JP2014179802A - 振動子、発振器、電子機器および移動体 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】振動子1は、水晶で構成された水晶基板3を含む振動片2と、振動片2を収納するパッケージ9と、を備え、水晶基板3は、基部4と、水晶におけるX軸方向に並ぶとともに基部4から水晶における+Y’軸方向(または−Y’軸方向)に延びている2つの振動腕5、6と、を含み、基部4の水晶における−Z’軸側(振動腕5、6が−Y’軸方向に延びている場合、+Z’軸側)の主面が前記パッケージ9に固定されている。
【選択図】図1
Description
例えば、特許文献1に記載の振動子における振動片は、基部と、この基部から互いに平行となるように延出する2つの振動腕とを有し、2つの振動腕を互いに接近・離間する方向(面内方向)に屈曲振動させる。
特許文献1に記載の振動子では、各振動腕が基部から+Y’軸方向に延出し、基部の+Z’軸側の面がパッケージに対して固定されている。ここで、Y’軸およびZ’軸は、それぞれ、Y軸およびZ軸に対してX軸まわりに所定角度回転させることにより設定される軸である。
しかし、このような従来の振動子では、振動片からパッケージへの振動漏れが大きいという問題があった。
[適用例1]
本発明の振動子は、水晶で構成された振動体を含む振動片と、
前記振動片を収納しているパッケージと、
を備え、
前記水晶の電気軸としてのX軸、機械軸としてのY軸、光学軸としてのZ軸からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ+Z側が回転するように傾けた軸をZ’軸、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ+Y側が回転するように傾けた軸をY’軸としたとき、
前記振動体は、
基部と、
前記X軸方向に沿って並び、前記基部から前記Y’軸のプラス方向に延びている2つの振動腕と、
を含み、
前記基部の前記Z’軸のマイナス側の主面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする。
このような振動子によれば、振動片からパッケージへの振動漏れを小さくすることができる。
本発明の振動子は、水晶で構成された振動体を含む振動片と、
前記振動片を収納しているパッケージと、
を備え、
前記水晶の電気軸としてのX軸、機械軸としてのY軸、光学軸としてのZ軸からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ+Z側が回転するように傾けた軸をZ’軸、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ+Y側が回転するように傾けた軸をY’軸としたとき、
前記振動体は、
基部と、
前記X軸方向に沿って並び、前記基部から前記Y’軸のマイナス方向に延びている2つの振動腕と、
を含み、
前記基部の前記Z’軸のプラス側の主面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする。
このような振動子によれば、振動片からパッケージへの振動漏れを小さくすることができる。
本発明の振動子では、前記基部は、
前記振動腕に接続されている本体部と、
前記パッケージに固定されている固定部と、
前記本体部及び前記固定部を連結している連結部と、
を含んでいることが好ましい。
これにより、振動片からパッケージへの振動漏れを効果的に小さくすることができる。
本発明の振動子では、前記連結部は、前記本体部から前記2つの振動腕の間に向けて前記振動腕側に延びていることが好ましい。
これにより、2つの振動腕間に連結部を配置することができる。そのため、振動片の小型化、ひいては、振動子の小型化を図ることができる。
本発明の振動子では、前記固定部は、前記2つの振動腕の間に配置されていることが好ましい。
これにより、振動片の小型化を効果的に図ることができる。
[適用例6]
本発明の振動子では、前記固定部は、前記2つの振動腕に対して前記本体部とは反対側に配置されていることが好ましい。
これにより、振動片からパッケージへの振動漏れをより効果的に小さくすることができる。
本発明の振動子では、前記連結部は、前記本体部から前記2つの振動腕とは反対側に延びている接続部を含むことが好ましい。
これにより、振動片からパッケージへの振動漏れを効果的に小さくすることができる。
[適用例8]
本発明の振動子では、前記固定部は、前記X軸方向に沿って互いに離間して配置されている2つのアイランド部を含み、
前記2つの振動腕は、前記2つのアイランド部の間に配置され、
前記連結部は、前記接続部から分岐して前記2つのアイランド部に夫々接続されている2つの分岐部を含むことが好ましい。
これにより、振動片からパッケージへの振動漏れをより効果的に小さくすることができる。
本発明の振動子では、前記固定部は、前記連結部から前記X軸のプラス方向または前記X軸のマイナス方向の一方向に沿って延びていることが好ましい。
これにより、振動片からパッケージへの振動漏れをより効果的に小さくすることができる。
本発明の振動子では、前記基部は、前記2つの振動腕とは反対側の部分にて、前記振動腕から離れるに従い前記X軸方向に沿った長さが漸減している縮幅部を含んでいることが好ましい。
これにより、振動片からパッケージへの振動漏れを効果的に小さくすることができる。
本発明の発振器は、本発明の振動子と、
前記振動片に電気的に接続された発振回路と、を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する発振器を提供することができる。
[適用例12]
本発明の電子機器は、本発明の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
[適用例13]
本発明の移動体は、本発明の振動子を備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
まず、本発明の振動子について説明する。
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る振動子を示す平面図、図2は、図1中のA−A線断面図、図3は、図1に示す振動子が有する振動片の断面図(図1中のB−B線断面図)である。また、図4は、振動腕の延出方向および振動片の固定面と振動漏れとの関係についての解析に用いた振動片を説明するための図である。
図1および図2に示す振動子1は、振動片2と、振動片2を収納するパッケージ9とを有している。以下、振動片2およびパッケージ9について、順次詳細に説明する。
(振動片)
図1、図2および図3に示すように、本実施形態の振動片2は、水晶基板3(振動体)と、水晶基板3上に形成された第1駆動用電極84および第2駆動用電極85とを有している。なお、図1および図2では、説明の便宜上、第1駆動用電極84および第2駆動用電極85の図示を省略している。
図1に示すように、水晶基板3は、基部4と、基部4から延出する1対(2つ)の振動腕5、6とを有している。
本実施形態では、基部4は、各振動腕5、6に接続されている本体部41と、パッケージ9に固定されている固定部42、43と、本体部41と固定部42、43とを連結している連結部44と、を含んでいる。これにより、振動片からパッケージへの振動漏れを効果的に小さくすることができる。
連結部44は、本体部41から−Y’軸方向に延出する接続部441と、接続部441から+X軸方向および−X軸方向に分岐して延出する分岐部442、443(連結腕)とを有する。
2つの分岐部442、443は、接続部441から分岐して2つの固定部42、43に接続されている。
固定部42、43は、分岐部442、443の先端部から+Y’軸方向に延出している。なお、固定部42、43の下面421、431は、水晶の−Z’面である。この下面421、431は、後に詳述するように、パッケージ9に固定されている。
このような本体部41、固定部42、43および連結部44を有する基部4によれば、振動片2からパッケージ9への振動漏れをより効果的に小さくすることができる。
振動腕5、6は、X軸方向に並び、かつ、互いに平行となるように、それぞれ、基部4から+Y’軸方向に延出している。これら振動腕5、6は、それぞれ、長手形状をなし、その基端(基部4側の端)が固定端となり、先端(基部4とは反対側の端)が自由端となる。また、振動腕5、6の先端部には、ハンマーヘッド59、69が設けられている。なお、ハンマーヘッド59、69には、周波数調整用の錘部が設けられていてもよい。
振動腕5と同様に、振動腕6は、XY’平面で構成された一対の主面61、62と、Y’Z’平面で構成され、一対の主面61、62を接続する一対の側面63、64とを有している。また、振動腕6は、主面61に開放する有底の溝65と、主面62に開放する有底の溝66とを有している。
このような第1駆動用電極84と第2駆動用電極85との間に交番電圧を印加すると、振動腕5、6が互いに接近、離間を繰り返すように面内方向(XY’平面方向)に所定の周波数で振動する。
パッケージ9は、上面に開放する凹部911を有する箱状のベース91と、凹部911の開口を塞ぐようにベース91に接合されている板状のリッド92とを有している。このようなパッケージ9は、凹部911がリッド92にて塞がれることにより形成された収納空間を有しており、この収納空間に振動片2が気密的に収納されている。
なお、収納空間内は、減圧(好ましくは真空)状態となっていてもよいし、窒素、ヘリウム、アルゴン等の不活性ガスが封入されていてもよい。これにより、振動片2の振動特性が向上する。
また、接続端子951は、ベース91を貫通する貫通電極952を介してベース91の底面に形成された外部端子953に電気的に接続されており、接続端子961は、ベース91を貫通する貫通電極962を介してベース91の底面に形成された外部端子963に電気的に接続されている。
このようなパッケージ9内に収納された振動片2は、固定部42、43の下面421、431の先端部にて、例えば、エポキシ系、アクリル系の樹脂に導電性フィラーを混合した導電性接着剤11を介して凹部911の底面に固定されている(図2参照)。
すなわち、振動腕5、6が+Y’軸方向に延出している振動片2は、基部4の水晶における−Z’軸側の主面がパッケージ9に固定されている。これにより、振動片2からパッケージ9への振動漏れを小さくすることができる。
本発明者は、図4に示すような2脚音叉型の振動片2Xについて、振動漏れに関する解析を行った。
振動片2Xは、水晶Z板で構成された水晶基板3Xを有する。
この水晶基板3Xは、平面視形状が略矩形である基部4Xと、基部4Xから+Y軸方向に延出する1対の振動腕5X、6Xとを有している。
また、振動腕5X、6Xの先端部には、金で構成された厚さ2μmの錘59X、69Xが設けられている。
また、基部4Xは、その下面が−Z面(−Z軸側の面)であり、上面が+Z面(+Z軸側の面)である。本解析では、基部4Xの一方の面の振動腕5X、6Xとは反対側の端部における互いに離間した2つの部分を保持部71、72として設定している。なお、図4では、基部4Xの上面(+Z面)に保持部71、72を設定した場合を図示している。
また、本解析は、保持部71、72に到達した弾性エネルギーは、保持部71、72の表面に仮想的に設けられた半無限媒体に伝達したまま振動片2Xには帰らない、という計算をしている。半無限媒体に伝達したこのエネルギーは、二度と再び振動片2Xにおいて屈曲振動に寄与することがない。即ち半無限媒体に伝達したこのエネルギーの損失は、振動漏れによる損失である。そしてこの振動漏れによる損失のみを考慮したQ値をQleakとして定義した(振動漏れが大きくなると、Qleakは小さくなる)。
かかる計算は、振動腕5X、6Xが+Y軸方向に延びる場合と−Y軸方向に延びる場合とのそれぞれの場合において、保持部71、72(固定面)を基部4Xの+Z面に設定した場合と−Z面に設定した場合とのそれぞれの場合について行った。
その結果を表1に示す。
また、振動腕5X、6Xが−Y軸方向に延びる場合、保持部71、72を+Z面に設定した方が−Z面に設定した場合よりも振動漏れが小さい。
なお、振動腕5X、6Xの延出方向をY’軸方向とし、基部4Xの厚さ方向をZ’軸とする振動片についても、表1と同様の結果が得られることが確認されている。
以下、このような表1に示す結果が得られる理由を説明する。
水晶Z板における応力は、下記(1)に示す式で表される。
前記(1)に示す式中、水晶Z板の±Z面での応力境界条件に関与するのは、T3、T4およびT5であり、これらは、下記(2)に示す式で表される。
|Re{T3}|≒1.45×10−7[Pa]、
|Re{T4}|≒8.26×10−7[Pa]、
|Re{T5}|≒0.69×10−7[Pa]
となる。なお、損失を含む解析における応力は、複素数になるが、|Re{T3}|、|Re{T4}|および|Re{T5}|は、比較し得るよう実数部のみを用いている。
水晶Z板をY軸まわりに180度回転した場合、または水晶Z板をZ軸まわりに180度回転した場合、弾性スチフネス定数c14のみが正負反転する。
この±Y軸方向での振動漏れは、振動片2Xの固定面における±Y軸方向の応力を生じさせる。かかる応力は、前述した応力T4(Z面上におけるY軸方向の応力)に相当する。
実際に計算結果として得られる振動は、後述する仮想仕事の原理を満足するような停溜値が得られる固有振動(振動漏れを含む)であり、これによって振動腕5X、6Xが+Y軸方向に延びる場合には、ΔQleak>0となることが確かめられた。また、上述したような弾性スチフネス定数c14の+Z面における符号と−Z面における符号との相違は、+Z面における振動漏れQleak+と−Z面における振動漏れQleak−との相違となって現れることとなる。
なお、振動片のQ値(Qtotal)は、下記式(4)で表される。
また、仮想仕事の原理は、下記式(5)で表される。
次に、本発明の振動子の第2実施形態について説明する。
図5は、本発明の第2実施形態に係る振動子を示す平面図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図5中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」という。
本発明の第2実施形態にかかる振動子は、振動片の基部の構成が異なる以外は、前述した第1実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
振動片2Aは、水晶基板3A(振動体)を有する。
水晶基板3Aは、基部4Aと、基部4Aから延出する1対(2つ)の振動腕5、6とを有している。なお、図示しないが、水晶基板3A上には、振動腕5、6を励振するための第1駆動用電極および第2駆動用電極が設けられている。
連結部44Aは、本体部41から2つの振動腕5、6とは反対側に延びている。
固定部42Aは、連結部44Aから+X軸方向の一方向に沿って延びている。すなわち、連結部44Aおよび固定部42Aは、これらがL字状をなすように配置されている。これにより、振動腕5、6が+X軸方向、あるいは−X軸方向に、同一方向に屈曲振動する不要な振動モードの共振周波数を、振動腕5、6が、互いに離間するように屈曲振動する振動モードの共振周波数から離すことができる。これら共振周波数の差は、後者を基準に10%、好ましくは20%離しておくことによってモードが強く結合することを避けることができるので、振動片2Aからパッケージ9Aへの振動漏れをより効果的に小さくすることができる。なお、固定部42Aは、連結部44Aから−X軸方向の一方向に沿って延びていてもよい。
このような振動片2Aを収納するパッケージ9Aは、互いに接合されたベース91Aおよびリッド92を有し、これらの間に振動片2Aを収納する収納空間を形成する。
ベース91Aの上面には、接続端子951A、961Aが形成されている。
そして、振動片2Aは、固定部42Aの下面にて、導電性接着剤11Aを介して接続端子951A、961Aに固定されている。
すなわち、振動腕5、6が+Y’軸方向に延出している振動片2Aは、基部4Aの水晶における−Z’軸側の主面がパッケージ9Aに固定されている。
以上説明したような第2実施形態に係る振動子1Aによっても、振動片2Aからパッケージ9Aへの振動漏れを小さくすることができる。
次に、本発明の振動子の第3実施形態について説明する。
図6は、本発明の第3実施形態に係る振動子を示す平面図、図7は、図6に示す振動子が有する振動片の基部を説明するための図である。また、図8は、振動腕のハンマーヘッド占有率と低R1化指数との関係を調査するシミュレーションに用いた振動腕を説明するための図である。また、図9は、図8に示す振動腕とQ値および固有周波数が等しい平板状の振動腕の幅(実効幅a)を説明するための図、図10は、ハンマーヘッド占有率と低R1化指数との関係を示すグラフである。
なお、以下では、説明の便宜上、図6中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」という。
本発明の第3実施形態にかかる振動子は、主に、振動片の基部の構成、振動腕の延出方向および基部の固定面が異なる以外は、前述した第1実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
振動片2Bは、水晶基板3B(振動体)を有する。ここで、水晶基板3Bの上面は、水晶の−Z’面であり、水晶基板3Bの下面は、水晶の+Z’面である。
水晶基板3Bは、基部4Bと、基部4Bから延出する1対(2つ)の振動腕5B、6Bとを有している。なお、図示しないが、水晶基板3B上には、振動腕5B、6Bを励振するための第1駆動用電極および第2駆動用電極が設けられている。
この本体部41Bの2つの振動腕5B、6Bとは反対側の部分には、振動腕5B、6Bから離れるに従いX軸方向での長さが漸減している縮幅部45が設けられている。これにより、振動片2Bの振動漏れを効果的に抑制することができる。
具体的に説明すると次のようになる。なお、以下では、説明を簡単にするために、振動片の形状は、Y’軸に平行な所定の軸に対して対称であるとする。
振動腕5B、6Bが互いに離間するように屈曲変形した場合、振動腕5Bが接続されている付近の本体部41Bでは、矢印で示したように時計回りの回転運動に近い変位が発生し、振動腕6Bが接続されている付近の本体部41Bでは、矢印で示したように反時計回りの回転運動に近い変位が発生する(ただし、厳密には回転運動ということができるような運動ではないため、便宜的に回転運動に近い、と表現している)。これらの変位のX軸方向成分は、互いに反対方向を向いているから、本体部41BのX軸方向中央部において相殺され、+Y’軸方向の変位が残ることになる(ただし、厳密にはZ’軸方向の変位も残るが、ここでは省略する)。すなわち、本体部41Bは、X軸方向中央部が+Y’軸方向に変位するような屈曲変形をする。この+Y’軸方向の変位を有する本体部41BのY’軸方向中央部に接着剤を形成し、接着剤を介してパッケージに固定すると、+Y’軸方向変位に随伴する弾性エネルギーが接着剤を介して外部に漏洩する。これが振動漏れという損失であり、Q値の劣化の原因となる(結果としてCI値の劣化となる)。
振動腕5B、6Bは、X軸方向に並び、かつ、互いに平行となるように、それぞれ、基部4Bから−Y’軸方向に延出している。
同様に、振動腕6Bは、上面に設けられた有底の溝65Bと、下面に設けられた有底の溝66Bとを有している。
ここで、振動腕5B、6Bの全長と、ハンマーヘッド59B、69Bの長さおよび幅の関係について説明する。なお、振動腕5B、6Bは、互いに同様の構成であるため、以下では、振動腕5Bについて代表して説明し、振動腕6Bについては、その説明を省略する。
このように、振動腕5Bでは、1.2%<H/L<30.0%なる関係と、1.5≦W2/W1≦10.0なる関係とを満足することによって、これら2つの関係の相乗効果によって、小型化でCI値が十分に抑えられている振動片2Bが得られる。
本シミュレーションは、図8に示すような1本の振動腕5Yを用いて行った。
振動腕5Yは、水晶Z板(回転角0°)で構成されている。
また、振動腕5Yの腕部(ハンマーヘッド59Yよりも基端側の部分)には、横断面がH字状をなすように、1対の溝55Y、56Yが設けられている。
本シミュレーションにおいて、振動腕5Yのサイズは、図8に示すように、全長Lが1210μm、厚さDが100μm、腕部の幅W1が98μm、ハンマーヘッド59Yの幅W2が172μm、溝55Y、56Yの深さD1、D2が共に45μm、土手部(溝55Y、56Yの側壁)の幅W3がそれぞれ6.5μmである。
このような振動腕5Yのハンマーヘッド59Yの長さHを変化させてシミュレーションを行った。なお、振動腕5Yのサイズ(L、W1、W2、D、D1、D2、W3)を変更しても、以下に示すシミュレーション結果と同様の傾向となることが本発明者により確認されている。
下記式(A)、(B)を用いて次のような計算を行った。
f0=πk/(2ρCpa2)…(A)
Q={ρCp/(Cα2H)}×[{1+(f/f0)2}/(f/f0)]…(B)
ただし、式(A)、(B)中、πは円周率、kは振動腕5Yの幅方向の熱電導率、ρは質量密度、Cpは熱容量、Cは振動腕5Yの長さ方向の伸縮の弾性スチフネス定数、αは振動腕5Yの長さ方向の熱膨張率、Hは絶対温度、fは固有周波数である。また、aは、振動腕5Yを図9に示すような平板形状として見做したきの幅(実効幅)である。
以上のようにして計算した結果を表2に示す。
図10に示すように、H/Lが30.0%未満であれば、ハンマーヘッドを設けない場合に比し、低R1化指数を大きくすることができる。
また、W1≦100μm、好ましくはW1≦50μmとすることで、上記Lの範囲においても、低消費電力を実現する発振回路に使用する、低周波で共振する振動片2Bを得ることができる。
ベース91Bの上面には、接続端子951B、961Bが形成されている。
そして、振動片2Bは、基部4Bの下面にて、導電性接着剤11Bを介して接続端子951B、961Bに固定されている。
すなわち、振動腕5B、6Bが−Y’軸方向に延出している振動片2Bは、基部4Bの水晶における+Z’軸側の主面がパッケージ9Bに固定されている。
以上説明したような第3実施形態に係る振動子1Bによっても、振動片2Bからパッケージ9Bへの振動漏れを小さくすることができる。
次に、本発明の振動子の第4実施形態について説明する。
図11は、本発明の第4実施形態に係る振動子を示す平面図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図11中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」という。
本発明の第4実施形態にかかる振動子は、振動片の基部の構成が異なる以外は、前述した第3実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
振動片2Cは、水晶基板3C(振動体)を有する。
水晶基板3Cは、基部4Cと、基部4Cから延出する1対(2つ)の振動腕5B、6Bとを有している。
連結部44Cは、本体部41Cから2つの振動腕5B、6Bの間に向けて振動腕5B、6B側に延びている。これにより、2つの振動腕5B、6B間に連結部44Cを配置することができる。そのため、振動片2Cの小型化、ひいては、振動子1Cの小型化を図ることができる。
このような振動片2Cを収納するパッケージ9Cは、互いに接合されたベース91Cおよびリッド92Bを有し、これらの間に振動片2Cを収納する収納空間を形成する。
そして、振動片2Cは、固定部42Cの下面にて、導電性接着剤11Cを介して接続端子951C、961Cに固定されている。
すなわち、振動腕5B、6Bが−Y’軸方向に延出している振動片2Cは、基部4Cの水晶における+Z’軸側の主面がパッケージ9Cに固定されている。
以上説明したような第4実施形態に係る振動子1Cによっても、振動片2Cからパッケージ9Cへの振動漏れを小さくすることができる。
次に、本発明の振動子の第5実施形態について説明する。
図12は、本発明の第5実施形態に係る振動子を示す平面図である。
なお、以下では、説明の便宜上、図12中の紙面手前側を「上」、紙面奥側を「下」という。
本発明の第5実施形態にかかる振動子は、振動片の基部の構成が異なる以外は、前述した第4実施形態と同様である。なお、前述した実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
振動片2Dは、水晶基板3D(振動体)を有する。
水晶基板3Dは、基部4Dと、基部4Dから延出する1対(2つ)の振動腕5B、6Bとを有している。
連結部44Dは、本体部41Dから2つの振動腕5B、6Bの間に向けて振動腕5B、6B側に延びている。
このような振動片2Dを収納するパッケージ9Dは、互いに接合されたベース91Dおよびリッド92Dを有し、これらの間に振動片2Dを収納する収納空間を形成する。
そして、振動片2Dは、固定部42Dの下面にて、導電性接着剤11Dを介して接続端子951D、961Dに固定されている。
すなわち、振動腕5B、6Bが−Y’軸方向に延出している振動片2Dは、基部4Dの水晶における+Z’軸側の主面がパッケージ9Dに固定されている。
以上説明したような第5実施形態に係る振動子1Dによっても、振動片2Dからパッケージ9Dへの振動漏れを小さくすることができる。
次いで、本発明の振動子を適用した発振器(本発明の発振器)について説明する。
図13は、本発明の発振器の一例を示す断面図である。
図13に示す発振器10は、振動子1’と、振動片2を駆動するためのICチップ(チップ部品)80とを有している。以下、発振器10について、前述した振動子との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。
ベース91の凹部911は、ベース91の上面に開放する第1凹部911aと、第1凹部911aの底面の中央部に開放する第2凹部911bと、第2凹部911bの底面の中央部に開放する第3凹部911cとを有している。
また、第2凹部911bの底面には、ワイヤーを介してICチップ80と電気的に接続された複数の内部端子93が形成されている。これら複数の内部端子93には、ベース91に形成された図示しないビアを介してパッケージ9の底面に形成された外部端子(実装端子)94に電気的に接続された端子と、図示しないビアやワイヤーを介して接続端子95に電気的に接続された端子と、図示しないビアやワイヤーを介して接続端子96に電気的に接続された端子とが含まれている。
なお、図13の構成では、ICチップ80が収納空間内に配置されている構成について説明したが、ICチップ80の配置は、特に限定されず、例えば、パッケージ9の外側(ベースの底面)に配置されていてもよい。
このような発振器10によれば、優れた信頼性を発揮することができる。
次いで、本発明の振動子を適用した電子機器(本発明の電子機器)について、図14〜図17に基づき、詳細に説明する。
図14は、本発明の振動子を備える電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する振動子1が内蔵されている。
このような移動体によれば、優れた信頼性を発揮することができる。
また、振動片としては、発振器に限定されず、例えば、ジャイロセンサーのようなセンサーにも適用することができる。
Claims (13)
- 水晶で構成された振動体を含む振動片と、
前記振動片を収納しているパッケージと、
を備え、
前記水晶の電気軸としてのX軸、機械軸としてのY軸、光学軸としてのZ軸からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ+Z側が回転するように傾けた軸をZ’軸、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ+Y側が回転するように傾けた軸をY’軸としたとき、
前記振動体は、
基部と、
前記X軸方向に沿って並び、前記基部から前記Y’軸のプラス方向に延びている2つの振動腕と、
を含み、
前記基部の前記Z’軸のマイナス側の主面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする振動子。 - 水晶で構成された振動体を含む振動片と、
前記振動片を収納しているパッケージと、
を備え、
前記水晶の電気軸としてのX軸、機械軸としてのY軸、光学軸としてのZ軸からなる直交座標系の前記X軸を回転軸として、前記Z軸を前記Y軸の−Y方向へ+Z側が回転するように傾けた軸をZ’軸、前記Y軸を前記Z軸の+Z方向へ+Y側が回転するように傾けた軸をY’軸としたとき、
前記振動体は、
基部と、
前記X軸方向に沿って並び、前記基部から前記Y’軸のマイナス方向に延びている2つの振動腕と、
を含み、
前記基部の前記Z’軸のプラス側の主面が前記パッケージに固定されていることを特徴とする振動子。 - 前記基部は、
前記振動腕に接続されている本体部と、
前記パッケージに固定されている固定部と、
前記本体部及び前記固定部を連結している連結部と、
を含んでいる請求項1または2に記載の振動子。 - 前記連結部は、前記本体部から前記2つの振動腕の間に向けて前記振動腕側に延びている請求項3に記載の振動子。
- 前記固定部は、前記2つの振動腕の間に配置されている請求項4に記載の振動子。
- 前記固定部は、前記2つの振動腕に対して前記本体部とは反対側に配置されている請求項4に記載の振動子。
- 前記連結部は、前記本体部から前記2つの振動腕とは反対側に延びている接続部を含む請求項3に記載の振動子。
- 前記固定部は、前記X軸方向に沿って互いに離間して配置されている2つのアイランド部を含み、
前記2つの振動腕は、前記2つのアイランド部の間に配置され、
前記連結部は、前記接続部から分岐して前記2つのアイランド部に夫々接続されている2つの分岐部を含む請求項7に記載の振動子。 - 前記固定部は、前記連結部から前記X軸のプラス方向または前記X軸のマイナス方向の一方向に沿って延びている請求項7に記載の振動子。
- 前記基部は、前記2つの振動腕とは反対側の部分にて、前記振動腕から離れるに従い前記X軸方向に沿った長さが漸減している縮幅部を含んでいる請求項1ないし9のいずれか1項に記載の振動子。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子と、
前記振動片に電気的に接続されている発振回路と、を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子を備えていることを特徴とする移動体。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019037009A (ja) * | 2018-12-07 | 2019-03-07 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104270115B (zh) * | 2014-10-16 | 2018-02-23 | 东莞市杰精精密工业有限公司 | 石英晶体谐振器及其封装工艺 |
KR102029501B1 (ko) * | 2014-11-24 | 2019-10-07 | 삼성전기주식회사 | 수정진동자 패키지 |
JP2017200015A (ja) * | 2016-04-26 | 2017-11-02 | セイコーエプソン株式会社 | 振動子、発振器、電子機器および移動体 |
US10732195B2 (en) | 2018-01-26 | 2020-08-04 | Honeywell International Inc. | Vibrating beam accelerometer |
CN115859731B (zh) * | 2022-12-16 | 2023-06-27 | 哈尔滨工业大学 | 风力机叶片约束层阻尼敷设方案优化方法、装置及设备 |
Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52129395A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuner fork type peizoelectric resonatpr |
JPH05129875A (ja) * | 1991-11-08 | 1993-05-25 | Seiko Electronic Components Ltd | 捩り水晶振動子 |
JP2002141770A (ja) * | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
JP2004328701A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶発振器の製造方法 |
JP2005005896A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
JP2009253622A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
JP2010074751A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
JP2010098531A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2011097562A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 |
JP2011199330A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器 |
JP2011205418A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動デバイス |
JP2012054699A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ |
JP2012186679A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 |
JP2012186680A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 |
JP2012209764A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
Family Cites Families (14)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US3462939A (en) * | 1965-02-12 | 1969-08-26 | Tokei Kk | Mechanical vibrator for timepiece |
US3493292A (en) * | 1966-07-22 | 1970-02-03 | Bulova Watch Co Inc | Tuning fork structures |
US7084556B1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-08-01 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
US20090160581A1 (en) * | 2007-12-21 | 2009-06-25 | Paul Merritt Hagelin | Temperature Stable MEMS Resonator |
EP2256923A4 (en) * | 2008-03-18 | 2013-11-06 | Citizen Holdings Co Ltd | PIEZOELECTRIC DEVICE |
US20110001394A1 (en) * | 2009-07-02 | 2011-01-06 | Eta Sa | Piezoelectric thin-film tuning fork resonator |
JP5565154B2 (ja) * | 2009-09-11 | 2014-08-06 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器、および電子機器 |
WO2012052267A1 (en) * | 2010-10-21 | 2012-04-26 | Micro Crystal Ag | Method for mounting a piezoelectric resonator in a case and packaged piezoelectric resonator |
TW201242246A (en) * | 2011-02-25 | 2012-10-16 | Seiko Epson Corp | Piezoelectric vibration element, piezoelectric vibrator, piezoelectric oscillator, vibration gyro element, vibration gyro sensor, and electronic apparatus |
JP6119134B2 (ja) * | 2012-07-19 | 2017-04-26 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、発振器および電子機器 |
JP2014057236A (ja) * | 2012-09-13 | 2014-03-27 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、電子機器及び移動体 |
JP2014135655A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP2014135654A (ja) * | 2013-01-10 | 2014-07-24 | Sii Crystal Technology Inc | 圧電振動片、圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
JP6013228B2 (ja) * | 2013-02-25 | 2016-10-25 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動子、発振器、電子機器及び電波時計 |
-
2013
- 2013-03-14 JP JP2013052488A patent/JP2014179802A/ja active Pending
-
2014
- 2014-03-10 US US14/202,299 patent/US20140266485A1/en not_active Abandoned
- 2014-03-11 CN CN201410087872.6A patent/CN104052425A/zh active Pending
Patent Citations (15)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52129395A (en) * | 1976-04-23 | 1977-10-29 | Seiko Instr & Electronics Ltd | Tuner fork type peizoelectric resonatpr |
JPH05129875A (ja) * | 1991-11-08 | 1993-05-25 | Seiko Electronic Components Ltd | 捩り水晶振動子 |
JP2002141770A (ja) * | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
JP2004328701A (ja) * | 2003-04-28 | 2004-11-18 | Piedekku Gijutsu Kenkyusho:Kk | 水晶発振器の製造方法 |
JP2005005896A (ja) * | 2003-06-10 | 2005-01-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片、圧電振動片の製造方法および圧電振動子、圧電振動子を搭載した電子機器 |
JP2009253622A (ja) * | 2008-04-04 | 2009-10-29 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 音叉型圧電振動片および圧電デバイス |
JP2010074751A (ja) * | 2008-09-22 | 2010-04-02 | Daishinku Corp | 圧電振動デバイス |
JP2010098531A (ja) * | 2008-10-16 | 2010-04-30 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2011097562A (ja) * | 2009-10-01 | 2011-05-12 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器、及び電子機器 |
JP2011199330A (ja) * | 2010-03-17 | 2011-10-06 | Seiko Epson Corp | 振動片、振動子、発振器 |
JP2011205418A (ja) * | 2010-03-25 | 2011-10-13 | Seiko Epson Corp | 振動片および振動デバイス |
JP2012054699A (ja) * | 2010-08-31 | 2012-03-15 | Kyocera Kinseki Corp | 音叉型屈曲水晶振動素子ウエハ |
JP2012186679A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 |
JP2012186680A (ja) * | 2011-03-07 | 2012-09-27 | Seiko Epson Corp | 圧電振動素子、圧電振動子、圧電発振器、及び電子機器 |
JP2012209764A (ja) * | 2011-03-30 | 2012-10-25 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2019037009A (ja) * | 2018-12-07 | 2019-03-07 | エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 | 圧電振動片及び圧電振動子 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
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US20140266485A1 (en) | 2014-09-18 |
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