JP6171475B2 - 振動片の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明は、振動片の製造方法等に関する。
例えば特許文献１に記載されるように、ジャイロセンサーに利用される振動片は一般に知られる。駆動用振動腕に角速度運動が加わると、コリオリ力の働きで駆動用振動腕の振動方向が変化する。コリオリ力に対応して特定の方向に新たに力成分が生起される。この力成分は検出用振動腕の運動を引き起こす。こうして力成分に応じた出力信号が検出用振動腕から出力される。振動片は第１振動モードおよび第２振動モードを有する。第１振動モードでは、コリオリ力に応じて面外方向に隣同士で互いに逆向きに駆動用振動腕が屈曲振動し、検出用振動腕は駆動用振動腕と逆位相で隣同士互いに逆向きに屈曲振動する。第２振動モードでは、コリオリ力に応じて面外方向に隣同士で互いに逆向きに駆動用振動腕が屈曲振動し、検出用振動腕は駆動用振動腕と同位相で隣同士互いに逆向きに屈曲振動する。
特許文献１では検出感度の向上にあたって第１振動モードの共振周波数と第２振動モードの共振周波数とが調整される。したがって、検出感度の向上にあたって高い加工精度や組み立て精度が要求される。加工精度や組み立て精度が悪化すると、振動片の検出感度は低下する。たとえ振動片全体の加工精度や組み立て精度に誤差が生じても、検出感度を向上することができる術が望まれる。
本発明の少なくとも１つの態様によれば、高い検出感度を有する振動片の製造方法を提供することができる。
（１）本発明の一態様は、基部と、前記基部から第１方向に沿って延びている第１および第２検出用振動腕と、前記基部から前記第１方向と反対向きの第２方向に沿って延びている第１および第２駆動用振動腕とを備え、前記第１および前記第２検出用振動腕は、前記第１方向と交わる第３方向に沿って並んでおり、前記第１および前記第２駆動用振動腕は、前記第３方向に沿って並んでいる振動片であって、前記第１方向および前記第３方向を含む面の面内方向に沿って、前記第１および前記第２駆動用振動腕を互いに逆向きに屈曲振動をさせる振動モードを駆動振動モードとし、前記第２方向と平行な軸回りで前記振動片を回転させた場合、前記第１および前記第２駆動用振動腕を前記第１方向および前記第３方向を含む前記面と交わる面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第１振動と、前記第１および前記第２検出用振動腕を前記第１振動と逆位相で前記面外方向に互いに逆向きに屈曲振動させる第２振動とを含む振動モードを第１振動モードとし、前記第２方向と平行な前記軸回りで前記振動片を回転させた場合、前記第１および前記第２駆動用振動腕を前記面外方向に互いに逆向きに屈曲振動させる第３振動と、前記第１および前記第２検出用振動腕を前記第３振動と同位相で互いに逆向きに屈曲振動させる第４振動とを含む振動モードを第２振動モードとした場合、前記第１振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する前記第２振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１は０．１５〜６．０の間である振動片に関する。
本発明者の観察によれば、クリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が０．１５〜６．０の間であると、角速度の検出感度は最大感度に対して５０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片ごとの感度のばらつきは確実に低減されることが見出された。
（２）前記比率Ｒは０．３〜３．０の間であることができる。本発明者の観察によれば、クリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が０．３〜３．０の間であると、角速度の検出感度は最大感度に対して７０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片ごとの感度のばらつきは確実に低減されることが見出された。
（３）前記比率Ｒは０．５５〜１．８の間であることができる。本発明者の観察によれば、クリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が０．５５〜１．８の間であると、角速度の検出感度は最大感度に対して９０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片ごとの感度のばらつきは確実に低減されることが見出された。
（４）振動片は、前記基部側で前記検出用振動腕の表面に形成される膜体を備えることができる。膜体は検出用振動腕の表面に重ねられて固定される。その結果、膜体の付加や除去に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整されることができる。
（５）振動片は、前記膜体に隣接して前記検出用振動腕の表面に形成される除去痕を備えることができる。膜体は検出用振動腕の表面に重ねられて固定される。その結果、膜体の除去に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整されることができる。
（６）振動片はジャイロセンサーに組み込まれて利用されることができる。ジャイロセンサーは振動片を有することができる。
（７）振動片は電子機器に組み込まれて利用されることができる。電子機器は振動片を有することができる。
（８）振動片は移動体に組み込まれて利用されることができる。移動体は振動片を有することができる。
（９）本発明の他の態様は、基部と、前記基部から第１方向に沿って延びている第１および第２検出用振動腕と、前記基部から前記第１方向と反対向きの第２方向に沿って延びている第１および第２駆動用振動腕とを備え、前記第１および前記第２検出用振動腕は、前記第１方向と交わる第３方向に沿って並んで配置され、前記第１および前記第２駆動用振動腕は、前記第３方向に沿って並んで配置されている振動片に対して、前記第１および第２検出用振動腕に通電し、前記第１および前記第２駆動用振動腕を前記第１方向および前記第３方向を含む面と交わる面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第１振動と、前記第１および前記第２検出用振動腕を前記第１振動と逆位相で前記面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第２振動とを含む第１振動モードを前記振動片に励起させ、前記第１振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ１を測定する工程と、前記振動片に対して、前記検出用振動腕に通電し、前記第１および前記第２駆動用振動腕を前記面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第３振動と、前記第１および前記第２検出用振動腕を前記第３振動と同位相で前記面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第４振動とを含む第２振動モードを前記振動片に励起させ、前記第２振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ２を測定する工程と、前記第１振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１を算出し前記振動片の適否判定を行う工程とを備える振動片の製造方法に関する。
こうした製造方法によれば、クリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が０．１５〜６．０の間にあるか否かが判断されることができる。こうして０．１５〜６．０の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒを有する振動片は製造されることができる。
（１０）振動片の製造方法は、前記基部側で前記検出用振動腕の表面に膜体を形成する工程をさらに備えることができる。膜体は検出用振動腕の表面に重ねられて固定される。その結果、膜体の付加に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整されることができる。こうして所望の振動片は製造されることができる。
（１１）振動片の製造方法は、前記基部側で前記検出用振動腕の表面に形成される膜体を除去する工程をさらに備えることができる。膜体は検出用振動腕の表面に予め重ねられて固定されることができる。膜体の除去に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整されることができる。こうして所望の振動片は製造されることができる。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の一実施形態を説明する。なお、以下に説明する本実施形態は、特許請求の範囲に記載された本発明の内容を不当に限定するものではなく、本実施形態で説明される構成の全てが本発明の解決手段として必須であるとは限らない。
（１）第１実施形態に係る振動片を含むジャイロセンサーの構成
図１は一実施形態に係るジャイロセンサー１１の構成を概略的に示す。ジャイロセンサー１１は例えば箱形の容器１２を備える。容器１２は容器本体１３および蓋材１４を備える。容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は例えば真空に封止されることができる。容器１２は剛体として機能する。少なくとも蓋材１４は導体から形成されることができる。蓋材１４が接地されれば、蓋材１４は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。
図１は一実施形態に係るジャイロセンサー１１の構成を概略的に示す。ジャイロセンサー１１は例えば箱形の容器１２を備える。容器１２は容器本体１３および蓋材１４を備える。容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は例えば真空に封止されることができる。容器１２は剛体として機能する。少なくとも蓋材１４は導体から形成されることができる。蓋材１４が接地されれば、蓋材１４は電磁波に対してシールド効果を発揮することができる。
容器１２には振動片１５およびＩＣ（集積回路）チップ１６が収容される。振動片１５およびＩＣチップ１６は容器１２の内部空間内に配置される。振動片１５は本体１７および導電膜１８を備える。本体１７の表面に導電膜１８が積層される。導電膜１８は金（Ａｕ）、銅（Ｃｕ）、その他の金属といった導電材から形成されることができる。導電膜１８は薄膜や厚膜で構成されることができる。図１から明らかなように、振動片１５の本体１７は表面１７ａおよび裏面１７ｂを有する。表面１７ａは第１基準平面ＲＰ１内に広がる。裏面１７ｂは第２基準平面ＲＰ２内に広がる。第２基準平面ＲＰ２は第１基準平面ＲＰ１に平行に広がる。ここでは、本体１７全体は１つの圧電体から形成される。圧電体には例えば水晶が用いられることができる。
振動片１５は容器本体１３に片持ち支持される。片持ち支持にあたって本体１７の一端には固定部１９が区画される。固定部１９には接続端子群２１が配置される。接続端子群２１は裏面１７ｂに広がる導電膜１８の一部で形成される。接続端子群２１は複数の接続端子すなわち導電材製パッドを含む。接続端子の詳細は後述される。その一方で、容器本体１３の底板には導電端子群２２が配置される。接続端子群２２は複数の接続端子すなわち導電材製パッドを含む。振動片１５の導電端子群２１は底板上の導電端子群２２に接合される。接合にあたって例えばはんだバンプや金バンプといった導電接合材２３が用いられることができる。こうして振動片１５は固定部１９で容器本体１３の底板に固着される。導電端子群２２は導電膜１８の配線（図示されず）でＩＣチップ１６に接続される。ＩＣチップ１６は例えば容器本体１３の底板に接着されればよい。
図２に示されるように、第１実施形態に係る振動片１５の本体１７は基部２５、１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂ、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂを有する。振動片１５の表面１７ａおよび裏面１７ｂは第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面および裏面、第２振動腕２７ａ、２７ｂの表面および裏面、並びに、第３振動腕２８ａ、２８ｂの表面および裏面にそれぞれ相当する。振動片１５の表面１７ａおよび裏面１７ｂは、後述されるように、駆動信号で励起される振動の方向すなわち第２振動腕２７ａ、２７ｂの励振方向を規定する。
基部２５は所定の剛性を有する。基部２５には回転軸２９が設定される。回転軸２９は基部２５の重心を通過する。ジャイロセンサー１１は回転軸２９回りで角速度を検出する。
１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂは基部２５から並んで回転軸２９に平行に第１方向Ｄ１に延びる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは回転軸２９に略直交する方向（第３方向）に並んで配置されている。第１振動腕２６ａ、２６ｂは基部２５に片持ち支持される。第１振動腕２６ａ、２６ｂ同士は相互に平行に延びる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは、回転軸２９を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に直交する対称面３１に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第１振動腕２６ａ、２６ｂは１対の検出用振動腕として機能する。
１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂは基部２５から並んで回転軸２９に平行に第２方向Ｄ２に延びる。第１振動腕２７ａ、２７ｂは回転軸２９に略直交する方向（第３方向）に並んで配置されている。第２方向Ｄ２は第１方向Ｄ１の反対向きに相当する。第２振動腕２７ａ、２７ｂは基部２５に片持ち支持される。第２振動腕２７ａ、２７ｂ同士は相互に平行に延びる。第２振動腕２７ａ、２７ｂは対称面３１に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂは１対の駆動用振動腕として機能する。
１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂは基部２５から第１方向Ｄ１に延びる。第３振動腕２８ａ、２８ｂは基部２５に片持ち支持される。第３振動腕２８ａ、２８ｂ同士は相互に平行に延びる。第３振動腕２８ａ、２８ｂは対称面３１に関して面対称に形作られる。ここでは、１対の第３振動腕２８ａ、２８ｂは１対の調整用振動腕として機能する。調整用振動腕同士の間の空間に１対の検出腕は配置される。
振動片１５の本体１７は少なくとも１本の第１吊り腕３２ａ、３２ｂと１対の第２吊り腕３３ａ、３３ｂとを有する。ここでは、本体１７には１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂが区画される。第１吊り腕３２ａ、３２ｂは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂの両側で固定部１９から第１方向Ｄ１にそれぞれ延びる。第１吊り腕３２ａ、３２ｂの先端は基部２５の第１連結部３４にそれぞれ連結される。２つの第１連結部３４は１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂの両側に位置する。
第２吊り腕３３ａ、３３ｂは、１対の第２振動腕２７ａ、２７ｂおよび１対の第１吊り腕３２ａ、３２ｂの両側でそれぞれ固定部１９から第１方向Ｄ１に延びる。第２吊り腕３３ａ、３３ｂの先端は基部２５の第２連結部３５に連結される。第２連結部３５は第１連結部３４よりも第１方向Ｄ１に位置する。
図３に示されるように、導電膜１８は２対の第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび２対の第２駆動電極４２ａ、４２ｂを形成する。第１対の第１駆動電極４１ａは一方の第２振動腕２７ａに固定される。第１駆動電極４１ａは第２振動腕２７ａの側面に広がる。第１駆動電極４１ａ同士の間に第２振動腕２７ａは挟まれる。第１駆動電極４１ａ同士は第２振動腕２７ａの自由端側で相互に接続される。第２対の第１駆動電極４１ｂは他方の第２振動腕２７ｂに固定される。第１駆動電極４１ｂは第２振動腕２７ｂの表面１７ａおよび裏面１７ｂに広がる。第１駆動電極４１ｂ同士の間に第２振動腕２７ｂは挟まれる。第２対の第１駆動電極４１ｂは第１対の第１駆動電極４１ａに基部２５で接続される。
第１対の第２駆動電極４２ａは一方の第２振動腕２７ａに固定される。第２駆動電極４２ａは第２振動腕２７ａの表面１７ａおよび裏面１７ｂに広がる。第２駆動電極４２ａ同士の間に第２振動腕２７ａは挟まれる。第２対の第２駆動電極４２ｂは他方の第２振動腕２７ｂに固定される。第２駆動電極４２ｂは第２振動腕２７ｂの側面に広がる。第２駆動電極４２ｂ同士の間に第２振動腕２７ｂは挟まれる。第２駆動電極４２ｂ同士は第２振動腕２７ｂの自由端側で相互に接続される。第２対の第２駆動電極４２ｂは第１対の第２駆動電極４２ａに基部２５で接続される。第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動電極４２ａ、４２ｂの間に電界が加えられると、第２振動腕２７ａ、２７ｂは変形する。
導電膜１８は第１駆動配線４３および第２駆動配線４４を形成する。第１駆動配線４３は一方の第１吊り腕３２ａに固定される。第１駆動配線４３は第１吊り腕３２ａの全長にわたって第１吊り腕３２ａ上を延びる。第１駆動配線４３は第１駆動電極４１ａ、４１ｂに接続される。第２駆動配線４４は他方の第１吊り腕３２ｂに固定される。第２駆動配線４４は第１吊り腕３２ｂの全長にわたって第１吊り腕３２ｂ上を延びる。第２駆動配線４４は第２駆動電極４２ａ、４２ｂに接続される。
図４に示されるように、接続端子群２１は第１駆動端子４５および第２駆動端子４６を含む。第１駆動端子４５および第２駆動端子４６はそれぞれ固定部１９の裏面１７ｂに固定される。第１駆動端子４５は第１駆動配線４３に接続される。第２駆動端子４６は第２駆動配線４４に接続される。第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から第１駆動電極４１ａ、４１ｂおよび第２駆動電極４２ａ、４２ｂに駆動信号が供給されることができる。
導電膜１８は２組の第１検出電極対（信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂ）並びに２組の第２検出電極対（信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂ）を形成する。図５に示されるように、第１検出電極対の信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂは一方の第１振動腕２６ａに固定される。第１検出電極対の信号電極４７ａは第１振動腕２６ａの表面１７ａで第１振動腕２６ａの根元から自由端に向かって延びる。第１検出電極対のグラウンド電極４７ｂは第１振動腕２６ａの表面１７ａで第１振動腕２６ａの根元から自由端に向かって延びる。
第２検出電極対の信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂは他方の第１振動腕２６ｂに固定される。第２検出電極対の信号電極４８ａは第１振動腕２６ｂの表面１７ａで第１振動腕２６ｂの根元から先端に向かって延びる。第１検出電極対のグラウンド電極４８ｂは第１振動腕２６ｂの表面１７ａで第１振動腕２６ｂの根元から自由端に向かって延びる。
導電膜１８は２組の第１調整用電極対４９および２組の第２調整用電極対５１を形成する。第１調整用電極対４９は第３振動腕２８ａに固定される。第１調整用電極対４９は第１電極片４９ａおよび１対の第２電極片４９ｂを備える。第１電極片４９ａは第３振動腕２８ａの第１側面５２に配置される。
一方の第２電極片４９ｂは第３振動腕２８ａの表面１７ａに配置される。第２電極片４９ｂは第１側面５２および表面１７ａの稜線を挟んで第１電極片４９ａと隣り合う。第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂから電流は取り出される。
第２調整用電極対５１は同様に第３振動腕２８ａに固定される。第２調整用電極対５１は第３電極片５１ａおよび１対の第４電極片５１ｂを備える。第３電極片５１ａは第３振動腕２８ａの第２側面５３に配置される。第２側面５３は第１側面５２の反対側（裏側）に位置する。第３電極片５１ａは第３振動腕２８ａを挟んで第１電極片４９ａに対向する。
一方の第４電極片５１ｂは第３振動腕２８ａの表面１７ａに配置される。第４電極片５１ｂは第２側面５３および表面１７ａの稜線を挟んで第３電極片５１ａと隣り合う。第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂから電流は取り出される。
同様に、もう一つの第３振動腕２８ｂには第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１が固定される。固定にあたって第３振動腕２８ｂには第３振動腕２８ａと同様に第１側面５２および第２側面５３が規定される。第３振動腕２８ｂの第１側面５２および第２側面５３にはそれぞれ第１電極片４９ａおよび第３電極片５１ａが固定される。第３振動腕２８ｂの表面（第１面）１７ａには第２電極片４９ｂおよび第４電極片５１ｂが固定される。
導電膜１８は第１検出配線５５および第２検出配線５６を形成する。第１検出配線５５および第２検出配線５６は基部２５や一方の第２吊り腕３３ａに固定される。第１検出配線５５には第３振動腕２８ａの第１電極片４９ａおよび第４電極片５１ｂが電気的に接続される。第２検出配線５６には第２電極片４９ｂおよび第３電極片５１ａが電気的に接続される。同様に、導電膜１８は第３検出配線５７および第４検出配線５８を形成する。第３検出配線５７および第４検出配線５８は基部２５やもう１つの第２吊り腕３３ｂに固定される。第３検出配線５７には第３振動腕２８ｂの第１電極片４９ａおよび第４電極片５１ｂが電気的に接続される。第４検出配線５８には第２電極片４９ｂおよび第３電極片５１ａが電気的に接続される。
図６に示されるように、第１振動腕２６ａの裏面１７ｂには同様に第１検出電極対の信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂが配置される。裏面１７ｂの信号電極４７ａは表面１７ａの信号電極４７ａに第１振動腕２６ａの自由端で接続されることができる。裏面１７ｂのグラウンド電極４７ｂは表面１７ａのグラウンド電極４７ｂに基部２５で接続されることができる。第１振動腕２６ａの変形に応じて信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂから電流は取り出される。
もう１つの第１振動腕２６ｂの裏面１７ｂには同様に信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂが配置される。裏面１７ｂの信号電極４８ａは表面１７ａの信号電極４８ａに第１振動腕２６ｂの自由端で接続されることができる。裏面１７ｂのグラウンド電極４８ｂは表面１７ａのグラウンド電極４８ｂに基部２５で接続されることができる。第１振動腕２６ｂの変形に応じて信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂから電流は取り出される。
第３振動腕２８ａの裏面１７ｂには同様に他方の第２電極片４９ｂが配置される。第２電極片４９ｂは第１側面５２および裏面１７ｂの稜線を挟んで第１電極片４９ａと隣り合う。第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第１電極片４９ａおよび第２電極片４９ｂから電流は取り出される。同様に、他方の第４電極片５１ｂは第３振動腕２８ａの裏面１７ｂに配置される。第４電極片５１ｂは第２側面５３および裏面１７ｂの稜線を挟んで第３電極片５１ａと隣り合う。第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂの間には稜線に沿って間隙が区画される。第３振動腕２８ａの変形に応じて第３電極片５１ａおよび第４電極片５１ｂから電流は取り出される。
接続端子群２１は１対の第１検出端子（信号端子５９ａおよびグラウンド端子５９ｂ）並びに１対の第２検出端子（信号端子６１ａおよびグラウンド端子６１ｂ）を含む。第１検出端子の信号端子５９ａおよびグラウンド端子５９ｂ並びに第２検出端子の信号端子６１ａおよびグラウンド端子６１ｂは固定部１９に固定される。第１検出端子の信号端子５９ａは第１検出配線５５に電気的に接続される。第１検出端子のグラウンド端子５９ｂは第２検出配線５６に電気的に接続される。第２検出端子の信号端子６１ａは第３検出配線５７に電気的に接続される。第２検出端子のグラウンド端子６１ｂは第４検出配線５８に電気的に接続される。グラウンド端子５９ｂは信号端子５９ａと第１駆動端子４５との間に配置される。同様に、グラウンド端子６１ｂは信号端子６１ａと第２駆動端子４６との間に配置される。
（２）第１実施形態に係る振動片を含むジャイロセンサーの動作
次にジャイロセンサー１１の動作を簡単に説明する。図７に示されるように、角速度の検出にあたって第１振動腕２７ａ、２７ｂの駆動振動モードが確立される。第２振動腕２７ａ、２７ｂで振動が励起される。振動の励起にあたって振動片１５には第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から駆動信号が入力される。その結果、第１駆動電極４１ａ、４１ｂと第２駆動電極４２ａ、４２ｂとの間で振動片１５の本体１７に電界が作用する。特定の周波数の波形が入力されることで、第２振動腕２７ａ、２７ｂは第１基準平面ＲＰ１および第２基準平面ＲＰ２の間で屈曲振動する。すなわち、第２振動腕２７ａ、２７ｂは、回転軸２９を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に平行な仮想平面（以下、単に「仮想平面」という）の面内方向に隣同士で互いに逆向きに振動する。こうして第２振動腕２７ａ、２７ｂは相互に離れたり相互に近づいたりを繰り返す。
次にジャイロセンサー１１の動作を簡単に説明する。図７に示されるように、角速度の検出にあたって第１振動腕２７ａ、２７ｂの駆動振動モードが確立される。第２振動腕２７ａ、２７ｂで振動が励起される。振動の励起にあたって振動片１５には第１駆動端子４５および第２駆動端子４６から駆動信号が入力される。その結果、第１駆動電極４１ａ、４１ｂと第２駆動電極４２ａ、４２ｂとの間で振動片１５の本体１７に電界が作用する。特定の周波数の波形が入力されることで、第２振動腕２７ａ、２７ｂは第１基準平面ＲＰ１および第２基準平面ＲＰ２の間で屈曲振動する。すなわち、第２振動腕２７ａ、２７ｂは、回転軸２９を含み第１および第２基準平面ＲＰ１、ＲＰ２に平行な仮想平面（以下、単に「仮想平面」という）の面内方向に隣同士で互いに逆向きに振動する。こうして第２振動腕２７ａ、２７ｂは相互に離れたり相互に近づいたりを繰り返す。
ジャイロセンサー１１に角速度運動が加わると、図８に示されるように、回転軸２９回りの回転でコリオリ力が生起される。コリオリ力の作用に応じて第２振動腕２７ａ、２７ｂの振動方向が変化する。仮想平面に直角に交わる面外方向すなわち対称面３１に平行に隣同士で互いに反対向きに第２振動腕２７ａ、２７ｂは屈曲振動する。いわゆるウォークモード励振が引き起こされる。第２振動腕２７ａ、２７ｂは対称面３１に平行に振動する。このとき、コリオリ力に対応して対称面３１に平行に新たに力成分が生起される。
第２振動腕２７ａ、２７ｂのウォークモード励振は基部２５から第１振動腕２６ａ、２６ｂに伝播する。その結果、対称面３１に平行な力成分に基づき第１振動腕２６ａ、２６ｂの振動が引き起こされる。第１振動腕２６ａ、２６ｂは対称面３１に平行に隣同士で互いに逆向きに屈曲振動する。こうした屈曲振動に応じて第１振動腕２６ａ、２６ｂでは圧電効果に基づき電界が生じ、電荷が生み出される。第１振動腕２６ａの屈曲振動は第１検出電極対の信号電極４７ａおよびグラウンド電極４７ｂの間で電位差を生み出す。同様に、第１振動腕２６ｂの屈曲振動は第２検出電極対の信号電極４８ａおよびグラウンド電極４８ｂの間で電位差を生み出す。
このとき、振動片１５で第１振動モードが確立されると、第１振動腕２６ａ、２６ｂは第２振動腕２７ａ、２７ｂの屈曲振動と逆位相で屈曲振動する。すなわち、図８に示されるように、第１振動腕２６ａが前方に屈曲すると同時に第１振動腕２６ｂが後方に屈曲する際に、第２振動腕２７ａは後方に屈曲すると同時に第２振動腕２７ｂは前方に屈曲する。このタイミングで第２振動腕２７ａ、２７ｂは屈曲振動を繰り返す。振動片１５で第２振動モードが確立されると、第１振動腕２６ａ、２６ｂは第２振動腕２７ａ、２７ｂの屈曲振動と同位相で屈曲振動する。すなわち、図９に示されるように、第１振動腕２６ａが前方に屈曲すると同時に第１振動腕２６ｂが後方に屈曲する際に、第２振動腕２７ａは同様に前方に屈曲すると同時に第２振動腕２７ｂは後方に屈曲する。このタイミングで第２振動腕２７ａ、２７ｂは屈曲振動を繰り返す。
第２振動腕２７ａ、２７ｂのウォークモード励振は基部２５から第３振動腕２８ａ、２８ｂに伝播する。その結果、第３振動腕２８ａ、２８ｂの運動が引き起こされる。こうした運動に応じて第１調整用電極対４９および第２調整用電極対５１からそれぞれ電気信号が出力される。第１振動腕２６ａ、２６ｂの出力信号には第１調整用電極対４９の電気信号および第２調整用電極対５１の電気信号が重畳される。電気信号の大きさは調整される。調整の結果、第１および第２調整用電極対４９、５１の電気信号は漏れ振動の成分を打ち消すことができる。こうして出力信号のＳ／Ｎ比は向上する。
振動片１５では第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１は０．１５〜６．０の間に設定される。こうした設定によれば、角速度の検出感度は最大感度に対して５０％以上の感度に確保されることができる。振動片１５ごとの感度のばらつきは確実に低減されることができる。好ましくは、第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒは０．３〜３．０の間に設定される。かかる設定によれば、角速度の検出感度は最大感度に対して７０％以上の感度に確保されることができる。振動片１５ごとの感度のばらつきはさらに確実に低減されることができる。さらに好ましくは、第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒは０．５５〜１．８の間に設定される。かかる設定によれば、角速度の検出感度は最大感度に対して９０％以上の感度に確保されることができる。振動片１５ごとの感度のばらつきは一層確実に低減されることができる。
（３）振動片の検出感度の検証
本発明者は振動片１５の検出感度を検証した。検証にあたってコンピューターソフトウェアに基づきシミュレーションが実施された。シミュレーション上で振動片１５の解析モデルが構築された。解析モデルに基づきモーダル解析が実施された。第１振動腕２６ａ、２６ｂ上の信号電極４７ａ、４８ａから交流電流が供給された。解析モデルでは交流電流の供給に応じて第１振動モードおよび第２振動モードが設定された。第１振動モードおよび第２振動モードでそれぞれクリスタルインピーダンス（ＣＩ）が算出された。その結果、図１０に示されるように、第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が「１．０」に設定されると、検出感度の最大感度が得られることが見出された。加えて、振動片１５が０．１５〜６．０の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１を示すと、角速度の検出感度は最大感度に対して５０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片１５が０．３〜３．０の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒを示すと、角速度の検出感度は最大感度に対して７０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片１５が０．５５〜１．８の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１を示すと、角速度の検出感度は最大感度に対して９０％以上の感度に確保されることが見出された。
本発明者は振動片１５の検出感度を検証した。検証にあたってコンピューターソフトウェアに基づきシミュレーションが実施された。シミュレーション上で振動片１５の解析モデルが構築された。解析モデルに基づきモーダル解析が実施された。第１振動腕２６ａ、２６ｂ上の信号電極４７ａ、４８ａから交流電流が供給された。解析モデルでは交流電流の供給に応じて第１振動モードおよび第２振動モードが設定された。第１振動モードおよび第２振動モードでそれぞれクリスタルインピーダンス（ＣＩ）が算出された。その結果、図１０に示されるように、第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が「１．０」に設定されると、検出感度の最大感度が得られることが見出された。加えて、振動片１５が０．１５〜６．０の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１を示すと、角速度の検出感度は最大感度に対して５０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片１５が０．３〜３．０の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒを示すと、角速度の検出感度は最大感度に対して７０％以上の感度に確保されることが見出された。振動片１５が０．５５〜１．８の間にクリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１を示すと、角速度の検出感度は最大感度に対して９０％以上の感度に確保されることが見出された。
（４）第１実施形態に係る振動片の製造方法
ジャイロセンサー１１の製造にあたって振動片１５が製造される。水晶体から振動片１５の本体１７が削り出される。本体１７上には導電膜１８が形成される。導電膜１８は設計通りのパターンで形成される。導電膜１８の形成にあたって例えばフォトリソグラフィ技術が用いられることができる。ここでは、振動片１５の設計にあたってクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整される。
ジャイロセンサー１１の製造にあたって振動片１５が製造される。水晶体から振動片１５の本体１７が削り出される。本体１７上には導電膜１８が形成される。導電膜１８は設計通りのパターンで形成される。導電膜１８の形成にあたって例えばフォトリソグラフィ技術が用いられることができる。ここでは、振動片１５の設計にあたってクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整される。
容器１２が用意される。容器本体１３内にＩＣチップ１６が固着される。続いて容器本体１３内に振動片１５が固着される。接続端子群２１は接続端子群２２に接合される。第１および第２駆動端子４５、４６、第１検出端子５９ａ、５９ｂ、並びに、第２検出端子６１ａ、６１ｂはそれぞれ対応の接続端子に受け止められる。こうして振動片１５はＩＣチップ１６に電気的に接続される。
振動片１５で第１振動モードが確立される。信号電極４７ａ、４８ａおよびグラウンド電極４７ｂ、４８ｂに交流が供給される。その結果、第１振動腕２６ａ、２６ｂに交流の電界が印加される。このとき、第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１が測定される。
振動片１５で第２振動モードが確立される。信号電極４７ａ、４８ａおよびグラウンド電極４７ｂ、４８ｂに交流が供給される。その結果、第１振動腕２６ａ、２６ｂに交流の電界が印加される。このとき、第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２が測定される。こうして第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が算出される。算出された比率Ｒが所定の数値範囲に収まるか否かで適否判定を行う。算出された比率Ｒが所定の数値範囲に収まれば、振動片１５は適切であると判定され、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。算出された比率Ｒが所定の数値範囲に収まらなければ、振動片１５は不適と判定される。不適と判定された場合は、後述する方法により、クリスタルインピーダンスの比率Ｒを調整し所定の数値範囲に収めてもよい。
こうした製造方法によれば、クリスタルインピーダンスの比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が所定の数値範囲にあるか否かが判断されることができる。こうして所定の数値範囲にクリスタルインピーダンスの比率Ｒを有する振動片は製造されることができる。
（５）第２実施形態に係る振動片の構造
図１１は第２実施形態に係る振動片１５ａの一部を示す。この振動片１５ａでは基部２５側で第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に膜体６３が形成される。膜体６３は例えばニッケルなどの金属材料から形成される。その他、膜体６３は絶縁材料から形成されてもよい。ただし、膜体６３が金属材料から形成される場合には膜体６３は信号電極４７ａ、４８ａおよびグラウンド電極４７ｂ、４８ｂから電気的に切り離される。膜体６３は第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に重ねられ固定される。膜体６３は第１振動腕２６ａ、２６ｂの付け根から自由端に向かって広がる。膜体６３は基部２５の表面まで連続してもよい。膜体６３は第１振動腕２６ａ、２６ｂの付け根で剛性を高めることができる。膜体６３の大きさや厚みは要求される剛性の調整幅に応じて決定されればよい。その他、振動片１５ａの構成は前述の第１実施形態に係る振動片１５と同一に構成されることができる。この振動片１５ａでは膜体６３に基づきクリスタルインピーダンスの比率Ｒは所定の値に設定されることができる。こうした設定にあたって膜体６３の大きさや厚み、形成位置は調整される。膜体６３は電解めっきや無電解めっき、蒸着その他の方法で形成されることができる。こうして膜体６３の付加に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整されることができる。所望の振動片１５ａは製造されることができる。
図１１は第２実施形態に係る振動片１５ａの一部を示す。この振動片１５ａでは基部２５側で第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に膜体６３が形成される。膜体６３は例えばニッケルなどの金属材料から形成される。その他、膜体６３は絶縁材料から形成されてもよい。ただし、膜体６３が金属材料から形成される場合には膜体６３は信号電極４７ａ、４８ａおよびグラウンド電極４７ｂ、４８ｂから電気的に切り離される。膜体６３は第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に重ねられ固定される。膜体６３は第１振動腕２６ａ、２６ｂの付け根から自由端に向かって広がる。膜体６３は基部２５の表面まで連続してもよい。膜体６３は第１振動腕２６ａ、２６ｂの付け根で剛性を高めることができる。膜体６３の大きさや厚みは要求される剛性の調整幅に応じて決定されればよい。その他、振動片１５ａの構成は前述の第１実施形態に係る振動片１５と同一に構成されることができる。この振動片１５ａでは膜体６３に基づきクリスタルインピーダンスの比率Ｒは所定の値に設定されることができる。こうした設定にあたって膜体６３の大きさや厚み、形成位置は調整される。膜体６３は電解めっきや無電解めっき、蒸着その他の方法で形成されることができる。こうして膜体６３の付加に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整されることができる。所望の振動片１５ａは製造されることができる。
（６）第３実施形態に係る振動片の構造
図１２は第３実施形態に係る振動片１５ｂの一部を示す。この振動片１５ｂでは基部２５側で第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に膜体６４が形成される。膜体６４は膜体６３と同様に構成されることができる。膜体６４に隣接して第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面には除去痕６５が形成される。除去痕６５の大きさは要求される剛性の調整幅に応じて決定される。その他、振動片１５ｂの構成は前述の第１実施形態に係る振動片１５と同一に構成されることができる。この振動片１５ｂでは膜体６４に基づきクリスタルインピーダンスの比率Ｒは所定の値に設定されることができる。
図１２は第３実施形態に係る振動片１５ｂの一部を示す。この振動片１５ｂでは基部２５側で第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面に膜体６４が形成される。膜体６４は膜体６３と同様に構成されることができる。膜体６４に隣接して第１振動腕２６ａ、２６ｂの表面には除去痕６５が形成される。除去痕６５の大きさは要求される剛性の調整幅に応じて決定される。その他、振動片１５ｂの構成は前述の第１実施形態に係る振動片１５と同一に構成されることができる。この振動片１５ｂでは膜体６４に基づきクリスタルインピーダンスの比率Ｒは所定の値に設定されることができる。
（７）第３実施形態に係る振動片の製造方法
まず、第２実施形態に係る振動片１５ａが製造される。このとき、膜体６３の大きさは剛性の調整幅の最大値に基づき決定される。振動片１５ａは容器本体１３内に固着される。振動片１５ａはＩＣチップ１６に電気的に接続される。前述と同様に、振動片１５ａで第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が算出される。算出された比率Ｒが所定の数値範囲に収まれば、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。
まず、第２実施形態に係る振動片１５ａが製造される。このとき、膜体６３の大きさは剛性の調整幅の最大値に基づき決定される。振動片１５ａは容器本体１３内に固着される。振動片１５ａはＩＣチップ１６に電気的に接続される。前述と同様に、振動片１５ａで第１振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モード時のクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１が算出される。算出された比率Ｒが所定の数値範囲に収まれば、容器本体１３の開口は蓋材１４で気密に塞がれる。容器１２の内部空間は封止される。ジャイロセンサー１１の製造は完了する。
その一方で、クリスタルインピーダンスの比率Ｒが所定の数値範囲から外れると、膜体６３は部分的に除去される。膜体６３の除去に応じてクリスタルインピーダンスの比率Ｒは調整される。除去にあたって例えば膜体６３にレーザー光線が照射される。レーザー光線の照射に応じて膜体６３は部分的に昇華する。膜体６３の昇華に応じて除去痕６５が形成される。こうして所定の大きさに調整された膜体６４が形成される。所望の振動片１５ｂは製造されることができる。
（８）電子機器その他
図１３は電子機器の一具体例としてのスマートフォン２０１を概略的に示す。スマートフォン２０１には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はスマートフォン２０１の姿勢を検出することができる。いわゆるモーションセンシングが実施される。ジャイロセンサー１１の検出信号は例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）２０２に供給されることができる。ＭＰＵ２０２はモーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。その他、こういったモーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の電子機器で利用されることができる。モーションセンシングの実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
図１３は電子機器の一具体例としてのスマートフォン２０１を概略的に示す。スマートフォン２０１には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はスマートフォン２０１の姿勢を検出することができる。いわゆるモーションセンシングが実施される。ジャイロセンサー１１の検出信号は例えばマイクロコンピューターチップ（ＭＰＵ）２０２に供給されることができる。ＭＰＵ２０２はモーションセンシングに応じて様々な処理を実行することができる。その他、こういったモーションセンシングは、携帯電話機、携帯型ゲーム機、ゲームコントローラー、カーナビゲーションシステム、ポインティングデバイス、ヘッドマウンティングディスプレイ、タブレットパソコン等の電子機器で利用されることができる。モーションセンシングの実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
図１４は電子機器の他の具体例としてのデジタルスチルカメラ（以下「カメラ」という）２０３を概略的に示す。カメラ２０３には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１はカメラ２０３の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１１の検出信号は手ぶれ補正装置２０４に供給されることができる。手ぶれ補正装置２０４はジャイロセンサー１１の検出信号に応じて例えばレンズセット２０５内の特定のレンズを移動させることができる。こうして手ぶれは補正されることができる。その他、手ぶれ補正はデジタルビデオカメラで利用されることができる。手ぶれ補正の実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
図１５は移動体の一具体例としての自動車２０６を概略的に示す。自動車２０６には振動片１５、１５ａ、１５ｂ、１５ｄ〜１５ｆを有するジャイロセンサー１１が組み込まれる。ジャイロセンサー１１は車体２０７の姿勢を検出することができる。ジャイロセンサー１１の検出信号は車体姿勢制御装置２０８に供給されることができる。車体姿勢制御装置２０８は例えば車体２０７の姿勢に応じてサスペンションの硬軟を制御したり個々の車輪２０９のブレーキを制御したりすることができる。その他、こういった姿勢制御は二足歩行ロボットや航空機、ヘリコプター等の各種移動体で利用されることができる。姿勢制御の実現にあたってジャイロセンサー１１は組み込まれることができる。
なお、上記のように本実施形態について詳細に説明したが、本発明の新規事項および効果から実体的に逸脱しない多くの変形が可能であることは当業者には容易に理解できるであろう。したがって、このような変形例はすべて本発明の範囲に含まれる。例えば、上記実施形態では、振動片としての形成材料として水晶を用いた例を説明したが、水晶以外の圧電体材料を用いることができる。窒化アルミニウム（ＡｌＮ）やニオブ酸リチウム（ＬｉＮｂＯ３）、タンタル酸リチウム（ＬｉＴａＯ３）、チタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）、四ホウ酸リチウム（Ｌｉ２Ｂ４Ｏ７）、ランガサイト（Ｌａ３Ｇａ５ＳｉＯ１４）などの酸化物基板や、ガラス基板上に窒化アルミニウムや五酸化タンタル（Ｔａ２Ｏ５）などの圧電体材料を積層させて構成された積層圧電基板、あるいは、圧電セラミックスなどを用いることができる。また、明細書または図面において、少なくとも一度、より広義または同義な異なる用語とともに記載された用語は、明細書または図面のいかなる箇所においても、その異なる用語に置き換えられることができる。また、振動片１５、１５ａ、１５ｂやジャイロセンサー１１、電子機器、移動体等の構成および動作も本実施形態で説明したものに限定されず、種々の変形が可能である。
１１ ジャイロセンサー、１５ 振動片、１５ａ 振動片、１５ｂ 振動片、２６ａ 検出用振動腕（第１振動腕）、２６ｂ 検出用振動腕（第１振動腕）、２７ａ 駆動用振動腕（第２振動腕）、２７ｂ 駆動用振動腕（第２振動腕）、２９ 回転軸、６３ 膜体、６４ 膜体、６５ 除去痕、２０１ 電子機器（スマートフォン）、２０３ 電子機器（デジタルスチルカメラ）、２０６ 移動体（自動車）。
Claims (3)
- 基部と、前記基部から第１方向に沿って延びている第１および第２検出用振動腕と、前記基部から前記第１方向と反対向きの第２方向に沿って延びている第１および第２駆動用振動腕とを備え、前記第１および前記第２検出用振動腕は、前記第１方向と交わる第３方向に沿って並んで配置され、前記第１および前記第２駆動用振動腕は、前記第３方向に沿
って並んで配置されている振動片に対して、前記第１および第２検出用振動腕に通電し、前記第１および前記第２駆動用振動腕を前記第１方向および前記第３方向を含む面と交わる面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第１振動と、前記第１および前記第２検出用振動腕を前記第１振動と逆位相で前記面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第２振動と、を含む第１振動モードを前記振動片に励起させ、前記第１振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ１を測定する工程と、
前記振動片に対して、前記検出用振動腕に通電し、前記第１および前記第２駆動用振動腕を前記面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第３振動と、前記第１および前記第２検出用振動腕を前記第３振動と同位相で前記面外方向に沿って互いに逆向きに屈曲振動させる第４振動と、を含む第２振動モードを前記振動片に励起させ、前記第２振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ２を測定する工程と、
前記第１振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ１に対する第２振動モードのクリスタルインピーダンスＣＩ２の比率Ｒ＝ＣＩ２／ＣＩ１を算出し前記振動片の適否判定を行う工程と
を備えることを特徴とする振動片の製造方法。 - 請求項１に記載の振動片の製造方法において、前記検出用振動腕の表面に膜体を形成する工程をさらに備えることを特徴とする振動片の製造方法。
- 請求項２に記載の振動片の製造方法において、前記検出用振動腕の表面に形成される膜体を除去する工程をさらに備えることを特徴とする振動片の製造方法。
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