JP2015114253A - 振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 - Google Patents

Abstract

【課題】振動モレ現象などによるジャイロ素子の振動特性の劣化を防止する。【解決手段】ジャイロ素子２は、基部４１から第１方向に延出されている第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１および第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２と、基部４１から第１方向に延出されている第１連結梁６１および第２連結梁６２と、第１方向と交差する第２方向に延出され、第１連結梁６１および第２連結梁６２が接続されている第１支持部５１と、を備え、第１支持部５１は、第１連結梁６１との接続部と、第２連結梁６２との接続部と、の間に弾性部としての連結部５５が設けられている。【選択図】図２

Description

本発明は、振動素子、振動素子を備えた振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体に関する。

従来から、角速度を検出するための振動素子として、いわゆる「ダブルＴ型」のジャイロ素子が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。一例として特許文献１のジャイロ素子を説明すると、特許文献１のジャイロ素子は、振動体と、振動体を支持している第１、第２支持部と、振動体と第１支持部とを連結している第１、第２梁と、振動体と第２支持部とを連結している第３、第４梁とを有している。また、振動体は、基部と、基部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２検出振動腕と、基部から両側へｘ軸に沿って延出している第１、第２連結腕と、第１連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２駆動振動腕と、第２連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第３、第４駆動振動腕とで構成されている。

このようなジャイロ素子は、導電性接着剤を介して実装基板に実装される。具体的には、第１、第２支持部に設けられている６つの接続端子（固定部）と実装基板とが導電性接着剤にて接合され、これにより、ジャイロ素子が実装基板に固定されるとともに、ジャイロ素子と実装基板とが電気的に接続される。

特開２００６−２０１０１１号公報 特開２０１０−２５６３３２号公報

上述したようなジャイロ素子では、それぞれの駆動振動腕或いは検出振動腕の振動が、振動体から延設されているそれぞれの梁に伝播し、さらには第１、第２支持部に伝播してしまう、いわゆる「振動モレ現象」を生じてしまうことが知られている。この振動モレ現象があると、接続端子（固定部）が実装基板に固定される場合に、振動モレ現象によって伝播されている振動が阻害され、駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対して影響を生じてしまう虞があるという課題を有していた。
なお、振動モレ現象によって駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対して影響が生じるとジャイロ素子の振動特性の劣化、特に温度ドリフトが増大してしまうことになる。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る振動素子は、基部と、前記基部から第１方向に延出されている第１振動腕と、前記基部から前記第１方向に延出されている第２振動腕と、前記基部から前記第１方向に延出されている第１連結梁および第２連結梁を含む第１梁と、前記第１方向と交差する第２方向に延出され、前記第１連結梁および前記第２連結梁が接続されている支持部と、を備え、前記支持部は、前記第１連結梁と前記支持部との接続部と、前記第２連結梁と前記支持部との接続部と、の間に弾性部が設けられていることを特徴とする。

本適用例によれば、支持部の第１連結梁の接続されている部分である接続部と、支持部の第２連結梁の接続されている部分である接続部と、の間に設けられている弾性部により、第１連結梁および第２連結梁のそれぞれの接続部の間で支持部が撓み易くなる。この支持部の撓みにより、第１振動腕あるいは第２振動腕の振動が基部を伝わって漏れ出す振動モレ現象、あるいは基部の重心と第１振動腕、および第２振動腕とが梁（第１連結梁および第２連結梁）の延在方向に沿って同じ方向に振動する不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。これにより、振動素子の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させた振動素子の提供が可能となる。

［適用例２］上記適用例に記載の振動素子において、前記弾性部は、前記支持部から延出され、異なる方向に曲げられている連結部を備えていることが好ましい。

本適用例によれば、弾性部に設けられた連結部により、支持部は、第１梁および第２梁のそれぞれの接続部の間が撓み易くなる。この撓みにより、第１振動腕あるいは第２振動腕の振動が基部を伝わって漏れ出す振動モレ現象、あるいは基部の重心と第１振動腕、および第２振動腕とが梁の延在方向に沿って同じ方向に振動する不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。

［適用例３］上記適用例に記載の振動素子において、前記連結部は、前記第１方向に沿って少なくとも１回折り返された折り返し部を備えていることが好ましい。

本適用例によれば、第１方向に沿って連結部に設けられた折り返し部によって、第２方向の撓みがより生じ易くなり、振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）の吸収をより効果的に行うことが可能となる。

［適用例４］上記適用例に記載の振動素子において、前記連結部は、前記第２方向に沿って少なくとも１回折り返された折り返し部を備えていることが好ましい。

本適用例によれば、第２方向に沿って連結部に設けられた折り返し部によって、第１方向の撓みがより生じ易くなり、振動モレ現象、あるいは不要振動の吸収をより効果的に行うことが可能となる。

［適用例５］上記適用例に記載の振動素子において、前記基部から前記第１梁の延出方向と反対方向に延出されている第３連結梁および第４連結梁を含む第２梁を有し、前記第１振動腕は、前記基部から前記第１方向の両側へ延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕を備え、前記第２振動腕は、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の前記第２方向の両側にあって、前記基部から前記第１方向の両側へ前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の延出方向に沿って延出されている第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、前記支持部は、前記基部の両側に、第１支持部、および第２支持部を備え、前記第１梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って前記第１支持部と連結されている前記第１連結梁と、前記第１検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って前記第１支持部と連結されている前記第２連結梁と、を備え、前記第２梁は、前記第２検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って前記第２支持部と連結されている前記第３連結梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って前記第２支持部と連結されている前記第４連結梁と、を備えていることが好ましい。

本適用例によれば、第１連結梁と第２連結梁とに接続された第１支持部、および第３連結梁と第４連結梁とに接続された第２支持部のそれぞれに、弾性部を備えている。この弾性部により、第１支持部、第２支持部のそれぞれにおいて、基部から各梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。また、第１支持部、第２支持部のそれぞれにおいて、不要振動（ｙ１モード）を吸収することができる。

［適用例６］上記適用例に記載の振動素子において、前記弾性部は、被固定部に接続されていることが好ましい。

本適用例によれば、被固定部に接続されている弾性部の撓みにより、支持部が固定されることによって生じ易くなる振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。

［適用例７］上記適用例に記載の振動素子において、前記弾性部は、前記連結部と接続され、被固定部に接続されるアンカー部を有していることが好ましい。

本適用例によれば、アンカー部が被固定部に接続されても、アンカー部に接続されている弾性部としての連結部は、細長く折り曲げられた形状をなしているため撓み易く、この撓みにより振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。これにより、振動特性の劣化を防止し、安定した出力特性を有する振動素子を得ることができる。

［適用例８］本適用例に係る振動素子は、基部と、前記基部から第１方向に延出されている第１振動腕と、前記基部から前記第１方向に延出されている第２振動腕と、前記基部から前記第１方向に延出されている第１連結梁および第２連結梁と、前記第１連結梁が接続されている第３支持部と、前記第２連結梁が接続されている第４支持部と、が備えられていることを特徴とする。

本適用例によれば、第１連結梁が接続されている第３支持部と、第２連結梁が接続されている第４支持部と、が設けられている。このように、それぞれの梁がそれぞれ支持部に接続されていることから、それぞれの梁に伝わる振動モレ現象などが互いに干渉することが無くなり、干渉による温度ドリフトなどの振動特性の劣化を減少させることが可能となる。

［適用例９］本適用例に係る振動子は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子と、前記振動素子が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）の影響を低減させた振動素子を用いているため、振動特性の劣化を防止し、安定した出力特性を有する振動子を提供することが可能となる。

［適用例１０］本適用例に係る電子デバイスは、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子と、少なくとも前記振動素子を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）の影響を低減させた振動素子を用いているため、振動特性の劣化を防止し、安定した出力特性を有する電子デバイスを提供することが可能となる。

［適用例１１］本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）の影響を低減させた振動素子を用いているため、安定した性能の電子機器を提供することが可能となる。

［適用例１２］本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の振動素子を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）の影響を低減させた振動素子を用いているため、安定した性能の移動体を提供することが可能となる。

本発明にかかる振動素子としてのジャイロ素子を用いた振動子の実施形態を示す概略図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図。 第１実施形態のジャイロ素子を示す平面図。 （ａ）、（ｂ）はジャイロ素子の駆動を説明する平面図。 不要モード振動を説明する図であり、（ａ）はｙ１モードの振動、（ｂ）はｙ２モードの振動を示す概略斜視図。 不要振動モードのジャイロ素子の特性への影響を説明するための説明図。 第２実施形態のジャイロ素子を示す平面図。 第３実施形態のジャイロ素子を示す平面図。 第４実施形態のジャイロ素子を示す平面図。 ジャイロ素子における固定位置の変形例を示す平面図。 本発明にかかる振動素子を用いた電子デバイスを示す正断面図。 電子機器の一例としてのモバイル型のパーソナルコンピューターの構成を示す斜視図。 電子機器の一例としての携帯電話機の構成を示す斜視図。 電子機器の一例としてのデジタルスチールカメラの構成を示す斜視図。 移動体の一例としての自動車の構成を示す斜視図。

以下、本発明の振動素子、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体について添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。

＜実施形態＞
先ず、本発明にかかる振動素子の実施形態、およびその振動素子を適用した振動子の実施形態について説明する。

図１は、本発明にかかる振動素子としてのジャイロ素子の第１実施形態、およびそのジャイロ素子を用いた振動子の実施形態を示す図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正断面図である。図２は、図１に示す振動子が備えるジャイロ素子の第１実施形態を示す平面図である。図３は、ジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。

図１に示す振動子１は、振動素子としてのジャイロ素子（振動素子）２と、ジャイロ素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、ジャイロ素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。

（ジャイロ素子の第１実施形態）
図２は、上側（リッド９２側）から見た振動素子としてのジャイロ素子の第１実施形態を示す平面図である。なお、ジャイロ素子には、検出信号電極、検出信号配線、検出信号端子、検出接地電極、検出接地配線、検出接地端子、駆動信号電極、駆動信号配線、駆動信号端子、駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子などが設けられているが、同図においては省略している。

振動素子としてのジャイロ素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサーであって、図示しないが、基材と、基材の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。
ジャイロ素子２は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできるジャイロ素子２が得られる。
このようなジャイロ素子２は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部としての第１支持部５１および第２支持部５２と、振動体４と第１支持部５１とを連結する第１梁としての第１連結梁６１および第２連結梁６２と、振動体４と第２支持部５２とを連結する第２梁としての第３連結梁６３および第４連結梁６４とを有している。

振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、および第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、および第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４とを有している。第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２および第１駆動振動腕４４１、第２駆動振動腕４４３、第３駆動振動腕４４２、第４駆動振動腕４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の幅広部としての重量部（ハンマーヘッド）４２５，４２６，４４５，４４７，４４６，４４８が設けられている。このような重量部４２５，４２６，４４５，４４７，４４６，４４８を設けることでジャイロ素子２の角速度の検出感度が向上するとともに、第１、第２検出振動腕４２１，４２２、および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４の長さを短くすることができる。

なお、第１駆動振動腕４４１、第３駆動振動腕４４２は、第１連結腕４３１の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第２駆動振動腕４４３、第４駆動振動腕４４４は、第２連結腕４３２の延在方向の途中から延出してもよい。
また、本形態では、基部４１から延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２から第１駆動振動腕４４１、第３駆動振動腕４４２、第２駆動振動腕４４３、および第４駆動振動腕４４４が延出している構成で説明したが、基部４１と第１連結腕４３１と第２連結腕４３２とを含めて基部とすることも可能である。即ち、基部から第１駆動振動腕、第２駆動振動腕、第３駆動振動腕、および第４駆動振動腕が延出している構成も可能である。

支持部は、第１支持部および第２支持部の少なくとも一方を含んでいる。本形態における支持部は、第１支持部５１および第２支持部５２を含んでいる。第１支持部５１、および第２支持部５２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在しており、第１支持部５１と第２支持部５２との間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１支持部５１および第２支持部５２は、振動体４を介してｙ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１支持部５１は、第１連結梁６１、および第２連結梁６２を介して基部４１と連結されており、第２支持部５２は、第３連結梁６３、および第４連結梁６４を介して基部４１と連結されている。

第１支持部５１には、第１連結梁６１と接続されている部分（接続部）と、第２連結梁６２と接続されている部分（接続部）との間に、弾性部としての連結部５５が設けられている。連結部５５は、細長い形状に第２方向（ｘ軸方向）に沿って延在し、異なる方向に折り曲げられて形成されている。本形態の連結部５５は、第１連結梁６１と接続されている側の第１支持部５１から第２連結梁６２側に向かい第２方向に沿って延在し、その先で折り返されて第１連結梁６１側に向かい第１方向に沿って延在し、その先で再び折り返されて第２連結梁６２側に向かい第２方向に沿って延在し、第２連結梁６２と接続されている側の第１支持部５１に接続されている。

同様に第２支持部５２には、第３連結梁６３と接続されている部分と、第４連結梁６４と接続されている部分との間に、弾性部としての連結部５６が設けられている。連結部５６は、細長い形状に第２方向（ｘ軸方向）に沿って延在し、異なる方向に折り曲げられて形成されている。本形態の連結部５６は、第３連結梁６３との接続部側の第２支持部５２から第４連結梁６４側に向かい第２方向に沿って延在し、その先で折り返されて第３連結梁６３側に向かい第１方向に沿って延在し、その先で再び折り返されて第４連結梁６４側に向かい第２方向に沿って延在し、第４連結梁６４と接続されている側の第２支持部５２に接続されている。

連結部５５，５６脇の第１支持部５１および第２支持部５２には、それぞれ検出接地端子７２４が設けられており、この検出接地端子７２４の部分が、導電性固定部材８を介して接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続されている。また、第１支持部５１、第２支持部５２に設けられている他の端子として検出信号端子７１４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４においても、検出接地端子７２４と同様に、導電性固定部材８を介して被固定部としての接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続される。

このような細長い形状の折り返し部を有する連結部５５，５６は、ｘ軸方向およびｙ軸方向に撓み易い弾性を有している。この弾性により、第１駆動振動腕４４１、第２駆動振動腕４４３、第３駆動振動腕４４２、および第４駆動振動腕４４４の振動が基部４１を伝わって漏れ出す振動モレ現象、あるいは後述する不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。
なお、折り返し部は、第１方向に沿って１回以上折り返されていればよく、このような構成とすることで緩衝作用を有する弾性を生じる。

第１連結梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第２連結梁６２は、第１検出振動腕４２１と第２駆動振動腕４４３との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第３連結梁６３は、第２検出振動腕４２２と第３駆動振動腕４４２との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結し、第４連結梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結している。

このような各連結梁６１，６２，６３，６４は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って往復しながらｙ軸方向に沿って延びる蛇行部（Ｓ字形状部）を有しており、ｘ軸方向およびｙ軸方向に弾性を有している。また、各連結梁６１，６２，６３，６４は、それぞれ、蛇行部を有する細長い形状を有しているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各連結梁６１，６２，６３，６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。

上述のような構成のジャイロ素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極（図示せず）および駆動接地電極（図示せず）の間に電界が生じると、図３（ａ）に示すように、各駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４が矢印Ａに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１，４４３と、第３、第４駆動振動腕４４２，４４４とは、中心点Ｇ（重心Ｇ）を通るｙｚ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１，４３２と、第１、第２検出振動腕４２１，４２２とは、殆んど振動しない。

この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子２にｚ軸まわりに角速度ωが加わると、図３（ｂ）に示すような振動が発生する。即ち、駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４および連結腕４３１，４３２に矢印Ｂ方向のコリオリの力が働き、この矢印Ｂ方向の振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１，４２２の歪みを検出信号電極（図示せず）および検出接地電極（図示せず）が検出して角速度ωが求められる。

（ジャイロ素子の不要振動モード）
ここで、ジャイロ素子２における不要振動について説明する。ジャイロ素子２においては、ジャイロ素子２が駆動している（動作している）際に、僅かではあるが励起される不要振動が発生する。この不要振動には種々の振動モードが存在するが、発明者らは、次に示す２つの振動モード（ｙ１モードの振動、およびｙ２モードの振動）がジャイロ素子２の特性における温度ドリフトに大きな影響を持つことに着目した。

ここで図４、図５を用いてｙ１モード、およびｙ２モードの振動とそのジャイロ素子２の特性に対する影響について説明する。ｙ１モード、およびｙ２モードの振動は、ジャイロ素子２が駆動している（動作している）際に、僅かではあるが励起される不要振動である。図４は、不要振動モードとしてのｙ１モード、およびｙ２モードの振動について説明する図であり、図４（ａ）はｙ１モードの振動、図４（ｂ）はｙ２モードの振動を示す概略斜視図である。図５は、不要振動モードとしてのｙ１モード、およびｙ２モードの振動が、ジャイロ素子２の特性に与える影響についての説明図である。

先ず、ｙ１モードの振動について説明する。図４（ａ）に示すように、基部４１の重心Ｇは、基部４１からｙ軸方向に沿って延出されている第１、第２検出振動腕４２１，４２２とともに図示矢印Ｐ１の方向（−ｙ軸方向）に移動する。このとき、基部４１から第１、第２連結腕４３１，４３２を介して延出されている第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４は、図示矢印Ｐ１の方向（−ｙ軸方向）に移動する。即ち、ｙ１モードは、基部４１と、第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４と、が同じ方向に動く（振動する）振動モードである。

このようなｙ１モードの振動においては、基部４１の重心Ｇと第１〜第４駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４とが同じ方向に動くため、基部４１の振動と第１〜第４駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４の振動とが、閉じ込めきれずにジャイロ素子２の振動特性、特に温度に依存する特性変動である温度ドリフトに影響を与えてしまう。即ち、図５に示す曲線Ｌ２のように、温度が変化するにつれてジャイロ素子２の出力特性が変動する出力の変動幅が大きくなる、所謂温度ドリフトが大きくなってしまう。なお、温度ドリフトが生じなければ、図中Ｌ１のように殆んどふらつきのない特性が得られる。

次に、ｙ２モードの振動について説明する。図４（ｂ）に示すように、基部４１の重心Ｇは、基部４１からｙ軸方向に沿って延出されている第１、第２検出振動腕４２１，４２２とともに図示矢印Ｐ１の方向（−ｙ軸方向）に移動する。このとき、基部４１から第１、第２連結腕４３１，４３２を介して延出されている第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４は、図示矢印Ｐ２の方向（＋ｙ軸方向）に移動する。即ち、ｙ２モードは、基部４１の重心Ｇと、第１振動腕としての第１駆動振動腕４４１、第２振動腕としての第３駆動振動腕４４２、および第１振動腕としての第２駆動振動腕４４３、第２振動腕としての第４駆動振動腕４４４と、が互いに反対方向に動く（振動する）振動モードである。

このようなｙ２モードの振動においては、基部４１の重心Ｇと、第１〜第４駆動振動腕４４１，４４３，４４２，４４４とが、互いに反対方向に動くため、それぞれの動きによる振動が相殺され、それにより振動が閉じ込められることになる。したがって、このｙ２モードの振動は、ジャイロ素子２の振動特性、特に温度に依存する特性変動である温度ドリフトには、殆んど影響を与えることが無い。

（パッケージ）
図１に戻りパッケージ９について説明する。パッケージ９は、ジャイロ素子２を収納するものである。なお、パッケージ９には、後述する電子デバイスのように、ジャイロ素子２の他に、ジャイロ素子２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。

パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）９２とを有している。また、ベース９１は、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有している。このようなパッケージ９は、その内側に収納空間を有しており、この収納空間内に、ジャイロ素子２が気密的に収納、設置されている。

ジャイロ素子２は、第１支持部５１、第２支持部５２にて、半田、導電性接着剤（樹脂材料中に例えば銀の金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８を介して底板９１１の上面に固定されている。第１支持部５１、第２支持部５２は、ジャイロ素子２のｙ軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板９１１に固定することにより、ジャイロ素子２の振動体４が両持ち支持され、ジャイロ素子２を底板９１１に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子２の不要な振動（検出振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。

また、導電性固定部材８は、第１支持部５１、第２支持部５２に設けられている２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応（接触）して、かつ互いに離間して６つ設けられている。また、底板９１１の上面には、２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応する６つの接続パッド１０が設けられており、導電性固定部材８を介して、これら各接続パッド１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。

上述の振動子１によれば、第１支持部５１は、第１支持部５１の第１連結梁６１と第２連結梁６２とのそれぞれの接続部の間に設けられている弾性部としての連結部５５により、撓み易くなる。また、第２支持部５２は、第２支持部５２の第３連結梁６３と第４連結梁６４とのそれぞれの接続部の間に設けられている弾性部としての連結部５６により、撓み易くなる。このように、第１支持部５１および第２支持部５２が撓むことにより、第１駆動振動腕４４１、第２駆動振動腕４４３、第３駆動振動腕４４２、および第４駆動振動腕４４４の振動が基部４１を伝わって漏れ出す振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。これにより、ジャイロ素子２の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させることが可能となり、このジャイロ素子２を用いた振動子１においても同様に、振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させることが可能となる。

（ジャイロ素子の第２実施形態）
ジャイロ素子の第２実施形態について図６を用いて説明する。図６は、第２実施形態のジャイロ素子の概略を示す平面図である。なお、本第２実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。

図６に示すように、第２実施形態のジャイロ素子３は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。ここで、第２実施形態のジャイロ素子３と前述の第１実施形態のジャイロ素子２との相違は、第１支持部５１と第２支持部５２に設けられている連結部５５ａ，５６ａの構成である。

本形態における支持部は、第１支持部５１および第２支持部５２を含んでいる。第１支持部５１、および第２支持部５２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在しており、第１支持部５１と第２支持部５２との間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１支持部５１および第２支持部５２は、振動体４を介してｙ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１支持部５１は、第１連結梁６１、および第２連結梁６２を介して基部４１と連結されており、第２支持部５２は、第３連結梁６３、および第４連結梁６４を介して基部４１と連結されている。

第１支持部５１には、第１連結梁６１と接続されている部分（接続部）と、第２連結梁６２と接続されている部分（接続部）との間に、弾性部としての連結部５５ａが設けられている。連結部５５ａは、細長い形状に延在し、異なる方向に曲げられて形成されている。
本形態の連結部５５ａは、第１連結梁６１との接続部側の第１支持部５１から第２連結梁６２側（−ｘ軸方向）に向かった後、−ｙ軸方向に延在し、その先で折り返されて＋ｙ軸方向に向かい、その先で折り返されて再び−ｙ軸方向に向かい、その先で折り返されて再び＋ｙ軸方向に向かった後、第２連結梁６２側（−ｘ軸方向）に向い第２連結梁６２側の第１支持部５１に接続されている。

同様に第２支持部５２には、第３連結梁６３と接続されている部分（接続部）と、第４連結梁６４と接続されている部分（接続部）との間に、弾性部としての連結部５６ａが設けられている。連結部５６ａは、細長い形状に延在し、異なる方向に曲げられて形成されている。
本形態の連結部５６ａは、第３連結梁６３との接続部側の第２支持部５２から第４連結梁６４側（−ｘ軸方向）に向かった後、＋ｙ軸方向に延在し、その先で折り返されて−ｙ軸方向に向かい、その先で折り返されて再び＋ｙ軸方向に向かい、その先で折り返されて再び−ｙ軸方向に向かった後、第４連結梁６４側（−ｘ軸方向）に向い第４連結梁６４側の第２支持部５２に接続されている。

連結部５５ａ，５６ａ脇の第１支持部５１および第２支持部５２には、それぞれ検出接地端子７２４が設けられており、この検出接地端子７２４の部分が、導電性固定部材８を介して接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続されている。また、第１支持部５１、第２支持部５２に設けられている他の端子として検出信号端子７１４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４においても、検出接地端子７２４と同様に、導電性固定部材８を介して被固定部としての接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続される。

このような細長い形状の折り返し部を有する連結部５５ａ，５６ａは、ｘ軸方向およびｙ軸方向に撓み易い弾性を有している。この弾性により、前述の第１実施形態のジャイロ素子２と同様に、第１駆動振動腕４４１、第２駆動振動腕４４３、第３駆動振動腕４４２、および第４駆動振動腕４４４の振動が基部４１を伝わって漏れ出す振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。
なお、折り返し部は、１回以上折り返されていればよく、このような構成とすることで緩衝作用を有する弾性を生じる。また、折り返し部は、矩形形状に限らず、例えば湾曲形状であってもよい。

（ジャイロ素子の第３実施形態）
ジャイロ素子の第３実施形態について図７を用いて説明する。図７は、第３実施形態のジャイロ素子の概略を示す平面図である。なお、本第３実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。

図７に示すように、第３実施形態のジャイロ素子５は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。ここで、第３実施形態のジャイロ素子５と前述の第１実施形態のジャイロ素子２との相違は、第１支持部５１と第２支持部５２に設けられている連結部５５ｂ，５６ｂの構成であり、詳しくは連結部５５ｂ，５６ｂのそれぞれに接続されたアンカー部５７，５８が備えられていることである。

本形態における支持部は、前述の第１実施形態と同様に、第１支持部５１および第２支持部５２を含んでいる。第１支持部５１、および第２支持部５２と、それぞれに接続されている第１連結梁６１、第２連結梁６２、第３連結梁６３、第４連結梁６４、および基部４１の構成は、前述の第１実施形態と同様であるので説明を省略する。

第１支持部５１には、第１連結梁６１と接続されている部分（接続部）と、第２連結梁６２と接続されている部分（接続部）との間に、弾性部としての連結部５５ｂが設けられている。連結部５５ｂには、細長い形状に延在し異なる方向に折り曲げられた部分と、細長い形状が延在している部分から延びるアンカー部５７が設けられている。
本形態の連結部５５ｂは、第１連結梁６１と接続されている側の第１支持部５１から第２連結梁６２側（−ｘ軸方向）に向かった後、−ｙ軸方向に延在し、その先で折り曲って−ｘ軸方向に向かう部分に、アンカー部５７が設けられている。さらに、アンカー部５７から細長い形状で延在された先で折り曲って＋ｙ軸方向に向かい、再び折り曲って−ｘ軸方向に向い第２連結梁６２側の第１支持部５１に接続されている。
アンカー部５７は、連結部５５ｂから基部４１側（＋ｙ軸方向）に延在し、＋ｙ軸方向の端が重量部４２５と対向するように設けられている。

同様に第２支持部５２には、第３連結梁６３と接続されている部分（接続部）と、第４連結梁６４と接続されている部分（接続部）との間に、弾性部としての連結部５６ｂが設けられている。連結部５６ｂには、細長い形状に延在し異なる方向に折り曲げられた部分と、細長い形状が延在している部分から延びるアンカー部５８が設けられている。
本形態の連結部５６ｂは、第３連結梁６３と接続されている側の第２支持部５２から第４連結梁６４側（−ｘ軸方向）に向かった後、＋ｙ軸方向に延在し、その先で折り曲って−ｘ軸方向に向かう部分に、アンカー部５８が設けられている。さらに、アンカー部５８から細長い形状で延在された先で折り曲って−ｙ軸方向に向かい、再び折り曲って−ｘ軸方向に向い第４連結梁６４側の第２支持部５２に接続されている。
アンカー部５８は、連結部５６ｂから基部４１側（−ｙ軸方向）に延在し、−ｙ軸方向の端が重量部４２６と対向するように設けられている。

このように設けられたアンカー部５７，５８は、ジャイロ素子５が固定される被固定部に接続される。アンカー部５７，５８には、それぞれ検出接地端子７２４が設けられており、この検出接地端子７２４の部分が、導電性固定部材８を介して接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続されている。また、第１支持部５１、第２支持部５２に設けられている他の端子である検出信号端子７１４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４においても、検出接地端子７２４と同様に、導電性固定部材８を介して被固定部としての接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続されている。

このようなアンカー部５７，５８が被固定部に接続されても、アンカー部５７，５８の両側に設けられている連結部５５ｂ，５６ｂは、細長く折り曲げられた形状をなしているため、撓み易く、この撓みにより振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。これにより、振動特性の劣化を防止し、安定した出力特性を有する振動素子としてのジャイロ素子５を得ることができる。

（ジャイロ素子の第４実施形態）
ジャイロ素子の第４実施形態について図８を用いて説明する。図８は、第４実施形態のジャイロ素子の概略を示す平面図である。なお、本第４実施形態の説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。

図８に示すように、第４実施形態のジャイロ素子６は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部と、振動体４と支持部とを連結する梁とを有している。ここで、第４実施形態のジャイロ素子６と前述の第１実施形態のジャイロ素子２との相違は、第１支持部５１と第２支持部５２とが二つに分割されていることである。

本形態における支持部は、第１支持部５１および第２支持部５２の少なくとも一方を含んでいる。本形態における支持部は、第１支持部５１および第２支持部５２を含んでいる。また、第１支持部５１は、第３支持部５１ａと第４支持部５１ｂとを含み、第２支持部５２は、第５支持部５２ａと第６支持部５２ｂとを含んでいる。そして、第３支持部５１ａには第１連結梁６１が接続され、第４支持部５１ｂには第２連結梁６２が接続されている。また、第５支持部５２ａには第３連結梁６３が接続され、第６支持部５２ｂには第４連結梁６４が接続されている。

第１支持部５１は、空間５９を挟んで二つに分割され、第３支持部５１ａと第４支持部５１ｂが設けられている。換言すると、第３支持部５１ａと第４支持部５１ｂとの間に空間５９が配置されている。また、第２支持部５２は、空間６０を挟んで二つに分割され、第５支持部５２ａと第６支持部５２ｂが設けられている。換言すると、第５支持部５２ａと第６支持部５２ｂとの間に空間６０が配置されている。

第４支持部５１ｂには、検出接地端子７２４と駆動接地端子７４４が設けられ、第６支持部５２ｂには、駆動信号端子７３４が設けられている。また、第３支持部５１ａには、検出信号端子７１４が設けられ、第５支持部５２ａには、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４とが設けられている。ジャイロ素子６は、このようなそれぞれの端子の位置において、導電性固定部材８を介して接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続される。

このような構成のジャイロ素子６によれば、それぞれの梁がそれぞれの支持部に接続されていることから、それぞれの梁に伝わる振動モレ現象、あるいは不要振動などが互いに干渉することが無くなり、干渉による温度ドリフトなどの振動特性の劣化を減少させることが可能となる。

（ジャイロ素子の固定位置の変形例）
ジャイロ素子の固定位置の変形例について図９を用いて説明する。図９は、ジャイロ素子における固定位置の変形例を示す平面図である。なお、ここでの説明では、上述の第１実施形態と同じ構成については同符号を付けてその説明を省略することがある。

図９に示すジャイロ素子２の基本的な構成は、前述した第１実施形態と同様である。本変形例では、ジャイロ素子２の固定位置が第１実施形態と異なっている。本変形例におけるジャイロ素子２の固定位置は、細長い形状をなして、折り返された部分を有する連結部５５，５６にも設けられる。

連結部５５，５６の一部には、それぞれ検出接地端子７２４が設けられており、この検出接地端子７２４の部分が、導電性固定部材８を介して接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続される。また、第１支持部５１、第２支持部５２に設けられている他の端子である検出信号端子７１４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４においても、検出接地端子７２４と同様に、導電性固定部材８を介して被固定部としての接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続される。

このように、連結部５５，５６の一部に設けられた検出接地端子７２４の部分が、導電性固定部材８を介して接続パッド１０（図１参照）に電気的に接続されても、被固定部の両側に設けられている細長形状の連結部５５，５６の撓みにより、第１支持部５１、第２支持部５２が固定されることによって特性に影響を生じ易くなる、振動モレ現象、あるいは不要振動（ｙ１モード振動）を吸収することができる。

なお、本発明に係る振動素子は、基板上に形成された圧電薄膜を振動源とする圧電薄膜駆動型の振動素子、ＭＥＭＳ（Ｍｉｃｒｏ Ｅｌｅｃｔｒｏ Ｍｅｃｈａｎｉｃａｌ Ｓｙｓｔｅｍ）型の振動素子、静電駆動型の振動素子などにも適用することが可能である。

［電子デバイス］
次に、上述のジャイロ素子２，３，５，６を用いた電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーについて、図１０を用いて説明する。図１０はジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。なお、ここでの説明では、上述の実施形態の内、第１実施形態のジャイロ素子２を用いた例で説明する。

ジャイロセンサー８０は、振動素子としてのジャイロ素子２、回路素子としてのＩＣ８４、パッケージとしての収容器８１、蓋体８６を備えている。セラミックなどで形成された収容器８１の底面にはＩＣ８４が配置され、Ａｕなどのワイヤー８５で収容器８１に形成された配線（図示せず）と電気的接続がなされている。ＩＣ８４にはジャイロ素子２を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子２に生ずる検出信号を検出する検出回路とを含んでいる。

ジャイロ素子２は、収容器８１に形成された支持台８２に、ジャイロ素子２の第１支持部５１、第２支持部５２の一部が導電性接着剤などの固定部材８３を介して接着支持されている。また、支持台８２表面には配線（図示せず）が形成され、ジャイロ素子２の電極と配線間の導通が固定部材８３を介してなされている。この固定部材８３は、弾性のある材料であることが望ましい。弾性を有する固定部材８３としてはシリコーンを基材とする導電性接着剤などが知られている。そして、収容器８１内を真空雰囲気に保持し、収容器８１の上部の開口が蓋体８６にて封止されている。

ジャイロセンサー８０によれば、用いているジャイロ素子２において、振動モレ現象、不要モード振動が固定位置まで伝播することが抑制されているため、振動モレ現象による温度ドリフトを低減させることが可能となり、前述の不要振動による温度ドリフトの低減と合わせて、温度ドリフトを低減させ、安定した角速度の検出が可能となる。

上述の電子デバイスの説明では、振動素子として所謂ダブルＴ型のジャイロ素子２を用いたジャイロセンサー８０を例に説明したが、電子デバイスとしてはこれに限らない。他の電子デバイスとしては、例えば素子としてＨ型、あるいは音叉型のジャイロ素子を用いたジャイロセンサー、水晶振動素子（振動素子）を用いたタイミングデバイス（水晶振動子、水晶発振器など）、感圧素子を用いた圧力センサーなどであってもよい。

［電子機器］
次いで、本発明の一実施形態に係る振動素子としてのジャイロ素子２，３，５，６を用いた振動子１あるいは電子デバイスとしてのジャイロセンサー８０を適用した電子機器について、図１１〜図１３に基づき、詳細に説明する。なお、説明では、振動素子としてのジャイロ素子２を用いた振動子１を適用した例を示している。

図１１は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのモバイル型（又はノート型）のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター１１００は、キーボード１１０２を備えた本体部１１０４と、表示部１１０１を備えた表示ユニット１１０６とにより構成され、表示ユニット１１０６は、本体部１１０４に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター１１００には、角速度を検出する機能を備えたジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。

図１２は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としての携帯電話機（ＰＨＳも含む）の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機１２００は、複数の操作ボタン１２０２、受話口１２０４および送話口１２０６を備え、操作ボタン１２０２と受話口１２０４との間には、表示部１２０１が配置されている。このような携帯電話機１２００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。

図１３は、本発明の一実施形態に係る振動子１を備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ１３００は、被写体の光像をＣＣＤ（Charge Coupled Device）等の撮像素子により光電変換して撮像信号（画像信号）を生成する。

デジタルスチールカメラ１３００におけるケース（ボディー）１３０２の背面には、表示部１３０１が設けられ、ＣＣＤによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部１３０１は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース１３０２の正面側（図中裏面側）には、光学レンズ（撮像光学系）やＣＣＤ等を含む受光ユニット１３０４が設けられている。

撮影者が表示部１３０１に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン１３０６を押下すると、その時点におけるＣＣＤの撮像信号が、メモリー１３０８に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ１３００においては、ケース１３０２の側面に、ビデオ信号出力端子１３１２と、データ通信用の入出力端子１３１４とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子１３１２にはテレビモニター１４３０が、データ通信用の入出力端子１３１４にはパーソナルコンピューター１４４０が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー１３０８に格納された撮像信号が、テレビモニター１４３０や、パーソナルコンピューター１４４０に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ１３００には、角速度センサー等として機能するジャイロ素子２を用いた振動子１が内蔵されている。

なお、本発明の一実施形態に係る振動子１は、図１１のパーソナルコンピューター（モバイル型パーソナルコンピューター）、図１２の携帯電話機、図１３のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置（例えばインクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。

［移動体］
図１４は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車５０６には本発明に係るジャイロ素子２を用いた振動子１が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車５０６には、ジャイロ素子２を用いた振動子１を内蔵してタイヤ５０９などを制御する電子制御ユニット５０８が車体５０７に搭載されている。また、振動子１は、他にもキーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム（ＡＢＳ）、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム（ＴＰＭＳ：Tire Pressure Monitoring System）、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット（ＥＣＵ：electronic control unit）に広く適用できる。

１…振動子、２，３，５，６…振動素子としてのジャイロ素子、４…振動体、８…導電性固定部材（導電性接着剤）、９…パッケージ、１０…接続パッド、４１…基部、５１…支持部としての第１支持部、５２…支持部としての第２支持部、５５，５６…連結部、５７，５８…アンカー部、５９，６０…空間、６１…第１梁としての第１連結梁、６２…第１梁としての第２連結梁、６３…第２梁としての第３連結梁、６４…第２梁としての第４連結梁、８０…電子デバイスとしてのジャイロセンサー、９１…ベース、９２…リッド、４２１…第１検出振動腕、４２２…第２検出振動腕、４２５，４２６，４４５，４４６，４４７，４４８…重量部（ハンマーヘッド）、４３１…第１連結腕、４３２…第２連結腕、４４１…第１振動腕としての第１駆動振動腕、４４２…第２振動腕としての第３駆動振動腕、４４３…第１振動腕としての第２駆動振動腕、４４４…第２振動腕としての第４駆動振動腕、５０６…移動体としての自動車、７１４…検出信号端子、７２４…検出接地端子、７３４…駆動信号端子、７４４…駆動接地端子、９１１…底板、９１２…側壁、１１００…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、１２００…電子機器としての携帯電話機、１３００…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。

Claims (12)

1. 基部と、
   前記基部から第１方向に延出されている第１振動腕と、
   前記基部から前記第１方向に延出されている第２振動腕と、
   前記基部から前記第１方向に延出されている第１連結梁および第２連結梁を含む第１梁と、
   前記第１方向と交差する第２方向に延出され、前記第１連結梁および前記第２連結梁が接続されている支持部と、を備え、
   前記支持部は、前記第１連結梁と前記支持部との接続部と、前記第２連結梁と前記支持部との接続部と、の間に弾性部が設けられていることを特徴とする振動素子。
2. 前記弾性部は、前記支持部から延出され、異なる方向に曲げられている連結部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の振動素子。
3. 前記連結部は、前記第１方向に沿って少なくとも１回折り返された折り返し部を備えていることを特徴とする請求項２に記載の振動素子。
4. 前記連結部は、前記第２方向に沿って少なくとも１回折り返された折り返し部を備えていることを特徴とする請求項２に記載の振動素子。
5. 前記基部から前記第１梁の延出方向と反対方向に延出されている第３連結梁および第４連結梁を含む第２梁を有し、
   前記第１振動腕は、前記基部から前記第１方向の両側へ延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕を備え、
   前記第２振動腕は、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の前記第２方向の両側にあって、前記基部から前記第１方向の両側へ前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕の延出方向に沿って延出されている第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、
   前記支持部は、前記基部の両側に、第１支持部、および第２支持部を備え、
   前記第１梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って前記第１支持部と連結されている前記第１連結梁と、前記第１検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って前記第１支持部と連結されている前記第２連結梁と、を備え、
   前記第２梁は、前記第２検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って前記第２支持部と連結されている前記第３連結梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って前記第２支持部と連結されている前記第４連結梁と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項４のいずれか一項に記載の振動素子。
6. 前記弾性部は、被固定部に接続されていることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動素子。
7. 前記弾性部は、前記連結部と接続され、被固定部に接続されるアンカー部を有していることを特徴とする請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動素子。
8. 基部と、
   前記基部から第１方向に延出されている第１振動腕と、
   前記基部から前記第１方向に延出されている第２振動腕と、
   前記基部から前記第１方向に延出されている第１連結梁および第２連結梁と、
   前記第１連結梁が接続されている第３支持部と、
   前記第２連結梁が接続されている第４支持部と、が備えられていることを特徴とする振動素子。
9. 請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の振動素子と、
   前記振動素子が収納されているパッケージと、を備えていることを特徴とする振動子。
10. 請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の振動素子と、
    少なくとも前記振動素子を駆動させる機能を有している回路素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。
11. 請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする電子機器。
12. 請求項１ないし請求項８のいずれか一項に記載の振動素子を備えていることを特徴とする移動体。

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