JP5679418B2

JP5679418B2 - 音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ

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Publication number: JP5679418B2
Application number: JP2010194649A
Authority: JP
Inventors: 文生藤崎
Original assignee: Kyocera Crystal Device Corp
Current assignee: Kyocera Crystal Device Corp
Priority date: 2010-08-31
Filing date: 2010-08-31
Publication date: 2015-03-04
Anticipated expiration: 2030-08-31
Also published as: JP2012054699A

Description

本発明は、水晶振動子に用いられる音叉型屈曲水晶振動素子ウエハに関する。

従来の電子機器には、水晶デバイスが用いられている。従来の水晶デバイスは、その例として素子搭載部材、音叉型屈曲水晶振動素子、蓋部材とから主に構成されている。
素子搭載部材は、基板部と枠部で構成されている。
この素子搭載部材は、基板部の一方の主面に枠部が設けられて凹部空間が形成される。
その凹部空間内に露出する基板部の一方の主面には、２個一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられ、音叉型水晶振動素子が搭載される。
また、基板部は、積層構造となっており、基板部の内層には、配線パターン（図示せず）等が設けられている。この配線パターンにより圧電振動素子搭載パッドは、素子搭載部材の基板部の他方の主面に設けられている外部接続用電極端子と接続している。
この音叉型屈曲水晶振動素子を囲繞する素子搭載部材の枠部の頂面には蓋部材が被せられ、接合されている。これにより、凹部空間が気密封止されている。

また、このような音叉型屈曲水晶振動素子は、水晶片と、外部接続用電極と、励振用電極と、周波数調整用金属膜とによって構成されている。
図７に示すように、水晶片４１０は、基部４１１と、前記基部４１１の側面より同一の方向に延びる２本の四角柱状の振動腕部４１２と、前記基部４１１の側面よりＬ字状に延出されている２本の支持腕部４１３とによって構成されている。
これらの基部４１１、振動腕部４１２、支持腕部４１３の表面には、素子搭載部材の圧電振動素子搭載パッドと電気的に接続を取る外部接続用電極、励振用電極、周波数調整用金属膜が形成されている（例えば、特許文献１参照）。

また、図７に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハは、水晶片４１０と、フレーム部４２０と、連結部４３０とによって構成されている。
前記水晶片４１０は、水晶ウエハをフォトリソグラフィー技術とエッチング技術により加工することで、同時に複数設けられている。
前記フレーム部４２０は、前記複数の水晶片４１０を囲むように設けられている。
前記連結部４３０は、前記水晶片４１０の基部４１１と前記フレーム部４２０が連結されるように設けられている（例えば、特許文献２参照）。

特開２００９−５５３５４号公報特開２００９−１９４７４５号公報

しかしながら、従来の音叉型屈曲水晶振動素子ウエハは、音叉型屈曲水晶振動素子にＬ字状の支持腕部が設けられていることにより、音叉型屈曲水晶振動素子が大きくなり、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハでの占有面積を大きくとる必要がある。よって、従来の音叉型屈曲水晶振動素子ウエハにおいて、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数が減ることになり、生産性が低下してしまうといった課題があった。

本発明は前記課題に鑑みてなされたものであり、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハにおいて、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数が増え、生産性を向上することができる音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを提供することを課題とする。

本発明の音叉型屈曲圧電振動素子ウエハは、平板で平面視略四角形の基部と、前記基部の一辺から同一方向に延設した２本の振動腕部と、前記振動腕部が延設した一辺と連なる前記基部の２辺のうちの一方の辺から前記振動腕部と直交する方向に延設し、且つ一方の振動腕部が設けられる側に寄って設けられた第一の支持腕部と、前記振動腕部が延設した一辺と連なる前記基部の２辺のうちの他方の辺から前記振動腕部と直交する方向に延設し、且つ前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部と、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、複数の前記音叉型屈曲水晶振動素子を囲むようにして設けられているフレーム部と、前記音叉型屈曲水晶振動素子の前記基部と前記フレーム部が連結されている連結部と、で構成され、複数の前記音叉型屈曲水晶振動素子は、前記振動腕部の長さ方向を同一方向に向けてマトリクス状に並べて配置されており、隣り合う前記音叉型屈曲水晶振動素子の前記第一の支持腕部と前記第二の支持腕部とが、前記振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空け、且つ前記振動腕部の長さ方向に直交する方向には重なるように前記フレーム部内に備えられていることを特徴とするものである。

本発明の音叉型屈曲水晶振動素子ウエハによれば、基部と、基部から同一方向に延設した２本の振動腕部と、一方の振動腕部が設けられる側に寄って、基部より振動腕部と直交する方向に延設した第一の支持腕部と、前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部と、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、複数の音叉型屈曲水晶振動素子を囲むようにして設けられているフレーム部と、水晶片の基部とフレーム部が連結されている連結部と、で構成され、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子の第一の支持腕部と第二の支持腕部とが、振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部内に備えられていることにより、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子の第一の支持腕部と第二の支持腕部とがぶつかり合うことなく配置することができるので、占有面積を縮小することが可能となる。よって、音叉型屈曲水晶振動素子の取り個数を増やすことになり、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハでの生産性を向上させることができる。

本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子を用いた水晶デバイスの分解斜視図である。本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハの水晶振動素子を示す斜視図である。本発明の第１の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを示す斜視図である。半発明の第１の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを示す平面図である。本発明の第２の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを示す斜視図である。本発明の第３の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを示す斜視図である。従来の音叉型屈曲水晶振動素子ウエハを示す平面図である。

以下に、本発明における音叉型屈曲水晶振動素子の実施形態を、図面を参照しながら説明する。尚、各図では、説明を明瞭にするため構造体の一部を図示せず、また寸法も一部誇張して図示している。

（水晶デバイス）
図１に示すように、水晶デバイス２００は、その例として素子搭載部材２１０、音叉型屈曲水晶振動素子１００、蓋部材２３０とから主に構成されている。
素子搭載部材２１０は、基板部と、枠部とで主に構成されている。
この素子搭載部材２１０は、基板部の一方の主面に枠部が設けられて、凹部空間Ｋ１が形成されている。
前記素子搭載部材２１０の凹部空間Ｋ１を囲繞する枠部の開口側頂面の全周には、環状の封止用導体パターン２１２が形成されている。
凹部空間Ｋ１内で露出した基板部の一方の主面には、２個一対の圧電振動素子搭載パッド２１１が設けられている。
素子搭載部材２１０の基板部の他方の主面の両端には、外部接続用電極端子Ｇが設けられている。
基板部の内層には、配線パターン（図示せず）等が設けられており、所定の圧電振動素子搭載パッド２１１と外部接続用電極端子Ｇを接続している。

蓋部材２３０は、素子搭載部材２１０の封止用導体パターン２１２上に凹部空間Ｋ１の開口部を覆うように配置接合される。この蓋部材２３０には、前記封止用導体パターン２１２に相対する箇所に封止部材２３１が設けられている。

また、前記素子搭載部材２１０上に配置される蓋部材２３０は、従来周知の金属加工法を採用し、４２アロイ等の金属を所定形状に整形することによって製作される。蓋部材２３０の上面には、ニッケル（Ｎｉ）層が形成され、更にニッケル（Ｎｉ）層の上面に少なくとも封止用導体パターン２１２に相対する箇所に封止部材２３１である金錫（Ａｕ−Ｓｎ）層が形成される。金錫（Ａｕ−Ｓｎ）層の厚みは、１０μｍ〜４０μｍである。例えば、成分比率が、金が８０％、錫が２０％のものが使用されている。

（音叉型屈曲水晶振動素子）
図２に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、水晶片１１０ａと、その水晶片１１０ａの表面に設けられた励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂと、導配線パターン１２５、１２６とにより概略構成される。

図２に示すように、水晶片１１０ａは、基部１１１と、振動腕部１１２と、第一の支持腕部１１３ａと、第二の支持腕部１１３ｂとからなり、振動腕部１１２が第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとから成る。
基部１１１は、図２に示す結晶の軸方向として電気軸がＸ軸、機械軸がＹ軸、及び光軸がＺ軸となる直交座標系としたとき、Ｘ軸回りに−５°〜＋５°の範囲内で回転させたＺ′軸の方向が厚み方向となる平面視略四角形の平板である。
振動腕部１１２は、前記基部から同一方向に延設されている。第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂは、基部１１１の一辺からＹ′軸の方向に平行に延設されている。
また、第一の支持腕部１１３ａは、第一の振動腕部１１２ａが設けられる側に寄って、前記基部１１１から前記振動腕部１１２と直交する方向に、基部１１１の一辺からＸ軸の方向に向かうように延設されている。
第二の支持腕部１１３ｂは、前記第一の支持腕部１１３ａよりも第二の振動腕部１１２ｂから離れて設けられ、前記基部１１１から前記振動腕部１１２と直交する方向に、基部１１１の一辺からＸ軸の方向に向かうように延設されている。
つまり、第一の支持腕部１１３ａと第二の支持腕部１１３ｂは、平面視して、互い違いになるように配置されている。
このような水晶片１１０ａは、基部１１１と各振動腕部１１２と各支持腕部１１３が一体となって音叉形状を成しており、フォトリソグラフィー技術と化学エッチング技術により製造される。

水晶片１１０ａは、平板状となる基部１１１と、この基部１１１の一辺から同一方向に延出している２本一対の振動腕部１１２と、この基部１１１から前記振動腕部１１２と直交する方向に、それぞれ反対方向に１つずつ延設した２本の支持腕部１１３とから構成されている。
なお、振動腕部１１２は、２本一対であることから、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂとして説明する。
また、支持腕部１１３は、２本一対であることから、第一の支持腕部１１３ａ及び第二の支持腕部１１３ｂとして説明する。

図２に示すように、励振用電極１２２ａは、第一の振動腕部１１２ａの表裏主面に設けられている。また、励振用電極１２２ｂは、第一の振動腕部１１２ａの対向する両側面に設けられている。
周波数調整用金属膜１２４ａは、第一の振動腕部１１２ａの表主面及び両側面の先端部に設けられている。
接続用電極１２３ａは、基部１１１の第一の振動腕部１１２ａ側であって、基部１１１及び第一の支持腕部１１３ａの表裏主面に設けられている。

また、図２に示すように、励振用電極１２１ａは、第二の振動腕部１１２ｂの表裏主面に設けられている。また、励振用電極１２１ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの対向する両側面に設けられている。
周波数調整用金属膜１２４ｂは、第二の振動腕部１１２ｂの表主面及び側面の先端部に設けられている。
また、接続用電極１２３ｂは、基部１１１の第二の振動腕部１１２ｂ側であって、基部１１１及び第二の支持腕部１１３ｂの表裏主面に設けられている。

なお、音叉型屈曲水晶振動素子１００は、周波数調整用金属膜１２４ａ及び１２４ｂを構成する金属の量を増減させることにより、その振動周波数値を所望する値に調整することができる。

図２に示すように、励振用電極１２１ａ及び１２２ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａと接続用電極１２３ａとは、水晶素板１１０ａ表面に設けられた、例えば導配線パターン１２５により電気的に接続している。
接続用電極１２３ａは、基部１１１に設けられている導配線パターン１２５により励振用電極１２１ａと電気的に接続している。また、接続用電極１２３ａは、励振用電極１２２ｂと電気的に接続している。

また、励振用電極１２１ｂ及び１２２ａと、周波数調整用金属膜１２４ｂと接続用電極１２３ｂとは、水晶片１１０ａ表面に設けられた、例えば導配線パターン１２６により電気的に接続している。
接続用電極１２３ｂは、励振用電極１２１ｂ及び周波数調整用金属膜１２４ｂと電気的に接続している。また、基部１１１の表主面に設けられた導配線パターン１２６は、励振用電極１２２ａ及び励振用電極１２１ｂと電気的に接続している。

なお、各励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ、１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ、１２４ｂと、導配線パターン１２５、１２６とは、例えば下地金属としてのＣｒ層と、その下地金属の上に重ねて設けられたＡｕ層とから構成されている。

この音叉型屈曲水晶振動素子１００を振動させる場合、接続用電極１２３ａ及び１２３ｂに交番電圧を印加する。印加後のある電気的状態を瞬間的にとらえると、第一の振動腕部１１２ａの励振用電極１２１ｂは＋（プラス）電位となり、励振用電極１２１ａは−（マイナス）電位となり、＋から−に電界が生じる。一方、このときの第二の振動腕部１１２ｂの励振用電極は、第一の振動腕部１１２ａの励振用電極に生じた極性とは反対の極性となる。これらの印加された電界により、第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂに伸縮現象が生じ、各振動腕部１１２に設定した共振周波数の屈曲振動を得る。

（音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ）
図３及び図４に示すように、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０は、水晶片１１０ａと、フレーム部２０と、連結部３０とによって構成されている。

前記水晶片１１０ａは、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０ａをフォトリソグラフィー技術とエッチング技術により加工することで、同時に複数個設けられている。つまり、図３及び図４に示すように、前記水晶片１１０ａは、マトリクス状になるように音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０ａ内に複数設けられている。
図３及び図４に示すように、水晶片１１０ａには、平板状となる基部１１１と、この基部１１１の一辺から同一方向に延出している２本一対の振動腕部１１２と、一方の振動腕部１１２が設けられる側に寄って、前記基部１１１より前記振動腕部１１２と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部１１３ａよりも振動腕部１１２から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、によって構成されている。
また、第一の支持腕部１１３ａは、第１の振動腕部１１２ａが設けられる側に寄って、前記基部１１１から前記振動腕部１１２と直交する方向に、基部１１１の一辺からＸ軸の方向に向かうように延設されている。
第二の支持腕部１１３ｂは、前記第一の支持腕部１１３ａよりも第二の振動腕部１１２ｂから離れて設けられ、前記基部１１１から前記振動腕部１１２と直交する方向に、基部１１１の一辺からＸ軸の方向に向かうように延設されている。
隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子１００ａの前記第一の支持腕部１１３ａと前記第二の支持腕部１１３ｂとが、前記振動腕部１１２の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部２０に備えられている。つまり、図４に示すように、水晶片１１０ａの第一の支持腕部１１３ａと隣接する水晶片１１０ｂの第二の支持腕部１１３ｂとが重ならない位置にくるように配置されることになる。
尚、この水晶片１１０ａは、図２に示すように、各励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ及び１２２ｂと、接続用電極１２３ａ、１２３ｂと、周波数調整用金属膜１２４ａ、１２４ｂと、導配線パターン１２５、１２６が設けられている音叉型屈曲水晶振動素子１００の状態であっても構わない。

前記フレーム部２０は、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０をエッチング技術にて加工する際に、枠状になるように設けられている。つまり、図３及び図４に示すようにフレーム部２０は、前記複数の水晶片１１０ａを囲むように設けられ、後述する連結部３０にて、前記水晶片１１０ａの前記基部１１１と連結されている。

図３及び図４に示すように、前記連結部３０は、前記水晶片１１０ａの前記基部１１１と前記フレーム部２０が連結されるように設けられている。

本発明の音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０によれば、基部１１１と、基部１１１から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２と、一方の振動腕部１１２ａが設けられる側に寄って、基部１１１より振動腕部１１２と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部１１３ａよりも振動腕部１１２ｂから離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子１００と、複数の音叉型屈曲水晶振動素子１１０を囲むようにして設けられているフレーム部２０と、音叉型屈曲水晶振動素子１００の基部１１１とフレーム部２０が連結されている連結部３０と、で構成され、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子１００の第一の支持腕部１１３ａと第二の支持腕部１１３ｂとが、振動腕部１１２の長さ方向に所定の間隔を空けてフレーム部２０に備えられていることにより、隣り合う音叉型屈曲水晶振動素子１００の支持腕部１１３がぶつかり合うことなく配置することができるので、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０内での占有面積を縮小することが可能となる。よって、音叉型屈曲水晶振動素子１００の取り個数を増やすことになり、音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０ａでの生産性を向上させることができる。

次に本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハの製造方法について説明する。
（音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ形成工程）
音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ形成工程は、基部１１１と、前記基部１１１から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２と、一方の振動腕部１１２が設けられる側に寄って、前記基部１１１より前記振動腕部１１２と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部１１３ａよりも振動腕部１１２から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた水晶片１１０ａと、水晶片１１０ａを囲むようにして設けられているフレーム部２０と、前記水晶片１１０ａの基部１１１と前記フレーム部２０が連結されている連結部３０と、を備えるように水晶ウエハ（図示せず）を加工して音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０を形成する工程である。

まず、平板の水晶ウエハ（図示せず）をフォトリソグラフィー技術とエッチング技術により加工することで、基部１１１と、前記基部１１１から同一方向に延設した２本の振動腕部１１２と、一方の振動腕部１１２が設けられる側に寄って、前記基部１１１より前記振動腕部１１２と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部１１３ａよりも振動腕部１１２から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えた水晶片１１０ａと、前記音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０のフレーム部２０と、前記水晶片１１０ａの基部１１１と前記フレーム部２０が連結されている連結部３０とを備えた音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０を形成するように加工する。

次に本発明の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子の製造方法について説明する。
（電極形成工程）
電極形成工程は、前記音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０の複数の水晶片１１０ａの前記基部１１１に接続用電極１２３ａ、１２３ｂと前記振動腕部１１２に励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ及び１２２ｂとを形成する工程である。
また、この励振用電極１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ及び１２２ｂ及び接続用電極１２３ａ、１２３ｂは、フォトリソグラフィー技術、蒸着技術やスパッタリング技術によって、所定のパターン形状にパターン形成される。

（音叉型屈曲水晶振動素子分離工程）
音叉型屈曲水晶振動素子分離工程は、前記連結部３０に沿って、水晶素板１１０ａを連結部３０から分離する工程である。

音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０の各水晶片１１０ａに分離ピン（図示せず）を押し当てることによって、音叉型屈曲水晶振動素子１００を連結部３０から分離する。つまり、分離ピンを各水晶片１１０ａに押し当てることによって、応力が音叉型屈曲水晶振動素子１００側にかかるため、連結部３０に沿って分離される。

（第二の実施形態）
本発明の第二の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動子ウエハ１０は、第一の実施形態に用いられる水晶片１１０ｂの振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂが凹部１１４を有して構成されている。
その一例として、図５に示す水晶片１１０ｂについて説明する。尚、軸方向は、図２と同様である。
水晶片１１０ｂは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、一方の振動腕部１１２が設けられる側に寄って、前記基部１１１より前記振動腕部１１２と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部１１３ａよりも振動腕部１１２から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、によって構成されている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとには、それぞれ１本の溝状の凹部１１４が設けられている。
これら凹部１１４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの基部から延出する延出方向と同一となっており、所定の深さで第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとに形成されている。
また、凹部１１４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂよりも長さが短くなるように第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに設けられる。
このような凹部１１４は、振動の伝播を軽減させる役割はなく、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの屈曲振動を安定させる役割を果たす。
このように、第二の実施形態を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動を減衰させることができる。

（第三の実施形態）
本発明の第三の実施形態に係る音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ１０は、第一の実施形態に用いられる水晶片１１０ａの振動腕部１１２である第一の振動腕部１１２ａ及び第二の振動腕部１１２ｂがそれぞれ２本一対の凹部１１４を有して構成されている。
その一例として、図６に示す水晶片１１０ｃについて説明する。尚、軸方向は、図２と同様である。
水晶片１１０ｃは、基部１１１と、この基部１１１から延出する第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂと、一方の振動腕部１１２が設けられる側に寄って、前記基部１１１より前記振動腕部１１２と直交する方向に延設した第一の支持腕部１１３ａと、前記第一の支持腕部１１３ａよりも振動腕部１１２から離れて設けられる第二の支持腕部１１３ｂと、を備えている。

第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとには、例えば、溝状の２本の凹部１１４が設けられている。
これら凹部１１４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの基部から延出する延出方向と同一となっており、所定の深さで第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとに形成されている。
また、凹部１１４は、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂよりも長さが短くなるように第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂに幅方向に並べて設けられる。
このような凹部１１４は、伝播する振動を減衰させる役割はなく、第一の振動腕部１１２ａと第二の振動腕部１１２ｂとの屈曲振動を安定させる役割を果たす。
このように、第三の実施形態を構成しても、振動腕部１１２から漏れる振動を減衰させることができる。

なお、本発明の実施形態について説明したが、振動腕部１１２の形状は、前記実施形態に限定されず、適宜、変更が可能である。
また、基部の形状は、前記実施形態に限定されず、適宜、変更が可能である。
また、基部の幅を２本の振動腕部の外側を向く辺に合わせて、振動腕部の外側の辺と基部の外側の辺とが、直線上に位置するように合わせた構造としても良い。
これらのように音叉型屈曲水晶振動素子を構成しても、振動腕部から漏れる振動を減衰させて、支持する部分への振動の伝播を軽減し、温度特性やＣＩ値の悪化を軽減させることができる。

１００・・・音叉型屈曲水晶振動素子
１１０ａ，１１０ｂ，１１０ｃ
・・・水晶片
１１１・・・基部
１１２ａ・・・第一の振動腕部
１１２ｂ・・・第二の振動腕部
１１３ａ・・・第一の支持腕部
１１３ｂ・・・第二の支持腕部
１１４・・・凹部
１２１ａ、１２１ｂ、１２２ａ、１２２ｂ・・・励振用電極
１２３ａ、１２３ｂ・・・接続用電極
１２４ａ、１２４ｂ・・・周波数調整用金属膜
１２５、１２６・・・導配線パターン
１０・・・音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ
２０・・・枠部
３０・・・連結部

Claims

平板で平面視略四角形の基部と、前記基部の一辺から同一方向に延設した２本の振動腕部と、前記振動腕部が延設した一辺と連なる前記基部の２辺のうちの一方の辺から前記振動腕部と直交する方向に延設し、且つ一方の振動腕部が設けられる側に寄って設けられた第一の支持腕部と、前記振動腕部が延設した一辺と連なる前記基部の２辺のうちの他方の辺から前記振動腕部と直交する方向に延設し、且つ前記第一の支持腕部よりも振動腕部から離れて設けられる第二の支持腕部と、を備えた複数の音叉型屈曲水晶振動素子と、
複数の前記音叉型屈曲水晶振動素子を囲むようにして設けられているフレーム部と、
前記音叉型屈曲水晶振動素子の前記基部と前記フレーム部が連結されている連結部と、
で構成され、
複数の前記音叉型屈曲水晶振動素子は、前記振動腕部の長さ方向を同一方向に向けてマトリクス状に並べて配置されており、
隣り合う前記音叉型屈曲水晶振動素子の前記第一の支持腕部と前記第二の支持腕部とが、前記振動腕部の長さ方向に所定の間隔を空け、且つ前記振動腕部の長さ方向に直交する方向には重なるように前記フレーム部内に備えられている
ことを特徴とする音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ。