JP2013250187A - 電子デバイス、電子機器、および移動体 - Google Patents
電子デバイス、電子機器、および移動体 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013250187A JP2013250187A JP2012125887A JP2012125887A JP2013250187A JP 2013250187 A JP2013250187 A JP 2013250187A JP 2012125887 A JP2012125887 A JP 2012125887A JP 2012125887 A JP2012125887 A JP 2012125887A JP 2013250187 A JP2013250187 A JP 2013250187A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electronic device
- detection
- gyro element
- support portion
- gyro
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Landscapes
- Gyroscopes (AREA)
Abstract
【課題】外部からの衝撃などが直接素子に加わることを防止することで素子の破損を防止し、耐衝撃性の優れた電子デバイスを提供する。
【解決手段】電子デバイスとしてのジャイロセンサー1は、パッケージ9に含まれる基板としての底板911と、底板911に設けられた可撓性を有する複数の突状部11と、突状部11および導電性固定部材8を介して底板911に実装された素子としてのジャイロ素子2と、を備えている。
【選択図】図1
【解決手段】電子デバイスとしてのジャイロセンサー1は、パッケージ9に含まれる基板としての底板911と、底板911に設けられた可撓性を有する複数の突状部11と、突状部11および導電性固定部材8を介して底板911に実装された素子としてのジャイロ素子2と、を備えている。
【選択図】図1
Description
本発明は、電子デバイス、電子デバイスを用いた電子機器、および電子デバイスを用いた移動体に関する。
従来、セラミックなどで形成された基板を含むパッケージ(容器)に、振動素子、或いはセンサー素子などの素子を収納した電子デバイスが知られている。このような電子デバイスとしては、素子としてジャイロ素子を用い、このジャイロ素子をパッケージの基板に導電性接着剤などの固定部材を用いて直接固定し、蓋体で気密封止したジャイロセンサーが提示されている(例えば、特許文献1参照)。
しかしながら、特許文献1に開示されているジャイロセンサーの構成では、ジャイロ素子をパッケージに導電性接着剤などの固定部材を用いて直接固定しているため、例えば、パッケージに外部から強い衝撃が加わると、その衝撃が固定部材を介して直接ジャイロ素子に伝わる。このようにジャイロ素子に衝撃が加わると、ジャイロ素子にクラックを生じたり、欠け、割れなどの破損を生じたりすることがあり、いわゆるジャイロセンサー(電子デバイス)の耐衝撃性が劣るという課題を有していた。
本発明の目的の一つは、外部からパッケージに加えられた衝撃が、直接ジャイロ素子などの素子に加わることを防止することで素子の破損を防ぎ、耐衝撃性の優れた電子デバイスを提供することにある。
本発明の目的の一つは、外部からパッケージに加えられた衝撃が、直接ジャイロ素子などの素子に加わることを防止することで素子の破損を防ぎ、耐衝撃性の優れた電子デバイスを提供することにある。
本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
[適用例1]本適用例に係る電子デバイスは、基板と、前記基板に設けられ、可撓性を有する複数の突状部と、前記突状部を介して前記基板に実装された素子と、を備えていることを特徴とする。
本構成によれば、素子が可撓性を有する複数の突状部を介して基板に実装されていることから、落下衝撃など基板に加えられた衝撃が、複数の突状部によって分散されたり、突状部の撓みによって吸収されたりすることから、素子に伝わり難い。このように、複数の突状部が緩衝部材の役目を果たし、基板の受けた衝撃が素子に直接伝わりにくくなることから、基板の受けた衝撃による素子のクラック、破損などの不具合を防止することが可能となる。
[適用例2]上記適用例に記載の電子デバイスにおいて、前記突状部は、前記基板から延出する端部の断面積より、前記素子を実装する端部の断面積の方が大きいことを特徴とする。
本構成によれば、基板から延出する部位の断面積が小さいことから撓み易さを保持しつつ、かつ端部の面積が大きいことから、この端部では複数の突状部間の間隔を狭くすることができ、突状部に素子を実装する際の接合材などが基板側に流れてしまうことを防止することができる。
[適用例3]上記適用例に記載の電子デバイスにおいて、前記突状部の少なくとも一部には、電極が設けられていることを特徴とする。
この構成によれば、突状部の少なくとも一部に設けられた電極によって、素子と基板との電気的接続を容易に行うことができる。
[適用例4]上記適用例に記載の電子デバイスにおいて、前記素子は、基部と、前記基部から両側へ延出された1対の検出用振動腕と、前記基部から両側へ前記検出用振動腕に直交する方向に延出された1対の連結腕と、それぞれの前記連結腕から両側へ前記検出用振動腕と並行するように延出された各1対の駆動用振動腕と、前記基部からそれぞれの前記検出用振動腕に沿って延出される2対の梁と、同方向に延出されたそれぞれの前記梁が、前記各検出用振動腕の延出する方向であって前記検出用振動腕の外側で連結された1対の支持部と、を同一平面に備えているジャイロ素子であり、前記支持部が前記突状部を介して前記基板に実装されていることを特徴とする。
この構成によれば、ジャイロ素子の支持部が、可撓性を有する複数の突状部を介して基板に実装されていることから、落下衝撃など基板に加えられた衝撃が、複数の突状部によって分散されたり、突状部の撓みによって吸収されたりして、ジャイロ素子に伝わり難い。したがって、基板に加えられた衝撃、振動によるジャイロ素子のクラック、破損などの不具合を防止することが可能となる。
[適用例5]本適用例に係る電子機器は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする。
この構成によれば、電子機器に用いられている電子デバイスが、外部からの衝撃、振動に強いことから、耐衝撃性、耐振動性を向上させた電子機器を構成できるという効果がある。
[適用例6]本適用例に係る移動体は、上記適用例のいずれか一例に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする。
この構成によれば、移動体に用いられている電子デバイスが、外部からの衝撃、振動に強いことから、耐衝撃性、耐振動性を向上させた移動体を構成できるという効果がある。
(第1実施形態)
以下、本発明にかかる電子デバイスの実施形態について説明する。
図1は、本発明の電子デバイスの第1実施形態としてのジャイロセンサーの概略を示し、(a)は平面図、(b)は正断面図である。図2は、図1に示すジャイロセンサーが備えるジャイロ素子の概略を示す平面図である。図3は、ジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。
なお、以下では、図1に示すように、互いに直交する3軸を、x軸、y軸およびz軸とし、z軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、x軸に平行な方向を「x軸方向(第2方向)」と言い、y軸に平行な方向を「y軸方向(第1方向)」と言い、z軸に平行な方向を「z軸方向」と言う。
以下、本発明にかかる電子デバイスの実施形態について説明する。
図1は、本発明の電子デバイスの第1実施形態としてのジャイロセンサーの概略を示し、(a)は平面図、(b)は正断面図である。図2は、図1に示すジャイロセンサーが備えるジャイロ素子の概略を示す平面図である。図3は、ジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。
なお、以下では、図1に示すように、互いに直交する3軸を、x軸、y軸およびz軸とし、z軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、x軸に平行な方向を「x軸方向(第2方向)」と言い、y軸に平行な方向を「y軸方向(第1方向)」と言い、z軸に平行な方向を「z軸方向」と言う。
図1に示す電子デバイスの一例としてのジャイロセンサー1は、素子としてのジャイロ素子(振動素子)2と、ジャイロ素子2を収納するパッケージ9とを有している。以下、ジャイロ素子2およびパッケージ9について順次詳細に説明する。
(ジャイロ素子)
図2は、上側から(リッド92側)から見たジャイロ素子の上面図である。なお、図2では、説明の便宜上、電極の図示を省略している。
図2は、上側から(リッド92側)から見たジャイロ素子の上面図である。なお、図2では、説明の便宜上、電極の図示を省略している。
ジャイロ素子2は、z軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサーであって、図2に示すように、振動片3と、振動片3の表面に設けられている複数の電極(図示せず)、配線(図示せず)および端子とで構成されている。
振動片3は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性(周波数特性)を発揮することのできる振動片3が得られる。
このような振動片3は、いわゆるダブルT型をなす振動体4と、振動体4を支持する支持部としての第1支持部51および第2支持部52と、振動体4と第1支持部51および第2支持部52とを連結する梁としての第1梁61、第2梁62、第3梁63および第4梁64とを有している。
振動片3は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性(周波数特性)を発揮することのできる振動片3が得られる。
このような振動片3は、いわゆるダブルT型をなす振動体4と、振動体4を支持する支持部としての第1支持部51および第2支持部52と、振動体4と第1支持部51および第2支持部52とを連結する梁としての第1梁61、第2梁62、第3梁63および第4梁64とを有している。
振動体4は、xy平面に拡がりを有し、z軸方向に厚みを有している。このような振動体4は、中央に位置する基部41と、基部41からy軸方向に沿って両側に延出している第1検出振動腕421、第2検出振動腕422と、基部41からx軸方向に沿って両側に延出している第1連結腕431、第2連結腕432と、第1連結腕431の先端部からy軸方向に沿って両側に延出している第1駆動振動腕441、第2駆動振動腕442と、第2連結腕432の先端部からy軸方向に沿って両側に延出している第3駆動振動腕443、第4駆動振動腕444とを有している。第1、第2検出振動腕421、422および第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の重量部(ハンマーヘッド)が設けられている。このような重量部を設けることでジャイロ素子2の角速度の検出感度が向上する。なお、以下では、この重量部を「先端部」とも言う。
なお、第1、第2駆動振動腕441、442は、第1連結腕431の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第3、第4駆動振動腕443、444は、第2連結腕432の延在方向の途中から延出してもよい。
また、第1支持部51および第2支持部52は、それぞれ、x軸方向に沿って延在しており、これら第1支持部51および第2支持部52の間に振動体4が位置している。言い換えれば、第1支持部51および第2支持部52は、振動体4を介してy軸方向に沿って対向するように配置されている。第1支持部51は、第1梁61、および第2梁62を介して基部41と連結されており、第2支持部52は、第3梁63、および第4梁64を介して基部41と連結されている。
また、第1支持部51および第2支持部52は、それぞれ、x軸方向に沿って延在しており、これら第1支持部51および第2支持部52の間に振動体4が位置している。言い換えれば、第1支持部51および第2支持部52は、振動体4を介してy軸方向に沿って対向するように配置されている。第1支持部51は、第1梁61、および第2梁62を介して基部41と連結されており、第2支持部52は、第3梁63、および第4梁64を介して基部41と連結されている。
第1梁61は、第1検出振動腕421と第1駆動振動腕441との間を通って第1支持部51と基部41を連結し、第2梁62は、第1検出振動腕421と第3駆動振動腕443との間を通って第1支持部51と基部41を連結し、第3梁63は、第2検出振動腕422と第2駆動振動腕442との間を通って第2支持部52と基部41を連結し、第4梁64は、第2検出振動腕422と第4駆動振動腕444との間を通って第2支持部52と基部41を連結している。
このような各梁61、62、63、64は、それぞれ、x軸方向に沿って往復しながらy軸方向に沿って延びる蛇行部(S字形状部)を有しており、x軸方向およびy軸方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各梁61、62、63、64で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。
なお、検出信号端子714、検出接地端子724、駆動信号端子734、および駆動接地端子744が固定部に相当する。
なお、検出信号端子714、検出接地端子724、駆動信号端子734、および駆動接地端子744が固定部に相当する。
(1)検出信号端子
また、検出信号端子714は、第1支持部51および第2支持部52に設けられている。より具体的には、検出信号端子714は、第1支持部51および第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子714は、互いに電気的に接続されている。また、第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子714は、互いに電気的に接続されている。
また、検出信号端子714は、第1支持部51および第2支持部52に設けられている。より具体的には、検出信号端子714は、第1支持部51および第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子714は、互いに電気的に接続されている。また、第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子714は、互いに電気的に接続されている。
第1支持部51に設けられている検出信号端子(第1検出信号端子)714は、第1梁61に設けられている検出信号配線(図示せず)を介して、第1検出振動腕421に設けられている検出信号電極(図示せず)と電気的に接続されている。これにより、第1検出振動腕421が振動することにより生じる第1検出信号を第1支持部51に設けられている検出信号端子714に伝達することができる。
第2支持部52に設けられている検出信号端子(第2検出信号端子)714は、第3梁63に設けられている検出信号配線(図示せず)を介して、第2検出振動腕422に設けられている検出信号電極(図示せず)と電気的に接続されている。これにより、第2検出振動腕422が振動することにより生じる第2検出信号を第2支持部52に設けられている検出信号端子714に伝達することができる。
(2)検出接地端子
検出接地端子724は、第1支持部51および第2支持部52に設けられている。具体的には、検出接地端子724は、第1支持部51および第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子724は、互いに電気的に接続されている。また、第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子724は、互いに電気的に接続されている。
検出接地端子724は、第1支持部51および第2支持部52に設けられている。具体的には、検出接地端子724は、第1支持部51および第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子724は、互いに電気的に接続されている。また、第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子724は、互いに電気的に接続されている。
第1支持部51に設けられている検出接地端子724は、第1検出振動腕421の先端部に対して、y軸の正の方向側に配置されている。また、第2支持部52に設けられている検出接地端子724は、第2検出振動腕422の先端部に対して、y軸の負の方向側に配置されている。
第1支持部51に設けられている検出接地端子(第1検出接地端子)724は、第1梁61に設けられている検出接地配線(図示せず)を介して、第1検出振動腕421に設けられている検出接地電極(図示せず)と電気的に接続されている。
第2支持部52に設けられている検出接地端子(第2検出接地端子)724は、第3梁63に設けられている検出接地配線(図示せず)を介して、第2検出振動腕422に設けられている検出接地電極(図示せず)と電気的に接続されている。
これにより、第1検出振動腕421に生じた検出振動は、第1検出振動腕421に設けられている検出信号電極と検出接地電極との間の電荷として現れ、第1支持部51に設けられている検出信号端子714と検出接地端子724とから信号として取り出すことができる。また、第2検出振動腕422に生じた検出振動は、第2検出振動腕422に設けられている検出信号電極と検出接地電極との間の電荷として現れ、第2支持部52に設けられている検出信号端子714と検出接地端子724とから信号として取り出すことができる。
(3)駆動信号端子
駆動信号端子734は、第2支持部52に設けられている。具体的には、駆動信号端子734は、第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている駆動信号端子734は、互いに電気的に接続されている。
駆動信号端子734は、第2支持部52に設けられている。具体的には、駆動信号端子734は、第2支持部52の上面および下面、さらに側面に設けられている。第2支持部52の上面、下面および側面に設けられている駆動信号端子734は、互いに電気的に接続されている。
第2支持部52に設けられている駆動信号端子734は、第4駆動振動腕444の先端部に対して、y軸の負の方向側に配置されている。
第2支持部52に設けられている駆動信号端子734は、第4梁64に設けられている駆動信号配線(図示せず)を介して、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動信号電極(図示せず)と電気的に接続されている。これにより、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444を駆動振動させるための駆動信号を駆動信号端子734から駆動信号電極(図示せず)に伝達することができる。
第2支持部52に設けられている駆動信号端子734は、第4梁64に設けられている駆動信号配線(図示せず)を介して、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動信号電極(図示せず)と電気的に接続されている。これにより、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444を駆動振動させるための駆動信号を駆動信号端子734から駆動信号電極(図示せず)に伝達することができる。
(4)駆動接地端子
駆動接地端子744は、第1支持部51に設けられている。具体的には、駆動接地端子744は、第1支持部51の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている駆動接地端子744は、互いに電気的に接続されている。
第1支持部51に設けられている駆動接地端子744は、第3駆動振動腕443の先端部に対して、y軸の正の方向側に配置されている。
駆動接地端子744は、第1支持部51に設けられている。具体的には、駆動接地端子744は、第1支持部51の上面および下面、さらに側面に設けられている。第1支持部51の上面、下面および側面に設けられている駆動接地端子744は、互いに電気的に接続されている。
第1支持部51に設けられている駆動接地端子744は、第3駆動振動腕443の先端部に対して、y軸の正の方向側に配置されている。
また、第1支持部51に設けられている駆動接地端子744は、第2梁62に設けられている駆動接地配線(図示せず)を介して、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動接地電極(図示せず)と電気的に接続されている。
これにより、第2支持部52に設けられている駆動信号端子と、第1支持部51に設けられている駆動接地端子との間に駆動信号を印加することで、第1、第2、第3、第4駆動振動腕441、442、443、444に設けられている駆動信号電極と駆動接地電極との間に電界を生じさせ、これら各駆動振動腕441、442、443、444を駆動振動させることができる。
なお、本例では一方の支持部としての第1支持部51に、固定部として検出信号端子714、検出接地端子724および駆動接地端子744の3つの端子が設けられている構成で説明したが、固定部としての端子は2つ以上であれば幾つであってもよい。また、前述と同様に、第2支持部52においても、固定部としての端子は2つ以上であれば幾つであってもよい。
このような構成のジャイロ素子2は、次のようにしてz軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子2は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極(図示せず)および駆動接地電極(図示せず)の間に電界が生じると、図3(a)に示すように、各駆動振動腕441、442、443、444が矢印Aに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第1、第2駆動振動腕441、442と、第3、第4駆動振動腕443、444とは、中心点G(重心G)を通るyz平面に関して面対称の振動を行っているため、基部41と、第1、第2連結腕431、432と、第1、第2検出振動腕421、422とは、ほとんど振動しない。
この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子2にz軸まわり角速度ωが加わると、図3(b)に示すような振動が発生する。すなわち、駆動振動腕441、442、443、444および連結腕431、432に矢印B方向のコリオリの力が働き、この矢印B方向の振動に呼応して、矢印C方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕421、422の歪みを検出信号電極(図示せず)および検出接地電極(図示せず)が検出して角速度ωが求められる。
(パッケージ)
次に図1に戻り、パッケージ9について説明する。パッケージ9は、ジャイロ素子2を収納するものである。なお、パッケージ9には、ジャイロ素子2の他に、ジャイロ素子2の駆動等を行うICチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ9は、その平面視(xy平面視)にて、略矩形状をなしている。
次に図1に戻り、パッケージ9について説明する。パッケージ9は、ジャイロ素子2を収納するものである。なお、パッケージ9には、ジャイロ素子2の他に、ジャイロ素子2の駆動等を行うICチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ9は、その平面視(xy平面視)にて、略矩形状をなしている。
パッケージ9は、上面に開放する凹部を有するベース91と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド(蓋体)92とを有している。また、ベース91は、基板としての板状の底板911と、底板911の上面周縁部に設けられている枠状の側壁912とを有している。このようなパッケージ9は、その内側に収納空間Sを有しており、この収納空間S内に、ジャイロ素子2が気密的に収納、設置されている。
底板911の上面には、2つの検出信号端子714、2つの検出接地端子724、駆動信号端子734および駆動接地端子744に対応する6つの接続パッド10が設けられている。さらに、それぞれの接続パッド10上には、円柱状に形成された複数(本例では9本)の突状部11が並立されている。突状部11は、可撓性(ばね性)を有する部材、本例では光感光性のポリイミド系樹脂(弾性率:1ギガパスカル(1GP)程度)を用い、底板911から直交する方向に突出した円柱状に形成されている。すなわち、突状部11は可撓性を有する軟性の柱状に形成されている。なお、突状部11を形成する部材としては、他の可撓性を有する部材であってもよく、例えばエポキシ系樹脂(弾性率:5ギガパスカル程度)、ウレタン系樹脂(弾性率:0.7〜1ギガパスカル程度)、シリコーン系樹脂(弾性率:0.1ギガパスカル程度)などを用いてもよい。また、光感光性に限らず、熱硬化性、熱可塑性などの樹脂であっても良い。
突状部11の端部(後述のジャイロ素子2が実装される側の端)には、例えば金(Au)などの電極膜12が形成されている。本例における電極膜12は、突状部11の端部から突状部11の側面を通り接続パッド10に達するように形成されている。この電極膜12によってジャイロ素子2と接続パッド10との電気的導通を取ることができる。なお、本例では、全ての突状部11に電極膜12が形成されている構成で説明したが、必ずしも全ての突状部11に電極膜12を設ける必要はなく、接続パッド10ごとで少なくとも一つの突状部11に電極膜12が設けられている構成でもよい。また、ジャイロ素子2と接続パッド10との電気的導通を他の配線、例えばワイヤーボンディングなどでとる場合は、突状部11に電極膜12が形成されていない構成であってもよい。
また、突状部11は、接続パッド10突出していればよく、その形状は円柱に限らず他の形状、例えば、多角柱、半球などであっても良い。
また、突状部11は、接続パッド10突出していればよく、その形状は円柱に限らず他の形状、例えば、多角柱、半球などであっても良い。
ジャイロ素子2は、第1支持部51および第2支持部52にて、半田、銀ペースト、導電性接着剤(樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤)などの導電性固定部材8を用い、突状部11を介して底板911の上面に固定されている。第1支持部51および第2支持部52は、ジャイロ素子2のy軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板911に固定することにより、ジャイロ素子2の振動体4が両持ち支持され、ジャイロ素子2を底板911に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子2の不要な振動(検出したい振動以外の振動)が抑制され、ジャイロ素子2による角速度ωの検出精度が向上する。
また、突状部11が複数設けられ、且つ可撓性(ばね性)を有しているため、落下衝撃などパッケージ9に加えられた衝撃が、複数の突状部11によって分散されたり、突状部11の撓みによって衝撃が吸収されたりすることから、ジャイロ素子2に伝わり難い。このように、複数の突状部11が緩衝部材の役目を果たし、パッケージ9の受けた衝撃がジャイロ素子2に直接伝わりにくくなることから、衝撃によるジャイロ素子2のクラック、破損などの不具合を防止することが可能となる。
また、突状部11が複数設けられ、且つ可撓性(ばね性)を有しているため、落下衝撃などパッケージ9に加えられた衝撃が、複数の突状部11によって分散されたり、突状部11の撓みによって衝撃が吸収されたりすることから、ジャイロ素子2に伝わり難い。このように、複数の突状部11が緩衝部材の役目を果たし、パッケージ9の受けた衝撃がジャイロ素子2に直接伝わりにくくなることから、衝撃によるジャイロ素子2のクラック、破損などの不具合を防止することが可能となる。
また、突状部11および導電性固定部材8は、第1支持部51および第2支持部52に設けられている2つの検出信号端子714、2つの検出接地端子724、駆動信号端子734および駆動接地端子744に対応(接触)して、かつ互いに離間して6つ設けられている。また、底板911の上面には、2つの検出信号端子714、2つの検出接地端子724、駆動信号端子734および駆動接地端子744に対応する6つの接続パッド10が設けられており、導電性固定部材8を介して、これら各接続パッド10とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。
このような構成とすることにより、突状部11および導電性固定部材8を、ジャイロ素子2を底板911に固定するための固定部材として用いることができるとともに、ジャイロ素子2との電気的な接続を行う接続部材として用いることができるため、電子デバイスとしてのジャイロセンサー1の構成の簡易化を図ることができる。
また、突状部11および導電性固定部材8は、ジャイロ素子2と底板911との間にギャップ(隙間)を形成し、これらの接触を防止するギャップ材としても用いられる。これにより、底板911との接触によるジャイロ素子2の破壊・破損を防止することができ、正確な角速度の検出と、優れた信頼性を発揮することのできるジャイロセンサー1となる。
なお、各接続パッド10は、図示しない導体ポストを介してパッケージ9の外部へ引き出されていたり、パッケージ9内にICチップ等を収納する場合には、そのICチップと電気的に接続されていたりする。
なお、各接続パッド10は、図示しない導体ポストを介してパッケージ9の外部へ引き出されていたり、パッケージ9内にICチップ等を収納する場合には、そのICチップと電気的に接続されていたりする。
ベース91の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド92の構成材料としては、特に限定されないが、ベース91の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース91の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース91とリッド92の接合は、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合してもよいし、シーム溶接等により接合してもよい。
(突状部の変形例)
次に、図4を用いて突状部の変形例について説明する。図4は、突状部の変形例の概略を示す正断面図である。
ここで示す変形例は、前述の実施形態と同様な構成であるが、突状部の構成が異なるものである。本変形例の説明では、前述の第1実施形態と同様の構成については同符号を付けて説明を省略する。
次に、図4を用いて突状部の変形例について説明する。図4は、突状部の変形例の概略を示す正断面図である。
ここで示す変形例は、前述の実施形態と同様な構成であるが、突状部の構成が異なるものである。本変形例の説明では、前述の第1実施形態と同様の構成については同符号を付けて説明を省略する。
図4に示すように、ジャイロセンサー1は、振動片としてのジャイロ素子(振動素子)2と、ジャイロ素子2を収納するパッケージ9とを有している。
パッケージ9の一部である底板911の上面には、接続パッド10が複数設けられている。そして、それぞれの接続パッド10上には、円柱状であって、開放された端部(ジャイロ素子2の接続される側の端部)から接続パッドに向かって徐々に径が小さくなる、所謂テーパー形状に形成された突状部11aが並立されている。換言すれば、突状部11aは、基板としての底板911から延出する部位の断面積より、ジャイロ素子2を実装する端部の断面積の方が大きい形状に形成されている。また、本例の突状部11aは、それぞれの接続パッド10に対応して9本が並立されている。突状部11aは、前述の第1実施形態と同様に、可撓性(ばね性)を有する部材を用いており、本例では感光性のポリイミド系樹脂(弾性率:1ギガパスカル(1GP)程度)を用いている。すなわち、突状部11aは可撓性を有する軟性の柱状に形成されている。なお、突状部11aを形成する部材については、前述の第1実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
パッケージ9の一部である底板911の上面には、接続パッド10が複数設けられている。そして、それぞれの接続パッド10上には、円柱状であって、開放された端部(ジャイロ素子2の接続される側の端部)から接続パッドに向かって徐々に径が小さくなる、所謂テーパー形状に形成された突状部11aが並立されている。換言すれば、突状部11aは、基板としての底板911から延出する部位の断面積より、ジャイロ素子2を実装する端部の断面積の方が大きい形状に形成されている。また、本例の突状部11aは、それぞれの接続パッド10に対応して9本が並立されている。突状部11aは、前述の第1実施形態と同様に、可撓性(ばね性)を有する部材を用いており、本例では感光性のポリイミド系樹脂(弾性率:1ギガパスカル(1GP)程度)を用いている。すなわち、突状部11aは可撓性を有する軟性の柱状に形成されている。なお、突状部11aを形成する部材については、前述の第1実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
突状部11aの端部(後述のジャイロ素子2が実装される側の端)には、例えば金(Au)などの電極膜12が形成されている。本例における電極膜12は、突状部11aの端部から突状部11aの側面を通り接続パッド10に達するように形成されている。この電極膜12によってジャイロ素子2と接続パッド10との電気的導通を取ることができる。なお、電極膜12の説明は前述の第1実施形態と同様であるので詳細な説明は省略する。
このような本変形例の構成によれば、第1実施形態と同様の効果に加えて、次のような効果を有している。本変形例の突状部11aは、ジャイロ素子2が接続される側の端部の断面積を大きくしつつ、底板911から延出する部位の断面積を小さくしている。これにより、突状部11aは、撓み易さを保持しつつ、ジャイロ素子2が接続される側の端部の部分の、それぞれの突状部11a間の隙間(間隔)を狭くすることができるため、突状部11aにジャイロ素子2を実装する際の接合材などが底板911側に流れてしまうことを防止することができる。そして、この流れた接合材によって突状部11aが実質的に太くなったり、複数の突状部11aがつながってしまったりすることによる、突状部11aの剛性の増加を防止することが可能となる。これにより突状部11aの柔軟性(可撓性)を損なうことを防止でき、衝撃によるジャイロ素子2のクラック、破損などの不具合を防止することができる。
前述した第1実施形態、及び変形例のように、ジャイロセンサー1は、ジャイロ素子2がそれぞれの接続パッド10上に形成(並立)された可撓性(ばね性)を有する複数(本例では9本)の突状部11、11a、および導電性固定部材8を介し基板としての底板911(パッケージ9)に実装されている。このような構成を用いることにより次のような効果を発揮することができる。
本実施形態で説明した電子デバイスの一例としてのジャイロセンサー1は、突状部11、11aが複数設けられ、且つ可撓性(ばね性)を有しているため、落下衝撃などパッケージ9に加えられた衝撃が、複数の突状部11、11aによって分散されたり、突状部11、11aの撓みによって衝撃が吸収されたりすることから、ジャイロ素子2に伝わり難い。このように、複数の突状部11、11aが緩衝部材の役目を果たし、パッケージ9の受けた衝撃がジャイロ素子2に直接伝わりにくくなることから、衝撃によるジャイロ素子2のクラック、破損などの不具合を防止することが可能なジャイロセンサーを提供することができる。
また、複数の突状部11、11aの柔軟性により、パッケージ9に加えられた衝撃が吸収され、ジャイロ素子2に伝わり難くなる効果も併せて有している。
また、突状部11、11aの少なくとも一部(本例では、突状部11、11aの端部から突状部11、11aの側面を通り接続パッド10に達するように形成されている。)に設けられた電極としての電極膜12によって、ジャイロ素子2と基板としての底板911に設けられた接続パッド10との電気的接続を容易に行うことができる。
また、複数の突状部11、11aの柔軟性により、パッケージ9に加えられた衝撃が吸収され、ジャイロ素子2に伝わり難くなる効果も併せて有している。
また、突状部11、11aの少なくとも一部(本例では、突状部11、11aの端部から突状部11、11aの側面を通り接続パッド10に達するように形成されている。)に設けられた電極としての電極膜12によって、ジャイロ素子2と基板としての底板911に設けられた接続パッド10との電気的接続を容易に行うことができる。
(第2実施形態)
次に、本発明の電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーの第2実施形態について図5を用いて説明する。図5は、本発明の電子デバイスの第2実施形態としてのジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。
次に、本発明の電子デバイスの一例としてのジャイロセンサーの第2実施形態について図5を用いて説明する。図5は、本発明の電子デバイスの第2実施形態としてのジャイロセンサーの概略を示す正断面図である。
ジャイロセンサー80は、ジャイロ素子2、IC84、パッケージ(収容器)81、蓋体86を備えている。セラミックなどで形成されたパッケージ81の底面にはIC84が配置され、Auなどのワイヤー85でパッケージ81に形成された配線(図示せず)と電気的接続がなされている。IC84にはジャイロ素子2を駆動振動させるための駆動回路と、角速度が加わったときにジャイロ素子2に生ずる検出振動を検出する検出回路とを含んでいる。パッケージ81に形成された支持台82には、接続パッド87が設けられている。
ジャイロ素子2は、接続パッド87上に設けられた複数の突状部88とジャイロ素子2の第1支持部51、第2支持部52とを導電性接着剤などの固定部材83を介して、接着支持されている。また、支持台82表面には配線(図示せず)が形成され、ジャイロ素子2の電極と配線間の導通が導電性接着剤などの固定部材83を介してなされている。複数の突状部88は、前述の第1実施形態で説明した構成と同様であるので、ここでの説明は省略する。また、同様に、複数の突状部88の表面に設けられる電極膜についての説明についても省略する。
そして、パッケージ81の上部で蓋体86によって封止されている。これにより、パッケージ81内が真空雰囲気に保持される。
そして、パッケージ81の上部で蓋体86によって封止されている。これにより、パッケージ81内が真空雰囲気に保持される。
第2実施形態のジャイロセンサー80によれば、突状部88が複数設けられ、且つ可撓性(ばね性)を有しているため、落下衝撃などパッケージ81に加えられた衝撃が、複数の突状部88によって分散されたり、突状部88の撓みによって衝撃が吸収されたりすることから、ジャイロ素子2に伝わり難い。このように、複数の突状部88が緩衝部材の役目を果たし、パッケージ81の受けた衝撃がジャイロ素子2に直接伝わりにくくなることから、衝撃によるジャイロ素子2のクラック、破損などの不具合を防止することが可能となる。
また、パッケージ81にジャイロ素子2とジャイロ素子2を駆動振動させるためのIC84とが収納されているためジャイロセンサー80の小型化を可能にすることができる。
さらに、ジャイロセンサー80の支持構造において、複数の突状部88が緩衝部材の役目を果たしているため、第1支持部51、第2支持部52に漏洩してきている微小の振動を、複数の突状部88が吸収し、駆動振動および検出振動への影響を低減することができる。
また、パッケージ81にジャイロ素子2とジャイロ素子2を駆動振動させるためのIC84とが収納されているためジャイロセンサー80の小型化を可能にすることができる。
さらに、ジャイロセンサー80の支持構造において、複数の突状部88が緩衝部材の役目を果たしているため、第1支持部51、第2支持部52に漏洩してきている微小の振動を、複数の突状部88が吸収し、駆動振動および検出振動への影響を低減することができる。
前述の実施形態では、素子として所謂WT型のジャイロ素子を用いたジャイロセンサーを例に説明したが、電子デバイスとしてはこれに限らない。他の電子デバイスとしては、例えば素子として音叉型のジャイロ素子を用いたジャイロセンサー、水晶振動素子(振動片)を用いたタイミングデバイス(水晶振動子、水晶発振器など)、感圧素子を用いた圧力センサーなどであってもよい。
[電子機器]
次いで、本発明の一実施形態に係る電子デバイスを適用した電子機器について、図6〜図8に基づき、詳細に説明する。
次いで、本発明の一実施形態に係る電子デバイスを適用した電子機器について、図6〜図8に基づき、詳細に説明する。
図6は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスを備える電子機器としてのモバイル型(又はノート型)のパーソナルコンピューターの構成の概略を示す斜視図である。この図において、パーソナルコンピューター1100は、キーボード1102を備えた本体部1104と、表示部100を備えた表示ユニット1106とにより構成され、表示ユニット1106は、本体部1104に対しヒンジ構造部を介して回動可能に支持されている。このようなパーソナルコンピューター1100には、フィルター、共振器、基準クロック等として機能する電子デバイス(タイミングデバイス)1が内蔵されている。
図7は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスを備える電子機器としての携帯電話機(PHSも含む)の構成の概略を示す斜視図である。この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。このような携帯電話機1200には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子デバイス(タイミングデバイス、ジャイロセンサー)1が内蔵されている。
図8は、本発明の一実施形態に係る電子デバイスを備える電子機器としてのデジタルスチールカメラの構成の概略を示す斜視図である。なお、この図には、外部機器との接続についても簡易的に示されている。ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、デジタルスチールカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)等の撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部100が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部100は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部100に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ1300には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子デバイス(タイミングデバイス、ジャイロセンサー)1が内蔵されている。
デジタルスチールカメラ1300におけるケース(ボディー)1302の背面には、表示部100が設けられ、CCDによる撮像信号に基づいて表示を行う構成になっており、表示部100は、被写体を電子画像として表示するファインダーとして機能する。また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCD等を含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部100に表示された被写体像を確認し、シャッターボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリー1308に転送・格納される。また、このデジタルスチールカメラ1300においては、ケース1302の側面に、ビデオ信号出力端子1312と、データ通信用の入出力端子1314とが設けられている。そして、図示されるように、ビデオ信号出力端子1312にはテレビモニター1430が、データ通信用の入出力端子1314にはパーソナルコンピューター1440が、それぞれ必要に応じて接続される。さらに、所定の操作により、メモリー1308に格納された撮像信号が、テレビモニター1430や、パーソナルコンピューター1440に出力される構成になっている。このようなデジタルスチールカメラ1300には、フィルター、共振器、角速度センサー等として機能する電子デバイス(タイミングデバイス、ジャイロセンサー)1が内蔵されている。
なお、本発明の一実施形態に係る電子デバイス1は、図6のパーソナルコンピューター(モバイル型パーソナルコンピューター)、図7の携帯電話機、図8のデジタルスチールカメラの他にも、例えば、インクジェット式吐出装置(例えばインクジェットプリンター)、ラップトップ型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳(通信機能付も含む)、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、POS端末、医療機器(例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡)、魚群探知機、各種測定機器、計器類(例えば、車両、航空機、船舶の計器類)、フライトシミュレーター等の電子機器に適用することができる。
[移動体]
図9は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車106には本発明に係る振動素子を有する振動子やジャイロ素子を有するジャイロセンサーなどの電子デバイス1が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車106には、電子デバイス1を内蔵してタイヤ109を制御する電子制御ユニット108が車体107に搭載されている。また、他の例としては、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
図9は移動体の一例としての自動車を概略的に示す斜視図である。自動車106には本発明に係る振動素子を有する振動子やジャイロ素子を有するジャイロセンサーなどの電子デバイス1が搭載されている。例えば、同図に示すように、移動体としての自動車106には、電子デバイス1を内蔵してタイヤ109を制御する電子制御ユニット108が車体107に搭載されている。また、他の例としては、キーレスエントリー、イモビライザー、カーナビゲーションシステム、カーエアコン、アンチロックブレーキシステム(ABS)、エアバック、タイヤ・プレッシャー・モニタリング・システム(TPMS:Tire Pressure Monitoring System)、エンジンコントロール、ハイブリッド自動車や電気自動車の電池モニター、車体姿勢制御システム、等の電子制御ユニット(ECU:electronic control unit)に広く適用できる。
1、80…電子デバイス(ジャイロセンサー)、2…素子としてのジャイロ素子、3…振動片、4…振動体、8、83…導電性固定部材(銀ペースト)、9…パッケージ、10、87…接続パッド、11、11a、88…突状部、12、…電極膜、41…基部、51…第1支持部、52…第2支持部、61…第1梁、62…第2梁、63…第3梁、64…第4梁、91…ベース、92…リッド、106…移動体としての自動車、421…第1検出振動腕、422…第2検出振動腕、431…第1連結腕、432…第2連結腕、441…第1駆動振動腕、442…第2駆動振動腕、443…第3駆動振動腕、444…第4駆動振動腕、724…固定部としての検出接地端子、734…固定部としての駆動信号端子、744…固定部としての駆動信号端子、911…底板、912…側壁、1100…電子機器としてのモバイル型のパーソナルコンピューター、1200…電子機器としての携帯電話機、1300…電子機器としてのデジタルスチールカメラ。
Claims (6)
- 基板と、
前記基板に設けられ、可撓性を有する複数の突状部と、
前記突状部を介して前記基板に実装された素子と、を備えていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1に記載の電子デバイスにおいて、
前記突状部は、前記基板から延出する端部の断面積より、前記素子を実装する端部の断面積の方が大きいことを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1または請求項2に記載の電子デバイスにおいて、
前記突状部の少なくとも一部には、電極が設けられていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1ないし請求項3のいずれか一項に記載の電子デバイスにおいて、
前記素子は、
基部と、
前記基部から両側へ延出された1対の検出用振動腕と、
前記基部から両側へ前記検出用振動腕に直交する方向に延出された1対の連結腕と、
それぞれの前記連結腕から両側へ前記検出用振動腕と並行するように延出された各1対の駆動用振動腕と、
前記基部からそれぞれの前記検出用振動腕に沿って延出される2対の梁と、
同方向に延出されたそれぞれの前記梁が、前記各検出用振動腕の延出する方向であって前記検出用振動腕の外側で連結された1対の支持部と、を同一平面に備えているジャイロ素子であり、
前記支持部が前記突状部を介して前記基板に実装されていることを特徴とする電子デバイス。 - 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし請求項4のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012125887A JP2013250187A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012125887A JP2013250187A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013250187A true JP2013250187A (ja) | 2013-12-12 |
Family
ID=49849006
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012125887A Pending JP2013250187A (ja) | 2012-06-01 | 2012-06-01 | 電子デバイス、電子機器、および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013250187A (ja) |
-
2012
- 2012-06-01 JP JP2012125887A patent/JP2013250187A/ja active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US9933261B2 (en) | Physical quantity sensor, electronic apparatus and moving object | |
JP6074967B2 (ja) | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 | |
US8624339B2 (en) | Vibrating device and electronic apparatus | |
JP6572603B2 (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
US8797760B2 (en) | Substrate, electronic device, and electronic apparatus | |
US20200309526A1 (en) | Vibrator device, electronic apparatus, and vehicle | |
JP2016176892A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
US9587944B2 (en) | Angular velocity sensor, electronic apparatus, and moving object | |
JP6167474B2 (ja) | センサーデバイスおよび電子機器 | |
JP2016176891A (ja) | 角速度検出素子、角速度検出デバイス、電子機器および移動体 | |
CN112311348A (zh) | 振动器件、电子设备以及移动体 | |
JP2018165642A (ja) | 振動デバイス、電子機器および移動体 | |
JP2013225591A (ja) | 電子デバイスおよび電子機器 | |
JP6443058B2 (ja) | 物理量センサー、電子機器および移動体 | |
US10393524B2 (en) | Electronic device, electronic apparatus, and moving object | |
JP2014092500A (ja) | 振動片、振動子、電子デバイス、電子機器、および移動体 | |
JP2016170002A (ja) | ジャイロモジュール、電子機器及び移動体 | |
JP2017173074A (ja) | センサーデバイス、電子機器及び移動体 | |
JP2013250187A (ja) | 電子デバイス、電子機器、および移動体 | |
JP2015099061A (ja) | 物理検出装置の製造方法、振動素子、物理検出装置および電子機器 | |
JP2015087148A (ja) | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 | |
JP2019169796A (ja) | 振動デバイス、電子機器および移動体 | |
JP2014025742A (ja) | 振動片、ジャイロセンサー、電子機器、および移動体 | |
JP2017211255A (ja) | 電子デバイス、電子デバイスの製造方法、物理量センサー、電子機器および移動体 | |
JP6939007B2 (ja) | センサー、電子機器および移動体 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20150108 |