JP6074967B2 - 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 - Google Patents

Description

本発明は、振動片、およびこれを用いた振動子、電子デバイス、電子機器、並びに移動体に関する。

従来から、角速度を検出するための振動片として、いわゆる「ダブルＴ型」のジャイロ振動片が知られている（例えば、特許文献１参照）。特許文献１に記載されているジャイロ振動片は、基部と、基部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２検出振動腕（検出アーム）と、基部から両側へｘ軸に沿って延出している第１、第２連結腕（連結アーム）と、第１連結腕から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２駆動振動腕（駆動アーム）と、第２連結腕から両側へｙ軸に沿って延出している第３、第４駆動振動腕（駆動アーム）と、第１、第２検出振動腕および第１ないし第４駆動振動腕の先端部に幅広に設けられた重量部と、を含んでいる。

上述のようなジャイロ振動片は、近年、例えば、携帯機器、或いは車載機器など、その用途が拡大している。これにより、使用される温度環境も多岐に渡り、広い温度範囲において安定に動作することも要求されるようになっている。また、併せて小型化も要求されるようになっている。

このようなジャイロ振動片においては、室温において、第１ないし第４駆動振動腕の共振周波数ｆｄ（Ｈｚ）（以下、「駆動振動周波数ｆｄ」という。）を一定値に調節しても、周囲温度が高温や低温に変化したとき、共振周波数の変動や特性の変動などの所謂温度ドリフトが発生する。この温度ドリフトの発生には、面外屈曲振動モードなどの不要振動が影響することが知られている。この温度ドリフトの抑制のため、例えば、特許文献２には、面外屈曲モードとしての面外屈曲一次モード振動周波数ｆｓ１を、ｆｄ×２．２≦ｆｓ１≦ｆｄ×２．８、またはｆｄ×３．２≦ｆｓ１≦ｆｄ×３．８のいずれかとすることが提案されている。

特開２００６−２０１０１１号公報 特開２００８−２６１１０号公報

しかしながら、前述の従来技術のジャイロ振動片では、駆動振動周波数ｆｄと面外屈曲モード振動周波数ｆｓとの関係においては有効であったが、面外屈曲モードと異なる不要振動に対しては効果が十分でなく、更なる温度ドリフトの低減が求められていた。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部の一端から延出されている第１振動腕と、前記一端と反対側の前記基部の他端から延出されている第２振動腕と、を備え、前記第１振動腕および前記第２振動腕が、前記第１振動腕または前記第２振動腕が延出している第１方向と直交する第２方向に沿って振動する駆動振動周波数ｆｄと、前記基部の重心と前記第１振動腕および前記第２振動腕とが、前記第１方向に沿って互いに同じ方向に振動するｙ１モード振動周波数ｆｙ１と、前記基部の重心と前記第１振動腕および前記第２振動腕とが、前記第１方向に沿って互いに逆方向に振動するｙ２モード振動周波数ｆｙ２と、の関係が、｜ｆｄ−ｆｙ１｜＞｜ｆｄ−ｆｙ２｜であることを特徴とする。

上述の振動片におけるｙ２モード、およびｙ１モードは、振動片が駆動している（動作している）際に、僅かではあるが励起される不要振動である。ｙ２モードは、基部の重心と、第１振動腕および第２振動腕と、が第１方向に沿って互いに反対方向に動く（振動する）振動モードである。このようなｙ２モードの振動においては、基部の重心と第１振動腕、および第２振動腕とが第１方向に沿って互いに反対方向に動くため、それぞれの動きによる振動が閉じ込められることになる。これに対し、ｙ１モードの振動は、基部の重心と第１振動腕、および第２振動腕とが第１方向に沿って同じ方向に動く（振動する）振動モードである。このため、基部の振動と第１振動腕、および第２振動腕の振動とが、閉じ込めきれずに不要モード振動として振動片の温度ドリフトに影響を与えてしまっていた。なお、ｙ２モード、ｙ１モードの振動は、ｙ２モード振動周波数ｆｙ２、あるいはｙ１モード振動周波数ｆｙ１が、第１振動腕、および第２振動腕の駆動振動周波数ｆｄに近づくことによって励起され易い。

上述の適用例１によれば、第１振動腕、および第２振動腕の駆動振動周波数ｆｄと、ｙ１モードのｙ１モード振動周波数ｆｙ１と、ｙ２モードのｙ２モード振動周波数ｆｙ２と、の関係が、｜ｆｄ−ｆｙ１｜＞｜ｆｄ−ｆｙ２｜としている。即ち、不要モード振動として振動片の温度ドリフトに影響し易いｙ１モード振動周波数ｆｙ１と、第１振動腕、および第２振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差を、ｙ２モード振動周波数ｆｙ２と第１振動腕、および第２振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差より大きくする。これにより、不要モード振動として振動片の温度ドリフトに影響するｙ１モードの振動が励起され難くなるため、振動片の温度ドリフトへの影響を抑えることができ、温度ドリフトの少ない安定した特性の振動片を提供することが可能となる。

［適用例２］上記適用例に記載の振動片において、前記基部から延出され、平面視で互いに反対方向に延伸されている第１梁および第２梁と、前記第１梁と連結されている第１固定部と、前記第１梁と平面視で前記基部を挟んで反対側に設けられ、前記第２梁と連結されている第２固定部と、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、基部から互いに反対方向に延伸されている第１梁および第２梁を介して第１固定部および第２固定部が設けられている。このように、基部が対向配置された第１固定部および第２固定部のそれぞれに連結されているため、基部から梁にかけて生じる応力を緩和することが可能となり、梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。

［適用例３］上記適用例に記載の振動片において、前記第１梁、および前記第２梁の厚さは、前記基部の厚さよりも薄いことを特徴とする。

本適用例によれば、第１梁、および第２梁の厚さを、基部の厚さよりも薄くすることにより、ｙ１モードのｙ１モード振動周波数ｆｙ１を、第１振動腕、および第２振動腕の駆動振動周波数ｆｄから遠ざけることができる。即ち、温度ドリフトの少ない振動片を提供することが可能となる。

［適用例４］上記適用例に記載の振動片において、前記第１梁および前記２梁は、前記第１方向に沿って延伸されており、前記第１梁の前記第１振動腕側、および前記第２梁の前記第２振動腕側には、突起部が設けられていることを特徴とする。

本適用例によれば、厚みが薄くなることにより剛性が低下して変形し易くなった第１梁、および第２梁が、外部から加えられた衝撃などによって変形しても、設けられている突起部が第１振動腕あるいは第２振動腕に接触する。換言すれば、第１梁、および第２梁に設けられている突起部が、衝撃を吸収する、所謂緩衝材として機能し、振動片の破損などを防止することが可能となる。

［適用例５］上記適用例に記載の振動片において、前記基部から両側へ前記第１方向に沿って延出されている第１および第２検出振動腕を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、第１検出用振動腕と第２検出用振動腕とを備えているため、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。

［適用例６］上記適用例に記載の振動片において、前記第１振動腕は、第１および第２駆動振動腕を備え、前記第２振動腕は、第３および第４駆動振動腕を備え、前記第１梁は、前記基部から延出され、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通る第１連結梁と、前記基部から延出され、前記第１検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通る第２連結梁と、を備え、前記第２梁は、前記基部から延出され、前記第２検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通る第３連結梁と、前記基部から延出され、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通る第４連結梁と、を備え、前記基部は、前記第１連結梁、前記第２連結梁、前記第３連結梁、および前記第４連結梁を介して前記第１固定部、及び前記第２固定部と連結されている、ことを特徴とする。

本適用例によれば、第１連結梁〜第４連結梁のそれぞれの梁によって、基部が対向配置された第１固定部および第２固定部のそれぞれに連結されている。これにより、基部から梁にかけて生じる応力を緩和することが可能となり、梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。したがって、振動モレ現象による温度ドリフトを低減させることが可能となり、さらに前述の不要振動による温度ドリフトの低減と合わせて、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。

［適用例７］本適用例に係る振動子は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、前記振動片が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、前述の振動片を用いていることから、特性の安定した振動子、特に温度ドリフトを低減させた信頼性の高い振動子を提供することが可能となる。

［適用例８］本適用例に係る電子デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片と、少なくとも前記振動片を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、前述の振動片を用いていることから、特性の安定した電子デバイス、特に温度ドリフトを低減させた信頼性の高い電子デバイスを提供することが可能となる。

［適用例９］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、前述の振動片を用いていることから、特性の安定した電子機器、特に温度ドリフトの低減などによる信頼性の高い電子機器を提供することが可能となる。

［適用例１０］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動片を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、前述の振動片を用いていることから、温度変化に対する信頼性の高い移動体を提供することが可能となる。

本発明にかかる振動片の第１実施形態、およびその振動片を用いた振動子の実施形態を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。 第１実施形態のジャイロ素子を示す平面図。 ジャイロ素子の駆動を説明する平面図。 不要モード振動を説明する図であり、（ａ）はｙ１モードの振動、（ｂ）はｙ２モードの振動を示す概略斜視図。 （ａ）〜（ｃ）は、ジャイロ素子の特性を説明するための説明図。 振動子の出力温度変動幅を示すグラフ。 第２実施形態のジャイロ素子を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＱ−Ｑ断面図。 第３実施形態のジャイロ素子を示す平面図。 本発明にかかる振動片を用いた電子デバイスを示す正断面図。 電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。 電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。 電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。 移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。

以下、本発明の振動片および振動子を添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜実施形態＞
先ず、本発明にかかる振動片の実施形態、およびその振動片を適用した振動子の実施形態について説明する。

図１は、本発明にかかる振動片の第１実施形態、およびその振動片を用いた振動子の実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。図２は、図１に示す振動子が備える振動片としてのジャイロ素子を示す平面図である。図３は、ジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。

図１に示す振動子１は、振動片としてのジャイロ素子（振動素子）２と、ジャイロ素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、ジャイロ素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。

（第１実施形態のジャイロ素子）
図２は、上側（リッド９２側）から見た振動片としてのジャイロ素子の第１実施形態を示す平面図である。なお、ジャイロ素子には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、同図においては省略している。

振動片としてのジャイロ素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサーであって、図示しないが、基材と、基材の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。
ジャイロ素子２は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできるジャイロ素子２が得られる。
このようなジャイロ素子２は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部としての第１固定部５１および第２固定部５２と、振動体４と第１固定部５１とを連結する第１梁としての第１連結梁６１および第２連結梁６２と、振動体４と第２固定部５２とを連結する第２梁としての第３連結梁６３および第４連結梁６４とを有している。

振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、および第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の幅広部としての重量部（ハンマーヘッド）４２５、４２６、４４５、４４７、４４６、４４８が設けられている。このような重量部４２５、４２６、４４５、４４７、４４６、４４８を設けることでジャイロ素子２の角速度の検出感度が向上するとともに、第１、第２検出振動腕４２１、４２２、および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の長さを短くすることができる。

なお、第１、第２駆動振動腕４４１、４４３は、第１連結腕４３１の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第３、第４駆動振動腕４４２、４４４は、第２連結腕４３２の延在方向の途中から延出してもよい。
また、本例では、基部４１から延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２から第１駆動振動腕４４１、第３駆動振動腕４４２、第２駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４が延出している構成で説明したが、基部４１と第１連結腕４３１と第２連結腕４３２とを含めて基部とすることも可能である。即ち、基部から第１駆動振動腕、第２駆動振動腕、第３駆動振動腕、および第４駆動振動腕が延出している構成も可能である。
また、第１、第２固定部５１、５２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在しており、これら第１、第２固定部５１、５２の間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１、第２固定部５１、５２は、振動体４を介してｙ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１固定部５１は、第１連結梁６１、および第２連結梁６２を介して基部４１と連結されており、第２固定部５２は、第３連結梁６３、および第４連結梁６４を介して基部４１と連結されている。

第１連結梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１固定部５１と基部４１を連結し、第２連結梁６２は、第１検出振動腕４２１と第２駆動振動腕４４３との間を通って第１固定部５１と基部４１を連結し、第３連結梁６３は、第２検出振動腕４２２と第３駆動振動腕４４２との間を通って第２固定部５２と基部４１を連結し、第４連結梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第２固定部５２と基部４１を連結している。

このような各連結梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って往復しながらｙ軸方向に沿って延びる蛇行部（Ｓ字形状部）を有しており、ｘ軸方向およびｙ軸方向に弾性を有している。また、各連結梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、蛇行部を有する細長い形状を有しているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各連結梁６１、６２、６３、６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。

上述のような構成のジャイロ素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、図３（ａ）に示すように、各駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４が矢印Ａに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１、４４３と、第３、第４駆動振動腕４４２、４４４とは、中心点Ｇ（重心Ｇ）を通るｙｚ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１、４３２と、第１、第２検出振動腕４２１、４２２とは、殆んど振動しない。

この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子２にｚ軸まわりに角速度ωが加わると、図３（ｂ）に示すような振動が発生する。即ち、駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４および連結腕４３１、４３２に矢印Ｂ方向のコリオリの力が働き、この矢印Ｂ方向の振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１、４２２の歪みを検出信号電極（図示せず）および検出接地電極（図示せず）が検出して角速度ωが求められる。

（ジャイロ素子の不要振動モード）
ここで、ジャイロ素子２における不要振動について説明する。ジャイロ素子２においては、ジャイロ素子２が駆動している（動作している）際に、僅かではあるが励起される不要振動が発生する。この不要振動には種々の振動モードが存在するが、発明者らは、次に示す２つの振動モード（ｙ１モードの振動、およびｙ２モードの振動）がジャイロ素子２の特性における温度ドリフトに大きな影響を持つことに着目した。

ここで図４、図５を用いてｙ１モード、およびｙ２モードの振動とそのジャイロ素子２の特性に対する影響について説明する。ｙ１モード、およびｙ２モードの振動は、ジャイロ素子２が駆動している（動作している）際に、僅かではあるが励起される不要振動である。図４は、不要振動モードとしてのｙ１モード、およびｙ２モードの振動について説明する図であり、（ａ）はｙ１モードの振動、（ｂ）はｙ２モードの振動を示す概略斜視図である。図５（ａ）〜（ｃ）は、不要振動モードとしてのｙ１モード、およびｙ２モードの振動が、ジャイロ素子２の特性に与える影響についての説明図である。

先ず、ｙ１モードの振動について説明する。図４（ａ）に示すように、基部４１の重心Ｇは、基部４１からｙ軸方向に沿って延出されている第１、第２検出振動腕４２１、４２２とともに図示矢印Ｐ１の方向（−ｙ軸方向）に移動する。このとき、基部４１から第１、第２連結腕４３１、４３２を介して延出されている第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４は、図示矢印Ｐ１の方向（−ｙ軸方向）に移動する。即ち、ｙ１モードは、基部４１と、第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４と、が同じ方向に動く（振動する）振動モードである。

このようなｙ１モードの振動においては、基部４１の重心Ｇと第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４とが同じ方向に動くため、基部４１の振動と第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の振動とが、閉じ込めきれずにジャイロ素子２の振動特性、特に温度に依存する特性変動である温度ドリフトに影響を与えてしまう。即ち、図５（ａ）に示す曲線Ｌ２のように、温度が変化するにつれてジャイロ素子２の出力特性が変動する出力の変動幅が大きくなる、所謂温度ドリフトが大きくなってしまう。なお、温度ドリフトが生じなければ、曲線Ｌ１のように殆んどふらつきのない特性が得られる。

次に、ｙ２モードの振動について説明する。図４（ｂ）に示すように、基部４１の重心Ｇは、基部４１からｙ軸方向に沿って延出されている第１、第２検出振動腕４２１、４２２とともに図示矢印Ｐ１の方向（−ｙ軸方向）に移動する。このとき、基部４１から第１、第２連結腕４３１、４３２を介して延出されている第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４は、図示矢印Ｐ２の方向（＋ｙ軸方向）に移動する。即ち、ｙ２モードは、基部４１の重心Ｇと、第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４と、が互いに反対方向に動く（振動する）振動モードである。

このようなｙ２モードの振動においては、基部４１の重心Ｇと、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４とが、互いに反対方向に動くため、それぞれの動きによる振動が相殺され、それにより振動が閉じ込められることになる。したがって、このｙ２モードの振動は、ジャイロ素子２の振動特性、特に温度に依存する特性変動である温度ドリフトには、殆んど影響を与えることが無い。

次に、ｙ１モード、およびｙ２モードの励起について説明する。ここでは、ｙ１モードの振動周波数をｙ１モード振動周波数ｆｙ１、ｙ２モードの振動周波数をｙ２モード振動周波数ｆｙ２、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の共振周波数を振動腕の駆動振動周波数ｆｄとして説明する。

ｙ１モード、およびｙ２モードの振動は、図５（ｂ）に示すように、ｙ２モード振動周波数ｆｙ２と振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差｜ｆｄ−ｆｙ２｜が、ｙ１モード振動周波数ｆｙ１と振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差｜ｆｄ−ｆｙ１｜より大きい場合は、ｙ１モードの振動が励起され易くなる。これに対し、図５（ｃ）に示すように、ｙ２モード振動周波数ｆｙ２と振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差｜ｆｄ−ｆｙ２｜が、ｙ１モード振動周波数ｆｙ１と振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差｜ｆｄ−ｆｙ１｜より小さい場合は、ｙ２モードの振動が励起され易くなり、これによってｙ１モードの振動の励起が抑えられ、励起し難くなる。

図６は、ｙ２モード振動周波数ｆｙ２と振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差｜ｆｄ−ｆｙ２｜とｙ１モード振動周波数ｆｙ１と振動腕の駆動振動周波数ｆｄとの差｜ｆｄ−ｆｙ１｜との関係が、ジャイロ素子２の出力の温度変動幅に対して生じる影響を示すグラフである。図６に示すように、｜ｆｄ−ｆｙ２｜／｜ｆｄ−ｆｙ１｜が、「１」即ち｜ｆｄ−ｆｙ２｜と｜ｆｄ−ｆｙ１｜が等しくなる点を境に、数字が小さくなる側（駆動振動周波数ｆｄにｙ２モード振動周波数ｆｙ２の方が近い場合）は、ジャイロ素子２の出力の温度変動幅が極端に小さくなっていることが分かる。また、｜ｆｄ−ｆｙ２｜／｜ｆｄ−ｆｙ１｜が、「１」即ち｜ｆｄ−ｆｙ２｜と｜ｆｄ−ｆｙ１｜が等しくなる点を境に、数字が大きくなる側（駆動振動周波数ｆｄにｙ１モード振動周波数ｆｙ１の方が近い場合）は、ジャイロ素子２の出力の温度変動幅が極端に大きくなっていることが分かる。このように、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の駆動振動周波数ｆｄと、ｙ１モード振動周波数ｆｙ１と、ｙ２モード振動周波数ｆｙ２と、の関係を、｜ｆｄ−ｆｙ１｜＞｜ｆｄ−ｆｙ２｜とすることで、ｙ１モードの振動が励起され難くなり、ジャイロ素子２の出力特性の温度ドリフトへの影響を抑制させることが可能となる。

したがって、上述のジャイロ素子２は、不要モード振動として温度ドリフトに影響するｙ１モードの振動が励起され難くなっているため、ジャイロ素子２の出力特性に関する温度ドリフトを抑制することが可能となる。これにより、温度ドリフトの少ない安定した特性のジャイロ素子２を提供することが可能となる。

（パッケージ）
パッケージ９は、ジャイロ素子２を収納するものである。なお、パッケージ９には、後述する電子デバイスのように、ジャイロ素子２の他に、ジャイロ素子２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。

パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）９２とを有している。また、ベース９１は、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有している。このようなパッケージ９は、その内側に収納空間を有しており、この収納空間内に、ジャイロ素子２が気密的に収納、設置されている。

ジャイロ素子２は、第１、第２固定部５１、５２にて、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８を介して底板９１１の上面に固定されている。第１、第２固定部５１、５２は、ジャイロ素子２のｙ軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板９１１に固定することにより、ジャイロ素子２の振動体４が両持ち支持され、ジャイロ素子２を底板９１１に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子２の不要な振動（検出振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。

また、導電性固定部材８は、第１、第２固定部５１、５２に設けられている２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応（接触）して、かつ互いに離間して６つ設けられている。また、底板９１１の上面には、２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応する６つの接続パッド１０が設けられており、導電性固定部材８を介して、これら各接続パッド１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。

上述の振動子１によれば、不要モード振動として振動片の温度ドリフトに影響するｙ１モードの振動が励起され難くいジャイロ素子２を用いているため、ジャイロ素子２の出力特性に関する温度ドリフトを抑制することが可能となる。したがって、出力特性の温度ドリフトの少ない安定した振動子１を得ることができる。
また、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３、第４連結梁６４のそれぞれの梁によって、基部４１が対向配置された第１固定部５１および第２固定部５２のそれぞれに連結されている。これにより、基部４１から第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３、第４連結梁６４にかけて生じる応力を緩和することが可能となり、これらの梁に伝播している振動モレ現象による振動の第１固定部５１および第２固定部５２への伝播を低減することが可能となる。したがって、振動モレ現象による温度ドリフトを低減させることが可能となり、前述の不要振動による温度ドリフトの低減と合わせて、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。

（ジャイロ素子の第２実施形態）
ジャイロ素子の第２実施形態について図７を用いて説明する。図７は、第２実施形態のジャイロ素子を示し、（ａ）は平面図、（ｂ）は（ａ）のＱ−Ｑ断面図である。なお、本第２実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することもある。

図７（ａ）、（ｂ）に示すように、第２実施形態のジャイロ素子２ａは、第１実施形態のジャイロ素子２と同様に、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する第１固定部５１および第２固定部５２と、振動体４と第１、第２固定部５１、５２とを連結する梁としての第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４とを有している。

振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、および第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の幅広部としての重量部（ハンマーヘッド）４２５、４２６、４４５、４４７、４４６、４４８が設けられている。

第２実施形態のジャイロ素子２ａは、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４の厚みが、基部４１の厚みより薄くなるように構成されている。第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４は、それぞれ基部４１から延出される部分から段差状に薄肉形状となり、第１、第２固定部５１、５２との接続部分まで薄肉形状が続いている。

このように、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４を薄肉形状とすることにより、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４の剛性が弱まる。これにより、第１実施形態のように、ｙ１モードのｙ１モード振動周波数ｆｙ１を、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の駆動振動周波数ｆｄから遠ざけることができ、また、ｙ２モードのｙ２モード振動周波数ｆｙ２を、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の駆動振動周波数ｆｄに近づけることができる。即ち、第１実施形で説明した周波数条件（｜ｆｄ−ｆｙ１｜＞｜ｆｄ−ｆｙ２｜）を満たしており、温度ドリフトの少ないジャイロ素子２ａを提供することが可能となる。

なお、変形例として、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４の剛性を弱くするため、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４の幅を細くすることも効果的である。

（ジャイロ素子の第３実施形態）
ジャイロ素子の第３実施形態について図８を用いて説明する。図８は、第３実施形態のジャイロ素子を示す平面図である。なお、本第３実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することもある。

図８に示すように、第２実施形態のジャイロ素子２ｂは、第１実施形態のジャイロ素子２と同様に、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する第１固定部５１および第２固定部５２と、振動体４と第１、第２固定部５１、５２とを連結する梁としての第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４とを有している。

振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、および第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の幅広部としての重量部（ハンマーヘッド）４２５、４２６、４４５、４４７、４４６、４４８が設けられている。

第３実施形態のジャイロ素子２ｂは、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４、あるいは第１連結腕４３１、第２連結腕４３２の側の第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４に突起部６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂが設けられている。

このように、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４に突起部６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂが設けられていることにより、例えば、外部からの衝撃により第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４が変形した場合でも、設けられている突起部６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂのいずれかが第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４、あるいは第１連結腕４３１、第２連結腕４３２に接触することになる。換言すれば、突起部６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂが衝撃を吸収する、所謂緩衝材として機能し、ジャイロ素子２ｂの破損などを防止することが可能となる。特に、第２実施形態のジャイロ素子２ａのように第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４の剛性を弱くした構成では、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４が変形し易いため、より大きな効果を得ることができる。

また、本第３実施形態のジャイロ素子２ｂにおいても、第１、および第２実施形態のように、ｙ１モードのｙ１モード振動周波数ｆｙ１を、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の駆動振動周波数ｆｄから遠ざけることができ、また、ｙ２モードのｙ２モード振動周波数ｆｙ２を、第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４の駆動振動周波数ｆｄに近づけることができる。即ち、第１、および第２実施形態のような周波数条件（｜ｆｄ−ｆｙ１｜＞｜ｆｄ−ｆｙ２｜）を満たしており、温度ドリフトの少ないジャイロ素子２ｂを提供することが可能となる。

なお、上述では、突起部６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂを、第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４に設ける例で説明したが、この構成に限らない。例えば、突起部を第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３および第４連結梁６４に対向する側の第１〜第４駆動振動腕４４１、４４３、４４２、４４４、あるいは第１連結腕４３１、第２連結腕４３２に設ける構成でもよい。

なお、上述の実施形態では、本発明に係る振動片の一例として、所謂「ダブルＴ型」ジャイロ素子２、２ａ、２ｂを用いて説明したがこれに限らない。本発明に係る振動片は、基部の一端および反対側の他端から、即ち基部の両側へ延出された振動腕を有する構成であればよく、例えば、所謂「Ｈ型」ジャイロ振動素子、基部から互いに反対方向に延出している音叉振動腕を有する振動素子などがあげられる。

また、本発明に係る振動片は、基板上に形成された圧電薄膜を振動源とする圧電薄膜駆動型の振動片、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）型の振動片、静電駆動型の振動片などにも適用することが可能である。

［電子デバイス］
次に、上述のジャイロ素子２、２ａ、２ｂを用いた電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーについて、図９を用いて説明する。図９はジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。なお、ここでの説明では、上述の実施形態の内、第１実施形態のジャイロ素子２を用いた例で説明する。

ジャイロセンサー８０は、振動片としてのジャイロ素子２、回路素子としてのＩＣ８４、パッケージとしての収容器８１、蓋体８６を備えている。セラミックなどで形成された収容器８１の底面にはＩＣ８４が配置され、Ａｕなどのワイヤー８５で収容器８１に形成された配線（図示せず）と電気的接続がなされている。ＩＣ８４にはジャイロ素子２を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子２に生ずる検出信号を検出する検出回路とを含んでいる。
ジャイロ素子２は、収容器８１に形成された支持台８２に、ジャイロ素子２の固定部５１、５２が導電性接着剤などの固定部材８３を介して接着支持されている。また、支持台８２表面には配線（図示せず）が形成され、ジャイロ素子２の電極と配線間の導通が固定部材８３を介してなされている。この固定部材８３は、弾性のある材料であることが望ましい。弾性を有する固定部材８３としてはシリコーンを基材とする導電性接着剤などが知られている。そして、収容器８１内を真空雰囲気に保持し、収容器８１の上部の開口が蓋体８６にて封止されている。

ジャイロ素子２において、不要モード振動であるｙ１モードの振動が抑制されていることから、ｙ１モードの振動の影響によるジャイロ素子２の温度ドリフトを低減させることができる。したがって、このジャイロ素子２を用いたジャイロセンサー８０も温度ドリフトが低減された安定した特性を有している。

上述の電子デバイスの説明では、振動片として所謂ダブルＴ型のジャイロ素子２、２ａ、２ｂを用いたジャイロセンサー８０を例に説明したが、電子デバイスとしてはこれに限らない。他の電子デバイスとしては、例えば素子としてＨ型、あるいは音叉型のジャイロ素子を用いたジャイロセンサー、水晶振動素子（振動片）を用いたタイミングデバイス（水晶振動子、水晶発振器など）、感圧素子を用いた圧力センサーなどであってもよい。

［電子機器］
次いで、本発明の一実施形態に係る振動片としてのジャイロ素子２、２ａ、２ｂ、振動片としてのジャイロ素子２、２ａ、２ｂを用いた振動子１、あるいは電子デバイスとしてのジャイロセンサー８０を適用した電子機器について、図１０〜図１２に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、振動片としてのジャイロ素子２を用いた振動子１を適用した例を示している。

図１０は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１００を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度を検出する機能を備えたジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。

図１１は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１００が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。

図１２は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。
デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１００が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１００は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。
撮影者が表示部１００に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。

なお、本発明の一実施形態に係る振動子１は、図１０のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１１の携帯電話機、図１２のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。

［移動体］
図１３は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車１０６には本発明に係るジャイロ素子２を用いた振動子１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車１０６には、ジャイロ素子２を用いた振動子１を内蔵してタイヤ１０９などを制御する電子制御ユニット１０８が車体１０７に搭載されている。また、振動子１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

１…振動子、２、２ａ、２ｂ…振動片としてのジャイロ素子、４…振動体、８…導電性固定部材（銀ペースト）、９…パッケージ、１０…接続パッド、４１…基部、５１…第１固定部、５２…第２固定部、６１…第１梁としての第１連結梁、６２…第１梁としての第２連結梁、６３…第２梁としての第３連結梁、６４…第２梁としての第４連結梁、６１ａ、６１ｂ、６２ａ、６２ｂ、６３ａ、６３ｂ、６４ａ、６４ｂ…突起部、９１…ベース、９２…リッド、１０６…移動体としての自動車、４２１…第１検出振動腕、４２２…第２検出振動腕、４２５、４２６、４４５、４４６、４４７，４４８…重量部（ハンマーヘッド）、４３１…第１連結腕、４３２…第２連結腕、４４１…第１振動腕としての第１駆動振動腕、４４２…第２振動腕としての第３駆動振動腕、４４３…第１振動腕としての第２駆動振動腕、４４４…第２振動腕としての第４駆動振動腕、７１４…検出信号端子、７２４…検出接地端子、７３４…駆動信号端子、７４４…駆動信号端子、９１１…底板、９１２…側壁、１１００…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。

Claims (10)

1. 基部と、
   前記基部の一端から延出されている第１振動腕と、
   前記一端と反対側の前記基部の他端から延出されている第２振動腕と、を備え、
   前記第１振動腕および前記第２振動腕が、前記第１振動腕または前記第２振動腕が延出している第１方向と直交する第２方向に沿って振動する駆動振動周波数ｆｄと、
   前記基部の重心と前記第１振動腕および前記第２振動腕とが、前記第１方向に沿って互いに同じ方向に振動するｙ１モード振動周波数ｆｙ１と、
   前記基部の重心と前記第１振動腕および前記第２振動腕とが、前記第１方向に沿って互いに逆方向に振動するｙ２モード振動周波数ｆｙ２と、の関係が、
   ｜ｆｄ−ｆｙ１｜＞｜ｆｄ−ｆｙ２｜
   であることを特徴とするジャイロ振動片。
2. 前記基部から延出され、平面視で互いに反対方向に延伸されている第１梁および第２梁と、
   前記第１梁と連結されている第１固定部と、
   前記第１梁と平面視で前記基部を挟んで反対側に設けられ、前記第２梁と連結されている第２固定部と、を備えていることを特徴とする請求項１に記載のジャイロ振動片。
3. 前記第１梁および前記第２梁の厚さは、前記基部の厚さよりも薄いことを特徴とする請求項２に記載のジャイロ振動片。
4. 前記第１梁および前記第２梁は、前記第１方向に沿って延伸されており、
   前記第１梁の前記第１振動腕側、および前記第２梁の前記第２振動腕側には、突起部が設けられていることを特徴とする請求項２または請求項３に記載のジャイロ振動片。
5. 前記基部から両側へ前記第１方向に沿って延出されている第１および第２検出振動腕を備えていることを特徴とする請求項２ないし請求項４のいずれか一項に記載のジャイロ振動片。
6. 前記第１振動腕は、第１および第２駆動振動腕を備え、
   前記第２振動腕は、第３および第４駆動振動腕を備え、
   前記第１梁は、前記基部から延出され、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通る第１連結梁と、前記基部から延出され、前記第１検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通る第２連結梁と、を備え、
   前記第２梁は、前記基部から延出され、前記第２検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通る第３連結梁と、前記基部から延出され、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通る第４連結梁と、を備え、
   前記基部は、前記第１連結梁、前記第２連結梁、前記第３連結梁、および前記第４連結梁を介して前記第１固定部、及び前記第２固定部と連結されている、
   ことを特徴とする請求項５に記載のジャイロ振動片。
7. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載のジャイロ振動片と、
   前記ジャイロ振動片が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする振動子。
8. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載のジャイロ振動片と、
   少なくとも前記振動片を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。
9. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載のジャイロ振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
10. 請求項１ないし請求項６のいずれか一項に記載のジャイロ振動片を備えていることを特徴とする移動体。

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