JP7062999B2 - 振動素子、振動子、発振器、電子機器、および移動体 - Google Patents

Description

本発明は、振動素子、振動子、発振器、電子機器、および移動体に関する。

例えば、水晶などの圧電体の圧電効果を利用して、振動素子の表裏の主面が互いに反対方向にずれるように振動する、所謂厚み滑り振動を生じる振動素子を、パッケージに収容した振動デバイスが知られている。このような振動素子は、表裏の主面がずれるように振動するため、励振のための励振電極以外の配線、例えば励振電極と外部接続端子との間を結ぶ引き出し電極などを、振動領域に近く振動の閉じ込めが十分でない部分の主面に設けると振動を阻害する要因として働き、例えばＱ値の低下など振動特性を低下させてしまうことが知られている。特に、振動素子が小型化するに連れてその影響が顕著になり、例えば特許文献１には、引き出し電極を表裏の主面を略垂直に繋ぐ側面に設け、この側面に配設された引き出し電極を介して主面の励振電極と外部接続端子とを繋ぐ構成の振動素子が記載されている。

特開２０１４－１９２７１２号公報

しかしながら、特許文献１に記載されている振動素子では、引き出し電極が設けられる側面が表裏の主面に対して略垂直に設けられているため、主面と側面とが交差する角部の尖りによって、この角部を通る引き出し電極にダメージを受け、引き出し電極の断線を生じてしまう虞があった。

本願の振動素子は、厚み滑り振動を主振動として励振する振動部を有する基板と、前記基板の表裏に位置する両主面の内、一方の前記主面の前記振動部に配設されている第１電極と、他方の前記主面の前記振動部に配設されている第２電極と、を備え、前記基板の平面視での外形は、前記厚み滑り振動の方向に沿った第１方向に延び、前記第１方向に交差する第２方向に並び、前記両主面を繋ぐ第１側面および第２側面と、を具備し、前記第１側面および前記第２側面は、前記基板の主面に対して傾斜した傾斜面を有し、前記第１側面の前記傾斜面上には、前記第１電極と接続している第１の引き出し電極が配設されており、前記第２側面の前記傾斜面上には、前記第２電極と接続している第２の引き出し電極が配設されており、前記傾斜面と前記主面とのなす角度は、５２度以上、６２度以下であることを特徴とする。

上述の振動素子において、前記第１の引き出し電極は、前記第１電極から前記傾斜面に向かって配設される第１の部分と、前記傾斜面上に配設される第２の部分と、を有し、前記第２の部分は、前記主面上に配設される部分の幅をｗ１とし、前記傾斜面上に配設される部分の幅をｗ２とし、ｗ２＞ｗ１の関係であることが好ましい。

上述の振動素子において、前記第２の引き出し電極は、前記第２電極から前記傾斜面に向かって配設される第１の部分と、前記傾斜面上に配設される第２の部分と、を有し、前記第２の部分は、前記主面上に配設される部分の幅をｗ３とし、前記傾斜面上に配設される部分の幅をｗ４とし、ｗ４＞ｗ３の関係であることが好ましい。

上述の振動素子において、前記第１の引き出し電極の第２の部分、および前記第２の引き出し電極の第２の部分は、前記傾斜面上のみに配設されていることが好ましい。

本願の振動子は、上述のいずれかに記載の振動素子と、凹部を有し、該凹部に前記振動素子を収容しているパッケージと、前記凹部を封止している蓋体とを備えていることを特徴とする。

本願の発振器は、上述のいずれかに記載の振動素子と、前記振動素子を駆動する電気回路を含む回路素子と、凹部を有し、該凹部に前記振動素子および前記回路素子を収容しているパッケージと、前記凹部を封止している蓋体と、を備えていることを特徴とする。

本願の電子機器は、上述のいずれかに記載の振動素子と、前記振動素子の振動信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えていることを特徴とする。

本願の移動体は、上述のいずれかに記載の振動素子と、前記振動素子の振動信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えていることを特徴とする。

本発明の第１実施形態に係る振動素子の概略を示す斜視図。 第１実施形態に係る振動素子の概略を示す図１のＡ－Ａ断面図。 比較例としての従来の振動素子の励振強度を示す説明図。 第１実施形態に係る振動素子の励振強度を示す説明図。 本発明の第２実施形態に係る振動素子の概略を示す斜視図。 第２実施形態に係る振動素子の概略を示す図５のＢ－Ｂ断面図。 第２実施形態に係る振動素子の図５と反対側の裏側からの斜視図。 本発明の第３実施形態に係る電振動素子の概略を示す斜視図。 第３実施形態に係る振動素子の概略を示す図８のＣ－Ｃ断面図。 本発明に係る振動子の概略を示す断面図。 本発明に係る発振器の概略を示す断面図。 電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図。 電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図。 電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。 移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図。

以下、本発明の振動素子、振動子、発振器、電子機器、および移動体の好適な実施形態について、添付図面を参照しつつ説明する。

［振動素子］
＜振動素子の第１実施形態＞
図１、図２、図３、および図４を参照して、本発明の第１実施形態に係る振動素子について説明する。図１および図２は、本発明の第１実施形態に係る振動素子の概略を示し、図１は斜視図であり、図２は、図１のＡ－Ａ断面図である。図３は、比較例としての従来の振動素子の励振強度を示す説明図である。図４は、第１実施形態に係る振動素子の励振強度を示す説明図である。

第１実施形態に係る振動素子１０には、圧電材料の一例としての水晶により形成されたＡＴカット水晶基板（圧電基板）が用いられている。図示しないが、水晶等の圧電材料は三方晶系に属し、互いに直交する結晶軸Ｘ、Ｙ、Ｚを有する。Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸は、夫々電気軸、機械軸、光学軸と呼称される。そして水晶基板は、ＸＺ面をＸ軸の回りに所定の角度θだけ回転させた平面に沿って、水晶から切り出された平板が用いられる。例えば、ＡＴカット水晶基板の場合は、θは略３５°１５′である。なお、Ｙ軸、およびＺ軸もＸ軸の周りにθ回転させて、夫々Ｙ’軸、およびＺ’軸とする。従って、ＡＴカット水晶基板は、直交する結晶軸Ｘ、Ｙ’、Ｚ’を有する。ＡＴカット水晶基板は、厚み方向がＹ’軸であって、Ｙ’軸に直交するＸＺ’面（Ｘ軸、およびＺ’軸を含む面）が主面であり、Ｘ軸方向に沿って、図１に示す矢印ｆの方向に厚み滑り振動が主振動として励振される。このＡＴカット水晶基板を加工して、振動素子１０の素板としての圧電基板を得ることができる。即ち、振動素子１０の素板としての圧電基板は、Ｘ軸（電気軸）、Ｙ軸（機械軸）、Ｚ軸（光学軸）からなる直交座標系のＸ軸を中心として、Ｚ軸をＹ軸の－Ｙ方向へ傾けた軸をＺ’軸とし、Ｙ軸をＺ軸の＋Ｚ方向へ傾けた軸をＹ’軸とし、Ｘ軸とＺ’軸に平行な面で構成され、Ｙ’軸に平行な方向を厚みとするＡＴカット水晶基板からなる。なお、以下に参照する図面では、説明の便宜上、Ｙ’軸をＹ軸として記載し、Ｚ’軸をＺ軸として記載している。また、厚み滑り振動の方向に沿ったＸ軸方向を第１方向とし、第１方向に交差するＺ軸方向を第２方向としている。

本実施形態の振動素子１０は、圧電材料の一例として上述した水晶により、Ｘ軸方向（第１方向）に沿った長辺、Ｚ軸方向（第２方向）に沿った短辺を有し、Ｙ軸方向からの平面視において矩形状に形成されたＡＴカット水晶基板（圧電基板）を、基板１１として用いている。基板１１は、Ｙ軸方向に沿って対向する表側の主面１２、および裏側の主面１３を備えている。さらに、基板１１は、Ｘ軸方向に延び、Ｚ軸方向に対向して並び、両主面１２，１３を繋ぐ第１側面１４および第２側面１５を備えている。第１側面１４は、表側の主面１２に対して、角度θが５７度±５度の範囲、即ち５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２０を有している。つまり、主面１２と第１側面１４とが交差する頂角は、１２３度±５度の範囲、即ち１１８度以上、１２８度以下となる。また、第２側面１５は、裏側の主面１３に対して、角度θが５７度±５度の範囲、即ち５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２１を有している。つまり、主面１３と第２側面１５とが交差する頂角は、１２３度±５度の範囲、即ち１１８度以上、１２８度以下となる。換言すれば、第１側面１４および第２側面１５に設けられている傾斜面２０および傾斜面２１は、Ｘ軸に対して略１８０°対称構造をなして設けられている。したがって、第１側面１４と表側の主面１２との交差する角部、および第２側面１５と裏側の主面１３との交差する角部は、それぞれ鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となる。なお、付番していないが、Ｘ軸方向に対向して並び、両主面１２，１３を繋ぐ短辺側の二つの側面も備えている。

基板１１の表側の主面１２には、Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部に対応して配設されている第１電極１６と、Ｘ軸方向の端部に配設されている外部接続電極１８と、が備えられている。また、基板１１の裏側の主面１３には、Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部に対応し、第１電極１６に対向する位置に配設されている第２電極１７と、Ｘ軸方向の端部に配設されている外部接続電極３５と、が備えられている。

第１側面１４の傾斜面２０上には、第１電極１６と接続されている第１の引き出し電極２６が配設されている。第１の引き出し電極２６は、第１電極１６から傾斜面２０に向かって配設されている第１の部分２４と、傾斜面２０上に配設されている第２の部分２５とを有し、第２の部分２５を介して外部接続電極１８に接続されている。換言すれば、第１電極１６は、第１の引き出し電極２６を介して外部接続電極１８に接続されている。

第２側面１５の傾斜面２１上には、第２電極１７と接続している第２の引き出し電極２９が配設されている。第２の引き出し電極２９は、第１の引き出し電極２６と同様に、第２電極１７から傾斜面２１に向かって配設されている第１の部分２７と、傾斜面２１上に配設されている第２の部分２８とを有し、第２の部分２８を介して外部接続電極３５に接続されている。換言すれば、第２電極１７は、第２の引き出し電極２９を介して外部接続電極３５に接続されている。なお、第２の引き出し電極２９は、図１には図示されていないが、傾斜面２１に向かう方向からの平面視で、第１の引き出し電極２６と同様な形状を成している。

振動素子１０は、基板１１を構成する第１側面１４に角度θが、５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２０を有していることから、傾斜面２０と主面１２との交差する角部が鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となり、この角部を通る第１の引き出し電極２６にダメージを受け難くすることができる。したがって、第１の引き出し電極２６の角部による断線を生じ難くすることができる。また、同様に、振動素子１０は、基板１１を構成する第２側面１５に角度θが、５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２１を有していることから、傾斜面２１と主面１３との交差する角部が鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となり、この角部を通る第２の引き出し電極２９にダメージを受け難くすることができる。したがって、第２の引き出し電極２９の角部による断線を生じ難くすることができる。

また、第１側面１４および第２側面１５のそれぞれに、主面１２，１３との角度を、５２度以上、６２度以下として傾斜した傾斜面２０，２１を設けることにより、第１側面１４側および第２側面１５側の振動の閉じ込め効果を強めることができる。このことについて、図３および図４を参照して説明する。

図３の下側（ｂ）に示されているように、第１側面１４および第２側面１５に傾斜面２０，２１の設けられていない従来の構成では、図３の上側（ａ）に示されているように、第１側面１４側および第２側面１５側の振動の閉じ込めが十分でなく、第１側面１４および第２側面１５にかけて振動（励振強度）が残存している。これに対し、図４の下側（ｂ）に示されているように、第１側面１４および第２側面１５に傾斜面２０，２１が設けられている本実施形態の構成では、図４の上側（ａ）に示されているように、傾斜面２０，２１の設けられている部分における振動が閉じ込められ、振動（励振強度）の残存が生じない。

このように、第１側面１４および第２側面１５のそれぞれに、主面１２，１３との角度を、５２度以上、６２度以下として傾斜した傾斜面２０，２１を設けることにより、第１側面１４側および第２側面１５側の振動の閉じ込め効果を強めることができる。したがって、第１の引き出し電極２６および第２の引き出し電極２９を、第１側面１４側および第２側面１５側に位置する傾斜面２０，２１に設けても、この配設による振動特性への影響を減少させることができ、例えばＱ値（ＣＩ値：Crystal Impedance）などの振動特性を向上させることができる。

また、上述のように、第１の引き出し電極２６の第２の部分２５、および第２の引き出し電極２９の第２の部分２８は、主面１２，１３に配設されず、傾斜面２０，２１上のみに配設されている。これにより、振動領域（第１電極１６および第２電極１７の配置領域）に近い部分の主面１２，１３上には第１の部分２４，２７のみが設けられることになり、第１の引き出し電極２６および第２の引き出し電極２９による振動特性に対する影響を、さらに減少させることができる。

＜振動素子の第２実施形態＞
図５、図６、および図７を参照して、本発明の第２実施形態に係る振動素子について説明する。図５および図６は、本発明の第２実施形態に係る振動素子の概略を示し、図５は斜視図であり、図６は、図５のＢ－Ｂ断面図である。図７は、第２実施形態に係る振動素子の図５と反対側の裏側からの斜視図である。

第２実施形態に係る振動素子１０ａには、第１実施形態と同様に、圧電材料の一例として上述した水晶基板により、Ｘ軸方向に沿った長辺、Ｚ軸方向に沿った短辺を有し、Ｙ軸方向からの平面視において矩形状に形成されたＡＴカット水晶基板（圧電基板）を、基板１１として用いている。なお、以下に参照する図面では、説明の便宜上、Ｙ’軸をＹ軸として記載し、Ｚ’軸をＺ軸として記載している。また、厚み滑り振動の方向に沿ったＸ軸方向を第１方向とし、第１方向に交差するＺ軸方向を第２方向としている。

本実施形態の振動素子１０ａを構成する基板１１は、第１実施形態と同様に、Ｙ軸方向に沿って対向する表側の主面１２、および裏側の主面１３を備えている。さらに、基板１１は、Ｘ軸方向（第１方向）に延び、Ｚ軸方向（第２方向）に対向して並び、両主面１２，１３を繋ぐ第１側面１４および第２側面１５、を備えている。第１側面１４は、表側の主面１２に対して、角度θが５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２０を有している。また、第２側面１５は、裏側の主面１３に対して、角度θが、５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２１を有している。換言すれば、第１側面１４および第２側面１５に設けられている傾斜面２０および傾斜面２１は、Ｘ軸に対して略１８０°対称構造をなして設けられている。したがって、第１側面１４と表側の主面１２との交差する角部、および第２側面１５と裏側の主面１３との交差する角部は、それぞれ鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となる。なお、付番していないが、Ｘ軸方向に対向して並び、両主面１２，１３を繋ぐ短辺側の二つの側面も備えている。

基板１１の表側の主面１２には、Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部に対応して配設されている第１電極１６と、Ｘ軸方向の端部に配設されている外部接続電極１８と、が備えられている。また、基板１１の裏側の主面１３には、Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部に対応し、第１電極１６に対向する位置に配設されている第２電極１７と、Ｘ軸方向の端部に配設されている外部接続電極３５（図７参照）と、が備えられている。

第１側面１４の傾斜面２０上には、第１電極１６と接続している第１の引き出し電極２６ａが配設されている。第１の引き出し電極２６ａは、第１電極１６から傾斜面２０に向かって配設されている第１の部分２４と、傾斜面２０上および主面１２に配設されている第２の部分２５ａとを有し、第２の部分２５ａを介して外部接続電極１８に接続されている。換言すれば、第１電極１６は、第１の引き出し電極２６ａを介して外部接続電極１８に接続されている。

ここで、第２の部分２５ａは、主面１２上に配設される部分２２の幅をｗ１とし、傾斜面２０上に配設される部分２３の幅をｗ２としたとき、ｗ２＞ｗ１の関係となるように配設されている。このように、第１の引き出し電極２６ａの第２の部分２５ａの内、主面１２上に配設される部分２２の幅ｗ１が、傾斜面２０上に配設される部分２３の幅ｗ２よりも小さくなるように配設されていることから、第１の引き出し電極２６ａ（第２の部分２５ａ）が振動領域（第１電極１６の配置領域）に近い部分の主面１２上に設けられても、第１の引き出し電極２６ａによる振動特性に対する影響を減少させることができる。

図７に示すように、第２側面１５の傾斜面２１上には、第２電極１７と接続している第２の引き出し電極２９ａが配設されている。第２の引き出し電極２９ａは、第１の引き出し電極２６ａと同様に、第２電極１７から傾斜面２１に向かって配設されている第１の部分２７と、傾斜面２１上に配設されている第２の部分２８ａとを有し、第２の部分２８ａを介して外部接続電極３５に接続されている。換言すれば、第２電極１７は、第２の引き出し電極２９ａを介して外部接続電極３５に接続されている。

ここで、第２の部分２８ａは、主面１３上に配設される部分３２の幅をｗ３とし、傾斜面２１上に配設される部分３３の幅をｗ４としたとき、ｗ４＞ｗ３の関係となるように配設されている。このように、第２の引き出し電極２９ａの第２の部分２８ａの内、主面１３上に配設される部分３２の幅ｗ３が、傾斜面２１上に配設される部分３３の幅ｗ４よりも小さくなるように配設されていることから、第２の引き出し電極２９ａ（第２の部分２８ａ）が振動領域（第１電極１６の配置領域）に近い部分の主面１３上に設けられても、第２の引き出し電極２９ａによる振動特性に対する影響を減少させることができる。

また、第２実施形態に係る振動素子１０ａは、第１実施形態と同様に、基板１１を構成する第１側面１４に角度θが、５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２０を有していることから、傾斜面２０と主面１２との交差する角部が鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となり、この角部を通る第１の引き出し電極２６ａにダメージを受け難くすることができる。したがって、第１の引き出し電極２６ａの角部による断線を生じ難くすることができる。また、同様に、振動素子１０ａは、基板１１を構成する第２側面１５に角度θが、５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２１を有していることから、傾斜面２１と主面１３との交差する角部が鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となり、この角部を通る第２の引き出し電極２９ａにダメージを受け難くすることができる。したがって、第２の引き出し電極２９ａの角部による断線を生じ難くすることができる。また、第１実施形態と同様に、第１側面１４側および第２側面１５側の振動の閉じ込め効果を強めることができる。

＜振動素子の第３実施形態＞
図８、および図９を参照して、本発明の第３実施形態に係る振動素子について説明する。図８および図９は、本発明の第３実施形態に係る振動素子の概略を示し、図８は斜視図であり、図９は、図８のＣ－Ｃ断面図である。

第３実施形態に係る振動素子１０ｂには、第１実施形態と同様に、圧電材料の一例として上述した水晶基板により、Ｘ軸方向に沿った長辺、Ｚ軸方向に沿った短辺を有し、Ｙ軸方向からの平面視において矩形状に形成されたＡＴカット水晶基板（圧電基板）を、基板１１ｂとして用いている。なお、以下に参照する図面では、説明の便宜上、Ｙ’軸をＹ軸として記載し、Ｚ’軸をＺ軸として記載している。また、厚み滑り振動の方向に沿ったＸ軸方向を第１方向とし、第１方向に交差するＺ軸方向を第２方向としている。

本実施形態の振動素子１０ｂを構成する基板１１ｂは、第１実施形態と同様に、Ｙ軸方向に沿って対向する表側の主面１２、および裏側の主面１３を備えている。Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部において、主面１２側に凸状部３０、主面１３側に凸状部３１が設けられている。また、基板１１ｂは、Ｙ軸方向からの平面視において、凸状部３０の外側に位置している周辺部３７、凸状部３１の外側に位置している周辺部３８が設けられている。即ち、基板１１ｂは、主面１２側に凸状部３０と周辺部３７とで構成された、所謂メサ形状を備え、主面１３側にも同様に、凸状部３１と周辺部３８とで構成された、所謂メサ形状を備えている。さらに、基板１１ｂは、Ｘ軸方向（第１方向）に延び、Ｚ軸方向（第２方向）に対向して並び、両主面１２，１３を繋ぐ第１側面１４および第２側面１５を備えている。第１側面１４は、表側の主面１２に対して、角度θが５７度±５度の範囲、即ち５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２０を有している。また、第２側面１５は、裏側の主面１３に対して、角度θが５７度±５度の範囲、即ち５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２１を有している。換言すれば、第１側面１４および第２側面１５に設けられている傾斜面２０および傾斜面２１は、Ｘ軸に対して略１８０°対称構造をなして設けられている。したがって、第１側面１４と表側の主面１２との交差する角部、および第２側面１５と裏側の主面１３との交差する角部は、それぞれ鈍角（１１８度以上、１２８度以下）となる。なお、付番していないが、Ｘ軸方向に対向して並び、両主面１２，１３を繋ぐ二つの短辺側の側面も備えている。

基板１１ｂの表側の主面１２には、Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部、即ち凸状部３０に対応して配設されている第１電極１６と、Ｘ軸方向の端部に配設されている外部接続電極１８と、が備えられている。また、基板１１ｂの裏側の主面１３には、Ｙ軸方向からの平面視における中央部に位置する振動部、即ち凸状部３１に対応し、第１電極１６に対向する位置に配設されている第２電極１７と、Ｘ軸方向の端部に配設されている外部接続電極３５と、が備えられている。

第１側面１４の傾斜面２０上には、第１電極１６と接続している第１の引き出し電極２６が配設されている。第１の引き出し電極２６は、第１電極１６から傾斜面２０に向かって周辺部３７上を含み配設されている第１の部分２４と、傾斜面２０上に配設されている第２の部分２５とを有し、第２の部分２５を介して外部接続電極１８に接続されている。換言すれば、第１電極１６は、第１の引き出し電極２６を介して外部接続電極１８に接続されている。

第２側面１５の傾斜面２１上には、第２電極１７と接続している第２の引き出し電極２９が配設されている。第２の引き出し電極２９は、第１の引き出し電極２６と同様に、第２電極１７から傾斜面２１に向かって周辺部３８上を含み配設されている第１の部分２７と、傾斜面２１上に配設されている第２の部分２８とを有し、第２の部分２８を介して外部接続電極３５に接続されている。換言すれば、第２電極１７は、第２の引き出し電極２９を介して外部接続電極３５に接続されている。なお、第２の引き出し電極２９は、図示されていないが、傾斜面２１に向かう方向からの平面視で、第１の引き出し電極２６と同様な形状、即ちＸ軸に対して略１８０°対称形状をなしている。

このようなメサ型形状をなした振動素子１０ｂにおいても、基板１１ｂを構成する第１側面１４および第２側面１５に角度θが５２度以上、６２度以下で傾斜して交差する傾斜面２０，２１を有していることから、前述した第１実施形態に係る振動素子１０と同様な効果を奏することができる。

なお、水晶を用いた基板１１，１１ｂは、前述の実施形態で説明したような、切り出し角度θが略３５°１５′のＡＴカット水晶基板に限定されるものではなく、同様な厚み滑り振動を励振するＳＣカット、ＢＴカット、等の他の水晶基板も広く適用できる。

［振動子］
次に、図１０を参照して、本発明に係る振動子の実施形態について説明する。図１０は、本発明に係る振動子の概略を示す断面図である。本発明に係る振動子では、前述した振動素子１０，１０ａ，１０ｂのいずれかを用いることができるが、以下では、第１実施形態で説明した振動素子１０を適用した例を示して説明する。

図１０に示すように、振動子５０は、前述の第１実施形態で説明した振動素子１０と、振動素子１０を収納する凹部６１を備えているパッケージ５５と、パッケージ５５との間に内部空間（収納空間）Ｓを形成する蓋体としてのリッド５８とを有している。以下、パッケージ５５、および蓋体としてのリッド５８について、順次詳細に説明する。

なお、図１０では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、＋Ｙ軸側を「上」もしくは「上方」、－Ｙ軸側を「下」もしくは「下方」ともいう。

パッケージ５５は、略矩形状をなした板状の底板５１と、底板５１の上面（Ｙ軸方向に向く面）の周縁部に設けられている枠状の第１枠板５２と、第１枠板５２の上側の周縁部に設けられている枠状の側壁５３とを含んでいる。側壁５３の上面には、後述する蓋体としてのリッド５８を接合するための接合材として用いられるシームリング５７が設けられている。そして、パッケージ５５は、振動素子１０を収納するものである。

パッケージ５５は、上面に開放する凹部６１（内部空間Ｓ）を有している。凹部６１の開口は、接合材としてのシームリング５７を介して側壁５３に接合されている蓋体としてのリッド５８によって塞がれている。そして、このリッド５８により、パッケージ５５の凹部６１の開口が塞がれて密封された内部空間Ｓが形成される。密封された内部空間Ｓは、その内部圧力を所望の気圧に設定できる。例えば、内部空間Ｓに窒素ガスを充填しての大気圧としたり、真空（通常の大気圧より低い圧力（１×１０⁵Ｐａ～１×１０^-10Ｐａ以下（ＪＩＳ Ｚ ８１２６－１：１９９９））の気体で満たされた空間の状態）としたりすることで、より安定した振動素子１０の振動を継続することができる。なお、本実施形態の内部空間Ｓは、上記の真空の状態に設定されている。

底板５１の上側に接合されている第１枠板５２は、中央部に開口を備えた略矩形状の枠状をなしている。枠状の第１枠板５２の上側に接合されている側壁５３は、Ｘ軸方向において第１枠板５２の開口よりも外側に開口端を有し、底板５１と第１枠板５２とが積層されたパッケージ５５の外周縁（上面周縁部）に沿って略矩形状の枠状に設けられている。換言すれば、側壁５３は、凹部６１の上面に開口する開口形状が略矩形状の周状をなしている。枠状の側壁５３の上面には、例えばコバール等の合金で形成されたシームリング５７が設けられている。シームリング５７は、蓋体としてのリッド５８と側壁５３との接合材としての機能を有しており、側壁５３の上面に沿って枠状（略矩形状の周状）に設けられている。

パッケージ５５は、振動素子１０、およびリッド５８の熱膨張係数と一致、あるいは極力近い熱膨張係数を備えた材料によって形成され、本例では、セラミックを用いている。パッケージ５５は、所定の形状に成形されたグリーンシートを積層し、焼結することによって形成される。なお、グリーンシートは、例えば所定の溶液中にセラミックのパウダーを分散させ、バインダーを添加して生成される混練物がシート状に形成された物である。

なお、側壁５３の開口に露出する第１枠板５２の上面には、パッド電極（不図示）が設けられている。パッド電極は、例えば、銀・パラジウムなどの導電ペーストあるいはタングステンメタライズなどを用い、必要とされる形状を形成後に焼成を行い、その後ニッケルおよび金あるいは銀などをメッキすることによって形成される。パッド電極は、振動素子１０の外部接続電極１８（図１参照）と接続されるように配設されている。振動素子１０は、例えば導電性接着剤などの接合部材５９により振動素子１０の外部接続電極１８（図１参照）がパッド電極に接続されることによって、内部空間Ｓに保持される。なお、パッド電極の数は、必要に応じて設けられれば良く、限定されるものではない。また、パッド電極の内には、パッケージ５５の外底部に形成される外部接続端子５６と電気的に接続されているものがあり、これにより、パッケージ５５の外部と振動素子１０を振動させる第１電極１６および第２電極１７との電気的接続をとることができる。

蓋体としてのリッド５８は、板状の部材であり、パッケージ５５の上面に開放する凹部６１の開口を塞ぎ、内部空間Ｓを形成している。リッド５８は、側壁５３に相当する凹部６１の開口の周囲を、例えばシーム溶接法などを用いて接合されている。本例のリッド５８は、板状であるため、形成が行い易く、さらには形状の安定性にも優れる。また、本例のリッド５８には、導電性を有するコバールの板材が用いられている。

リッド５８にコバールの板を用いることで、封止の際にコバールで形成されているシームリング５７とリッド５８とが同じ溶融状態で溶融され、さらには合金化もされ易いため封止を容易に、且つ確実に行うことができる。また、リッド５８に導電性を有する板材を用いることにより、リッド５８を固定電位とすることが可能となり、リッド５８にシールド効果を得ることができる。これにより、リッド５８側から入射する電気的なノイズを防御することが可能となる。なお、リッド５８には、コバールに換えて他の材料の板材を用いてもよく、例えば、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属材料、またはパッケージ５５の側壁５３と同材料などを用いることができる。

このような構成の振動子５０によれば、パッケージ５５とリッド５８とによって構成された内部空間Ｓに上述の実施形態で説明した振動素子１０を収容している。したがって、振動素子１０の第１の引き出し電極２６および第２の引き出し電極２９の断線の発生を減少させることによって信頼性を高め、且つ振動素子１０の傾斜面２０，２１の配設による振動の閉じ込め効果によって第１の引き出し電極２６および第２の引き出し電極２９の振動特性への影響を減少させることによる、例えばＱ値（ＣＩ値：Crystal Impedance）などの振動特性の向上を実現できる振動子５０を提供することができる。

［発振器］
次に、図１１を参照して、本発明に係る発振器の実施形態について説明する。図１１は、本発明に係る発振器の概略を示す断面図である。本発明に係る発振器では、前述した振動素子１０，１０ａ，１０ｂのいずれかを用いることができるが、以下では、第１実施形態で説明した振動素子１０を適用した例を示して説明する。

図１１に示すように、発振器８０は、前述の第１実施形態で説明した振動素子１０と、振動素子１０を駆動する電気回路を含む回路素子９０と、振動素子１０および回路素子９０を収納する凹部９２を備えているパッケージ８５と、パッケージ８５との間に内部空間（収納空間）Ｓを形成する蓋体としてのリッド８８とを有している。以下、パッケージ８５、回路素子９０、および蓋体としてのリッド８８について、順次詳細に説明する。

なお、図１１では、説明の便宜上、互いに直交する３つの軸として、Ｘ軸、Ｙ軸およびＺ軸を図示しており、Ｘ軸に平行な方向を「Ｘ軸方向」、Ｙ軸に平行な方向を「Ｙ軸方向」、Ｚ軸に平行な方向を「Ｚ軸方向」という。また、＋Ｙ軸側を「上」もしくは「上方」、－Ｙ軸側を「下」もしくは「下方」ともいう。

パッケージ８５は、略矩形状をなした板状の底板８１と、底板８１の上面（Ｙ軸方向に向く面）の周縁部に設けられている枠状の第１枠板８２と、第１枠板８２の上面の周縁部に設けられている枠状の第２枠板８３と、第２枠板８３の上面の周縁部に設けられている枠状の側壁８４とを含んでいる。側壁８４の上面には、後述する蓋体としてのリッド８８を接合するための接合材として用いられるシームリング８７が設けられている。そして、パッケージ８５は、振動素子１０、および回路素子９０などを収納するものである。

パッケージ８５は、上面に開放する凹部９２（内部空間Ｓ）を有している。凹部９２の開口は、接合材としてのシームリング８７を介して側壁８４に接合されている蓋体としてのリッド８８によって塞がれている。そして、このリッド８８により、パッケージ８５の凹部９２の開口が塞がれて密封された内部空間Ｓが形成される。密封された内部空間Ｓは、その内部圧力を所望の気圧に設定できる。例えば、内部空間Ｓに窒素（Ｎ₂）ガスを充填しての大気圧としたり、真空（通常の大気圧より低い圧力（１×１０⁵Ｐａ～１×１０^-10Ｐａ以下（ＪＩＳ Ｚ ８１２６－１：１９９９））の気体で満たされた空間の状態）としたりすることで、より安定した振動素子１０の振動を継続することができる。なお、本実施形態の内部空間Ｓは、上記の真空の状態に設定されている。また、本実施形態のような発振器８０に用いる内部空間Ｓは、パッケージ８５の凹部９２の開口が塞がれて密封され、窒素ガスを充填しての大気圧としたり、真空（通常の大気圧より低い圧力（１×１０⁵Ｐａ～１×１０^-10Ｐａ以下の気体で満たされた空間の状態））としたりすることが好ましいが、他の構成の発振器ではこの限りでない。例えば、他の構成では、窒素（Ｎ₂）ガスが充填された構成であったり、大気解放された構成であったりしてもよい。

底板８１の上面に接合されている第１枠板８２は、中央部に開口を備えた枠状をなしている。枠状の第１枠板８２の上面に接合されている第２枠板８３は、Ｘ軸方向において第１枠板８２の開口よりも外側（両方向）に開口端を有した枠状をなしている。

枠状の第２枠板８３の上面に接合されている側壁８４は、Ｘ軸、Ｙ軸方向において第２枠板８３の開口よりも外側に開口端を有し、底板８１から第２枠板８３が積層されたパッケージ８５の外周縁（上面周縁部）に沿って略矩形状の枠状に設けられている。換言すれば、側壁８４は、凹部９２の上面に開口する開口形状が略矩形状の周状をなしている。枠状の側壁８４の上面には、例えばコバール等の合金で形成されたシームリング８７が設けられている。シームリング８７は、蓋体としてのリッド８８と側壁８４との接合材としての機能を有しており、側壁８４の上面に沿って枠状（略矩形状の周状）に設けられている。

パッケージ８５は、振動素子１０、回路素子９０、およびリッド８８の熱膨張係数と一致、あるいは極力近い熱膨張係数を備えた材料によって形成され、本例では、セラミックを用いている。パッケージ８５は、所定の形状に成形されたグリーンシートを積層し、焼結することによって形成される。なお、グリーンシートは、例えば所定の溶液中にセラミックのパウダーを分散させ、バインダーを添加して生成される混練物がシート状に形成された物である。

なお、第２枠板８３の開口に露出する第１枠板８２の上面には、複数のパッド電極（不図示）が設けられている。また、側壁８４の開口に露出する第２枠板８３の上面には、複数のパッド電極（不図示）が設けられている。パッド電極は、例えば、銀・パラジウムなどの導電ペーストあるいはタングステンメタライズなどを用い、必要とされる形状を形成後に焼成を行い、その後ニッケルおよび金あるいは銀などをメッキすることによって形成される。第１枠板８２の上面に設けられている複数のパッド電極は、回路素子９０と電気的に接続されように配設されている。

また、第２枠板８３の上面に設けられている複数のパッド電極は、後述する振動素子１０と接続されるように配設されている接続電極である。振動素子１０は、例えば導電性接着剤などの接合部材８９により振動素子１０の外部接続電極１８（図１参照）がパッド電極に接続されることによって、内部空間Ｓに保持される。また、第２枠板８３の上面に設けられている複数のパッド電極は、第２枠板８３の上面に設けられているパッド電極（不図示）の内の何れかと電気的接続がとられている。

なお、パッド電極の数は、必要に応じて設けられれば良く、本例の数に限定されるものではない。また、回路素子９０と電気的に接続されているパッド電極の内には、パッケージ８５の外底部に形成される外部接続端子８６と電気的に接続されているものがあり、これにより、パッケージ８５の外部と回路素子９０などとの電気的接続をとることができる。

回路素子９０は、底板８１の上面に、例えば導電性接着剤（図示せず）などによって接続されている。回路素子９０は、例えば振動素子１０を駆動する電気回路を含んでいる。回路素子９０の能動面には図示しないボンディングパッドが設けられており、このボンディングパッドと、第２枠板８３の開口に露出する第１枠板８２の上面に設けられているパッド電極（不図示）とが金属配線（ボンディングワイヤー）９１によって電気的導通をとって接続されている。

蓋体としてのリッド８８は、板状の部材であり、パッケージ８５の上面に開放する凹部９２の開口を塞ぎ、内部空間Ｓを形成している。リッド８８は、側壁８４の上面に相当する凹部９２の開口の周囲を、例えばシーム溶接法などを用いて接合されている。本例のリッド８８は、板状であるため、形成が行い易く、さらには形状の安定性にも優れる。また、本例のリッド８８には、導電性を有するコバールの板材が用いられている。

リッド８８にコバールの板を用いることで、封止の際にコバールで形成されているシームリング８７とリッド８８とが同じ溶融状態で溶融され、さらには合金化もされ易いため封止を容易に、且つ確実に行うことができる。また、リッド８８に導電性を有する板材を用いることにより、リッド８８を固定電位とすることが可能となり、リッド８８にシールド効果を得ることができる。これにより、リッド８８側から入射する電気的なノイズを防御することが可能となる。なお、リッド８８には、コバールに換えて他の材料の板材を用いてもよく、例えば、４２アロイ、ステンレス鋼などの金属材料、またはパッケージ８５の側壁８４と同材料などを用いることができる。

このような構成の発振器８０によれば、パッケージ８５とリッド８８とによって構成された内部空間Ｓに上述の実施形態で説明した振動素子１０、および振動素子１０を駆動する電気回路を含む回路素子９０を収容している。これにより、振動素子１０の第１の引き出し電極２６および第２の引き出し電極２９の断線の発生を減少させることによって信頼性を高め、且つ振動素子１０の傾斜面２０，２１の配設による振動の閉じ込め効果によって第１の引き出し電極２６および第２の引き出し電極２９の振動特性への影響を減少させることによる、例えばＱ値（ＣＩ値：Crystal Impedance）などの振動特性の向上を実現できる発振器８０を提供することができる。

［電子機器］
次に、振動素子１０，１０ａ，１０ｂのいずれかを用いた電子機器について、図１２～図１４に基づき、詳細に説明する。なお、以下では、振動素子１０の適用例を示して説明する。

先ず、図１２を参照して、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターについて説明する。図１２は、電子機器の一例であるモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を模式的に示す斜視図である。

この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０８を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、振動素子１０が内蔵されており、振動素子１０の振動信号に基づいて制御部１１１０が、例えば駆動制御などの制御を行なうことができる。

図１３は、電子機器の一例であるスマートフォン（携帯電話機）の構成を模式的に示す斜視図である。

この図において、スマートフォン１２００は、上述した振動素子１０が組込まれている。そして、振動素子１０の振動信号は、スマートフォン１２００の制御部１２０１に送信される。制御部１２０１は、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を含んで構成されており、受信した検出データからスマートフォン１２００の姿勢や、挙動を認識して、表示部１２０８に表示されている表示画像を変化させたり、警告音や、効果音を鳴らしたり、振動モーターを駆動して本体を振動させることができる。換言すれば、スマートフォン１２００のモーションセンシングを行い、計測された姿勢や、挙動から、表示内容を変えたり、音や、振動などを発生させたりすることができる。特に、ゲームのアプリケーションを実行する場合には、現実に近い臨場感を味わうことができる。

図１４は、電子機器の一例であるディジタルスチールカメラの構成を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。

この図において、ディジタルスチールカメラ１３００のケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３１０が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３１０は、被写体を電子画像として表示するファインダーとしても機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤなどを含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部１３１０に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このディジタルスチールカメラ１３００では、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなディジタルスチールカメラ１３００には、振動素子１０が内蔵されており、振動素子１０の振動信号に基づいて制御部１３１６が、例えば画像撮影などの制御を行なうことができる。

このような電子機器は、振動素子１０、および制御部１１１０，１２０１，１３１６を備えているので、優れた信頼性を有している。

なお、振動素子１０を備える電子機器は、図１２のパーソナルコンピューター、図１３のスマートフォン（携帯電話機）、図１３のディジタルスチールカメラの他にも、例えば、タブレット端末、時計、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター、地震計、歩数計、傾斜計、ハードディスクの振動を計測する振動計、ロボットやドローンなど飛行体の姿勢制御装置、自動車の自動運転用慣性航法に使用される制御機器等に適用することができる。

［移動体］
次に、振動素子１０を用いた移動体を図１５に示し、詳細に説明する。図１５は、移動体の一例である自動車の構成を示す斜視図である。なお、以下では、振動素子１０の適用例を示して説明する。

図１５に示すように、自動車１５００には、振動素子１０が内蔵されており、例えば、振動素子１０の振動信号を基準信号として車体１５０１の姿勢を制御することができる。振動素子１０の振動信号は、制御部として車体の姿勢を制御する車体姿勢制御装置１５０２に供給され、車体姿勢制御装置１５０２は、その信号を基準信号としてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪１５０３のブレーキを制御したりすることができる。また、振動素子１０は、他にもキーレスエントリーシステム、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロールシステム（エンジンシステム）、自動運転用慣性航法の制御機器、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

また、移動体に適用される振動素子１０は、上記の例示の他にも、例えば、二足歩行ロボットや電車などの制御部、ラジコン飛行機、ラジコンヘリコプター、およびドローンなどの遠隔操縦あるいは自律式の飛行体の制御部、農業機械（農機）、もしくは建設機械（建機）などの制御部、ロケット、人工衛星、船舶、ＡＧＶ（無人搬送車）、および二足歩行ロボットなどの駆動制御において利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御などを含む駆動制御の実現にあたって、振動素子１０、およびそれぞれの制御部（不図示）が組み込まれる。

このような移動体は、振動素子１０、および制御部（例えば、姿勢制御部としての車体姿勢制御装置１５０２）を備えているので、優れた信頼性を有している。

以上、振動素子、振動子、発振器、電子機器、および移動体を図示の実施形態に基づいて説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、本発明に、他の任意の構成物が付加されていてもよい。

以下に、上述した実施形態から導き出される内容に沿った態様を記載する。

［態様１］本態様に係る振動素子は、厚み滑り振動を主振動として励振する振動部を有する基板と、前記基板の表裏に位置する両主面の内、一方の前記主面の前記振動部に配設されている第１電極と、他方の前記主面の前記振動部に配設されている第２電極と、を備え、前記基板の平面視での外形は、前記厚み滑り振動の方向に沿った第１方向に延び、前記第１方向に交差する第２方向に並び、前記両主面を繋ぐ第１側面および第２側面と、を具備し、前記第１側面および前記第２側面は、前記基板の主面に対して傾斜した傾斜面を有し、前記第１側面の前記傾斜面上には、前記第１電極と接続している第１の引き出し電極が配設されており、前記第２側面の前記傾斜面上には、前記第２電極と接続している第２の引き出し電極が配設されており、前記傾斜面と前記主面とのなす角度は、５２度以上、６２度以下であることを特徴とする。

本態様によれば、両主面を繋ぐ第１側面および第２側面に、主面とのなす角度を、５２度以上、６２度以下として傾斜した傾斜面を有している。そして、第１側面の傾斜面上には、一方の主面に設けられた第１電極から引き回される第１の引き出し電極が設けられ、第２側面の傾斜面上には、他方の主面に設けられた第２電極から引き回される第２の引き出し電極が設けられている。それぞれの傾斜面は、主面とのなす角度を、５２度以上、６２度以下として傾斜しており、傾斜面と主面との交差する角部が鈍角となることから、この角部を通る第１の引き出し電極および第２の引き出し電極にダメージを受け難くすることができ、第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の断線を生じ難くすることができる。

また、本態様によれば、第１側面および第２側面のそれぞれに、主面との角度を、５２度以上、６２度以下として傾斜した傾斜面を設けることにより、側面側の振動の閉じ込め効果を強めることができ、第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の配設による振動特性への影響を減少させることができ、例えばＱ値（ＣＩ値：Crystal Impedance）などの振動特性を向上させることができる。

［態様２］上記態様に記載の振動素子において、前記第１の引き出し電極は、前記第１電極から前記傾斜面に向かって配設される第１の部分と、前記傾斜面上に配設される第２の部分と、を有し、前記第２の部分は、前記主面上に配設される部分の幅をｗ１とし、前記傾斜面上に配設される部分の幅をｗ２とし、ｗ２＞ｗ１の関係であることが好ましい。

本態様によれば、第１の引き出し電極の、主面上に配設される部分の幅ｗ１が、傾斜面上に配設される第２の部分の幅ｗ２よりも小さいことから、第１の引き出し電極による振動特性に対する影響を減少させることができる。

［態様３］上記態様に記載の振動素子において、前記第２の引き出し電極は、前記第２電極から前記傾斜面に向かって配設される第１の部分と、前記傾斜面上に配設される第２の部分と、を有し、前記第２の部分は、前記主面上に配設される部分の幅をｗ３とし、前記傾斜面上に配設される部分の幅をｗ４とし、ｗ４＞ｗ３の関係であることが好ましい。

本態様によれば、第２の引き出し電極の、主面上に配設される部分の幅ｗ３が、傾斜面上に配設される第２の部分の幅ｗ４よりも小さいことから、第２の引き出し電極による振動特性に対する影響を減少させることができる。

［態様４］上記態様に記載の振動素子において、前記第１の引き出し電極の第２の部分、および前記第２の引き出し電極の第２の部分は、前記傾斜面上のみに配設されていることが好ましい。

本態様によれば、第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の第２の部分が、振動の閉じ込め効果を発揮する傾斜面のみに設けられていることから、第１の引き出し電極および第２の引き出し電極による振動特性に対する影響を、さらに減少させることができる。

［態様５］本態様に係る振動子は、態様１ないし態様４のいずれか一つに記載の振動素子と、凹部を有し、該凹部に前記振動素子を収容しているパッケージと、前記凹部を封止している蓋体と、を備えていることを特徴とする。

本態様によれば、パッケージに上述の振動素子を収容しているため、振動素子の第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の断線の発生を減少させることによって信頼性を高め、且つ振動素子の傾斜面の配設による振動の閉じ込め効果によって第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の振動特性への影響を減少させることによる、例えばＱ値（ＣＩ値：Crystal Impedance）などの振動特性の向上を実現できる振動子を提供することができる。

［態様６］本態様に係る発振器は、態様１ないし態様４のいずれか一つに記載の振動素子と、前記振動素子を駆動する電気回路を含む回路素子と、凹部を有し、該凹部に前記振動素子および前記回路素子を収容しているパッケージと、前記凹部を封止している蓋体と、を備えていることを特徴とする。

本態様によればパッケージに上述の振動素子と回路素子を収容しているため、振動素子の第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の断線の発生を減少させることによって信頼性を高め、且つ振動素子の傾斜面の配設による振動の閉じ込め効果によって第１の引き出し電極および第２の引き出し電極の振動特性への影響を減少させることによる、例えばＱ値（ＣＩ値：Crystal Impedance）などの振動特性の向上を実現できる発振器を提供することができる。

［態様７］本態様に係る電子機器は、態様１ないし態様４のいずれか一つに記載の振動素子と、前記振動素子の振動信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えていることを特徴とする。

本態様によれば、制御部が、上述の振動素子の振動信号に基づいて制御を行うことから、上述した振動素子の効果を享受でき、信頼性の高い電子機器を得ることができる。

［態様８］本態様に係る移動体は、態様１ないし態様４のいずれか一つに記載の振動素子と、前記振動素子の振動信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えていることを特徴とする。

本態様によれば、制御部が、上述の振動素子の振動信号に基づいて制御を行うことから、上述した振動素子の効果を享受でき、信頼性の高い移動体を得ることができる。

１０，１０ａ，１０ｂ…振動素子、１１，１１ｂ…基板、１２，１３…主面、１４…第１側面、１５…第２側面、１６…第１電極、１７…第２電極、１８…外部接続電極、２０，２１…傾斜面、２４…第１の部分、２５…第２の部分、２６…第１の引き出し電極、２７…第１の部分、２８…第２の部分、２９…第２の引き出し電極、３０，３１…凸状部、３５…外部接続電極、５０…振動子、５５…パッケージ、５８…リッド、８０…発振器、８５…パッケージ、８８…リッド、９０…回路素子、１１００…パーソナルコンピューター、１２００…スマートフォン、１３００…ディジタルスチールカメラ、１５００…自動車。

Claims (8)

1. 厚み滑り振動を主振動として励振する振動部を有する基板と、
   前記基板の表裏に位置する両主面の内、一方の前記主面の前記振動部に配設されている第１電極と、他方の前記主面の前記振動部に配設されている第２電極と、
   前記第１電極に接続している第１の引き出し電極と、前記第２電極に接続している第２の引き出し電極と、を備え、
   前記基板の平面視での外形は、前記厚み滑り振動の方向である第１方向に沿った長辺を有する矩形状であり、
   前記基板は、平面視で、前記第１方向に沿って延び、前記第１方向に交差する第２方向に並び、前記両主面を繋ぐ第１側面および第２側面を具備し、
   前記第１側面および前記第２側面は、前記基板の主面に対して傾斜した傾斜面を有し、
   前記第１の引き出し電極は、一方の前記主面上に配設され前記第１電極から前記第１側面の前記傾斜面に向かって延びている第１の部分と、前記第１側面の前記傾斜面上に配設されている第２の部分と、を有し、
   前記第１の引き出し電極の前記第２の部分は、前記第1電極と前記第２方向に沿って並んでいる部分を含み、
   前記第２の引き出し電極は、他方の前記主面上に配設され前記第２電極から前記第２側面の前記傾斜面に向かって延びている第１の部分と、前記第２側面の前記傾斜面上に配設されている第２の部分と、を有し、
   前記第２の引き出し電極の前記第２の部分は、前記第２電極と前記第２方向に沿って並んでいる部分を含み、
   前記傾斜面と前記主面とのなす角度は、５２度以上、６２度以下である、
   ことを特徴とする振動素子。
2. 前記第１の引き出し電極の第２の部分は、さらに前記主面上に配設されている部分を備え、
   前記主面上に配設されている部分の幅をｗ１とし、前記第１側面の前記傾斜面上に配設されている部分の幅をｗ２とし、ｗ２＞ｗ１の関係である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動素子。
3. 前記第２の引き出し電極の第２の部分は、さらに前記主面上に配設されている部分を備え、
   前記主面上に配設されている部分の幅をｗ３とし、前記第２側面の前記傾斜面上に配設されている部分の幅をｗ４とし、ｗ４＞ｗ３の関係である、
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動素子。
4. 前記第１の引き出し電極の第２の部分は、前記第１側面の前記傾斜面上のみに配設され、前記第２の引き出し電極の第２の部分は、前記第２側面の前記傾斜面上のみに配設されている、
   ことを特徴とする請求項１に記載の振動素子。
5. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動素子と、
   凹部を有し、該凹部に前記振動素子を収容しているパッケージと、
   前記凹部を封止している蓋体と、を備えている、
   ことを特徴とする振動子。
6. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動素子と、
   前記振動素子を駆動する電気回路を含む回路素子と、
   凹部を有し、該凹部に前記振動素子および前記回路素子を収容しているパッケージと、
   前記凹部を封止している蓋体と、を備えている、
   ことを特徴とする発振器。
7. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動素子と、
   前記振動素子の振動信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えている、
   ことを特徴とする電子機器。
8. 請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動素子と、
   前記振動素子の振動信号に基づいて制御を行う制御部と、を備えている、
   ことを特徴とする移動体。

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