JP4440682B2 - 振動ジャイロ - Google Patents
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11が−X方向に動く時、第2の脚J12がX方向に動く動作となり、これを、通常の音叉が1つの面内で振動を行うのを理想とする慣例から、面内屈曲振動と呼ぶが、第1の脚J11,アンプJG及び移相回路JPで発生させる振動は面内屈曲振動と同じ動作であり、その周波数は、音叉J10の面内屈曲振動の共振周波数とほぼ一致する。
FC=2・M・Ω・V
ここで、Mは第1の脚J11又は第2の脚J12の質量であり、Vは第1の脚J11又は第2の脚J12の速度である。このコリオリ力FCは、第1の脚J11及び第2の脚J12に、面内屈曲振動の動作方向であるX方向と直交する、Z’方向に変位する屈曲振動を励起する。以下これを面外屈曲振動と呼ぶ。また、コリオリ力は変位でなく、速度に比例する力なので、コリオリ力により発生する面外屈曲振動は、面内屈曲振動より90度位相が遅れて発生する。
また、前記コリオリ力に基づいて発生する前記第1検出振動モードの振動と前記第2検出振動モードの振動が前記他方の脚を同位相で振動するように作用することを特徴とする。
また、前記第1検出振動モードは、前記一方の脚と前記他方の脚が前記中央の脚と逆位相で振動するモードであり、前記第2検出振動モードは、前記一方の脚と前記中央の脚が前記他方の脚と逆位相で振動するモードであることを特徴とする。
また、前記他方の脚の幅が、前記中央の脚の幅と前記一方の脚の幅よりも狭いことを特徴とする。
また、前記一方の脚の幅と前記中央の脚の幅をほぼ同じにするとともに、前記他方の脚の幅は、前記一方の脚又は前記中央の脚の幅の3/5±10%にしており、前記一方の脚と前記基部を結合する部分に肩部を設けたことを特徴とする。
本実施の形態においては、圧電性単結晶の中で、特に温度特性に優れた水晶を使用する。水晶は、Si02の単結晶で、常温では4つの結晶軸を持つ三方晶系に属する。結晶軸の1つはc軸と呼ばれ、結晶の頂点を通る結晶軸であり、残りの3つはa軸と呼ばれ、c軸に垂直な面内に互いに120度の角度を成す結晶軸である。ここでは、3つのa軸のいずれかをX軸とし、c軸をZ軸とし、X軸及びZ軸に直交する方向にY軸をとる。
ら見た様子を示している。既に述べた様に、図3に示す面を表面,図4に示す面を裏面と呼ぶ。電極の形状は、予め形状をエッチングで作成したマスクを作成しておき、これを3脚音叉10の電極を生成する表裏面に密着させて真空蒸着を施すことにより形成する。左右側面の電極は、蒸着方向を回転する事により形成できる。脚1の表面に電極1U,裏面に電極1D,左側面に電極1L,右側面に電極1Rを蒸着し、脚2の表面に電極2U,裏面に電極2D,左側面に電極2L,右側面に電極2Rを蒸着し、脚3の表面から右側面に回り込む電極3U,裏面から右側面に回り込む電極3D,左側面に電極3Gを蒸着する。全ての電極は長方形である。基部9の表面には回路と接続する為の端子DR,SE,S1,S2及びGNDと、各々の脚の電極と端子を結ぶ導線を蒸着する。
以下、図7及び図9を用いて3脚音叉型振動体の検出振動を説明し、図8においては3脚音叉型振動体の駆動振動を説明し、図10において2つの検出振動により得られる出力の傾向を説明し、最後に図2を用いて、電気的に3脚音叉10を駆動し、3脚音叉10の回転の結果である電圧出力から角速度を知る方法を説明する。
3/5・W2・0.9≦ W3 ≦3/5・W2・1.1
とする事で、上述の望ましい事項を全て満脚する振動体を提供する。
の脚のX方向への1次屈曲振動を、3脚音叉10の面内振動と呼ぶこととする。また、3脚音叉形状の、厚み方向、即ち3本の脚のZ’方向への1次屈曲振動を、3脚音叉10の面外振動と呼ぶこととする。3脚音叉においては、1次屈曲振動にだけ限定しても、少なくとも2つの面外振動が存在し、これらはジャイロの検出動作に利用できる。
が、コリオリ力FCを介して検出振動を励振する場合は、駆動振動の変位を振幅Dの正弦波D・sinω0・tとすると、コリオリ力の記述式FC=2・M・Ω・VXから、検出方向に発生するコリオリ力は
2M・Ω・D・ω0・cosω0・tなので、固有振動数ωと先鋭度Qを持つ3脚音叉10の検出振動系の振動部の変位を時間の関数としてZ(t)と表現し、微分方程式をたてると次の(式1)のようになる。
M・d2・Z(t)/dt2+M・(ω/Q)・dZ(t)/dt+Mω2・Z(t)=2・M・Ω・D・ω0・cosω0・t …(式1)
この微分方程式の定常解は、角速度Ωに比例した振幅を持つ正弦波A・cos(ω0t−φ)である。ここに振幅Aは
A=2・D・Ω・(1/ω0)・(ω/ω0)・((1−(ω/ω0)2)2
+((1/Q)・(ω/ω0))2)1/2 …(式2)
であり、また、位相φは、
φ=arctan(Q・(ω0/ω)−(ω/ω0))−1) …(式3)
で記述されるが、φは、Qが大きい場合は、ω0>ωでは−90度,ω0<ωでは90度に変化する階段状の関数である。
の関数として実線で示してある。
では−X方向に電界が発生する。従って基準電極3Gに対して電極3Uは高電位になる。これとは逆に、脚3が−Z’方向に屈曲すると、電極3Dの存在する領域がY’方向に伸びる。この時圧電効果により、電極の存在する領域では−X方向に電界が発生する。従って基準電極3Gに対して電極3Dは高電位になる。このとき電極3U近傍はY’方向に縮む。圧電効果により、Z’方向に見て、脚3の電極3Uが存在する領域ではX方向に電界が発生する。従って基準電極3Gに対して電極3Uは低電位になる。即ち、検出振動は、脚3の基準電極3Gの電位を基準とした、電極3Uと電極3Dに生じる互いに逆方向の電圧として検出できる。勿論、電極3Gを使用せずに、直接に電極3Uと3D間の電圧を測定しても良い。
2L,2R,2U,2D 電極
3U,3D,3G 電極
DR,SE 端子
S1,S2,GND 端子
1〜3 脚
9 基部
10 3脚音叉型の振動ジャイロ
11 支持部
A1〜A3 錘
W1,W2,W3 脚幅
U 溝幅
K 肩幅
C コンパレータ
D 差動バッファ
G アンプ
M 乗算回路
P ,P2 移相回路
S 積分回路
FC,−FC コリオリ力
VX,−VX 速度
J1〜J8 電極
J10 音叉型振動体
J11 第1の脚
J12 第2の脚
J15 基部
JC コンパレータ
JD 差動バッファ
JG アンプ
JM 乗算回路
JP ,JP2 移相回路
JS 積分回路
Claims (5)
- 基部に3本の脚を配設した振動子と、該3本の脚のうち2本を所定の駆動周波数で駆動する発振手段と、駆動された前記2本の脚とは異なる他の1本の脚でコリオリ力を検出する検出手段とを有し、前記3本の脚は互いに所定の間隔を保って前記基部から同じ方向へ平行に配設し、前記発振手段は前記3本の脚のうち、中央の脚と該中央の脚と隣り合う一方の脚とを駆動し、前記中央の脚と隣り合う他方の脚をほぼ静止させ、前記検出手段は前記他方の脚に発生するコリオリ力を検出する振動ジャイロにおいて、
前記振動子は第1の振動周波数を共振点とする第1検出振動モードと、第2の振動周波数を共振点とする第2検出振動モードとを有しており、前記発振手段の前記駆動周波数が前記第1の振動周波数と前記第2の振動周波数との間の周波数であることを特徴とする振動ジャイロ。 - 前記コリオリ力に基づいて発生する前記第1検出振動モードの振動と前記第2検出振動モードの振動が前記他方の脚を同位相で振動するように作用することを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 前記第1検出振動モードは、前記一方の脚と前記他方の脚が前記中央の脚と逆位相で振動するモードであり、前記第2検出振動モードは、前記一方の脚と前記中央の脚が前記他方の脚と逆位相で振動するモードであることを特徴とする請求項1または請求項2記載の振動ジャイロ。
- 前記他方の脚の幅が、前記中央の脚の幅と前記一方の脚の幅よりも狭いことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
- 前記一方の脚の幅と前記中央の脚の幅をほぼ同じにするとともに、前記他方の脚の幅は、前記一方の脚又は前記中央の脚の幅の3/5±10%にしており、前記一方の脚と前記基部を結合する部分に肩部を設けたことを特徴とする請求項1記載の振動ジャイロ。
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