JP2002141770A

JP2002141770A - 小型振動子

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Publication number: JP2002141770A
Application number: JP2000334224A
Authority: JP
Inventors: Toru Yanagisawa; 徹柳沢; Izumi Yamamoto; 泉山本
Original assignee: Citizen Watch Co Ltd
Current assignee: Citizen Watch Co Ltd
Priority date: 2000-11-01
Filing date: 2000-11-01
Publication date: 2002-05-17

Abstract

(57)【要約】【課題】音叉型振動子は、周波数を保ったまま小型化
すると、細長い形状になり、足幅を充分なＱ値を持つ限
界まで細くしたとしても、充分長さを縮めることが出来
ない。２本の振動部の間に支持部を設けたＴ型形状を採
用すれば、同じ足幅と周波数を持つ音叉型振動子に対し
て、長さの短い構成を実現できるが、この構成では支持
部に大きな振動漏れが発生し、高性能な振動体とするこ
とができない。【解決手段】Ｔ型振動体を用い、足部先端に錘を設け
ることにより全長を短くし、更に２つの錘の重心間距離
を、２本の足部の重心間距離より小さくする事により、
この構成において問題となる支持部の大きな揺れを解消
し、Ｑ値が高く外部への振動漏れの少ない振動子を実現
している。また、支持部が全体の重心近くにあるので音
叉の欠点である耐衝撃性を改善でき、また支持部から最
遠点までの距離が非常に短い為、隙間の狭いパッケージ
ングを可能としている。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、発振器等に使用さ
れる振動子に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】従来から音叉型振動子は、Ｑが高く、小
さなサイズでローパワーに有利な低周波を実現でき、ス
プリアスの心配も無い為、クロック用低周波発振器とし
て多用されてきた。

【０００３】しかし近年、携帯電話等の小型機器に用い
られる電子部品としては、その大きさが無視できなくな
りつつある。

【０００４】特に圧電性単結晶を用いた振動子は、構造
が簡単で、調整もしやすく、また温度特性に優れてい
る。以下に水晶を用いた音叉型振動子の構造を図面を用
いて説明する。図５は音叉型の振動子を示す斜視図であ
る。

【０００５】図５において、音叉Ｊ１０は水晶を一体加
工したものに、駆動検出電極を蒸着した構造を有してい
る。すなわち音叉Ｊ１０は、平行に配置された第１の足
Ｊ１１及び第２の足Ｊ１２が、基部Ｊ１５に結合した構
造を持つものである。第１の足Ｊ１１には、駆動電極Ｊ
３及びＪ４が蒸着されており、第２の足Ｊ１２には、検
出電極Ｊ７及びＪ８が蒸着されている。基部Ｊ１５の底
面は、支持に用いられる。ここで、足の伸びた方向は水
晶の機械軸、２本の足の並ぶ方向は水晶の電気軸、機械
軸及び電機軸に直交する方向は水晶の光学軸である。

【０００６】作用について説明する。図６は、従来の音
叉型振動子の駆動方法を説明する為の、足の機械軸に垂
直な断面及び駆動回路の模式図である。図６において、
左側に記す第１の足Ｊ１１の断面には、駆動電極Ｊ１，
Ｊ２，Ｊ３及びＪ４の断面が配置され、右側に記す第２
の足Ｊ１２の断面には検出電極Ｊ５，Ｊ６，Ｊ７及びＪ
８の断面が配置されている。まず、第１の足Ｊ１１が例
えば第２の足Ｊ１２に向かってＸ方向に屈曲すると、電
極Ｊ２近傍が機械軸方向に伸び、電極Ｊ４近傍が機械軸
方向に縮むが、この時水晶内部では圧電効果により電極
Ｊ２近傍では電機軸正方向に、また電極Ｊ４近傍では電
機軸負方向に電界が発生する。この時電界の向きを考慮
すると電極Ｊ２及びＪ４は同電位で、足の中央より例え
ば高い電位となる。電機軸方向に見ると、足の中央付近
に配置された電極Ｊ１及びＪ３は、相対的に電極Ｊ２及
びＪ４より低い電位となるので、電極Ｊ２及びＪ４と、
電極Ｊ１及びＪ３の間には、電位差が発生する。圧電効
果は可逆的なので、電極Ｊ２及びＪ４と、電極Ｊ１及び
Ｊ３の間に電位差を与えれば、水晶内部には、これに応
じた電界が発生し、第１の足Ｊ１１はＸ方向に屈曲する
ことになる。これらのことから、例えば電極Ｊ１及びＪ
３の電位を参照として発振条件を超える増幅率でアンプ
ＪＧを用いて増幅し、発振条件を満足する位相に移相回
路ＪＰで整えて電極Ｊ２及びＪ４に戻すことにより、第
１の足Ｊ１１の屈曲に伴う機械的な戻り力と電気的な力
の間でエネルギーの交換が起こり、第１の足Ｊ１１を電
機軸方向に自励発振させることができる。音叉Ｊ１０全
体で見ると、第１の足Ｊ１１及び第２の足Ｊ１２の運動
量をバランスさせる為、第１の足Ｊ１１が電機軸正方向
に動く時、第２の足Ｊ１２は電機軸負方向に動き、第１
の足Ｊ１１が電機軸負方向に動く時、第２の足Ｊ１２が
電機軸正方向に動く動作となる。第２の足Ｊ２の電極に
関しては、第１の足の電極と電気軸方向に反対の動作を
考慮して、電極Ｊ５及びＪ７はＪ２及びＪ４と接続し、
電極Ｊ６及びＪ８はＪ１及びＪ３と接続しておけば、両
足を同時に駆動できる。

【０００７】音叉Ｊ１０の２つの足が光学軸に垂直な面
内で対向して動作する１次の固有振動を面内屈曲振動と
呼ぶこととする。音叉Ｊ１０，アンプＪＧ及び移相回路
ＪＰで発生させる自励発振の周波数は、音叉Ｊ１０の面
内屈曲振動の機械的共振周波数とほぼ一致する。

【０００８】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
圧電性単結晶を用いた音叉型振動子には以下のような課
題がある。一般に振動体を支持する場合は、支持の影響
が振動体に及ぶのを最小限にするため、振動体が振動中
に殆ど動かない位置、すなわち振動の節のみを支持する
ことを理想とする。音叉型振動子では、足の延びた方向
に垂直な方向の屈曲振動を扱う事になるが、駆動に用い
る面内屈曲振動においては、基部底面を支持する事によ
りほぼ理想的な支持が実現する。この支持方法において
は、２本の足の間隔が狭い場合、支持部は足の伸びた方
向に僅かに変動するのみであり、支持部の変化による周
波数変動は僅かに留まる。一方、この構成においては、
足部と基部は直列に配置される。即ち、長い足部の延長
上に基部が配置される為全体として細長い形状となる。
更に、この音叉を周波数を固定したまま小型化しようと
試みると、足の長さは足の巾の平方根に比例して小さく
するしかなく、更に細長い形状となり、長さ方向は思う
ように小型化できない。

【０００９】また、基部の巾は振動子の長さに対して極
端に狭くなり、充分な実装面積を確保することが困難に
なる。

【００１０】［発明の目的］本発明の目的は、上記課題
を解決しようとするもので、音叉に比べて性能を落すこ
と無く、長さと巾の比を適正に保ちつつ、支持部に充分
な実装面積を確保した、極めて小型の振動子を提供する
ことにある。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を解決するため
に、本発明の振動子は、下記の構成を採用する。

【００１２】棒状の２本の足部と、２本の足部の間に配
置される支持部と、２本の足部の一方の端部と支持部の
一方の端部とをそれぞれ結合する基部とからなり、同一
の厚みで一体に構成される小型振動子において、２本の
足部の他方の端部にそれぞれ錘部を結合するとともに、
２個の錘部の重心間距離は、２本の足部の重心間距離よ
りも短いことを特徴としている。

【００１３】[作用]本発明では、Ｔ型形状を採用し、支
持部を支持することにより、同じ足幅と周波数を持つ音
叉型振動子に対して、長さの短い構成を実現でき、ま
た、支持部が全体の重心近くにあるので音叉の欠点であ
る耐衝撃性を改善でき、また支持部から最遠点までの距
離が非常に短い為、隙間の狭いパッケージングを可能と
し、パッケージングを含めると更なる小型化を実現して
いる。一方、足部先端に錘を設け、２つの錘の重心間距
離を、２本の足部の重心間距離より小さくする事によ
り、この構成において問題となる支持部の大きな揺れを
解消し、Ｑ値が高く外部への振動漏れの少ない振動子を
実現している。

【００１４】

【発明の実施の形態】以下、本発明の振動子を実施する
ための最良の形態による実施の形態を図面を基に説明す
る。図１〜図４は本発明の実施の形態である振動子であ
り、図１は以後Ｔ型音叉１０と呼ぶ、Ｔ型の振動子の外
観を示し、以後説明に用いる座標を示す斜視図であり、
図２はＴ型音叉１０の断面，回路ブロック及び配線模式
図であり、図３はＴ型の振動子の外観を示し、座標を示
し、電極の一部を示す表面図であり、図４はＴ型の振動
子の外観を示し、座標を示し、電極の一部を示す裏面図
である。

【００１５】［振動子の構造説明：図１〜図４］本実施
の形態においては、圧電性単結晶の中で、特に温度特性
に優れた水晶を使用する。水晶は、Ｓｉ０２の単結晶
で、常温では４つの結晶軸を持つ三方晶系に属する。結
晶軸の１つはｃ軸と呼ばれ、結晶の頂点を通る結晶軸で
あり、残りの３つはａ軸と呼ばれ、ｃ軸に垂直な面内に
互いに１２０度の角度を成す結晶軸である。ここでは、
３つのａ軸のいずれかをＸ軸即ち電機軸とし、ｃ軸をＺ
軸即ち光学軸とし、Ｘ軸及びＺ軸に直交する方向にＹ軸
即ち機械軸をとる。

【００１６】図１に示すように、本実施の形態で使用す
る座標系は、上記Ｘ，Ｙ，Ｚ軸から、Ｘ軸の回りに、Ｚ
軸からＹ軸の方向にθ度回転させた座標軸Ｙ’軸，Ｚ’
軸及びＸ軸を用いる。このとき回転角θは０〜１０度と
する。ここに示した回転角は、温度特性及び振動の安定
度を指標に最適なものが選択される。Ｔ型音叉１０は、
一定の厚みを持つ２次元形状であるが、この厚み方向を
Ｚ’軸方向にして切り出す。こうして切り出されたＴ型
音叉１０のＴ型状は、Ｘ−Ｙ’面内に２次元形状で表現
される。ここで以下の説明において、Ｚ’軸方向を表裏
方向とし、Ｚ’方向から見たＺ’軸に直交する面を表
面、−Ｚ’方向から見たＺ’軸に直交する面を裏面と呼
び、Ｘ軸方向を左右方向とし、−Ｘ方向から見たＸ軸に
直交する面を左側面、Ｘ方向から見たＸ軸に直交する面
を右側面と呼ぶ事とする。

【００１７】図１は、Ｔ型音叉１０を斜めから見た図で
あるが、電極は省略してある。図１に示すように、Ｔ型
音叉１０は足１，足２，基部９及び支持部１１から構成
され、足１及び足２の先端には各々錘３及び錘４が付加
されている。足１は弾性と圧電性を持つ水晶からなり、
形状は、Ｙ’方向の長さＬ，Ｘ方向の巾Ｗ，Ｚ’方向の
厚さがｔの四角柱であり、側面に施された金属蒸着膜か
らなる電極を有している。錘３は水晶からなり、形状
は、Ｙ’方向の長さＬ１，Ｘ方向の巾Ｗ１，Ｚ’方向の
厚さがｔの四角柱である。足２は弾性と圧電性を持つ水
晶からなり、形状は、Ｙ’方向の長さＬ，Ｘ方向の巾
Ｗ，Ｚ’方向の厚さがｔの四角柱であり、側面に施され
た金属蒸着膜からなる電極を有している。錘４は水晶か
らなり、形状は、Ｙ’方向の長さＬ１，Ｘ方向の巾Ｗ
１，Ｚ’方向の厚さがｔの四角柱である。支持部は弾性
を持つ水晶からなり、形状は、Ｙ’方向の長さＬ０，Ｘ
方向の巾Ｗ０，Ｚ’方向の厚さがｔの四角柱であり、側
面に施された金属蒸着膜からなる端子を有している。基
部９は弾性を持つ水晶からなり、形状は、Ｙ’方向の長
さＤ，Ｘ方向の巾２×Ｗ＋Ｗ０＋２×Ｕ，Ｚ’方向の厚
さがｔの四角柱である。足１，２及び支持部は、Ｘ方向
に足１，支持部１１，足２の順に平行に、隙間Ｕを開け
て配置され、足１，２及び支持部１１は、基部９のＹ’
方向に垂直な１つの面に接合している。このとき、基部
９の左右側面と足１及び２の左右側面は各々単一平面と
なる。錘３及び４は、足１及び２の基部９へ接合した面
と平行な、先端と呼ぶもう１つの面に接合しているが、
Ｘ方向に見た足１の中心と錘３の中心は一致せず、錘３
の中心はやや支持部１１側にずれており、Ｘ方向に見た
足２の中心と錘４の中心は一致せず、錘４の中心はやや
支持部１１側にずれている。上記すべての部分は同じ厚
さで、同一平面内にあり、一体構造である。

【００１８】図３及び図４には、電極の一例としてＴ型
音叉１０に金属蒸着膜から成る電極を形成した様子を示
した。図３はＴ型音叉１０をＺ’方向から見た様子を示
している。図４はＴ型音叉１０を−Ｚ’方向から見た様
子を示している。既に述べた様に、図３に示す面を表
面，図４に示す面を裏面と呼ぶ。足１の表面に電極１
Ｕ，裏面に電極１Ｄ，左側面に電極１Ｌ，右側面に電極
１Ｒを蒸着し、足２の表面に電極２Ｕ，裏面に電極２
Ｄ，左側面に電極２Ｌ，右側面に電極２Ｒを蒸着する。
全ての電極は長方形である。支持部１１の表面には回路
と接続する為の端子Ｔ１及びＴ２を蒸着し、基部９には
各々の足の電極と支持部の端子を結ぶ導線を蒸着する。

【００１９】図２には、図３及び図４に示したのと同じ
足１，２，支持部１１及び電極１Ｌ，１Ｒ，１Ｕ，１
Ｄ，２Ｌ，２Ｒ，２Ｕ及び２ＤのＹ’軸方向に垂直な断
面を示し、各電極の接続関係及び駆動回路を示す。駆動
回路は、検出電極１Ｕ，１Ｄ，２Ｌ及び２Ｒからの信号
を移相回路Ｐ及びアンプＧを用いて駆動電極１Ｌ，１
Ｒ，２Ｕ及び２Ｄに返す自励発振回路で構成される。

【００２０】［振動子の動作・作用説明：図２］以下、
図２においては、電気的にＴ型音叉１０を駆動する方法
を説明する。

【００２１】最初に、本実施の形態において使用するＴ
型音叉１０を切り出す座標系が、水晶の結晶軸から傾い
ている事について説明する。本実施の形態において使用
する水晶は異方性単結晶であり、方向により弾性率の温
度依存性が異なる。厚み方向をＺ軸方向とせず、Ｘ軸の
回りに、Ｚ軸からＹ軸の方向にθ度回転させた座標軸
Ｙ’軸，Ｚ’軸及びＸ軸を用い、厚み方向をＺ’軸方向
としたのは、回転角θにより駆動振動の共振周波数の２
次温度係数の頂点が変化する為で、この回転角θは、振
動子を使用する温度が、２次温度係数の頂点となるよう
に０〜１０度から選択する。

【００２２】さて、振動子における理想は、振動体内で
自己完結的な振動モードを利用し、この振動モードにお
ける振動の節を支持する事により、外部環境に依存しな
い安定した振動子を得る事である。ところで、２脚音叉
は２本の足が決定する平面内で、２本の足が相反する方
向へバランスを取りながら１次屈曲振動する、いわゆる
面内屈曲振動において、発振器等に利用されている最も
優れた振動体となる。本実施の形態においては２脚音叉
の面内屈曲振動と同等なＴ型音叉の面内屈曲振動を用い
る。

【００２３】Ｔ型音叉１０の駆動方法を説明する。足１
がＸ方向に屈曲すると、電極１Ｌ近傍はＹ’方向に伸
び、電極１Ｒ近傍はＹ’方向に縮む。この時水晶内部の
電極１Ｌ近傍には圧電効果によりＸ方向に電界が発生
し、電極１Ｒ近傍には圧電効果により−Ｘ方向に電界が
発生する。これらの電界により、電極１Ｕ及び１Ｄは電
極１Ｌ及び１Ｒより低電位となる。またこれとは逆に、
電極１Ｌと電極１Ｕ又は１Ｄの間に外部から電圧を印加
し、電極１Ｒと電極１Ｕ又は１Ｄの間に外部から電圧を
印加すると、圧電効果は可逆的なので、水晶内部には電
極１Ｌ近傍にＸ方向に電界が発生し、電極１Ｒ近傍に−
Ｘ方向に電界が発生するが、この電界により足１の電極
１Ｌの近傍は伸び、電極１Ｒの近傍は縮み、結果として
足１はＸ方向に屈曲する。従って、Ｘ方向の屈曲によっ
て電極１Ｕ又は１Ｄに発生する電圧を増幅し、位相を調
整して電極１Ｌ及び１Ｒにこの電圧を加える事により、
足１を用いて面内屈曲振動を発振させる事が出来る。

【００２４】本実施の形態においては、駆動振動で動作
する足１及び足２を同時に駆動する。２本の足を用いて
駆動することにより、振動モードをより確実に確定し、
ＣＩ値も大幅に下げることができる。足１においては、
表裏の電極１Ｕ及び１Ｄを参照電圧として、左右の電極
１Ｌ及び１Ｒに電圧を印加し、足２においては、逆に左
右の電極２Ｌ及び２Ｒの電圧を参照に表裏の電極２Ｕ及
び２Ｄに電圧を印加すればよい。本実施の形態において
は、電極１Ｕ，１Ｄ，２Ｌ及び２Ｒからの電圧を移相回
路Ｐで移相してアンプＧに入力し、これを増幅したアン
プＧの出力を電極１Ｌ，１Ｒ，２Ｕ及び２Ｄに印加する
事により、駆動振動を自励発振させている。

【００２５】以上に述べた様に、本実施の形態で用いる
Ｔ型音叉１０の動作は２本の足が対向して屈曲動作する
通常の２脚音叉の面内屈曲振動と同じ物である。

【００２６】振動子においては、支持部への振動漏れが
少ない事を目標とするが、振動漏れは、支持方法の変化
に対する機械的共振周波数の変化を指標とする事が出来
る。支持部を完全に固定した場合と完全に自由にした場
合の周波数差Δｆを周波数ｆで除した値が、１０ＰＰＭ
以下であれば、振動子としては申し分ない。

【００２７】支持部への振動漏れの原因としては、振動
子の加工精度の限界に起因する振動子の形状の設計値か
らの変形があげられる。振動子の形状変形の影響は振動
子全体に生じる不整な振動となって現れるが、この不整
な振動を最も大きく引き起こす変形は、２脚音叉型振動
子の場合は、足１及び足２の各々の、主に基部付近の巾
の差異、即ち足幅差ΔＷである。２脚音叉型振動子を、
周波数を一定にして小型化してゆくと、足幅が極めて小
さくなる為、周波数に加えて足幅を規制値として設計を
進める必要がある。従って以下に述べる通常の２脚音叉
とＴ型音叉の比較は、周波数と足幅を同じとした条件で
行う。また、以下はここに述べた加工精度による支持部
の揺れを考慮しない議論である。

【００２８】通常の２脚音叉の場合は、支持部への振動
漏れを最小にする為にいくつかの工夫を行っている。こ
れらの中で支持部が振動しないこと以外に、振動体の変
形部を支持しないことがあげられる。基部を長くするこ
とは、これを実現する手段の１つである。足の長さの２
／３以上にも及ぶ長い基部は、足の屈曲を受け止める足
の付け根付近の大きな基部の変形をあまり気にしないで
よい支持部を基部上に与えてくれる。また、２本の足を
近づけることも効果がある。２本の足を近づけると、足
の付け根付近の基部の変形は局所的になり、基部の中で
の変形は遠くに伝わりにくくなるからである。このよう
に、Δｆを数ＰＰＭ以下に抑えた小型の２脚音叉は全長
が共振周波数を決定する足の長さの１．６倍以上もあ
り、細長い形状とならざるを得ない。

【００２９】一方、本実施の形態におけるＴ型音叉にお
いては、非常に巾の広い基部９を用い、２本の足の間に
支持部１１を形成している。非常に巾の広い基部９は足
の付け根の変形を基部９全体に伝えるが、対称性からこ
の変形は支持部１１には殆ど伝わらない。従って基部９
の長さＬ０は、足１及び足２の巾Ｗと同程度までは問題
なく、非常に短くできる。また、通常の２脚音叉と異な
り、足１及び足２の間隔が大きいので、幾何学的な構成
上、先端部に錘３及び４を付加することが可能となる。
もともと音叉においては、足の先端部分は殆ど変形せ
ず、錘の役割しか演じていないので、錘を付ける効果は
長細い錘を太短い錘に付け替えたに等しく、共振周波数
の等しい足においては、全長を短くする効果のみをもた
らす。

【００３０】しかしながら、基部９全体が変形する上記
Ｔ型音叉の構成においては、支持部１１がＹ’方向に並
進運動するという解決すべき大きな問題が残される。本
実施の形態におけるＴ型音叉１０においては、足１の先
端部の錘３の重心をＸ方向にずらし、足２の先端部の錘
４の重心を−Ｘ方向にずらし、Ｙ’方向への並進運動を
意図的に発生させ、上記基部９の変形による並進運動を
完全に打ち消すことができる。このように、Ｔ型音叉１
０は、同じ共振周波数を持つ足幅の同じ通常の２脚音叉
に対して、支持部の並進運動においても、支持部の変形
においても遜色なく、理想的な支持を実現し、同等な性
能を有しつつ、２／３程度の長さを実現している。

【００３１】さらに、Ｔ型音叉１０では、支持部１１を
全体のほぼ重心近くに配置したことにより、外部から振
動子への激力の影響も少なく、短い全長との相乗効果と
して今後予想される薄型パッケージへの実装にも有利で
ある。

【００３２】

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よる振動子は、Ｔ型形状を採用し、支持部を支持するこ
とにより、同じ足幅と周波数を持つ音叉型振動子に対し
て、長さの短い構成を実現でき、また、支持部が全体の
重心近くにあるので音叉の欠点である耐衝撃性を改善で
き、また支持部から最遠点までの距離が非常に短い為、
隙間の狭いパッケージングを可能とし、パッケージング
を含めると更なる小型化を実現している。一方、足部先
端に錘を設け、2つの錘の重心間距離を、２本の足部の
重心間距離より小さくする事により、この構成において
問題となる支持部の大きな揺れを解消し、Ｑ値が高く外
部への振動漏れの少ない振動子を実現している。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態であるＴ型の振動子の外観
を示し、以後説明に用いる座標を示す斜視図である。

【図２】本発明の実施の形態であるＴ型音叉の断面を示
し，回路ブロック及び配線を示す模式図である。

【図３】本発明の実施の形態であるＴ型の振動子の外観
を示し、以後説明に用いる座標を示し、電極の一部を示
す表面図である。

【図４】本発明の実施の形態であるＴ型の振動子の外観
を示し、以後説明に用いる座標を示し、電極の一部を示
す裏面図である。

【図５】従来の音叉型の振動子の外観を示し、座標を示
し、電極の一部を示し、異方性結晶の回転方向を示す斜
視図である。

【図６】従来の音叉型水晶ジャイロの、足の断面及び駆
動検出回路の配線模式図である。

【符号の説明】

１Ｌ，１Ｒ，１Ｕ，１Ｄ電極２Ｌ，２Ｒ，２Ｕ，２Ｄ電極Ｔ１，Ｔ２端子１，２足３，４錘９基部１０Ｔ型の振動子１１支持部ＧアンプＰ移相回路Ｊ１〜Ｊ８電極Ｊ１０音叉型振動体Ｊ１１第１の足Ｊ１２第２の足Ｊ１５基部ＪＧアンプＪＰ移相回路

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】棒状の２本の足部と、２本の前記足部の
間に配置される支持部と、２本の前記足部の一方の端部
と支持部の一方の端部とをそれぞれ結合する基部とから
なり、同一の厚みで一体に構成される小型振動子におい
て、２本の前記足部の他方の端部にそれぞれ錘部を結合
することを特徴とする小型振動子。
【請求項２】２個の前記錘部の重心間距離は、２本の
前記足部の重心間距離よりも短いことを特徴とする請求
項１に記載の小型振動子。
【請求項３】２個の前記足部と前記支持部は、それぞ
れ互いに平行であることを特徴とする請求項１または請
求項２に記載の小型振動子。
【請求項４】前記基部の長手方向にＸ軸、前記足部の
長手方向をＹ軸をそれぞれとった場合に、Ｙ軸に対して
平行な一方の前記錘部の中心線と、Ｙ軸に対して平行な
他方の前記錘部の中心線との間のＸ軸方向の距離は、Ｙ
軸に対して平行な一方の前記足部の中心線と、Ｙ軸に対
して平行な他方の前記足部の中心線との間のＸ軸方向の
距離よりも短いことを特徴とする請求項３に記載の小型
振動子。
【請求項５】２個の前記足部は、前記支持部の長手方
向に平行な前記支持部の中心線に関して、互いに対象で
あることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３ま
たは請求項４に記載の小型振動子。
【請求項６】２個の前記錘部は、前記支持部の長手方
向に平行な前記支持部の中心線に関して、互いに対象で
あることを特徴とする請求項１、請求項２、請求項３ま
たは請求項４に記載の小型振動子。