JP5617534B2 - 圧電振動型ヨーレートセンサ - Google Patents
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Description
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<第2実施形態>
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Claims (6)
- 中央に位置する基部と、前記基部を挟んで一方に延びる一対の駆動腕及び前記一対の駆動腕とは反対側に延びる一対の検出腕とを備えており、前記一対の駆動腕にて生じたコリオリ力を前記一対の検出腕にて検出する圧電振動型ヨーレートセンサであって、
前記一対の検出腕における検出感度スペクトルは、前記一対の検出腕同士が逆の方向に変位するとともに、前記一対の駆動腕と前記一対の検出腕のうち、前記基部を挟んで対向する駆動腕と検出腕とが、駆動振動の向きと直交し、且つ、前記一対の駆動腕の延在方向と直交する向きに逆位相で振動する第1検出用振動モードにおける第1共振周波数をピーク周波数とする第1ピーク、及び、前記一対の検出腕同士が逆の方向に変位するとともに、前記一対の駆動腕と前記一対の検出腕のうち、前記基部を挟んで対向する駆動腕と検出腕とが、駆動振動の向きと直交し、且つ、前記一対の駆動腕の延在方向と直交する向きに同位相で振動する第2検出用振動モードにおける第2共振周波数をピーク周波数とする第2ピークを有しており、
前記検出感度スペクトルにおいては、前記第1共振周波数及び前記第2共振周波数のうちのいずれか小さい一方の共振周波数よりもΔf高い周波数での検出感度が、前記一方の共振周波数よりもΔf低い周波数での検出感度よりも大きく、且つ、前記第1共振周波数及び前記第2共振周波数のうちのいずれか大きい他方の共振周波数よりもΔf低い周波数での検出感度が、前記他方の共振周波数よりもΔf高い周波数での検出感度よりも大きい、
圧電振動型ヨーレートセンサ。 - 前記検出感度スペクトルは、前記第1検出用振動モードでの検出感度スペクトルと、前記第2検出用振動モードでの検出感度スペクトルとが、合算されたものである、
請求項1に記載の圧電振動型ヨーレートセンサ。 - 前記駆動腕の駆動振動共振周波数が、前記第1検出用振動モードにおける第1共振周波数と前記第2検出用振動モードにおける第2共振周波数との間の周波数に設定された、
請求項1又は2に記載の圧電振動型ヨーレートセンサ。 - 前記基部は、
前記一対の駆動腕、及び、前記一対の検出腕が接続される枠体と、
前記枠体の内部に形成された接続島部と、
前記一対の駆動腕及び前記一対の検出腕の延在方向と平行な方向に延在し、且つ、前記枠体に跨設された複数の橋部と、
前記接続島部と前記複数の橋部を連結する複数の補助橋部と、
を有する、
請求項1乃至3の何れかに記載の圧電振動型ヨーレートセンサ。 - 中央に位置する基部と、前記基部を挟んで一方に延びる一対の駆動腕及び前記一対の駆動腕とは反対側に延びる一対の検出腕とを備えた圧電振動型ヨーレートセンサにおける前記一対の駆動腕にて生じたコリオリ力を、前記圧電振動型ヨーレートセンサにおける前記一対の検出腕にて検出することにより、前記圧電振動型ヨーレートセンサの角速度を検出する方法であって、
前記一対の検出腕における検出感度スペクトルが、前記一対の検出腕同士が逆の方向に変位するとともに、前記一対の駆動腕と前記一対の検出腕のうち、前記基部を挟んで対向する駆動腕と検出腕とが、駆動振動の向きと直交し、且つ、前記一対の駆動腕の延在方向と直交する向きに逆位相で振動する第1検出用振動モードにおける第1共振周波数をピーク周波数とする第1ピーク、及び、前記一対の検出腕同士が逆の方向に変位するとともに、前記一対の駆動腕と前記一対の検出腕のうち、前記基部を挟んで対向する駆動腕と検出腕とが、駆動振動の向きと直交し、且つ、前記一対の駆動腕の延在方向と直交する向きに同位相で振動する第2検出用振動モードにおける第2共振周波数をピーク周波数とする第2ピークを有するように、且つ、前記検出感度スペクトルにおいては、前記第1共振周波数及び前記第2共振周波数のうちのいずれか小さい一方の共振周波数よりもΔf高い周波数での検出感度が、前記一方の共振周波数よりもΔf低い周波数での検出感度よりも大きく、且つ、前記第1共振周波数及び前記第2共振周波数のうちのいずれか大きい他方の共振周波数よりもΔf低い周波数での検出感度が、前記他方の共振周波数よりもΔf高い周波数での検出感度よりも大きくなるように、前記圧電振動型ヨーレートセンサを構成又は調整する、
角速度検出方法。 - 前記駆動腕の駆動振動共振周波数を、前記第1検出用振動モードにおける第1共振周波数と前記第2検出用振動モードにおける第2共振周波数との間の周波数に設定する、
請求項5に記載の角速度検出方法。
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