JP6578709B2 - 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
本実施形態の振動素子は、水晶の結晶軸である電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、
前記Z軸のプラス側を前記Y軸のマイナス側へ傾けた軸をZ’軸とし、
前記Y軸のプラス側を前記Z軸のプラス側へ傾けた軸をY’軸としたとき、
前記X軸および前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚さとする水晶基板を含み、
前記水晶基板は、
厚みすべり振動で振動する振動領域を含む第1領域と、
前記第1領域の外縁と一体化され、前記第1領域よりも厚さが厚い第2領域と、
前記第1領域の外縁に一体的に配置されている梁部と、
を含み、
前記第1領域は、
前記Z’軸方向に沿った第1外縁及び第2外縁と、
前記X軸方向に沿った第2外縁及び第4外縁と、
を含み、
前記第1外縁は、前記第2外縁と、前記X軸方向に離間し、
前記第3外縁は、前記第4外縁と、前記Z’軸方向に離間し、
前記第2領域は、
前記第1外縁に沿って設けられ、対象物に固定される固定部が設けられている第1厚肉部と、
前記第3外縁に沿って設けられている第2厚肉部と、
を含み、
前記梁部は、前記第4外縁に沿って配置されており、前記第1領域をウエットエッチングで形成するときに生じるエッチング残渣によって構成されていることを特徴とする。
本適用例の振動素子では、前記第2領域の厚さをT、
前記梁部の厚さをT1としたとき、
T>T1なる関係を満足していることが好ましい。
これにより、梁部の質量を低減しつつ、第1領域の剛性を高めることができる。
本適用例の振動素子では、0.1≦T1/T≦0.8なる関係を満足していることが好ましい。
これにより、梁部の質量を低減しつつ、第1領域の剛性を高めることができる。
本適用例の振動素子では、0.3≦T1/T≦0.6なる関係を満足していることが好ましい。
これにより、梁部の質量を低減しつつ、第1領域の剛性を高めることができる。
本適用例の振動素子では、前記第1領域は、前記ウエットエッチングによって前記Y’軸のプラス側から前記水晶基板に凹陥部を形成することで形成されており、
前記第4外縁は、前記第3外縁に対してZ軸のマイナス側に位置していることが好ましい。
これにより、薄い梁部を簡単に形成することができる。
本適用例の振動素子では、前記第1領域は、前記ウエットエッチングによって前記Y’軸のマイナス側から前記水晶基板に凹陥部を形成することで形成されており、
前記第4外縁は、前記第3外縁に対してZ軸のプラス側に位置していることが好ましい。
これにより、薄い梁部を簡単に形成することができる。
本適用例の振動素子では、前記水晶基板の平面視で、
前記第2厚肉部は、前記X軸および前記Z’軸の両軸に対してそれぞれ傾斜する外縁部を含むことが好ましい。
これにより、振動素子の先端部の質量をより小さくすることができる。
本適用例の振動子は、上記適用例の振動素子と、
前記振動素子が収容されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い振動子が得られる。
本適用例の発振器は、上記適用例の振動素子と、
回路と、
を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い発振器が得られる。
本適用例の電子機器は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
本適用例の移動体は、上記適用例の振動素子を備えていることを特徴とする。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
まず、本発明の振動素子について説明する。
図1は、本発明の第1実施形態にかかる振動素子の斜視図である。図2は、図1に示す振動素子の平面図である。図3は、ATカット水晶基板と水晶の結晶軸との関係を説明する図である。図4は、図1に示す振動素子を対象物に固定した状態を示す側面図である。図5および図6は、それぞれ、図1に示す振動素子が有する梁部の形成方法を説明する断面図である。図7は、図1に示す振動素子の変形例を示す斜視図である。なお、以下では、説明の便宜上、図2中の右側を先端、左側を基端とも言う。
水晶基板2の材料である水晶は、三方晶系に属し、図3に示すように互いに直交する結晶軸X、Y、Zを有する。X軸、Y軸、Z軸は、それぞれ、電気軸、機械軸、光学軸と呼称される。そして水晶基板2は、XZ面をX軸の回りに所定の角度θだけ回転させた平面に沿って、水晶から切り出された、所謂、「回転Yカット水晶基板」であり、例えばθ=35°15’だけ回転させたXZ’平面に沿って切り出された場合の基板は「ATカット水晶基板」という。このような水晶基板2を用いることにより優れた温度特性を有する振動素子1となる。ただし、水晶基板2としては、厚みすべり振動を励振することができれば、ATカットの水晶基板に限定されず、例えば、BTカットの水晶基板を用いてもよい。なお、以下では、角度θに対応してX軸まわりに回転したY軸およびZ軸を、Y’軸およびZ’軸とする。すなわち、水晶基板2は、Y’軸方向に厚みを有し、XZ’面方向に広がりを有する板状となっている。
電極3は、一対の励振電極31、32と、一対のパッド電極33、34と、一対の引出電極35、36とを有している。励振電極31は、振動領域219の表面に形成されている。一方、励振電極32は、振動領域219の裏面に、励振電極31と対向して配置されている。そして、振動部21の、励振電極31、32に挟まれた領域が振動領域219となる。
以上、本実施形態の振動素子1について説明した。
次に、本発明の振動素子の第2実施形態について説明する。
次に、前述した振動素子1を適用した振動子(本発明の振動子)について説明する。
図10に示す振動子10は、前述した振動素子1と、振動素子1を収容するパッケージ4とを有している。
パッケージ4は、上面に開放する凹部411を有する箱状のベース41と、凹部411の開口を塞いでベース41に接合された板状のリッド42とを有している。そして、凹部411がリッド42によって塞がれることにより形成された収容空間Sに振動素子1が収納されている。収容空間Sは、減圧(真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。
次に、本発明の振動素子を適用した発振器(本発明の発振器)について説明する。
図11に示す発振器100は、振動子10と、振動素子1を駆動するためのICチップ110とを有している。以下、発振器100について、前述した振動子との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
次に、本発明の振動素子を適用した電子機器(本発明の電子機器)について説明する。
次に、本発明の振動素子を適用した移動体(本発明の移動体)について説明する。
10……振動子
100……発振器
110……ICチップ
120……内部端子
2……水晶基板
21……振動部
210、210A、210B……凹陥部
211……第1外縁
212……第2外縁
213……第3外縁
214……第4外縁
219……振動領域
22……厚肉部
23……第1厚肉部
231……傾斜部
232……厚肉部本体
24……第2厚肉部
241……傾斜部
242……厚肉部本体
243……外縁部
25……梁部
251……上面
29……マウント部
3……電極
31、32……励振電極
33、34……パッド電極
35、36……引出電極
4……パッケージ
41……ベース
411……凹部
42……リッド
451……接続電極
452……外部実装端子
461……接続電極
462……外部実装端子
51……導電性接着材
52……ボンディングワイヤー
91……接着材
92……対象物
1100……パーソナルコンピューター
1102……キーボード
1104……本体部
1106……表示ユニット
1108……表示部
1200……携帯電話機
1202……操作ボタン
1204……受話口
1206……送話口
1208……表示部
1300……デジタルスチールカメラ
1302……ケース
1304……受光ユニット
1306……シャッターボタン
1308……メモリー
1310……表示部
1500……自動車
F1、F2、F3……面
S……収容空間
T、T1……厚み
Z1、Z2、Z21、Z22、Z23、Z3、Z4……壁面
θ……角度
θ1……傾斜角
Claims (11)
- 水晶の結晶軸である電気軸としてのX軸と、機械軸としてのY軸と、光学軸としてのZ軸と、からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、
前記Z軸のプラス側を前記Y軸のマイナス側へ傾けた軸をZ’軸とし、
前記Y軸のプラス側を前記Z軸のプラス側へ傾けた軸をY’軸としたとき、
前記X軸および前記Z’軸を含む面を主面とし、前記Y’軸に沿った方向を厚さとする水晶基板を含み、
前記水晶基板は、
厚みすべり振動する振動領域を含む第1領域と、
前記第1領域の外縁に沿って配置され、前記第1領域よりも厚さが厚い第2領域と、
前記第1領域の外縁に沿って配置されている梁部と、
を含み、
前記第1領域は、
前記Z’軸方向に沿った第1外縁及び第2外縁と、
前記X軸方向に沿った第3外縁及び第4外縁と、
を含み、
前記第2領域は、
前記第1外縁に沿って設けられ、対象物に固定される固定部が設けられている第1厚肉部と、
前記第3外縁に沿って設けられている第2厚肉部と、
を含み、
前記梁部は、前記梁部の全体がウエットエッチングによって前記第4外縁に沿って形成されたエッチング残渣であり、
前記梁部の前記Y’軸方向の表面全体が傾斜面であることを特徴とする振動素子。 - 請求項1において、
前記第2領域の厚さをT、
前記梁部の厚さをT1としたとき、
T>T1なる関係を満足していることを特徴とする振動素子。 - 請求項2において、
0.1≦T1/T≦0.8なる関係を満足していることを特徴とする振動素子。 - 請求項3において、
0.3≦T1/T≦0.6なる関係を満足していることを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記第1領域は、前記ウエットエッチングによって前記Y’軸のプラス側から前記水晶基板に形成された凹陥部の底部であり、
前記第4外縁は、前記第3外縁に対してZ’軸のマイナス側に位置していることを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記第1領域は、前記ウエットエッチングによって前記Y’軸のマイナス側から前記水晶基板に形成された凹陥部の底部であり、
前記第4外縁は、前記第3外縁に対してZ’軸のプラス側に位置していることを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし6のいずれか1項において、
前記水晶基板の平面視で、
前記第2厚肉部は、前記X軸および前記Z’軸の両軸に対してそれぞれ傾斜する外縁部を含むことを特徴とする振動素子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子と、
前記振動素子が収容されているパッケージと、
を備えていることを特徴とする振動子。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子と、
回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし7のいずれか1項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。
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