を小さくでき、捻り振動の発生をより抑制し、高いQ値を有する振動素子1bを得ることができるという効果がある。
<変形例3>
図6は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例を示す概略図であり、図6(a)は平面図、図6(b)は図6(a)のD−D線断面図である。
変形例3の振動素子1cは、図6(a),(b)に示すように、第1実施形態の振動素子1に比べ、振動腕12の溝部24cを構成する肉厚部28が1つである点が異なっている。しかし、第1実施形態の振動素子1と同様に、肉厚部28と重なる第2の主面に質量部26cを設けることで、曲げモーメントの影響を小さくでき、捻り振動の発生をより抑制し、高いQ値を有する振動素子1cを得ることができるという効果がある。なお、肉厚部28と質量部26cは、一対の振動腕12が近接する側に設けられているが、これに限らず、近接する側と反対側に設けても良い。
図6は、本発明の第1実施形態に係る振動素子1の質量部26と溝部24との構成における変形例を示す概略図であり、図6(a)は平面図、図6(b)は図6(a)のD−D線断面図である。
変形例3の振動素子1cは、図6(a),(b)に示すように、第1実施形態の振動素子1に比べ、振動腕12の溝部24cを構成する肉厚部28が1つである点が異なっている。しかし、第1実施形態の振動素子1と同様に、肉厚部28と重なる第2の主面に質量部26cを設けることで、曲げモーメントの影響を小さくでき、捻り振動の発生をより抑制し、高いQ値を有する振動素子1cを得ることができるという効果がある。なお、肉厚部28と質量部26cは、一対の振動腕12が近接する側に設けられているが、これに限らず、近接する側と反対側に設けても良い。
<第2実施形態>
次に、本発明の第2実施形態に係る振動素子1dについて、図7および図8を参照して説明する。
図7は、本発明の第2実施形態に係る振動素子1dの構造を示す概略図であり、図7(a)は平面図、図7(b)は図7(a)のE−E線断面図である。図8は、本発明の第2実施形態に係る振動素子1dの振動状態を説明する概略図であり、図8(a)は振動腕12の断面図、図8(b)は仮想振動腕15の断面図、図8(c)は振動状態を示す仮想振動腕15の断面図である。
以下、第2実施形態の振動素子1dについて、前述した第1実施形態の振動素子1との相違点を中心に説明し、同様の事項については、同符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の第2実施形態に係る振動素子1dについて、図7および図8を参照して説明する。
図7は、本発明の第2実施形態に係る振動素子1dの構造を示す概略図であり、図7(a)は平面図、図7(b)は図7(a)のE−E線断面図である。図8は、本発明の第2実施形態に係る振動素子1dの振動状態を説明する概略図であり、図8(a)は振動腕12の断面図、図8(b)は仮想振動腕15の断面図、図8(c)は振動状態を示す仮想振動腕15の断面図である。
以下、第2実施形態の振動素子1dについて、前述した第1実施形態の振動素子1との相違点を中心に説明し、同様の事項については、同符号を付してその説明を省略する。
第2実施形態の振動素子1dは、図7(a),(b)に示すように、振動腕12に溝部24が設けられた外形形状は、第1実施形態の振動素子1の外形形状と同等であるが、溝部24の底裾32(図8参照)に重なる第2主面20の少なくとも一部に質量部26dが設けられている点が異なる。
溝部24を構成する2つの肉厚部28と同等の質量を有する質量部26dを、図8(a)に示すように、底裾32と重なる位置に形成したとすると、振動腕12の断面(XZ面)の重心の位置は、質量部26dが形成されていない場合、図2(a)と同様に、重心G2であるが、質量部26dが形成されていると重心G2から+Z軸方向に偏った重心G4となる。また、溝部24を構成する2つの肉厚部28と同等の質量を有する質量部26dは、溝部24が備えられた主面と反対側に2つの肉厚部28と同等の質量を有する仮想肉厚部31と想定でき、図8(b)に示すような仮想振動腕15の断面と想定できる。そのため、質量部26dの質量を仮想肉厚部31の先端で生じる曲げモーメントが肉厚部28の先端で生じる曲げモーメントと略均等になるような、重心G4から仮想肉厚部31の先端までの長さと同等となる質量とすれば、図8(c)に示すように、仮想振動腕15をXY面内の屈曲振動をさせた時に生じる曲げモーメントも互いに相殺される。そのため、曲げモーメントの影響を小さくでき、曲げモーメントによって生じる捻り振動を抑制することができる。
溝部24の底裾32に重なる第2主面20に質量部26dを設けることで、図1の質量部26を肉厚部28に重なる第2主面20に設けるのと同様に、振動腕12の断面の重心G4から肉厚部28の先端までの長さと、重心G4から質量部26dの先端までの長さと、を略均等とすることができる。そのため、振動腕12を面内で屈曲振動させた場合、振動腕12の断面の重心G4からの長さの違いによって生じる曲げモーメントを低減することができ、捻り振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子1dを得ることができるという効果がある。
<第3実施形態>
次に、本発明の第3実施形態に係る振動素子1eについて、図9を参照して説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係る振動素子1eの構造を示す概略図であり、図9(a)は平面図、図9(b)は図9(a)に示すF1−F1線断面図、図9(c)は図9(a)に示すF2−F2線断面図である。
以下、第3実施形態の振動素子1eについて、前述した第1実施形態の振動素子1との相違点を中心に説明し、同様の事項については、同符号を付してその説明を省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係る振動素子1eについて、図9を参照して説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係る振動素子1eの構造を示す概略図であり、図9(a)は平面図、図9(b)は図9(a)に示すF1−F1線断面図、図9(c)は図9(a)に示すF2−F2線断面図である。
以下、第3実施形態の振動素子1eについて、前述した第1実施形態の振動素子1との相違点を中心に説明し、同様の事項については、同符号を付してその説明を省略する。
第3実施形態の振動素子1eは、図9(a)〜(c)に示すように、振動腕12に溝部24が設けられた外形形状は、第1実施形態の振動素子1の外形形状と同等であるが、励振電極34,36の振動腕12の延出方向(Y軸方向)の長さの中心が質量部26eの振動腕12の延出方向(Y軸方向)の長さの中心よりも振動腕12の基部10側に配置されている。つまり、振動腕12の基部10側の表面に、励振電極34,36が形成されており、振動腕12の錘部16側の溝部24を構成する肉厚部28に重なる第2主面20の少なくとも一部に質量部26eが設けられている点が異なる。
振動腕12の延出方向(Y軸方向)の先端側に質量部26eを設けることは、振動腕12の延出方向(Y軸方向)の先端側では溝による曲げモーメントの影響が振動腕12の基部10側に比べ大きいため、曲げモーメントによる捻り振動の発生を抑制する上で効果がある。また、振動腕12の基部10側に励振電極34,36を設けることは、先端側に比べ振動による応力が集中しているため、面積の小さい電極でもより多くの電荷を効果的にピックアップすることができ、高いQ値を有する振動素子1eを得ることができるという効果がある。
[電子デバイス]
次に、本発明の一実施形態に係る振動素子1を適用した電子デバイス2について説明する。
図10は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える電子デバイス2の構造を示す概略図であり、図10(a)は平面図、図10(b)は図10(a)に示すG−G線断面図である。なお、図10(a)において、振動素子1の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材54を取り外した状態を図示している。また、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示している。更に、説明の便宜上、Z軸方向から見たときの平面視において、+Z軸方向の面を上面、−Z軸方向の面を下面として説明する。
次に、本発明の一実施形態に係る振動素子1を適用した電子デバイス2について説明する。
図10は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える電子デバイス2の構造を示す概略図であり、図10(a)は平面図、図10(b)は図10(a)に示すG−G線断面図である。なお、図10(a)において、振動素子1の内部の構成を説明する便宜上、蓋部材54を取り外した状態を図示している。また、説明の便宜上、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸およびZ軸を図示している。更に、説明の便宜上、Z軸方向から見たときの平面視において、+Z軸方向の面を上面、−Z軸方向の面を下面として説明する。
電子デバイス2は、図10(a),(b)に示すように、振動素子1と、振動素子1を発振するための回路素子70と、振動素子1を収容するための凹陥部が形成されているパッケージ本体40と、ガラス、セラミック、金属等からなる蓋部材54と、から構成されている。なお、振動素子1を収容するキャビティー60内はほぼ真空の減圧雰囲気に気密封止されている。
パッケージ本体40は、図10(b)に示すように、第1の基板42、第2の基板44、第3の基板46、外部端子50および封止材52を積層して形成されている。外部端子50は、第1の基板42の外部側の底面に複数形成されている。また、第1の基板42の上面や第2の基板44の支持部48の上面の所定の位置には、図示しない貫通電極や層間配線を介して、外部端子50と電気的に導通する回路素子70実装用の電極端子(図示せず)や振動素子1の励振用の電極と電気的に導通する電極端子(図示せず)が設けられている。第3の基板46は中央部が除去された環状体であり、振動素子1を収容するキャビティー60が形成されている。第3の基板46の上部周縁に、低融点ガラス等の封止材52が形成されている。
蓋部材54は、好ましくは、光を通過する材料、例えば、ホウケイ酸ガラス等により形成されており、封止材52により接合されることで、パッケージ本体40のキャビティー60内を気密封止している。これにより、パッケージ本体40の蓋封止後において、外部からレーザー光を蓋部材54を透過させて振動素子1の先端の電極30(図1(a)参照)に照射し、電極30(図1(a)参照)を一部蒸散させることにより、質量削減方式による振動周波数調整をすることができるようになっている。なお、このような振動周波数調整をしない場合には、蓋部材54をコバール合金等の金属材料で形成することができる。
パッケージ本体40のキャビティー60内に収容された振動素子1は、基部10を第2の基板44の支持部48上面に位置合わせされ、接合部材56を介して接合されている。よって、駆動用の振動腕12と検出用の振動腕14とは第1の基板42と接触することなく、振動させることができるため、高いQ値を有し安定な振動特性を有する振動素子1を備えた電子デバイス2を提供することができるという効果がある。
[電子機器]
次いで、本発明の一実施形態に係る電子部品としての振動素子1を適用した電子機器について、図11(a),(b)、図12に基づき説明する。
図11は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える電子機器を示す概略図であり、図11(a)はモバイル型(又はノート型)のパーソナルコンピューター1100の構成を示す斜視図、図11(b)は携帯電話機1200(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
次いで、本発明の一実施形態に係る電子部品としての振動素子1を適用した電子機器について、図11(a),(b)、図12に基づき説明する。
図11は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える電子機器を示す概略図であり、図11(a)はモバイル型(又はノート型)のパーソナルコンピューター1100の構成を示す斜視図、図11(b)は携帯電話機1200(PHSも含む)の構成を示す斜視図である。
図11(a)において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部1000を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する電子部品としての振動素子1が内蔵されている。
図11(b)において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部1000が配置されている。このような携帯電話機1200には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品(タイミングデバイス)としての振動素子1が内蔵されている。
図12は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える電子機器としてのデジタルカメラ1300の構成を示す斜視図である。なお、図12には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。
デジタルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)等の撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部1000が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部1000は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部1000に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1330が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1340が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1330や、パーソナルコンピューター1340に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ1300には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品としての振動素子1が内蔵されている。
デジタルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)等の撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部1000が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行なう構成になっており、表示部1000は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部1000に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1330が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1340が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1330や、パーソナルコンピューター1340に出力される構成になっている。このようなデジタルカメラ1300には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子部品としての振動素子1が内蔵されている。
上述したように、電子機器として、不要な振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子1が活用されることにより、より高性能の電子機器を提供することができる。
なお、本発明の一実施形態に係る電子部品としての振動素子1は、図11(a)のパーソナルコンピューター1100(モバイル型パーソナルコンピューター)、図11(b)の携帯電話機1200、図12のデジタルカメラ1300の他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
[移動体]
次いで、本発明の一実施形態に係る振動素子1を適用した移動体について、図13に基づき説明する。
図13は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える移動体としての自動車1400の構成を示す斜視図である。
自動車1400には本発明に係る振動素子1を含んで構成されたジャイロセンサーが搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車1400には、タイヤ1401を制御する該ジャイロセンサーを内蔵した電子制御ユニット1402が搭載されている。また、他の例としては、振動素子1は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
次いで、本発明の一実施形態に係る振動素子1を適用した移動体について、図13に基づき説明する。
図13は、本発明の一実施形態に係る振動素子1を備える移動体としての自動車1400の構成を示す斜視図である。
自動車1400には本発明に係る振動素子1を含んで構成されたジャイロセンサーが搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車1400には、タイヤ1401を制御する該ジャイロセンサーを内蔵した電子制御ユニット1402が搭載されている。また、他の例としては、振動素子1は、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
上述したように、移動体として、不要な振動の発生を抑制し、高いQ値を有する振動素子1が活用されることにより、より高性能の移動体を提供することができる。
以上、本発明の振動素子1,1a,1b,1c,1d,1e、電子デバイス2、電子機器および移動体について、図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明は、これに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていても良い。また、前述した各実施形態を適宜組み合わせても良い。
1…振動素子、2…電子デバイス、10…基部、12,14…振動腕、13,15…仮想振動腕、16,18…錘部、20…第2主面、22…第1主面、24…溝部、25…仮想溝部、26…質量部、28…肉厚部、29,31…仮想肉厚部、30…電極、32…底裾、34,36…励振電極、40…パッケージ本体、42…第1の基板、44…第2の基板、46…第3の基板、48…支持部、50…外部端子、52…封止材、54…蓋部材、56…接合部材、60…キャビティー、70…回路素子、1000…表示部、1100…パーソナルコンピューター、1102…キーボード、1104…本体部、1106…表示ユニット、1200…携帯電話機、1202…操作ボタン、1204…受話口、1206…送話口、1300…デジタルカメラ、1302…ケース、1304…受光ユニット、1306…シャッターボタン、1308…メモリー、1312…ビデオ信号出力端子、1314…入出力端子、1330…テレビモニター、1340…パーソナルコンピューター、1400…自動車、1401…タイヤ、1402…電子制御ユニット。
Claims (11)
- 基部と、
前記基部から延出している振動腕と、
前記振動腕の第1主面から前記第1主面に対し反対側である第2主面に向かって有底の溝が設けられている溝部と、
を備え、
前記振動腕の延出方向に対して垂直方向の断面視において、
前記振動腕の重心は、前記第1主面側よりも前記第2主面側に有し、
前記第2主面の少なくとも一部に質量部が設けられていることを特徴とする振動素子。 - 前記質量部は、前記溝部を構成する肉厚部に重なる前記第2主面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の振動素子。
- 前記質量部は、前記溝部の底裾に重なる前記第2主面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする請求項1に記載の振動素子。
- 前記質量部は、前記第1主面の少なくとも一部に設けられていることを特徴とする請求項1乃至3のいずれか一項に記載の振動素子。
- 前記振動腕の延出方向に沿って、
溝が複数配置されていることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動素子。 - 前記断面視において、
溝が複数配置されていることを特徴とする請求項1乃至5のいずれか一項に記載の振動素子。 - 前記振動腕に電極が設けられ、前記電極の前記振動腕の延出方向の長さの中心が前記質量部の前記振動腕の延出方向の長さの中心よりも前記振動腕の前記基部側に配置されていることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか一項に記載の振動素子。
- 前記振動腕の延出方向の先端側に錘部が設けられていることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の振動素子。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の振動素子と、
回路素子と、
を備えていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
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