CN112311348A - 振动器件、电子设备以及移动体 - Google Patents

Abstract

提供振动器件、电子设备以及移动体，具有优异的检测特性。振动器件具有振动元件以及与振动元件对置地配置的支承基板。支承基板具有：基部，其对振动元件进行支承；支承部，其对基部进行支承；多个梁部，它们连接基部和支承部；以及驱动信号布线、驱动恒定电位布线、检测信号布线以及检测恒定电位布线，它们通过梁部而被引绕到基部和支承部，在规定的梁部处，在振动元件侧的面配置有驱动恒定电位布线和检测恒定电位布线中的至少一方，在相反侧的面配置有检测信号布线。

Description

振动器件、电子设备以及移动体

技术领域

本发明涉及振动器件、电子设备以及移动体。

背景技术

在专利文献1中记载了一种振动器件，该振动器件作为角速度传感器来使用，具有被多个内部引线支承在TAB基板的上方的振动元件。振动元件具有：驱动臂，其具有驱动信号电极和驱动恒定电位电极，通过对驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及检测臂，其具有检测信号电极和检测恒定电位电极，通过受到惯性而进行检测振动，从而从检测信号电极输出检测信号。另一方面，多个内部引线包括：驱动信号电极用内部引线，其与驱动信号电极电连接；驱动恒定电位电极用内部引线，其与驱动恒定电位电极电连接；检测信号电极用内部引线，其与检测信号电极电连接；以及检测恒定电位电极用内部引线，其与检测恒定电位电极电连接。

专利文献1：日本特开2017-26336号公报

但是，在上述振动器件中，检测信号电极用内部引线与驱动信号电极接近而设置，并且在它们之间没有屏蔽部件等屏蔽电场的部件。因此，在检测信号电极用内部引线与驱动信号电极之间容易产生电容耦合，施加于驱动信号电极的驱动信号作为噪声而经由检测信号电极用内部引线混入到检测信号，存在角速度的检测精度下降的问题。

发明内容

本应用例的振动器件的特征在于，具有：振动元件；以及支承基板，其与所述振动元件对置地配置，对所述振动元件进行支承，具有所述振动元件侧的第1面和与所述第1面相反的一侧的第2面，所述振动元件具有：驱动臂，其具有驱动信号电极和驱动恒定电位电极，通过对所述驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及检测臂，其具有检测信号电极和检测恒定电位电极，通过接收检测对象的物理量而进行检测振动，从而从所述检测信号电极输出检测信号，所述支承基板具有：基部，其对所述振动元件进行支承；支承部，其对所述基部进行支承；多个梁部，它们连接所述基部和所述支承部；驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；驱动恒定电位布线，其与所述驱动恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；检测信号布线，其与所述检测信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；以及检测恒定电位布线，其与所述检测恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部，在多个所述梁部所包含的规定的梁部处，在所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线和所述检测恒定电位布线中的至少一方，在所述第2面配置有所述检测信号布线。

在本应用例的振动器件中，优选所述规定的梁部具有连接所述第1面和所述第2面的一对梁部侧面，在所述规定的梁部处，所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线配置在所述第1面、各所述梁部侧面以及所述第2面。

在本应用例的振动器件中，优选所述规定的梁部具有与所述驱动臂对置的部分。

在本应用例的振动器件中，优选所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动信号电极，在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动恒定电位电极。

在本应用例的振动器件中，优选所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动恒定电位电极，在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动信号电极。

在本应用例的振动器件中，优选在所述支承部的所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线。

在本应用例的振动器件中，优选所述支承部呈包围所述基部的框状。

在本应用例的振动器件中，优选在设互相垂直的3个轴为A轴、B轴以及C轴，所述振动元件和所述支承基板在沿着所述C轴的方向上对置时，所述振动元件具有：元件基部；一对所述检测臂，它们从所述元件基部沿着所述B轴朝向两侧延伸；一对连结臂，它们从所述元件基部沿着所述A轴朝向两侧延伸；一对所述驱动臂，它们从一方的所述连结臂的末端部沿着所述B轴朝向两侧延伸；以及一对所述驱动臂，它们从另一方的所述连结臂的末端部沿着所述B轴朝向两侧延伸，所述元件基部借助接合部件而固定于所述基部。

在本应用例的振动器件中，优选具有与所述振动元件电连接的电路元件，所述支承基板位于所述振动元件与所述电路元件之间。

本应用例的电子设备的特征在于，具有：上述振动器件；以及信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号来进行信号处理。

本应用例的移动体的特征在于，具有：上述振动器件；以及信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号来进行信号处理。

附图说明

图1是示出第1实施方式的振动器件的剖视图。

图2是示出图1的振动器件的俯视图。

图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。

图4是图3中的A-A线剖视图。

图5是图3中的B-B线剖视图。

图6是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。

图7是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。

图8是从上表面侧观察支承基板的立体图。

图9是从下表面侧观察支承基板的立体图。

图10是从上侧观察第2实施方式的振动器件所具有的支承基板的立体图。

图11是从下侧观察图10所示的支承基板的立体图。

图12是从上侧观察第3实施方式的振动器件所具有的支承基板的立体图。

图13是从下侧观察图12所示的支承基板的立体图。

图14是从上侧观察第4实施方式的振动器件所具有的支承基板的立体图。

图15是示出第5实施方式的振动器件的俯视图。

图16是示出第6实施方式的振动器件的剖视图。

图17是示出第7实施方式的振动器件所具有的支承基板的剖视图。

图18是示出第8实施方式的个人计算机的立体图。

图19是示出第9实施方式的移动电话的立体图。

图20是示出第10实施方式的数字静态照相机的立体图。

图21是示出第11实施方式的汽车的立体图。

标号说明

1：振动器件；2：封装；21：基座；211、211a、211b、211c：凹部；22：盖；23：接合部件；241、242：内部端子；243：外部端子；3：电路元件；4：支承基板；4a：上表面；4b：下表面；4c、4d：侧面；40：基部；41：支承部；411：第1支承部；412：第2支承部；42、43、44、45：梁部；5：布线；51：驱动信号布线；511、512：端子；513：布线；52：驱动恒定电位布线；521、522：端子；523：布线；53：第1检测信号布线；531、532：端子；533：布线；54：检测接地布线；541、542：端子；543：布线；55：第2检测信号布线；551、552：端子；553：布线；6：振动元件；7：振动基板；7a：下表面；7b：上表面；7c、7d：侧面；7e、7f：凹部；70：元件基部；701～706：端子；71、72：检测臂；73、74：连结臂；75、76、77、78：驱动臂；8：电极；81：驱动信号电极；82：驱动恒定电位电极；83：第1检测信号电极；84：第1检测接地电极；85：第2检测信号电极；86：第2检测接地电极；1100：个人计算机；1102：键盘；1104：主体部；1106：显示单元；1108：显示部；1110：信号处理电路；1200：移动电话；1202：操作按钮；1204：听筒；1206：话筒；1208：显示部；1210：信号处理电路；1300：数字静态照相机；1302：壳体；1304：受光单元；1306：快门按钮；1308：存储器；1310：显示部；1312：信号处理电路；1500：汽车；1502：系统；1510：信号处理电路；B1、B2、B3：接合部件；BW：接合线；D、E：箭头；Q21、Q22、Q31、Q32、Q41、Q42、Q51、Q52：区域；S：内部空间；ωc：角速度。

具体实施方式

以下，基于附图所示的实施方式对本应用例的振动器件、电子设备以及移动体进行详细说明。

＜第1实施方式＞

图1是示出第1实施方式的振动器件的剖视图。图2是示出图1的振动器件的俯视图。图3是示出图1的振动器件所具有的振动元件的俯视图。图4是图3中的A-A线剖视图。图5是图3中的B-B线剖视图。图6和图7是对图3的振动元件的驱动进行说明的示意图。图8是从上表面侧观察支承基板的立体图。图9是从下表面侧观察支承基板的立体图。

另外，为了便于说明，在图1至图9中示出了互相垂直的3个轴即A轴、B轴以及C轴。并且，以下，将各轴的箭头前端侧也称为“正侧”，将相反侧也称为“负侧”。并且，将C轴的正侧也称为“上”，将负侧也称为“下”。并且，将从沿着C轴的方向的俯视观察也简称为“俯视观察”。

图1所示的振动器件1是检测以C轴为检测轴的角速度ωc的物理量传感器。这样，通过将振动器件1作为物理量传感器，能够将振动器件1搭载于多种电子设备，成为具有高需求的便利性高的振动器件1。这样的振动器件1具有封装2、收纳于封装2的电路元件3、支承基板4以及振动元件6。

封装2具有：基座21，其具有在上表面开口的凹部211；盖22，其以封闭凹部211的开口的方式借助接合部件23而与基座21的上表面接合。在封装2的内侧由凹部211形成内部空间S，在内部空间S中分别收纳有电路元件3、支承基板4以及振动元件6。例如，基座21可以由氧化铝等陶瓷构成，盖22可以由可伐合金等金属材料构成。但是，作为基座21和盖22的构成材料，均没有特别限定。

内部空间S是气密的，处于减压状态，优选更接近真空的状态。由此，粘性阻力减小而提高了振动元件6的振动特性。但是，内部空间S的气氛没有特别限定，例如也可以是大气压状态、加压状态。

并且，凹部211由多个凹部构成，具有：凹部211a，其在基座21的上表面开口；凹部211b，其在凹部211a的底面开口且开口幅度比凹部211a小；以及凹部211c，其在凹部211b的底面开口且开口幅度比凹部211b小。而且，在凹部211a的底面以支承着振动元件6的状态固定有支承基板4，在凹部211c的底面固定有电路元件3。

并且，如图2所示，在内部空间S中，振动元件6、支承基板4以及电路元件3在俯视观察时互相重叠地配置。换言之，振动元件6、支承基板4以及电路元件3沿着C轴排列配置。由此，能够抑制封装2向沿着A轴和B轴的方向的平面扩展，能够实现振动器件1的小型化。并且，支承基板4位于振动元件6与电路元件3之间，以从下侧即C轴负侧支承振动元件6的方式进行支承。

并且，如图1和图2所示，在凹部211a的底面配置有多个内部端子241，在凹部211b的底面配置有多个内部端子242，在基座21的下表面配置有多个外部端子243。这些内部端子241、242和外部端子243经由形成在基座21内的未图示的布线而电连接。并且，内部端子241经由导电性的接合部件B1、B2和支承基板4而与振动元件6电连接，内部端子242经由接合线BW而与电路元件3电连接。

振动元件6作为物理量传感器元件，是能够检测以C轴为检测轴的角速度ωc的角速度传感器元件。如图3所示，振动元件6具有振动基板7以及配置于振动基板7的表面的电极8。振动基板7由Z切的石英基板构成。Z切的石英基板在由石英的晶轴即作为电轴的X轴和作为机械轴的Y轴规定的X-Y平面上扩展，在沿着作为光轴的Z轴的方向上具有厚度。

振动元件6呈板状，具有支承基板4侧的主面即作为第3面的下表面7a以及与下表面7a相反的一侧的主面即作为第4面的上表面7b。并且，振动基板7具有：元件基部70，其位于中央部；一对检测臂71、72，它们从元件基部70沿着B轴朝向两侧延伸；一对连结臂73、74，它们从元件基部70沿着A轴朝向两侧延伸；一对驱动臂75、76，它们从连结臂73的末端部沿着B轴朝向两侧延伸；以及一对驱动臂77、78，它们从连结臂74的末端部沿着B轴朝向两侧延伸。

并且，如图4和图5所示，检测臂71、72以及驱动臂75～78分别具有上表面7b、下表面7a、以及连接上表面7b和下表面7a的作为一对驱动臂侧面的侧面7c、7d。此外，在驱动臂75～78中，上表面7b具有向下侧凹陷的凹部7e，下表面7a具有向上侧凹陷的凹部7f。即，检测臂71、72呈大致矩形的横截面形状，驱动臂75～78呈大致H状的横截面形状。

电极8具有驱动信号电极81、驱动恒定电位电极82、第1检测信号电极83、作为检测恒定电位电极的第1检测接地电极84、第2检测信号电极85以及作为检测恒定电位电极的第2检测接地电极86。另外，驱动恒定电位电极82是相对于驱动信号电极81的恒定电位侧的电极，与低电位连接。另外，驱动恒定电位电极82也可以接地。第1检测接地电极84是第1检测信号电极83的地(ground)，第2检测接地电极86是第2检测信号电极85的地。

驱动信号电极81配置在驱动臂75、76的两侧面7c、7d及驱动臂77、78的上表面7b和下表面7a。另一方面，驱动恒定电位电极82配置在驱动臂75、76的上表面7b和下表面7a及驱动臂77、78的两侧面7c、7d。并且，第1检测信号电极83配置在检测臂71的上表面7b和下表面7a，第1检测接地电极84配置在检测臂71的两侧面7c、7d。另一方面，第2检测信号电极85配置在检测臂72的上表面7b和下表面7a，第2检测接地电极86配置在检测臂72的两侧面7c、7d。

并且，这些电极81～86分别引绕至元件基部70的下表面。因此，在元件基部70的下表面配置有：端子701，其与驱动信号电极81电连接；端子702，其与驱动恒定电位电极82电连接；端子703，其与第1检测信号电极83电连接；端子704，其与第1检测接地电极84电连接；端子705，其与第2检测信号电极85电连接；以及端子706，其与第2检测接地电极86电连接。

这样的振动元件6按照如下方式来检测角速度ωc。首先，当在驱动信号电极81和驱动恒定电位电极82之间施加驱动信号时，驱动臂75～78如图6所示那样沿着与A轴和B轴平行的平面内并且沿着A轴弯曲振动。以下，将该驱动模式称为驱动振动模式。并且，在以驱动振动模式进行驱动的状态下，当对振动元件6施加角速度ωc时，新激励出图7所示的检测振动模式。在检测振动模式中，对驱动臂75～78作用科里奥利力而激励出箭头D所示的方向的振动，检测臂71、72响应该振动而在箭头E所示的方向上产生基于弯曲振动的检测振动。将通过这样的检测振动模式在检测臂71产生的电荷作为第1检测信号从第1检测信号电极83和第1检测接地电极84之间取出，将在检测臂72产生的电荷作为第2检测信号从第2检测信号电极85和第2检测接地电极86之间取出，能够根据这些第1检测信号、第2检测信号来检测角速度ωc。

回到图1，电路元件3被固定于凹部211c的底面。在电路元件3中包含有对振动元件6进行驱动并检测施加给振动元件6的角速度ωc的驱动电路和检测电路。但是，作为电路元件3，没有特别限定，例如也可以包含温度补偿电路等其他电路。

并且，支承基板4呈板状，具有振动元件6侧的主面即作为第1面的上表面4a和与上表面4a相反的一侧的主面即作为第2面的下表面4b。并且，如图2所示，支承基板4具有：基部40；支承部41，其对基部40进行支承，具有将基部40夹在中间并沿着A轴在两侧分开配置的第1支承部411和第2支承部412；一对梁部42、43，它们连接基部40和第1支承部411；以及一对梁部44、45，它们连接基部40和第2支承部412。

并且，振动元件6的元件基部70借助导电性的接合部件B2而固定于基部40，第1支承部411和第2支承部412分别借助接合部件B1而固定于凹部211a的底面。也就是说，振动元件6经由支承基板4而固定于基座21。这样，通过使支承基板4介于振动元件6与基座21之间，能够通过支承基板4来吸收并缓和从基座21传来的应力，该应力不容易传递到振动元件6。因此，能够有效地抑制振动元件6的振动特性的降低、变动。

特别是，在本实施方式中，在俯视观察时，第1、第2支承部411、412分别位于振动元件6的外侧。具体来说，第1支承部411位于振动元件6的A轴正侧，第2支承部412位于A轴负侧。由此，能够使第1支承部411、第2支承部412将振动元件6夹在中间而互相充分地分开配置，因此，能够以更稳定的姿势对振动元件6进行支承。因此，提高了振动元件6的振动特性。

另外，作为接合部件B1、B2，只要兼具导电性和接合性，则没有特别限定，例如可以使用金凸块、银凸块、铜凸块、焊锡凸块等各种金属凸块、在聚酰亚胺系、环氧系、硅酮系、丙烯酸系的各种粘接剂中分散有银填料等导电性填料而成的导电性粘接剂等。如果使用前者的金属凸块来作为接合部件B1、B2，则能够抑制从接合部件B1、B2产生气体，能够有效地抑制内部空间S的环境变化，特别是压力的上升。另一方面，如果使用后者的导电性粘接剂作为接合部件B1、B2，则接合部件B1、B2比较柔软，接合部件B1、B2也能够吸收并缓和上述应力。

在本实施方式中，使用导电性粘接剂来作为接合部件B1，使用金属凸块来作为接合部件B2。通过使用导电性粘接剂来作为将作为异种材料的支承基板4和基座21接合起来的接合部件B1，能够通过接合部件B1来有效地吸收并缓和因它们之间的热膨胀系数差而产生的热应力。另一方面，由于支承基板4和振动元件6由配置在比较狭窄的区域中的6个接合部件B2进行接合，因此通过使用金属凸块作为接合部件B2，能够抑制导电性粘接剂那样的润湿扩展，从而能够有效地抑制接合部件B2彼此的接触。

如图3所示，梁部42、43、44、45分别在其途中具有呈S字状曲折的部分，成为容易在沿着A轴的方向、沿着B轴的方向以及沿着C轴的方向上发生弹性变形的形状。通过梁部42～45在沿着A轴的方向、沿着B轴的方向以及沿着C轴的方向上发生变形，能够有效地吸收并缓和从基座21传递的应力。但是，梁部42～45的形状均没有限定，例如也可以省略曲折的部分而成为直线状。并且，梁部42～45也可以是其中至少一个与其他的形状不同。

并且，在从沿着C轴的方向俯视观察时，振动元件6的驱动臂75与梁部42重叠，驱动臂76与梁部43重叠，驱动臂77与梁部44重叠，驱动臂78与梁部45重叠。因此，在驱动臂75～78由于冲击等而在沿着C轴的方向上挠曲时，驱动臂75～78与梁部42～45接触，抑制了其以上的过度挠曲。即，梁部42～45作为抑制驱动臂75～78向沿着C轴的方向过度变形的止挡件来发挥功能。由此，能够抑制振动元件6的破损。特别是，由于梁部42～45在支承基板4中也是柔软的部位，所以通过使驱动臂75～78与梁部42～45接触，也能够缓和接触时的冲击。

并且，梁部42、43、44、45的横截面形状分别为大致矩形，具有上表面4a、下表面4b、以及连接上表面4a和下表面4b的作为一对梁部侧面的侧面4c、4d。

这样的支承基板4由石英基板构成。这样，通过与振动基板7同样地由石英基板构成支承基板4，能够使支承基板4与振动基板7的热膨胀系数相等。因此，在支承基板4与振动基板7之间实质上不产生由互相的热膨胀系数差引起的热应力，振动元件6更不容易受到应力。因此，能够更有效地抑制振动元件6的振动特性的降低、变动。

特别是，支承基板4由切角与振动元件6所具有的振动基板7的切角相同的石英基板构成。在本实施方式中，由于振动基板7由Z切石英基板构成，因此支承基板4也由Z切石英基板构成。并且，支承基板4的晶轴的方向与振动基板7的晶轴的方向一致。即，在支承基板4和振动基板7中，X轴一致，Y轴一致，Z轴一致。由于石英的热膨胀系数在沿着X轴的方向、沿着Y轴的方向以及沿着Z轴的方向上分别不同，所以通过使支承基板4和振动基板7为相同的切角并使彼此的晶轴的方向一致，从而在支承基板4与振动基板7之间更不容易产生上述热应力。因此，振动元件6更不容易受到应力，能够更有效地抑制其振动特性的降低、变动。

另外，作为支承基板4，并不限于此，例如，也可以是切角与振动基板7相同但晶轴的方向与振动基板7不同。并且，支承基板4也可以由切角与振动基板7不同的石英基板形成。并且，支承基板4也可以不由石英基板形成。在该情况下，支承基板4的构成材料优选为与石英的热膨胀系数之差小于石英与基座21的构成材料的热膨胀系数差的材料。

并且，在支承基板4配置有将振动元件6和内部端子241电连接的布线5。布线5具有：驱动信号布线51，其将端子701和内部端子241电连接；驱动恒定电位布线52，其将端子702和内部端子241电连接；作为检测信号布线的第1检测信号布线53，其将端子703和内部端子241电连接；作为检测恒定电位布线的检测接地布线54，其将端子704、706和内部端子241电连接；以及作为检测信号布线的第2检测信号布线55，其将端子705和内部端子241电连接。

如图8和图9所示，驱动信号布线51具有：端子511，其位于驱动信号布线51的一端部，配置于基部40的上表面4a；端子512，其位于驱动信号布线51的另一端部，配置于第2支承部412的下表面4b；以及布线513，其将端子511和端子512电连接。并且，布线513在梁部44、45的下表面4b通过并被引绕到基部40和第2支承部412，从而将端子511和端子512电连接。另外，梁部44的下表面4b具有在宽度方向上大致一分为二的两个区域Q41、Q42，同样，梁部45的下表面4b具有在宽度方向上大致一分为二的两个区域Q51、Q52。并且，布线513在梁部44的下表面4b的区域Q41内通过并被引绕到基部40和第2支承部412，在梁部45的下表面4b的区域Q51内通过并被引绕到基部40和第2支承部412。

驱动恒定电位布线52具有：端子521，其位于驱动恒定电位布线52的一端部，配置于基部40的上表面4a；端子522，其位于驱动恒定电位布线52的另一端部，配置于第1支承部411的下表面4b；以及布线523，其将端子521和端子522电连接。并且，布线523在梁部42、43的下表面4b通过并被引绕到基部40和第1支承部411，从而将端子521和端子522电连接。另外，梁部42的下表面4b具有在宽度方向上大致一分为二的两个区域Q21、Q22，同样，梁部43的下表面4b具有在宽度方向上大致一分为二的两个区域Q31、Q32。并且，布线523在梁部42的下表面4b的区域Q21内通过并被引绕到基部40和第1支承部411，在梁部43的下表面4b的区域Q31内通过并被引绕到基部40和第1支承部411。

第1检测信号布线53具有：端子531，其位于第1检测信号布线53的一端部，配置于基部40的上表面4a；端子532，其位于第1检测信号布线53的另一端部，配置于第1支承部411的下表面4b；以及布线533，其将端子531和端子532电连接。并且，布线533在梁部43的下表面4b通过并被引绕到基部40和第1支承部411，从而将端子531和端子532电连接。另外，如上所述，梁部43的下表面4b具有在宽度方向上大致一分为二的两个区域Q31、Q32。并且，布线533在梁部43的下表面4b的区域Q32内通过并被引绕到基部40和第1支承部411。也就是说，在梁部43的下表面4b沿梁部43的宽度方向排列配置有布线533、523。

第2检测信号布线55具有：端子551，其位于第2检测信号布线55的一端部，配置于基部40的上表面4a；端子552，其位于第2检测信号布线55的另一端部，配置于第1支承部411的下表面4b；以及布线553，其将端子551和端子552电连接。并且，布线553在梁部42的下表面4b通过并被引绕到基部40和第1支承部411，从而将端子551和端子552电连接。另外，如上所述，梁部42的下表面4b具有在宽度方向上大致一分为二的两个区域Q21、Q22。并且，布线553在梁部42的下表面4b的区域Q22内通过并被引绕到基部40和第1支承部411。也就是说，在梁部42的下表面4b沿梁部42的宽度方向排列配置有布线553、523。

检测接地布线54具有：端子541，其位于检测接地布线54的一端部，配置于基部40的上表面4a；一对端子542，它们位于检测接地布线54的另一端部，配置于第2支承部412的下表面4b；以及布线543，其将端子541和端子542电连接。布线543在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上被配置成覆盖支承基板4的从布线51、52、53、55露出的部分的尽可能大的范围。以下，详细地进行说明。

在基部40中，布线543在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上配置成遍及基部40的上表面4a、侧面以及下表面4b的广范围。并且，在第1支承部411、第2支承部412中，布线543在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上配置成遍及第1支承部411、第2支承部412的上表面4a的大致整个区域。

并且，在梁部42，布线543在确保与其他布线52、55电绝缘的状态的基础上配置成遍及梁部42的上表面4a、两侧面4c、4d以及下表面4b的宽度方向两端部。并且，在梁部43中，布线543在确保与其他布线52、53电绝缘的状态的基础上配置成遍及梁部43的上表面4a、两侧面4c、4d以及下表面4b的宽度方向两端部。并且，在梁部44中，布线543在确保与其他布线51电绝缘的状态的基础上配置成遍及梁部44的上表面4a、两侧面4c、4d、下表面4b的宽度方向两端部以及区域Q42。并且，在梁部45中，布线543在确保与其他布线51电绝缘的状态的基础上配置成遍及梁部45的上表面4a、两侧面4c、4d、下表面4b的宽度方向两端部以及区域Q52。

通过这样配置检测接地布线54，能够发挥出如下的效果。在梁部43中，与第1检测信号电极83电连接的布线533配置在下表面4b，与第1检测接地电极84、第2检测接地电极86电连接的布线543配置在上表面4a。通过采用这样的配置，布线543位于振动元件6与布线533之间。同样，在梁部42中，与第2检测信号电极85电连接的布线553配置在下表面4b，与第1检测接地电极84、第2检测接地电极86电连接的布线543配置在上表面4a。通过采用这样的配置，布线543位于振动元件6与布线553之间。

布线543与地即恒定电位连接，因此作为屏蔽层来发挥功能，由此，能够抑制配置于振动元件6的驱动信号电极81与布线533、553的噪声干扰。因此，能够有效地抑制施加到驱动信号电极81的驱动信号经由布线533、553作为噪声混入到检测信号。因此，能够向电路元件3发送S/N比高的高精度的检测信号，能够更高精度地检测角速度ωc。

特别是，在本实施方式中，在梁部42、43中，不仅在其上表面4a，在两侧面4c、4d以及下表面4b的范围内也配置有布线543。即，以包围布线533、553的周围的方式配置有布线543。因此，进一步提高了上述屏蔽效果，能够更有效地抑制驱动信号电极81与布线533、553的噪声干扰。并且，在梁部42、43的下表面4b，除了布线533、553之外，还配置有与驱动恒定电位电极82电连接的布线523。由于布线523与恒定电位连接，所以作为屏蔽层来发挥功能。因此，通过布线523，也能够抑制驱动信号电极81与布线533、553的噪声干扰。另外，布线523也可以与地连接。

并且，在从沿着C轴的方向俯视观察时，配置有布线533的梁部43与驱动臂76交叉，具有与驱动臂76对置的部分即重叠的部分。并且，在从C轴方向俯视观察时，配置有布线553的梁部42与驱动臂75交叉，具有与驱动臂75重叠的部分。因此，配置于梁部42、43的布线533、553与配置于驱动臂75、76的驱动信号电极81接近，非常容易产生上述噪声干扰。在这样的位置关系中，通过在梁部42、43的上表面4a即驱动信号电极81与布线533、553之间配置作为屏蔽层而发挥功能的布线543，能够更显著地发挥上述噪声干扰抑制效果。

特别是，在从沿着C轴的方向俯视观察时与梁部42、43重叠的驱动臂75、76在两侧面7c、7d配置有驱动信号电极81，在下表面7a和上表面7b配置有驱动恒定电位电极82。也就是说，驱动信号电极81相对于布线533、553朝向横向。因此，容易绕过梁部42、43而在驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55之间形成电容耦合。因此，通过在梁部42、43的上表面4a即驱动信号电极81与布线533、553之间配置作为屏蔽层而发挥功能的布线543，能够更显著地发挥驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰抑制效果。

并且，由于在第1支承部411、第2支承部412的上表面4a也配置有布线543，所以布线543配置在更广的范围内，能够更显著地发挥上述噪声干扰抑制效果。并且，通过在支承基板4的大范围内配置布线543，例如，也能够有效地抑制驱动信号电极81与电路元件3的噪声干扰。

以上，对振动器件1进行了说明。如上所述，这样的振动器件1具有：振动元件6；以及支承基板4，其与振动元件6对置地配置，对振动元件6进行支承，具有振动元件6侧的作为第1面的上表面4a和与上表面4a相反的一侧的作为第2面的下表面4b。并且，振动元件6具有：驱动臂75、76、77、78，它们具有驱动信号电极81和驱动恒定电位电极82，通过对驱动信号电极81施加驱动信号而进行驱动振动；以及检测臂71、72，它们具有作为检测信号电极的第1检测信号电极83、第2检测信号电极85和作为检测恒定电位电极的第1检测接地电极84、第2检测接地电极86，通过接收作为检测对象的物理量的角速度ωc而进行检测振动，从而从第1检测信号电极83、第2检测信号电极85输出检测信号。

并且，支承基板4具有：基部40，其对振动元件6进行支承；作为对基部40进行支承的支承部的第1支承部411、第2支承部412；多个梁部42、43、44、45，它们连接基部40和第1支承部411、第2支承部412；驱动信号布线51，其与驱动信号电极81电连接，通过至少1个梁部(在本实施方式中为梁部44、45)而被引绕到基部40和第2支承部412；驱动恒定电位布线52，其与驱动恒定电位电极82电连接，通过至少1个梁部(在本实施方式中为梁部42、43)而被引绕到基部40和第1支承部411；作为检测信号布线的第1检测信号布线53，其与第1检测信号电极83电连接，通过至少1个梁部(在本实施方式中为梁部43)而被引绕到基部40和第1支承部411；作为检测信号布线的第2检测信号布线55，其与第2检测信号电极85电连接，通过至少1个梁部(在本实施方式中为梁部42)而被引绕到基部40和第1支承部411；以及作为检测恒定电位布线的检测接地布线54，其与第1检测接地电极84、第2检测接地电极86电连接，通过至少1个梁部(在本实施方式中为梁部42～45)而被引绕到基部40和第1支承部411、第2支承部412。

并且，在多个梁部42～45所包含的规定的梁部43中，在上表面4a配置有检测接地布线54，在下表面4b配置有第1检测信号布线53，在多个梁部42～45所包含的规定的梁部42中，在上表面4a配置有检测接地布线54，在下表面4b配置有第2检测信号布线55。

根据这样的结构，在梁部43中，检测接地布线54位于振动元件6与第1检测信号布线53之间。同样，在梁部42中，检测接地布线54位于振动元件6与第2检测信号布线55之间。由于检测接地布线54与地即恒定电位连接，所以作为屏蔽层来发挥功能，由此，能够抑制配置于振动元件6的驱动信号电极81与配置于支承基板4的第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰。因此，根据振动器件1，能够有效地抑制施加到驱动信号电极81的驱动信号经由第1检测信号布线53、第2检测信号布线55作为噪声混入到检测信号。因此，能够取得S/N比高的高精度的检测信号，能够更高精度地检测角速度ωc。

并且，如上所述，规定的梁部42、43具有连接上表面4a和下表面4b的作为一对梁部侧面的侧面4c、4d。并且，在规定的梁部42、43中，检测接地布线54配置在上表面4a、各侧面4c、4d以及下表面4b。通过采用这样的配置，能够以包围布线533、553的周围的方式配置布线543。因此，进一步提高了上述屏蔽效果，能够更有效地抑制驱动信号电极81与布线533、553的噪声干扰。

并且，如上所述，规定的梁部42具有与驱动臂75对置的部分，规定的梁部43具有与驱动臂76对置的部分。因此，配置于梁部42、43的布线533、553与配置于驱动臂75、76的驱动信号电极81接近，非常容易产生上述噪声干扰。在这样的位置关系中，通过在梁部42、43的上表面4a即驱动信号电极81与布线533、553之间配置作为屏蔽层来发挥功能的检测接地布线54，能够更显著地发挥上述噪声干扰抑制效果。

并且，如上所述，驱动臂75、76具有支承基板4侧的作为第3面的下表面7a、与下表面7a相反的一侧的作为第4面的上表面7b、以及连接下表面7a和上表面7b的一对侧面7c、7d。并且，在下表面7a和上表面7b配置有驱动恒定电位电极82，在各侧面7c、7d配置有驱动信号电极81。在这样的结构中，容易绕过梁部42、43而在驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55之间形成电容耦合。因此，通过在梁部42、43的上表面4a即驱动信号电极81与布线533、553之间配置作为屏蔽层来发挥功能的布线543，能够更显著地发挥驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰抑制效果。

并且，如上所述，在第1支承部411、第2支承部412的上表面4a配置有检测接地布线54。由此，在支承基板4上，能够在更大的范围内配置检测接地布线54。因此，能够更显著地发挥上述噪声干扰抑制效果。

并且，如上所述，在设互相垂直的3个轴为A轴、B轴以及C轴，振动元件6和支承基板4在沿着C轴的方向上对置时，振动元件6具有：元件基部70；一对检测臂71、72，它们从元件基部70沿着B轴朝向两侧延伸；一对连结臂73、74，它们从元件基部70沿着A轴朝向两侧延伸；一对驱动臂75、76，它们从连结臂73的末端部沿着B轴朝向两侧延伸；以及一对驱动臂77、78，它们从连结臂74的末端部沿着B轴朝向两侧延伸，元件基部70借助接合部件B2而固定于基部40。由此，成为能够高精度地检测角速度ωc的振动元件6。

并且，如上所述，振动器件1具有与振动元件6电连接的电路元件3。并且，支承基板4位于振动元件6与电路元件3之间。根据这样的结构，配置于支承基板4的检测接地布线54、驱动恒定电位布线52作为屏蔽层来发挥功能，能够有效地抑制振动元件6与电路元件3的噪声干扰。

＜第2实施方式＞

图10是从上侧观察第2实施方式的振动器件所具有的支承基板的立体图。图11是从下侧观察图10所示的支承基板的立体图。

本实施方式除了振动元件6不同以外，其他部分与上述第1实施方式同样。另外，在以下的说明中，对于本实施方式，以与上述实施方式不同的点为中心进行说明，对同样的事项省略其说明。并且，在图10和图11中，对与上述实施方式同样的结构标注相同标号。

如图10和图11所示，驱动信号电极81配置在驱动臂75、76的上表面7b和下表面7a以及驱动臂77、78的两侧面7c、7d。另一方面，驱动恒定电位电极82配置在驱动臂75、76的两侧面7c、7d以及驱动臂77、78的上表面7b和下表面7a。

也就是说，在从沿着C轴的方向俯视观察时与梁部42、43重叠的驱动臂75、76在下表面7a和上表面7b配置有驱动信号电极81，在两侧面7c、7d配置有驱动恒定电位电极82。因此，驱动信号电极81朝向布线533、553侧，与上述第1实施方式的驱动臂75、76那样在其两侧面7c、7d配置有驱动信号电极81的情况相比，有时也容易在驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55之间形成电容耦合。因此，通过在梁部42、43的上表面4a即驱动信号电极81与布线533、553之间配置作为屏蔽层而发挥功能的布线543，能够更显著地发挥驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰抑制效果。

如上所述，驱动臂75、76具有支承基板4侧的作为第3面的下表面7a、与下表面7a相反的一侧的作为第4面的上表面7b、以及连接下表面7a和上表面7b的作为一对驱动臂侧面的侧面7c、7d。并且，在下表面7a和上表面7b配置有驱动信号电极81，在各侧面7c、7d配置有驱动恒定电位电极82。因此，配置于下表面7a的驱动信号电极81朝向支承基板4侧，容易产生驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰。因此，通过在梁部42、43的上表面4a即驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55之间配置作为屏蔽层来发挥功能的检测接地布线54，能够更显著地发挥上述噪声干扰抑制效果。

通过这样的第2实施方式，也能够发挥出与上述第1实施方式同样的效果。

＜第3实施方式＞

图12是从上侧观察第3实施方式的振动器件所具有的支承基板的立体图。图13是从下侧观察图12所示的支承基板的立体图。

本实施方式除了支承基板4的结构不同以外，其他部分与上述第1实施方式同样。另外，在以下的说明中，对于本实施方式，以与上述实施方式不同的点为中心进行说明，对于同样的事项，省略其说明。并且，在图12和图13中，对与上述实施方式同样的结构标注相同的标号。

如图12和图13所示，驱动信号布线51的布线513在梁部44、45的下表面4b通过并被引绕到基部40和第2支承部412，从而将端子511和端子512电连接。并且，第1检测信号布线53的布线533在梁部43的下表面4b通过并被引绕到基部40和第1支承部411，从而将端子531和端子532电连接。并且，第2检测信号布线55的布线553在梁部42的下表面4b通过并被引绕到基部40和第1支承部411，从而将端子551和端子552电连接。这些驱动信号布线51、第1检测信号布线53以及第2检测信号布线55的配置与上述第1实施方式同样。

另一方面，驱动恒定电位布线52的布线523和检测接地布线54的布线543采用了与上述第1实施方式不同的配置，在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上，配置成覆盖支承基板4的从布线51、52、53、55露出的部分的尽可能大的范围。以下进行详细说明。

在基部40中，布线543在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上，遍及基部40的上表面4a、侧面以及下表面4b的广范围地配置。并且，在第1支承部411中，布线523在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上，配置成遍及第1支承部411的上表面4a的大致整个区域。另一方面，在第2支承部412中，布线543在确保与其他布线51、52、53、55电绝缘的状态的基础上，配置成遍及第2支承部412的上表面4a的大致整个区域。

并且，在梁部42中，布线523在确保与其他布线55电绝缘的状态的基础上，配置成遍及梁部42的上表面4a、两侧面4c、4d以及下表面4b的宽度方向两端部。并且，在梁部43中，布线523在确保与其他布线53电绝缘的状态的基础上，配置成遍及梁部43的上表面4a、两侧面4c、4d以及下表面4b的宽度方向两端部。并且，在梁部44中，布线543在确保与其他布线51电绝缘的状态的基础上，配置成遍及梁部44的上表面4a、两侧面4c、4d以及下表面4b的宽度方向两端部。并且，在梁部45中，布线543在确保与其他布线51电绝缘的状态的基础上，配置成遍及梁部45的上表面4a、两侧面4c、4d以及下表面4b的宽度方向两端部。

根据这样的结构，能够在配置于驱动臂75、76的驱动信号电极81与配置于梁部42、43的下表面4b的第1、第2检测信号布线53、55之间配置驱动恒定电位布线52。由于驱动恒定电位布线52与恒定电位连接，所以作为屏蔽层来发挥功能。因此，能够抑制配置于振动元件6的驱动信号电极81与配置于梁部42、43的第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰。因此，能够向电路元件3发送S/N比高的高精度的检测信号，能够更高精度地检测角速度ωc。另外，与检测接地布线54同样，驱动恒定电位布线52也可以与地连接。

如上所述，在多个梁部42～45所包含的规定的梁部43中，在上表面4a配置有驱动恒定电位布线52，在下表面4b配置有第1检测信号布线53，在多个梁部42～45所包含的规定的梁部42中，在上表面4a配置有驱动恒定电位布线52，在下表面4b配置有第2检测信号布线55。

根据这样的结构，在梁部43中，驱动恒定电位布线52位于振动元件6与第1检测信号布线53之间。同样，在梁部42中，驱动恒定电位布线52位于振动元件6与第2检测信号布线55之间。由于驱动恒定电位布线52与恒定电位连接，所以作为屏蔽层来发挥功能，由此，能够抑制配置于振动元件6的驱动信号电极81与配置于支承基板4的第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰。因此，根据振动器件1，能够有效地抑制施加到驱动信号电极81的驱动信号经由第1检测信号布线53、第2检测信号布线55作为噪声混入到检测信号。因此，能够取得S/N比高的高精度的检测信号，能够更高精度地检测角速度ωc。

通过这样的第3实施方式，也能够发挥出与上述第1实施方式同样的效果。

＜第4实施方式＞

图14是从上侧观察第4实施方式的振动器件所具有的支承基板的立体图。

本实施方式除了支承基板4的结构不同以外，其他部分与上述第1实施方式同样。另外，在以下的说明中，对于本实施方式，以与上述实施方式不同的点为中心进行说明，对于同样的事项，省略其说明。并且，在图14中，对与上述实施方式同样的结构标注相同的标号。

如图14所示，支承部41呈在沿着C轴的方向的俯视观察时包围基部40的框状。并且，在框状的支承部41的上表面4a的大致整个区域配置有驱动恒定电位布线52的布线523和检测接地布线54的布线543。通过采用这样的结构，例如与上述第1实施方式相比，检测接地布线54的面积增大，相应地，能够有效地抑制驱动信号电极81与第1、第2检测信号布线53、55的噪声干扰、驱动信号电极81与电路元件3的噪声干扰。

通过这样的第4实施方式，也能够发挥出与上述第1实施方式同样的效果。

＜第5实施方式＞

图15是示出第5实施方式的振动器件的俯视图。

本实施方式除了振动元件6的朝向不同以外，其他部分与上述第1实施方式同样。另外，在以下的说明中，对于本实施方式，以与上述实施方式不同的点为中心来进行说明，对于同样的事项，省略其说明。并且，在图15中，对与上述实施方式同样的结构标注相同标号。

如图15所示，在本实施方式的振动器件1中，与第1实施方式相比，振动元件6绕C轴旋转90°而配置。

通过这样的第5实施方式，也能够发挥出与上述第1实施方式同样的效果。

＜第6实施方式＞

图16是示出第6实施方式的振动器件的剖视图。

本实施方式除了振动元件6的配置不同以外，其他部分与上述第1实施方式同样。另外，在以下的说明中，对于本实施方式，以与上述实施方式不同的点为中心进行说明，对于同样的事项，省略其说明。并且，在图16中，对与上述实施方式同样的结构标注相同标号。

如图16所示，振动元件6配置在支承基板4与电路元件3之间。也就是说，振动元件6位于支承基板4的下侧，被支承基板4悬吊而被支承。根据这样的结构，能够在支承基板4与电路元件3之间的空间中配置振动元件6，因此，能够相应地实现振动器件1的小型化，特别是薄型化。但是，例如在不能通过支承基板4抑制电路元件3与振动元件6的噪声干扰这一点上，与上述第1实施方式相比，噪声抑制效果有可能稍微下降。

通过这样的第6实施方式，也能够发挥出与上述第1实施方式同样的效果。

＜第7实施方式＞

图17是示出第7实施方式的振动器件所具有的支承基板的剖视图。

本实施方式除了电路元件3的配置不同以外，其他部分与上述第6实施方式同样。另外，在以下的说明中，对于本实施方式，以与上述实施方式不同的点为中心进行说明，对于同样的事项，省略其说明。并且，在图17中，对与上述实施方式同样的结构标注相同标号。

如图17所示，在本实施方式的振动器件1中，电路元件3借助导电性的接合部件B3而被固定在凹部211a的底面，支承基板4借助接合部件B1而被固定在电路元件3的下表面，振动元件6借助接合部件B2而被固定在支承基板4的下表面。这样，通过使支承基板4和电路元件3介于振动元件6与基座21之间，能够通过支承基板4和电路元件3来吸收、缓和从基座21传来的应力，该应力不容易传到振动元件6。因此，能够有效地抑制振动元件6的振动特性的降低、变动。并且，根据本实施方式，能够在凹部211a内配置电路元件3，因此与上述第1实施方式那样在凹部211c内配置电路元件3的情况相比，能够增大电路元件3。

通过这样的第7实施方式，也能够发挥出与上述第1实施方式同样的效果。

＜第8实施方式＞

图18是示出第8实施方式的个人计算机的立体图。

图18所示的作为电子设备的个人计算机1100由具有键盘1102的主体部1104和具有显示部1108的显示单元1106构成，显示单元1106借助铰链构造部而被支承为能够相对于主体部1104转动。另外，在个人计算机1100中内置有作为物理量传感器的振动器件1和根据来自振动器件1的输出信号来进行信号处理即各部分的控制的信号处理电路1110。

这样，作为电子设备的个人计算机1100具有振动器件1和根据振动器件1的输出信号来进行信号处理的信号处理电路1110。因此，能够享受上述振动器件1的效果，能够发挥高可靠性。

＜第9实施方式＞

图19是示出第9实施方式的移动电话的立体图。

图19所示的作为电子设备的移动电话1200具有未图示的天线、多个操作按钮1202、听筒1204以及话筒1206，在操作按钮1202与听筒1204之间配置有显示部1208。另外，在移动电话1200中内置有作为物理量传感器的振动器件1和根据来自振动器件1的输出信号来进行信号处理即各部分的控制的信号处理电路1210。

这样，作为电子设备的移动电话1200具有振动器件1和根据振动器件1的输出信号来进行信号处理的信号处理电路1210。因此，能够享受上述振动器件1的效果，能够发挥高可靠性。

＜第10实施方式＞

图20是示出第10实施方式的数字静态照相机的立体图。

图20所示的作为电子设备的数字静态照相机1300具有壳体1302，在该壳体1302的背面设置有显示部1310。显示部1310构成为基于CCD的摄像信号来进行显示的结构，作为将被摄体显示为电子图像的取景器来发挥功能。另外，在壳体1302的正面侧设置有包含光学镜头、CCD等的受光单元1304。然后，当摄影者确了显示在显示部1310中的被摄体像而按下快门按钮1306时，该时刻的CCD的摄像信号被传送并存储在存储器1308中。另外，在数字静态照相机1300中内置有作为物理量传感器的振动器件1和根据来自振动器件1的输出信号来进行信号处理即各部分的控制的信号处理电路1312。

这样，作为电子设备的数字静态照相机1300具有振动器件1和根据振动器件1的输出信号来进行信号处理的信号处理电路1312。因此，能够享受上述振动器件1的效果，能够发挥高可靠性。

另外，具有振动器件1的电子设备除了上述的个人计算机1100、移动电话1200及数字静态照相机1300之外，例如还可以是智能手机、平板电脑终端、包括智能手表在内的钟表、喷墨式喷出装置(例如喷墨打印机)、HMD(头戴显示器)、智能眼镜等可穿戴终端、电视、摄像机、录像机、汽车导航装置、寻呼机、电子记事本、电子辞典、电子翻译器、计算器、电子游戏设备、训练设备、文字处理器、工作台、可视电话、防盗用电视监视器、电子双筒望远镜、POS终端、电子体温计、血压计、血糖计、心电图测量装置、超声波诊断装置、电子内窥镜那样的医疗设备、鱼群探测器、各种测定设备、车辆、航空器、船舶所搭载的仪表类、便携终端用的基站、飞行模拟器等。

＜第11实施方式＞

图21是示出第11实施方式的汽车的立体图。

图21所示的作为移动体的汽车1500包括发动机系统、制动系统、转向系统、姿势控制系统以及无钥匙进入系统等系统1502。另外，在汽车1500中内置有作为物理量传感器的振动器件1和根据来自振动器件1的输出信号来进行信号处理即系统1502的控制的信号处理电路1510。

这样，作为移动体的汽车1500具有振动器件1和根据振动器件1的输出信号来进行信号处理的信号处理电路1510。因此，能够享受上述振动器件1的效果，能够发挥高可靠性。

另外，具有振动器件1的移动体除了汽车1500之外，例如也可以是机器人、无人机、电动轮椅、两轮车、航空器、直升机、船舶、电车、单轨、货物搬运用运输机、火箭、宇宙飞船等。

以上，根据图示的实施方式对本发明的振动器件、电子设备以及移动体进行了说明，但本发明并不限定于此，各部分的结构可以置换成具有同样功能的任意结构。另外，也可以在本发明中附加其他任意的构成物。另外，也可以对各实施方式进行适当组合。

Claims (11)

1.一种振动器件，其特征在于，该振动器件具有：

振动元件；以及

支承基板，其与所述振动元件对置地配置，对所述振动元件进行支承，具有所述振动元件侧的第1面和与所述第1面相反的一侧的第2面，

所述振动元件具有：

驱动臂，其具有驱动信号电极和驱动恒定电位电极，通过对所述驱动信号电极施加驱动信号而进行驱动振动；以及

检测臂，其具有检测信号电极和检测恒定电位电极，通过接收作为检测对象的物理量而进行检测振动，从而从所述检测信号电极输出检测信号，

所述支承基板具有：

基部，其对所述振动元件进行支承；

支承部，其对所述基部进行支承；

多个梁部，它们连接所述基部和所述支承部；

驱动信号布线，其与所述驱动信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；

驱动恒定电位布线，其与所述驱动恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；

检测信号布线，其与所述检测信号电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部；以及

检测恒定电位布线，其与所述检测恒定电位电极电连接，通过至少1个所述梁部而被引绕到所述基部和所述支承部，

在多个所述梁部所包含的规定的梁部处，在所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线和所述检测恒定电位布线中的至少一方，在所述第2面配置有所述检测信号布线。

2.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述规定的梁部具有连接所述第1面和所述第2面的一对梁部侧面，

在所述规定的梁部处，

所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线配置在所述第1面、各所述梁部侧面以及所述第2面。

3.根据权利要求1或2所述的振动器件，其中，

所述规定的梁部具有与所述驱动臂对置的部分。

4.根据权利要求3所述的振动器件，其中，

所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，

在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动信号电极，

在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动恒定电位电极。

5.根据权利要求3所述的振动器件，其中，

所述驱动臂具有所述支承基板侧的第3面、与所述第3面相反的一侧的第4面、以及连接所述第3面和所述第4面的一对驱动臂侧面，

在所述第3面和所述第4面配置有所述驱动恒定电位电极，

在各所述驱动臂侧面配置有所述驱动信号电极。

6.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

在所述支承部的所述第1面配置有所述驱动恒定电位布线或所述检测恒定电位布线。

7.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

所述支承部呈包围所述基部的框状。

8.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

在设互相垂直的3个轴为A轴、B轴以及C轴，并且所述振动元件和所述支承基板在沿着所述C轴的方向上对置时，

所述振动元件具有：

元件基部；

一对所述检测臂，它们从所述元件基部沿着所述B轴朝向两侧延伸；

一对连结臂，它们从所述元件基部沿着所述A轴朝向两侧延伸；

一对所述驱动臂，它们从一方的所述连结臂的末端部沿着所述B轴朝向两侧延伸；以及

一对所述驱动臂，它们从另一方的所述连结臂的末端部沿着所述B轴朝向两侧延伸，

所述元件基部借助接合部件而固定于所述基部。

9.根据权利要求1所述的振动器件，其中，

该振动器件具有与所述振动元件电连接的电路元件，

所述支承基板位于所述振动元件与所述电路元件之间。

10.一种电子设备，其特征在于，该电子设备具有：

权利要求1至9中的任意一项所述的振动器件；以及

信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号来进行信号处理。

11.一种移动体，其特征在于，该移动体具有：

权利要求1至9中的任意一项所述的振动器件；以及

信号处理电路，其根据所述振动器件的输出信号来进行信号处理。

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