JP2013156127A - 振動片、振動デバイス、物理量検出装置、および電子機器 - Google Patents

Abstract

【課題】振動モレ現象によって生じる駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対する影響を防止し、振動特性を向上させた振動片を提供する。
【解決手段】振動体４から延出された第１梁６１と連結され、振動体４を支持している第１支持部５１と、第１支持部５１に設けられ、第１梁６１の延出方向と交わる方向に沿って離間して並設されている検出信号端子７１４および検出接地端子７２４と、を備え、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間で第１梁６１と第１支持部５１とが連結されており、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間には、第１支持部５１の表裏方向の厚さが薄くなるように形成されている薄肉部５４ａ、または第１支持部５１が表裏方向に貫通除去された貫通部が設けられている。
【選択図】図４

Description

本発明は、振動片、振動デバイス、物理量検出装置、およびそれらを用いた電子機器に関する。

従来から、角速度を検出するための振動片として、いわゆる「ＷＴ型」のジャイロ素子が知られている（例えば、特許文献１、特許文献２参照）。
一例として特許文献１のジャイロ素子を説明すると、特許文献１のジャイロ素子は、振動体と、振動体を支持している第１、第２の支持部と、振動体と第１支持部とを連結している第１、第２梁と、振動体と第２支持部とを連結している第３、第４梁とを有している。また、振動体は、基部と、基部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２検出振動腕と、基部から両側へｘ軸に沿って延出している第１、第２連結部腕と、第１連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第１、第２駆動振動腕と、第２連結腕の先端部から両側へｙ軸に沿って延出している第３、第４駆動振動腕とで構成されている。

このような特許文献１のジャイロ素子は、導電性接着剤を介して実装基板に実装される。具体的には、第１、第２の支持部に設けられている６つの接続端子（固定部）と実装基板とが導電性接着剤にて接合され、これにより、ジャイロ素子が実装基板に固定されるとともに、ジャイロ素子と実装基板とが電気的に接続される。

特開２００６−２０１０１１号公報 特開２０１０−２５６３３２号公報

上述したようなジャイロ素子では、それぞれの駆動振動腕或いは検出振動腕の振動が、振動体から延設されているそれぞれの梁に伝播し、さらには第１、第２の支持部に伝播してしまう、いわゆる「振動モレ現象」を生じてしまうことが知られている。この振動モレ現象があると、接続端子（固定部）が実装基板に固定される場合に、振動モレ現象によって伝播されている振動が阻害され、この振動の阻害が駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対しても影響を生じてしまう虞があるという課題を有していた。
なお、振動モレ現象によって駆動振動腕或いは検出振動腕の振動に対して影響が生じるとジャイロ素子の振動特性の劣化、特に温度ドリフトが増大してしまうことになる。

本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。

［適用例１］本適用例に係る振動片は、振動体と、前記振動体から延出された梁と連結され、前記振動体を支持している支持部と、前記支持部に設けられ、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されている少なくとも２つの固定部と、を備え、前記２つの固定部間で前記梁と前記支持部とが連結されており、前記２つの固定部間には、前記支持部の表裏方向の厚さが前記支持部の前記固定部が設けられている部分よりも薄くなるように形成されている薄肉部、または前記支持部が表裏方向に貫通除去された貫通部が、設けられていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動片によれば、離間して並設されている少なくとも２つの固定部間の支持部に梁が連結されている。そして、前述の２つの固定部間には、支持部の表裏方向の厚さが薄くなるように形成されている薄肉部、または支持部が表裏方向に貫通除去された貫通部が、設けられている。この薄肉部、および貫通部によって、梁と支持部とが連結されている部分の剛性が弱まって変形が起こり易くなり、この部分が変形することによって梁の持っている応力を緩和することができる。これにより、振動体から梁にかけて生じる応力を緩和することが可能となることから、梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。これらにより、振動片の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させた振動片の提供が可能となる。

［適用例２］上記適用例に記載の振動片において、前記支持部は、前記梁から前記２つの固定部にそれぞれ延出し、前記支持部の幅が前記支持部の前記固定部が設けられている部分の幅より狭い狭幅部を備えていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動片によれば、梁から２つの固定部に延出された狭幅部が設けられており、幅が狭く変形し易い狭幅部によって振動体から梁にかけて生じる応力を緩和することが可能となる。これにより、梁に伝播している振動モレ現象による振動の２つの固定部への伝播を低減することが可能となる。

［適用例３］上記適用例に記載の振動片において、前記薄肉部または前記貫通部の前記振動体側の端は、前記支持部の側面に開放されていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動片によれば、薄肉部または貫通部によって形成される狭幅部と梁が連結されることから、振動体から梁にかけて生じる応力を緩和することが可能となり、梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。

［適用例４］上記適用例に記載の振動片において、
前記振動体は、基部と、前記基部から両側へ第１方向に沿って延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕と、前記基部から両側へ前記第１方向と直交する第２方向に沿って延出している第１連結腕および第２連結腕と、前記第１連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、前記第２連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕にて検出振動系が構成され、前記第１駆動振動腕、前記第２駆動振動腕、前記第３駆動振動腕および前記第４駆動振動腕にて駆動振動系が構成され、前記支持部は、前記振動体を挟んで前記第１方向に沿って対向配置され、前記第２方向に延在している第１支持部および第２支持部を備え、前記梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第１梁と、前記第１検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第２梁と、前記第２検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第３梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第４梁とを備えていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動片によれば、第１梁〜第４梁のそれぞれの梁と固定部との間に薄肉部または狭幅部を設けることにより、振動体から梁にかけて生じる応力を緩和することが可能となり、梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。したがって、温度ドリフトを低減させた角速度の検出が可能となる。

［適用例５］上記適用例に記載の振動片において、
前記第１梁と前記第２梁とが連結された第１連結梁、および前記第３梁と前記第４梁とが連結された第２連結梁を備えており、前記第１連結梁および前記第２連結梁によって前記振動体が、前記第１支持部および前記第２支持部のそれぞれに連結されていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動片によれば、振動体が、それぞれの支持部に、第１連結梁または第２連結梁の一つずつの連結梁によって連結されている。このため、前述の薄肉部、狭幅部による変形に加えて接合部分が種々の方向に変形し易くなり、振動体から連結梁にかけて生じる応力をさらに緩和することが可能となる。これにより、連結梁に伝播している振動モレ現象による振動の固定部への伝播を低減することが可能となる。

［適用例６］本適用例に記載の振動デバイスは、少なくとも２つの接続パッドを備えている基板と、上記適用例に記載の振動片と、を備え、前記接続パッドと前記固定部とが導電性固定部材により接合されていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動デバイスによれば、前述の振動片を用いていることから、振動片の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させた振動デバイスを提供することが可能となる。

［適用例７］上記適用例に記載の振動デバイスにおいて、前記基板の平面視にて、前記接続パッドの輪郭の一部と、前記薄肉部または前記貫通部とが設けられている領域の一部とが重なり合っていることを特徴とする。

本適用例に記載の振動デバイスによれば、薄肉部または貫通部を、目盛り（目印）として使用することができるため、基板に対する位置決めをより正確、簡便に行うことができる。

［適用例８］本適用例に記載の物理量検出装置は、上記適用例に記載の振動片と、前記振動片を駆動する駆動回路と、前記振動片からの検出信号に基づいて所定の物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、前述の振動片を用いていることから、特性の安定した物理量検出装置、特に温度ドリフトを低減させた信頼性の高い物理量検出装置を提供することが可能となる。

［適用例９］本適用例に記載の電子機器は、上記適用例のいずれかに記載の振動片を備えていることを特徴とする。

本適用例によれば、前述の振動片を用いていることから、特性の安定した電子機器、特に温度ドリフトの低減などによる信頼性の高い電子機器を提供することが可能となる。

本発明の振動デバイスの実施形態を示す図（断面図および平面図）。 振動デバイスが備える振動片としてのジャイロ素子の平面図。 振動デバイスが備える振動片としてのジャイロ素子の平面図。 ジャイロ素子の部分拡大図であり、（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図。 ジャイロ素子の駆動を説明する平面図。 （ａ）は、本実施形態にかかるジャイロ素子の効果の一例を説明するための断面図、（ｂ）は、従来のジャイロ素子の問題点を示す断面図。 （ａ）〜（ｆ）は、ジャイロ素子の変形例を示す部分平面図。 （ａ）〜（ｆ）は、ジャイロ素子の変形例を示す部分平面図。 ジャイロ素子のその他の変形例を示す部分平面図。 物理量検出装置の構成を示す概略図。

以下、本発明の振動片および振動デバイスを添付図面に示す実施形態に基づいて詳細に説明する。
＜実施形態＞
まず、本発明にかかる振動片を適用した振動デバイスの実施形態について説明する。

図１は、本発明の振動デバイスの実施形態を示す平面図および正断面図である。図２および図３は、図１に示す振動デバイスが備えるジャイロ素子の平面図である。図４は、図３に示すジャイロ素子の部分拡大図であり（ａ）は平面図、（ｂ）は正面図である。図５は、ジャイロ素子の駆動を説明する平面図である。図６は、本実施形態にかかるジャイロ素子の効果の一例を説明するための図であり、（ａ）は本実施形態の構成における効果の一例を説明するための正断面図であり、（ｂ）は、従来のジャイロ素子の問題点を示す断面図である。
なお、以下では、図１に示すように、互いに直交する３軸を、ｘ軸、ｙ軸およびｚ軸とし、ｚ軸は、振動デバイスの厚さ方向と一致する。また、ｘ軸に平行な方向を「ｘ軸方向（第２方向）」と言い、ｙ軸に平行な方向を「ｙ軸方向（第１方向）」と言い、ｚ軸に平行な方向を「ｚ軸方向」と言う。

図１に示す振動デバイス１は、振動片としてのジャイロ素子（振動素子）２と、ジャイロ素子２を収納するパッケージ９とを有している。以下、ジャイロ素子２およびパッケージ９について順次詳細に説明する。

（ジャイロ素子）
図２は、上側から（リッド９２側）から見たジャイロ素子の上面図であり、図３は、上側から見たジャイロ素子の下面図（透過図）である。また、図２および図３では、説明の便宜上、電極および端子にハッチングを入れている。また、図２および図３中、同じハッチングで示す電極および端子は電気的に接続されていることを示している。また、図４では、説明の便宜上、支持部、梁、電極等の図示を省略している。

ジャイロ素子２は、ｚ軸まわりの角速度を検出する「面内検出型」のセンサーであって、図２および図３に示すように、振動片３と、振動片３の表面に設けられている複数の電極、配線および端子とで構成されている。
振動片３は、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの圧電材料で構成することができるが、これらの中でも、水晶で構成するのが好ましい。これにより、優れた振動特性（周波数特性）を発揮することのできる振動片３が得られる。
このような振動片３は、いわゆるダブルＴ型をなす振動体４と、振動体４を支持する支持部としての第１支持部５１および第２支持部５２と、振動体４と第１、第２支持部５１、５２とを連結する梁としての第１梁６１、第２梁６２、第３梁６３および第４梁６４とを有している。

振動体４は、ｘｙ平面に拡がりを有し、ｚ軸方向に厚みを有している。このような振動体４は、中央に位置する基部４１と、基部４１からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１検出振動腕４２１、第２検出振動腕４２２と、基部４１からｘ軸方向に沿って両側に延出している第１連結腕４３１、第２連結腕４３２と、第１連結腕４３１の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第１駆動振動腕４４１、第２駆動振動腕４４２と、第２連結腕４３２の先端部からｙ軸方向に沿って両側に延出している第３駆動振動腕４４３、第４駆動振動腕４４４とを有している。第１、第２検出振動腕４２１、４２２および第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４の先端部には、それぞれ、基端側よりも幅の大きい略四角形の重量部（ハンマーヘッド）が設けられている。このような重量部を設けることでジャイロ素子２の角速度の検出感度が向上する。なお、以下では、この重量部を「先端部」とも言う。

なお、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２は、第１連結腕４３１の延在方向の途中から延出してもよく、同様に、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４は、第２連結腕４３２の延在方向の途中から延出してもよい。
また、第１、第２支持部５１、５２は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って延在しており、これら第１、第２支持部５１、５２の間に振動体４が位置している。言い換えれば、第１、第２支持部５１、５２は、振動体４を介してｙ軸方向に沿って対向するように配置されている。第１支持部５１は、第１梁６１、および第２梁６２を介して基部４１と連結されており、第２支持部５２は、第３梁６３、および第４梁６４を介して基部４１と連結されている。

第１梁６１は、第１検出振動腕４２１と第１駆動振動腕４４１との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第２梁６２は、第１検出振動腕４２１と第３駆動振動腕４４３との間を通って第１支持部５１と基部４１を連結し、第３梁６３は、第２検出振動腕４２２と第２駆動振動腕４４２との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結し、第４梁６４は、第２検出振動腕４２２と第４駆動振動腕４４４との間を通って第２支持部５２と基部４１を連結している。

このような各梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、ｘ軸方向に沿って往復しながらｙ軸方向に沿って延びる蛇行部（Ｓ字形状部）を有しており、ｘ軸方向およびｙ軸方向に弾性を有している。また、各梁６１、６２、６３、６４は、それぞれ、蛇行部を有する細長い形状を有しているので、あらゆる方向に弾性を有している。そのため、外部から衝撃が加えられても、各梁６１、６２、６３、６４で衝撃を吸収する作用を有するので、これに起因する検出ノイズを低減または抑制することができる。

以上、振動片３の構成について説明した。このような振動片３には、図２および図３に示すように、検出信号電極７１０、検出信号配線７１２、検出信号端子７１４、検出接地電極７２０、検出接地配線７２２、検出接地端子７２４、駆動信号電極７３０、駆動信号配線７３２、駆動信号端子７３４、駆動接地電極７４０、駆動接地配線７４２および駆動接地端子７４４が設けられている。
なお、検出信号端子７１４、検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４、および駆動接地端子７４４が固定部に相当する。

便宜上、図２および図３において、検出信号電極７１０、検出信号配線７１２および検出信号端子７１４を右下斜線で示し、検出接地電極７２０、検出接地配線７２２および検出接地端子７２４をクロス斜線で示し、駆動信号電極７３０、駆動信号配線７３２および駆動信号端子７３４を左下斜線で示し、駆動接地電極７４０、駆動接地配線７４２および駆動接地端子７４４をクロス縦横線で示している。また、図２および図３において、振動片３の側面に設けられている電極、配線、端子を太線で示している。

各電極７１０、７２０、７３０、７４０、各配線７１２、７２２、７３２、７４２および各端子７１４、７２４、７３４、７４４としては、例えば、クロムで構成された下地層と、金で構成された電極層とを積層した構成とすることができる。これにより、密着性の良い各電極７１０、７２０、７３０、７４０、各配線７１２、７２２、７３２、７４２および各端子７１４、７２４、７３４、７４４を形成することができる。

各電極７１０、７２０、７３０、７４０は、互いに電気的に分離されている。これと同様に、各配線７１２、７２２、７３２、７４２は、互いに電気的に分離されており、各端子７１４、７２４、７３４、７４４も互いに電気的に分離されている。以下、これら各電極、各配線、各端子について順次説明する。また、以下では、説明の便宜上、図２で示す面を「上面」と言い、図３で示す面を「下面」と言い、上面と下面とを連結する面を「側面」と言う。

（１）検出信号電極、検出信号配線および検出信号端子
検出信号電極７１０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の上面および下面に設けられている。ただし、本実施形態では、検出信号電極７１０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の先端部には設けられていない。検出信号電極７１０は、ｘｚ平面に関して面対称に配置されている。検出信号電極７１０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の検出振動が励起されたときに、該振動によって発生する圧電材料の歪みを検出するための電極である。

また、検出信号配線７１２は、第１、第３梁６１、６３に設けられている。より具体的には、検出信号配線７１２は、第１、第３梁６１、６３の上面に設けられている。さらに、検出信号配線７１２は、第１梁６１と第１支持部５１との接合部分の側面と、第３梁６３と第２支持部５２との接合部分の側面と、基部４１の上面および下面とにも設けられている。このような検出信号配線７１２は、ｘｙ平面に関して、面対称に配置されている。

また、検出信号端子７１４は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている。より具体的には、検出信号端子７１４は、第１、第２支持部５１、５２の上面および下面、さらに側面に設けられている。第１支持部５１の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子７１４は、互いに電気的に接続されている。また、第２支持部５２の上面、下面および側面に設けられている検出信号端子７１４は、互いに電気的に接続されている。

第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４は、駆動接地電極７４０が設けられる第１駆動振動腕４４１の先端部に対して、ｙ軸の正の方向側（図中のｙ軸矢印方向）に配置されている。すなわち、第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４と、第１駆動振動腕４４１の先端部に設けられている駆動接地電極７４０とは、ｙ軸方向において対向している。また、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４は、駆動接地電極７４０が設けられる第２駆動振動腕４４２の先端部に対して、ｙ軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４と、第２駆動振動腕４４２の先端部に設けられている駆動接地電極７４０とは、ｙ軸方向において対向している。このような検出信号端子７１４は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。

第１支持部５１に設けられている検出信号端子（第１検出信号端子）７１４は、第１梁６１に設けられている検出信号配線７１２を介して、第１検出振動腕４２１に設けられている検出信号電極（第１検出信号電極）７１０と電気的に接続されている。具体的には、第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４は、第１梁６１の上面に設けられている検出信号配線７１２と接続され、検出信号配線７１２は、第１梁６１の上面から、第１梁６１と基部４１との接合部分の側面、そして基部４１の上面および下面を通って、第１検出振動腕４２１の上面および下面に設けられている検出信号電極７１０に接続されている。これにより、第１検出振動腕４２１が振動することにより生じる第１検出信号を検出信号電極７１０から第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４に伝達することができる。

第２支持部５２に設けられている検出信号端子（第２検出信号端子）７１４は、第３梁６３に設けられている検出信号配線７１２を介して、第２検出振動腕４２２に設けられている検出信号電極（第２検出信号電極）７１０と電気的に接続されている。具体的には、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４は、第３梁６３の上面に設けられている検出信号配線７１２と接続され、検出信号配線７１２は、第３梁６３の上面から、第３梁６３と基部４１との接合部分の側面、そして基部４１の上面および下面を通って、第２検出振動腕４２２の上面および下面に設けられている検出信号電極７１０に接続されている。これにより、第２検出振動腕４２２が振動することにより生じる第２検出信号を検出信号電極７１０から第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４に伝達することができる。

（２）検出接地電極、検出接地配線および検出接地端子
検出接地電極７２０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の先端部に設けられている。具体的には、検出接地電極７２０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の先端部の上面および下面に設けられている。さらに、検出接地電極７２０は、第１、第２検出振動腕４２１、４２２の側面に設けられている。第１検出振動腕４２１の上面、下面および側面に設けられている検出接地電極７２０は、互いに電気的に接続されている。また、第２検出振動腕４２２の上面、下面および側面に設けられている検出接地電極７２０は、互いに電気的に接続されている。このような検出接地電極７２０は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。検出接地電極７２０は、検出信号電極７１０に対してグランドとなる電位を有する。

また、検出接地配線７２２は、第１、第３梁６１、６３に設けられている。具体的には、検出接地配線７２２は、第１、第３梁６１、６３の下面および側面に設けられている。さらに、検出接地配線７２２は、基部４１の上面および下面に設けられている。検出接地配線７２２は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。
また、検出接地端子７２４は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている。具体的には、検出接地端子７２４は、第１、第２支持部５１、５２の上面および下面、さらに側面に設けられている。第１支持部５１の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子７２４は、互いに電気的に接続されている。また、第２支持部５２の上面、下面および側面に設けられている検出接地端子７２４は、互いに電気的に接続されている。

第１支持部５１に設けられている検出接地端子７２４は、検出接地電極７２０が設けられている第１検出振動腕４２１の先端部に対して、ｙ軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第１支持部５１に設けられている検出接地端子７２４と、第１検出振動腕４２１の先端部に設けられている検出接地電極７２０とは、ｙ軸方向において対向している。また、第２支持部５２に設けられている検出接地端子７２４は、検出接地電極７２０が設けられている第２検出振動腕４２２の先端部に対して、ｙ軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第２支持部５２に設けられている検出接地端子７２４と、第２検出振動腕４２２の先端部に設けられている検出接地電極７２０とは、ｙ軸方向において対向している。このような検出接地端子７２４は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。

第１支持部５１に設けられている検出接地端子（第１検出接地端子）７２４は、第１梁６１に設けられている検出接地配線７２２を介して、第１検出振動腕４２１に設けられている検出接地電極（第１検出接地電極）７２０と電気的に接続されている。具体的には、第１支持部５１に設けられている検出接地端子７２４は、第１梁６１の下面および側面に設けられている検出接地配線７２２と接続され、検出接地配線７２２は、第１梁６１の下面および側面から、基部４１の上面および下面を通って、第１検出振動腕４２１の上面および下面に設けられている検出接地電極７２０に接続されている。

第２支持部５２に設けられている検出接地端子（第２検出接地端子）７２４は、第３梁６３に設けられている検出接地配線７２２を介して、第２検出振動腕４２２に設けられている検出接地電極（第２検出接地電極）７２０と電気的に接続されている。具体的には、第２支持部５２に設けられている検出接地端子７２４は、第３梁６３の下面および側面に設けられている検出接地配線７２２と接続され、検出接地配線７２２は、第３梁６３の下面および側面から、基部４１の上面および下面を通って、第２検出振動腕４２２の上面および下面に設けられている検出接地電極７２０に接続されている。

以上の通りに検出信号電極７１０、検出信号配線７１２、検出信号端子７１４と、検出接地電極７２０、検出接地配線７２２、検出接地端子７２４とが配置されている。これにより、第１検出振動腕４２１に生じた検出振動は、第１検出振動腕４２１に設けられている検出信号電極７１０と検出接地電極７２０との間の電荷として現れ、第１支持部５１に設けられている検出信号端子７１４と検出接地端子７２４とから信号として取り出すことができる。また、第２検出振動腕４２２に生じた検出振動は、第２検出振動腕４２２に設けられている検出信号電極７１０と検出接地電極７２０との間の電荷として現れ、第２支持部５２に設けられている検出信号端子７１４と検出接地端子７２４とから信号として取り出すことができる。

（３）駆動信号電極、駆動信号配線および駆動信号端子
駆動信号電極７３０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２に設けられている。ただし、本実施形態では、駆動信号電極７３０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の先端部には設けられていない。具体的には、駆動信号電極７３０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の上面および下面に設けられている。

さらに、駆動信号電極７３０は、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の側面と、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の先端部の上面および下面とにも設けられている。第３駆動振動腕４４３の上面、下面および側面に設けられている駆動信号電極７３０は、互いに電気的に接続されている。また、第４駆動振動腕４４４の上面、下面および側面に設けられている駆動信号電極７３０は、互いに電気的に接続されている。このような駆動信号電極７３０は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。駆動信号電極７３０は、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４の駆動振動を励起させるための電極である。

駆動信号配線７３２は、第２、第４梁６２、６４に設けられている。具体的には、駆動信号配線７３２は、第２、第４梁６２、６４の上面に設けられている。さらに、駆動信号配線７３２は、基部４１の上面と、第１連結腕４３１の上面と、第１、第２連結腕４３１、４３２の側面とに設けられている。このような駆動信号配線７３２は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。
駆動信号端子７３４は、第２支持部５２に設けられている。具体的には、駆動信号端子７３４は、第２支持部５２の上面および下面、さらに側面に設けられている。第２支持部５２の上面、下面および側面に設けられている駆動信号端子７３４は、互いに電気的に接続されている。

第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４は、駆動信号電極７３０が設けられている第４駆動振動腕４４４の先端部に対して、ｙ軸の負の方向側に配置されている。すなわち、第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４と、第４駆動振動腕４４４の先端部に設けられている駆動信号電極７３０とは、ｙ軸方向において対向している。
第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４は、第４梁６４に設けられている駆動信号配線７３２を介して、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４に設けられている駆動信号電極７３０と電気的に接続されている。具体的には、駆動信号端子７３４は、第４梁６４の上面に設けられている駆動信号配線７３２と接続され、駆動信号配線７３２は、第４梁６４の上面から、基部４１の上面、そして第１連結腕４３１の上面を通って、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の上面に設けられている駆動信号電極７３０に接続されている。さらに、駆動信号配線７３２は、第１連結腕４３１の上面から、第１連結腕４３１の側面を通って、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の下面に設けられている駆動信号電極７３０に接続されている。また、さらに、駆動信号配線７３２は、基部４１の上面から、第２連結腕４３２の上面および側面を通って、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の上面および下面に設けられている駆動信号電極７３０に接続されることができる。これにより、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４を駆動振動させるための駆動信号を駆動信号端子７３４から駆動信号電極７３０に伝達することができる。

（４）駆動接地電極、駆動接地配線および駆動接地端子
駆動接地電極７４０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の先端部に設けられている。具体的には、駆動接地電極７４０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の先端部の上面および下面に設けられている。さらに、駆動接地電極７４０は、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の側面にも設けられている。第１駆動振動腕４４１の上面、下面および側面に設けられている駆動接地電極７４０は、互いに電気的に接続されている。また、第２駆動振動腕４４２の上面、下面および側面に設けられている駆動接地電極７４０は、互いに電気的に接続されている。

さらに、駆動接地電極７４０は、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の上面および下面に設けられることができる。ただし、本実施形態では、駆動接地電極７４０は、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の先端部には設けられていない。このような駆動接地電極７４０は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。駆動接地電極７４０は、駆動信号電極７３０に対してグランドとなる電位を有する。

また、駆動接地配線７４２は、第２、第４梁６２、６４に設けられている。具体的には、駆動接地配線７４２は、第２、第４梁６２、６４の下面および側面に設けられている。さらに、駆動接地配線７４２は、基部４１の下面と、第１連結腕４３１の側面と、第２連結腕４３２の下面と、第２連結腕４３２の側面とに設けられている。このような駆動接地配線７４２は、ｘｚ平面に関して、面対称に配置されている。

また、駆動接地端子７４４は、第１支持部５１に設けられている。具体的には、駆動接地端子７４４は、第１支持部５１の上面および下面、さらに側面に設けられている。第１支持部５１の上面、下面および側面に設けられている駆動接地端子７４４は、互いに電気的に接続されている。
第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４は、駆動信号電極７３０が設けられている第３駆動振動腕４４３の先端部に対して、ｙ軸の正の方向側に配置されている。すなわち、第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４と、第３駆動振動腕４４３の先端部に設けられている駆動信号電極７３０とは、ｙ軸方向において対向している。

また、第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４は、第２梁６２に設けられている駆動接地配線７４２を介して、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４に設けられている駆動接地電極７４０と電気的に接続されている。具体的には、駆動接地端子７４４は、第２梁６２の下面および側面に設けられている駆動接地配線７４２と接続され、駆動接地配線７４２は、第２梁６２の下面および側面から、基部４１の下面、そして第１連結腕４３１の側面を通って、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２の上面および下面に設けられている駆動接地電極７４０に接続されている。さらに、駆動接地配線７４２は、基部４１の下面から、第２連結腕４３２の下面および側面を通って、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４の上面および下面に設けられている駆動接地電極７４０に接続されている。

以上の通りに、駆動信号電極７３０、駆動信号配線７３２、駆動信号端子７３４と、駆動接地電極７４０、駆動接地配線７４２、駆動接地端子７４４とが配置されている。これにより、第２支持部５２に設けられている駆動信号端子７３４と、第１支持部５１に設けられている駆動接地端子７４４との間に駆動信号を印加することで、第１、第２、第３、第４駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４に設けられている駆動信号電極７３０と駆動接地電極７４０との間に電界を生じさせ、これら各駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４を駆動振動させることができる。

なお、本例では一方の支持部としての第１支持部５１に、固定部として検出信号端子７１４、検出接地端子７２４および駆動接地端子７４４の３つの端子が設けられている構成で説明したが、固定部としての端子は２つ以上であれば幾つであってもよい。また、前述と同様に、第２支持部５２においても、固定部としての端子は２つ以上であれば幾つであってもよい。

（５）梁と支持部（固定部）とが連結される接合部
以上、説明したように、支持部としての第１支持部５１には、固定部としての検出信号端子７１４、検出接地端子７２４および駆動接地端子７４４がｘ軸方向（梁の延出方向と交わる方向）に沿って並び、かつ離間して設けられている。具体的には、図４に示すように、ｘ軸方向に沿って延在する第１支持部５１の中央部（第１支持部５１と第１梁６１との接合部５１ａ、および第１支持部５１と第２梁６２との接合部５１ｂと、の間の領域Ｓ１）に検出接地端子７２４が設けられており、第１支持部５１の一端部（接合部５１ａよりも図４中右側の領域Ｓ２）に検出信号端子７１４が設けられており、第１支持部５１の他端部（接合部５１ｂよりも図４（ａ）中左側の領域Ｓ３）に駆動接地端子７４４が設けられている。

このような第１支持部５１の一面（後述する導電性固定部材８が塗布される面）には、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間に前記一面から段差を有し形成された薄肉部５４ａが設けられている。なお、薄肉部５４ａの設けられている領域Ｓ４は、ｘ軸方向において、接合部５１ａを含んでいる。また、薄肉部５４ａの振動体４（図２、図３参照）側の端５１ｃは、第１支持部５１の側面に開放されている。

また、第１支持部５１の一面（後述する導電性固定部材８が塗布される面）には、駆動接地端子７４４と検出接地端子７２４との間に前記一面から段差を有し形成された薄肉部５４ｂが設けられている。なお、薄肉部５４ｂの設けられている領域Ｓ５は、ｘ軸方向において、接合部５１ｂを含んでいる。また、薄肉部５４ｂの振動体４（図２、図３参照）側の端５１ｃは、第１支持部５１の側面に開放されている。

同様に、第２支持部５２には、検出信号端子７１４、検出接地端子７２４および固定部としての駆動信号端子７３４がｘ軸方向（梁の延出方向と交わる方向）に沿って並び、かつ離間して設けられている。具体的には、図４に示すように、ｘ軸方向に沿って延在する第２支持部５２の中央部（第２支持部５２と第３梁６３との接合部５２ａと、第２支持部５２と第４梁６４との接合部５２ｂと、の間の領域Ｓ６）に検出接地端子７２４が設けられており、第２支持部５２の一端部（接合部５２ａよりも図４（ａ）中右側の領域Ｓ７）に検出信号端子７１４が設けられており、第２支持部５２の他端部（接合部５２ｂよりも図４中左側の領域Ｓ８）に駆動信号端子７３４が設けられている。

また、第２支持部５２の一面（後述する導電性固定部材８が塗布される面）には、検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間に、前記一面から段差を有し形成された薄肉部５３ａが設けられている。なお、薄肉部５３ａの設けられている領域Ｓ９は、ｘ軸方向において、接合部５２ａを含んでいる。また、薄肉部５３ａの振動体４（図２、図３参照）側の端５２ｃは、第２支持部５２の側面に開放されている。
また、第２支持部５２の一面（後述する導電性固定部材８が塗布される面）には、検出接地端子７２４と駆動信号端子７３４の間に、前記一面から段差を有し形成された薄肉部５３ｂが設けられている。なお、薄肉部５３ｂの設けられている領域Ｓ１０は、ｘ軸方向において、接合部５２ｂを含んでいる。また、薄肉部５３ｂの振動体４（図２、図３参照）側の端５２ｃは、第２支持部５２の側面に開放されている。

このような構成のジャイロ素子２は、次のようにしてｚ軸まわりの角速度ωを検出する。ジャイロ素子２は、角速度ωが加わらない状態において、駆動信号電極７３０および駆動接地電極７４０の間に電界が生じると、図５（ａ）に示すように、各駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４が矢印Ａに示す方向に屈曲振動を行う。このとき、第１、第２駆動振動腕４４１、４４２と、第３、第４駆動振動腕４４３、４４４とは、中心点Ｇ（重心Ｇ）を通るｙｚ平面に関して面対称の振動を行っているため、基部４１と、第１、第２連結腕４３１、４３２と、第１、第２検出振動腕４２１、４２２とは、ほとんど振動しない。

この駆動振動を行っている状態にて、ジャイロ素子２にｚ軸まわり角速度ωが加わると、図５（ｂ）に示すような振動が発生する。すなわち、駆動振動腕４４１、４４２、４４３、４４４および連結腕４３１、４３２に矢印Ｂ方向のコリオリの力が働き、この矢印Ｂ方向の振動に呼応して、矢印Ｃ方向の検出振動が励起される。そして、この振動により発生した検出振動腕４２１、４２２の歪みを検出信号電極７１０および検出接地電極７２０が検出して角速度ωが求められる。

（パッケージ）
パッケージ９は、ジャイロ素子２を収納するものである。なお、パッケージ９には、ジャイロ素子２の他に、ジャイロ素子２の駆動等を行うＩＣチップ等が収納されていてもよい。このようなパッケージ９は、その平面視（ｘｙ平面視）にて、略矩形状をなしている。

パッケージ９は、上面に開放する凹部を有するベース９１と、凹部の開口を塞ぐようにベースに接合されているリッド（蓋体）９２とを有している。また、ベース９１は、板状の底板９１１と、底板９１１の上面周縁部に設けられている枠状の側壁９１２とを有している。このようなパッケージ９は、その内側に収納空間Ｓを有しており、この収納空間Ｓ内に、ジャイロ素子２が気密的に収納、設置されている。

ジャイロ素子２は、第１、第２支持部５１、５２にて、半田、銀ペースト、導電性接着剤（樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤）などの導電性固定部材８を介して底板９１１の上面に固定されている。第１、第２支持部５１、５２は、ジャイロ素子２のｙ軸方向の両端部に位置するため、このような部分を底板９１１に固定することにより、ジャイロ素子２の振動体４が両持ち支持され、ジャイロ素子２を底板９１１に対して安定的に固定することができる。そのため、ジャイロ素子２の不要な振動（検出したい振動以外の振動）が抑制され、ジャイロ素子２による角速度ωの検出精度が向上する。

また、導電性固定部材８は、第１、第２支持部５１、５２に設けられている２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応（接触）して、かつ互いに離間して６つ設けられている。また、底板９１１の上面には、２つの検出信号端子７１４、２つの検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４および駆動接地端子７４４に対応する６つの接続パッド１０が設けられており、導電性固定部材８を介して、これら各接続パッド１０とそれと対応するいずれかの端子とが電気的に接続されている。

このような構成とすることにより、導電性固定部材８を、ジャイロ素子２を底板９１１に固定するための固定部材として用いることができるとともに、ジャイロ素子２との電気的な接続を行う接続部材として用いることができるため、振動デバイス１の構成の簡易化を図ることができる。
また、導電性固定部材８は、ジャイロ素子２と底板９１１との間にギャップ（隙間）を形成し、これらの接触を防止するギャップ材としても用いられる。これにより、底板９１１との接触によるジャイロ素子２の破壊・破損を防止することができ、正確な角速度の検出と、優れた信頼性を発揮することのできる振動デバイス１となる。
なお、各接続パッド１０は、図示しない導体ポストを介してパッケージ９の外部へ引き出されていたり、パッケージ９内にＩＣチップ等を収納する場合には、そのＩＣチップと電気的に接続されていたりする。

ベース９１の構成材料としては、特に限定されないが、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。また、リッド９２の構成材料としては、特に限定されないが、ベース９１の構成材料と線膨張係数が近似する部材であると良い。例えば、ベース９１の構成材料を前述のようなセラミックスとした場合には、コバール等の合金とするのが好ましい。なお、ベース９１とリッド９２の接合は、特に限定されず、例えば、接着剤を介して接合してもよいし、シーム溶接等により接合してもよい。

ここで、前述したように、ジャイロ素子２の第１支持部５１には、薄肉部５４ａ、５４ｂを含む接合部５１ａ、５１ｂが設けられており、第２支持部５２には、薄肉部５３ａ、５３ｂを含む接合部５２ａ、５２ｂが設けられている。このような接合部５１ａ、５１ｂ、５２ａ、５２ｂを設けることにより、次のような効果を発揮することができる。

本実施形態で説明した振動デバイス１は、用いられているジャイロ素子２の第１梁６１および第２梁６２がそれぞれ、薄肉部５４ａ、５４ｂを含む接合部５１ａ、５１ｂに連結（接合）され、第３梁６３および第４梁６４がそれぞれ、接合部５２ａ、５２ｂに連結（接合）されている。薄肉部５４ａ、５４ｂ、５３ａ、５３ｂは、表裏方向の厚さが薄く形成されていることから剛性が弱まり、これによって変形が起こり易くなる。この変形によって、振動体から梁に伝播している振動が固定部としての検出信号端子７１４、検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４、および駆動接地端子７４４に伝わる、いわゆる振動モレ現象を低減させることが可能となる。この振動モレ現象を抑えることにより、振動モレ現象によって生じる虞のある、振動片の振動特性の劣化、特に温度ドリフトを低減させることが可能となる。

さらに、薄肉部５４ａ、５４ｂ、５３ａ、５３ｂを設けることにより、前述の効果に加えて次のような効果を生じさせることが可能となる。以下、図６を用いて詳細に説明する。
前述したように、ジャイロ素子２は、導電性固定部材８を介して底板９１１に固定される。ここで、ジャイロ素子２を底板９１１に固定する工程は、例えば、底板９１１に設けられている６つの接続パッド１０上にそれぞれ銀ペースト（導電性固定部材）８を塗布し、塗布した銀ペースト８と対応する端子（検出信号端子７１４、検出接地端子７２４、駆動信号端子７３４、および駆動接地端子７４４）が接触するようにジャイロ素子２をその下面を底板９１１側に向けて載置するとともにジャイロ素子２を押し当て、銀ペースト８を固化することにより、銀ペースト８を介してジャイロ素子２が底板９１１に固定される。

そのため、例えば、銀ペースト８を所定位置に正確に塗布できなかった場合、従来のジャイロ素子（薄肉部５４ａ、５４ｂ、５３ａ、５３ｂが設けられていないもの）では、図６（ｂ）に示すように、ジャイロ素子２を押し当てた際に、銀ペースト８が濡れ広がり、濡れ広がった銀ペースト８同士が接触し、これらの間で短絡が生じる虞がある。銀ペースト８の塗布位置や塗布量には、装置の精度上、ある程度のバラつきが存在するため、上記の問題は、比較的発生しやすい。そのため、本実施形態のジャイロ素子２では、第１支持部５１、第２支持部５２に薄肉部５４ａ、５４ｂ、５３ａ、５３ｂを設けることにより、このような問題の発生を防止している。以下、具体的に説明するが、各薄肉部５４ａ、５４ｂ、５３ａ、５３ｂの作用・効果は、互いに同様であるため、薄肉部５４ａについて代表して説明する。

図６（ａ）に示すように、検出接地端子７２４、検出信号端子７１４に対応する銀ペースト８は、それぞれ、ジャイロ素子２を押し込むことにより濡れ広がる。この時、検出接地端子７２４に対応する銀ペースト８の塗布位置が検出信号端子７１４側に偏っていたとしても、濡れ広がった銀ペースト８は、薄肉部５４ａの段差角部の表面張力によって段差角部に止まり中央部への広がりが抑制される。これにより、銀ペースト８は、薄肉部５４ａの中央部付近まで達し難くなり。隣り合う銀ペースト８同士の接触を防止することができる。

また、薄肉部５４ａの振動体４側の段差角部によって、薄肉部５４ａ内に溜まった銀ペースト８がそれ以上振動体４側へ流動するのが防止され、これにより、第１梁６１に設けられている配線と銀ペースト８との接触が防止され、配線と銀ペースト８との短絡の発生を防止することができる。

また、前述したように、薄肉部５４ａの振動体と反対側の端は、第１支持部５１の側面に開放している。そのため、薄肉部５４ａの段差によって、検出接地端子７２４と検出信号端子７１４の間が明確に区切られ、例えば、薄肉部５４ａが設けられていない領域を伝って銀ペースト８同士が接触してしまうことを防止することができる。そのため、銀ペースト８同士の接触を確実に防止することができる。

また、ジャイロ素子２（振動片３）の構成材料と、底板９１１の構成材料とが異なっているため、振動デバイス１が昇温すると、導電性固定部材８を介して、熱膨張率の差から振動片３に応力が発生する。具体的には、底板９１１の熱膨張率が振動片３の熱膨張率よりも大きい場合には、第１支持部５１、および第２支持部５２をｘ軸方向に伸長しようとする応力が加わり、底板９１１の熱膨張率が振動片３の熱膨張率よりも小さい場合には、第１支持部５１、および第２支持部５２をｘ軸方向に収縮しようとする応力が加わる。このような応力を薄肉部５４ａが設けられている領域Ｓ４によって吸収または緩和することができるため、ジャイロ素子２の不本意な歪みを抑制でき、ジャイロ素子２の検出精度の低下を防止することができる。

また、ｘｙ平面視にて、接続パッド１０の輪郭は、薄肉部５４ａが設けられている領域Ｓ４の一部と重なり合っているのが好ましい。これにより、薄肉部５４ａを、目盛り（目印）として使用することができるため、ジャイロ素子２（振動片３）の底板９１１に対する位置決めをより正確に行うことができる。

＜変形例＞
次に、図７および図８を用いて、前述の実施形態における梁と支持部との連結（接続）部分の変形例を説明する。図７（ａ）〜（ｆ）および図８（ａ）〜（ｆ）は、ジャイロ素子の変形例を示す部分平面図である。
なお、以下、具体的に説明するが、各梁と支持部との連結部分の作用・効果は、互いに同様であるため、第１梁６１と第１支持部５１（図４参照）との連結部分について代表して説明する。また、各変形例の効果については、代表して変形例１および変形例２に記載し、変形例３〜変形例１２については、変形例１および変形例２と同様な効果の記載は省略する。

（変形例１）
図７（ａ）に示す変形例１は、第１支持部５１の検出信号端子７１４と検出接地端子７２４との間に設けられた薄肉部５４ａと、第１梁６１と、が連結されている構成である。換言すれば、薄肉部５４ａを介して第１梁６１と検出信号端子７１４と検出接地端子７２４とが延設された構成である。また、薄肉部５４ａの振動体４（図２、図３参照）側の端は、第１支持部５１の側面に開放されている。
本変形例１の構成では、前述の実施形態と同様に薄肉部５４ａの剛性が弱いことから変形が起こり易くなり、振動体から梁に伝播している振動が検出信号端子７１４、検出接地端子７２４伝播する振動モレ現象を低減させることが可能となる。この振動モレ現象を抑えることにより、前述の実施形態と同様な効果を有することが可能となる。

（変形例２）
図７（ｂ）に示す変形例２は、第１支持部５１が表裏方向に貫通除去されて形成された貫通部５５ａ、５５ｂが設けられている構成である。
貫通部５５ａ、５５ｂは、第１梁６１を挟んで両側に設けられており、それぞれの一方端は第１支持部５１の振動体４（図２、図３参照）側の側面に開放され、他方端は第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。この貫通部５５ａ、５５ｂによって、幅狭部５６ａ、５６ｂが第１支持部５１に形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、貫通部５５ａによって形成された幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、貫通部５５ｂによって形成された幅狭部５６ｂを介して連結されている。
本変形例２の構成では、検出信号端子７１４および検出接地端子７２４が、幅狭部５６ａ、５６ｂを介して第１梁６１と連結されている。幅狭部５６ａ、５６ｂは、前述の薄肉部５４ａと同様に剛性が弱いことから変形が起こり易くなり、振動体から梁に伝播している振動が検出信号端子７１４、検出接地端子７２４伝播する振動モレ現象を低減させることが可能となる。この振動モレ現象を抑えることにより、前述の実施形態と同様な効果を有することが可能となる。

（変形例３）
図７（ｃ）に示す変形例３は、前述の変形例２における貫通部５５ａ、５５ｂの設けられている部分が貫通除去されずに段差を有する薄肉部５７ａ、５７ｂとなっている構成である。
薄肉部５７ａ、５７ｂは、第１梁６１を挟んで両側に設けられており、それぞれの一方端は第１支持部５１の振動体４（図２、図３参照）側の側面に開放され、他方端は第１支持部５１に段差の側面を有している。この薄肉部５７ａ、５７ｂによって、幅狭部５６ａ、５６ｂが第１支持部５１に形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、薄肉部５７ａおよび幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、薄肉部５７ｂおよび幅狭部５６ｂを介して連結されている。

（変形例４）
図７（ｄ）に示す変形例４は、第１支持部５１と第１梁６１とが連結されている第１支持部５１の側面と反対側の側面側に一方端が開放され、他方端が第１支持部５１に側面を有した段差によって形成された薄肉部５４ａが設けられている構成である。
この薄肉部５４ａが設けられることによって第１支持部５１には、幅狭部５６ａ、５６ｂが形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａおよび薄肉部５４ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂおよび薄肉部５４ａを介して連結されている。

（変形例５）
図７（ｅ）に示す変形例５は、前述の変形例４における薄肉部５４ａの設けられている部分が貫通除去された貫通部５５となっている構成である。
貫通部５５は、第１支持部５１と第１梁６１とが連結されている第１支持部５１の側面と反対側の側面側に一方端が開放され、他方端が第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。この貫通部５５が設けられることによって第１支持部５１には、幅狭部５６ａ、５６ｂが形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂを介して連結されている。

（変形例６）
図７（ｆ）に示す変形例６は、第１梁６１を挟み両側に、第１支持部５１が表裏方向に貫通除去されて形成された貫通部５５ａ、５５ｂと、貫通部５５ａ、５５ｂが設けられている側と反対側に設けられた貫通部５５とを有する構成である。
貫通部５５ａ、５５ｂは、第１梁６１を挟んで設けられており、それぞれの一方端は第１支持部５１の振動体４（図２、図３参照）側の側面に開放され、他方端は第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。貫通部５５は、第１支持部５１と第１梁６１とが対向する側の第１支持部５１の側面と反対側の側面側に一方端が開放され、他方端が第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。これらの貫通部５５、５５ａ、５５ｂによって第１支持部５１には、幅狭部５６ａ、５６ｂが形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂを介して連結されている。

（変形例７）
図８（ａ）に示す変形例７は、第１支持部５１と第１梁６１とが対向する側と反対側の第１支持部５１に突起部５８が形成されており、その突起部５８にかけて第１梁６１と第１梁６１の両側に設けられた貫通部５５ａ、５５ｂとが形成されている構成である。
貫通部５５ａ、５５ｂは、第１梁６１を挟んで両側に設けられており、それぞれの一方端は第１支持部５１の振動体４（図２、図３参照）側の側面に開放され、他方端は突起部５８に側面を有する切欠き形状となっている。換言すれば、貫通部５５ａ、５５ｂは、第１支持部５１の幅より長く形成されている。この貫通部５５ａ、５５ｂによって、幅狭部５６ａ、５６ｂが突起部５８に形成され、さらに幅狭部５６ａ、５６ｂからそれぞれ第１支持部５１に延在された幅狭部５６ｃ、５６ｄが形成されている。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａ、５６ｄを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂ、５６ｃを介して連結されている。
本構成では、幅狭部が、幅狭部５６ａ、５６ｄ或いは幅狭部５６ｂ、５６ｃのように長くなるためさらに変形し易くなり、振動モレの低減、応力緩和の効果が向上する。

（変形例８）
図８（ｂ）に示す変形例８は、第１梁６１と、第１梁６１の両側に設けられた貫通部５５ａ、５５ｂと、貫通部５５ａ、５５ｂが設けられている側と反対側の第１支持部５１に設けられた貫通部５５ｃ、５５ｄと、を有する構成である。
貫通部５５ｃ、５５ｄは、第１梁６１から延伸された突部６１ａを挟み両側に設けられている。貫通部５５ａ、５５ｂおよび貫通部５５ｃ、５５ｄによって幅狭部５６ａ、５６ｂが形成されている。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂを介して連結されている。

（変形例９）
図８（ｃ）に示す変形例９は、第１支持部５１に貫通穴であるトラック形状の貫通部５５ｅが形成された構成である。
貫通部５５ｅは、第１支持部５１と第１梁６１とが連結される部位に対向して設けられており、貫通部５５ｅの一側面が、幅狭部５６ａ、５６ｂの一側面を構成する。幅狭部５６ａ、５６ｂは、第１梁６１を挟んで両側に設けられており、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂを介して連結されている。
なお、貫通穴（貫通部５５ｅ）は、トラック形状に限らず、楕円形状、円形状、或いはこれらの貫通穴が並設された形状など幅狭部５６ａ、５６ｂを設けることができればその形状は問わない。

（変形例１０）
図８（ｄ）に示す変形例１０は、前述の変形例２と構成は同一であり、第１支持部５１が表裏方向に貫通除去されて形成された貫通部５５ａ、５５ｂが設けられているが、貫通部５５ａ、５５ｂの形状が異なる。
貫通部５５ａ、５５ｂは、第１梁６１を挟んで両側に設けられており、それぞれの一方端は第１支持部５１の振動体４（図２、図３参照）側の側面に開放され、他方端は第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。このとき、貫通部５５ａ、５５ｂは、他方端側の側面の長さが開放された一方端の長さよりも短い、即ち、第１支持部５１の側面に開放された一方端（開放端）に向かって徐々に広がる形状をなしている。言い換えれば、貫通部５５ａ、５５ｂを構成する一辺Ｓが、対向する第１梁６１の側面と平行でなく、開放端に向かって徐々に離れる構成となっている。この貫通部５５ａ、５５ｂによって、幅狭部５６ａ、５６ｂが第１支持部５１に形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、貫通部５５ａによって形成された幅狭部５６ａを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、貫通部５５ｂによって形成された幅狭部５６ｂを介して連結されている。

（変形例１１）
図８（ｅ）に示す変形例１１は、前述の変形例６と同じように、第１梁６１を挟み両側に、第１支持部５１が表裏方向に貫通除去されて形成された貫通部５５ａ、５５ｂと、貫通部５５ａ、５５ｂが設けられている側と反対側に設けられた貫通部５５とを有する構成である。本変形例１１は、幅狭部５６ａ、５６ｂが直線状でなく屈曲しているところが前述の変形例６と異なる。
貫通部５５ａ、５５ｂは、第１梁６１を挟んで設けられており、それぞれの一方端は第１支持部５１の振動体４（図２、図３参照）側の側面に開放され、他方端は第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。貫通部５５は、第１支持部５１と第１梁６１とが対向する側の第１支持部５１の側面と反対側の側面側に一方端が開放され、他方端が第１支持部５１に側面を有する切欠き形状となっている。これらの貫通部５５、５５ａ、５５ｂによって第１支持部５１には、屈曲して延在する幅狭部５６ａおよび幅狭部５６ｄと幅狭部５６ｂおよび幅狭部５６ｃとが形成される。そして、検出信号端子７１４と第１梁６１とが、幅狭部５６ａおよび幅狭部５６ｄを介して連結され、検出接地端子７２４と第１梁６１とが、幅狭部５６ｂおよび幅狭部５６ｃを介して連結されている。

（変形例１２）
図８（ｆ）に示す変形例１２は、第１支持部５１と第１梁６１とが連結する側の第１支持部５１に突起部６１ｗが形成されており、その突起部６１ｗも含めて延在された薄肉部５４ａが形成されている構成である。
第１梁６１は、第１支持部５１から延在された突起部６１ｗの一方端で第１支持部５１と連結されている。したがって、第１梁６１の厚さは、薄肉部５４ａの厚さより厚いことになる。

（その他の変形例）
なお、以上の説明では、第１梁６１、第２梁６２、第３梁６３、および第４梁６４のそれぞれの梁が第１支持部５１或いは第２支持部５２に連結される構成で説明したが、これに限らず次のような構成であってもよい。
図９に本変形例を示し説明する、図９は、本変形例を示す部分平面図である。本変形例の構成は、第１梁６１と第２梁６２とが第１支持部５１に達する間で連結され第１連結梁６１ａが形成されている。その第１連結梁６１ａが第１支持部５１の接合部５１ａに連結される。なお、図示しないが、対向する第２支持部側の第３梁と第４梁側も同様な構成とすることができる。詳細には、第３梁と第４梁とが第２支持部に達する間で連結され第２連結梁が形成されている。その第２連結梁が第２支持部に連結される。
この構成によれば、第１連結梁６１ａ或いは第２連結梁を設けることで、梁がさらに撓み易く（変形し易い）なることから、応力の緩和作用および振動モレの防止効果を、より向上させることが可能となる。

以上の説明では、振動片の一例としてジャイロ素子２を用いて説明したが、これに限らず以下のような振動片にも適用が可能である。他の振動片としては、加速度測定素子、圧力検出素子、温度検出素子などの物理量測定用素子に適用することが可能である。

＜物理量検出装置＞
以上のような振動デバイス１は、角速度検出装置、加速度検出装置、圧力計測装置などの物理量検出装置に適用することができる。
次に、本実施形態に係る物理量検出装置について、図面を参照しながら説明する。図１０は、物理量検出装置の構成を示す概略図である。

図１０に示す物理量検出装置１４００は、本発明に係る振動片を含む。本実施形態では、本発明に係る振動片として、振動片３を用いた例について説明する。以下、本実施形態に係る物理量検出装置１４００において、本実施形態に係る振動片３の構成部材と同様の機能を有する部材については同一の符号を付し、その詳細な説明を省略する。

物理量検出装置１４００は、図１０に示すように、振動片３と、駆動回路１４１０と、検出回路１４２０と、を含む。駆動回路１４１０および検出回路１４２０は、図１０では図示しないＩＣチップに組み込まれていることができる。

駆動回路１４１０は、本発明における駆動回路として機能し、Ｉ／Ｖ変換回路（電流電圧変換回路）１４１１と、ＡＣ増幅回路１４１２と、振幅調整回路１４１３と、有することができる。駆動回路１４１０は、振動片３に形成された駆動信号電極７３０に駆動信号を供給する回路である。以下、駆動回路１４１０について、詳細に説明する。

振動片３が振動すると、圧電効果に基づく交流電流が、振動片３に形成された駆動信号電極７３０から出力され、駆動信号端子７３４を介してＩ／Ｖ変換回路１４１１に入力される。Ｉ／Ｖ変換回路１４１１は、入力された交流電流を振動片３の振動周波数と同一の周波数の交流電圧信号に変換して出力する。

Ｉ／Ｖ変換回路１４１１から出力された交流電圧信号は、ＡＣ増幅回路１４１２に入力される。ＡＣ増幅回路１４１２は、入力された交流電圧信号を増幅して出力する。

ＡＣ増幅回路１４１２から出力された交流電圧信号は、振幅調整回路１４１３に入力される。振幅調整回路１４１３は、入力された交流電圧信号の振幅を一定値に保持するように利得を制御し、利得制御後の交流電圧信号を、振動片３に形成された駆動信号端子７３４を介して駆動信号電極７３０に出力する。この駆動信号電極７３０に入力される交流電圧信号（駆動信号）により振動片３が振動する。

検出回路１４２０は、本発明における検出回路として機能し、チャージアンプ回路１４２１，１４２２と、差動増幅回路１４２３と、ＡＣ増幅回路１４２４と、同期検波回路１４２５と、平滑回路１４２６と、可変増幅回路１４２７と、フィルター回路１４２８と、を有することができる。検出回路１４２０は、振動片３の第１検出振動腕４２１に形成された検出信号電極７１０に生じる第１検出信号と、第２検出振動腕４２２に形成された検出信号電極７１０に生じる第２検出信号と、を差動増幅させて差動増幅信号を生成し、該差動増幅信号に基づいて所定の物理量を検出する回路である。以下、検出回路１４２０について、詳細に説明する。

チャージアンプ回路１４２１，１４２２には、振動片３の検出振動腕４２１，４２２に形成された検出信号電極７１０により検出された互いに逆位相の検出信号（交流電流）が、検出信号端子７３４を介して入力される。例えば、チャージアンプ回路１４２１には、第１検出振動腕４２１に形成された検出信号電極７１０により検出された第１検出信号が入力され、チャージアンプ回路１４２２には、第２検出振動腕４２２に形成された検出信号電極７１０により検出された第２検出信号が入力される。そして、チャージアンプ回路１４２１、１４２２は、入力された検出信号（交流電流）を、基準電圧Ｖｒｅｆを中心とする交流電圧信号に変換する。

差動増幅回路１４２３は、チャージアンプ回路１４２１の出力信号と、チャージアンプ回路１４２２の出力信号と、を差動増幅して差動増幅信号を生成する。差動増幅回路１４２３の出力信号（差動増幅信号）は、さらにＡＣ増幅回路１４２４で増幅される。

同期検波回路１４２５は、本発明における検波回路として機能し、駆動回路１４１０のＡＣ増幅回路１４１２が出力する交流電圧信号を基に、ＡＣ増幅回路１４２４の出力信号を同期検波することにより角速度成分を抽出する。

同期検波回路１４２５で抽出された角速度成分の信号は、平滑回路１４２６で直流電圧信号に平滑化され、可変増幅回路１４２７に入力される。

可変増幅回路１４２７は、平滑回路１４２６の出力信号（直流電圧信号）を、設定された増幅率（または減衰率）で増幅（または減衰）して角速度感度を変化させる。可変増幅回路１４２７で増幅（または減衰）された信号は、フィルター回路１４２８に入力される。

フィルター回路１４２８は、可変増幅回路１４２７の出力信号から高周波のノイズ成分を除去し（正確には所定レベル以下に減衰させ）、角速度の方向および大きさに応じた極性および電圧レベルの検出信号を生成する。そして、この検出信号は外部出力端子（図示せず）から外部へ出力される。

物理量検出装置１４００によれば、上述のとおり、検出回路１４２０は、第１検出振動腕４２１に形成された検出信号電極７１０に生じる第１検出信号と、第２検出振動腕４２２に形成された検出信号電極７１０に生じる第２検出信号と、を差動増幅させて差動増幅信号を生成し、該差動増幅信号に基づいて所定の物理量を検出することができる。また、振動片３は、外部からＹ軸方向の衝撃が加わった場合に、Ｙ軸の正の方向側と、Ｙ軸の負の方向側と、において、検出信号と駆動信号との静電結合の変化量を（ほぼ）均等に保つことができる。すなわち、第１検出信号と駆動信号との静電結合の変化量と、第２検出信号と駆動信号との静電結合の変化量と、を均等にすることができるので、Ｙ軸方向の衝撃の影響をキャンセルすることができる。したがって、外部から特にＹ軸方向の衝撃が加わっても、安定して検出信号を検出することができる物理量検出装置１４００を提供することができる。

＜電子機器＞
また、上記のような振動デバイス１は、各種電子機器に組み込むことができる。振動デバイス１を組み込んだ本発明の電子機器としては、特に限定されないが、パーソナルコンピューター（例えば、モバイル型パーソナルコンピューター）、携帯電話機などの移動体端末、ディジタルスチールカメラ、インクジェット式吐出装置（例えば、インクジェットプリンター）、ラップトップ型パーソナルコンピューター、タブレット型パーソナルコンピューター、テレビ、ビデオカメラ、ビデオテープレコーダー、カーナビゲーション装置、ページャー、電子手帳（通信機能付も含む）、電子辞書、電卓、電子ゲーム機器、ゲーム用コントローラー、ワードプロセッサー、ワークステーション、テレビ電話、防犯用テレビモニター、電子双眼鏡、ＰＯＳ端末、医療機器（例えば電子体温計、血圧計、血糖計、心電図計測装置、超音波診断装置、電子内視鏡）、魚群探知機、各種測定機器、計器類（例えば、車両、航空機、船舶の計器類）、フライトシュミレーター、ヘッドマウントディスプレイ、モーショントレース、モーショントラッキング、モーションコントローラー、ＰＤＲ（歩行者位置方位計測）等を挙げることができる。

以上、本発明の振動子および振動デバイスを図示の実施形態および変形例に基づいて説明したが、本発明はこれらに限定されるものではなく、各部の構成は、同様の機能を有する任意の構成のものに置換することができる。また、他の任意の構成物や、工程が付加されていてもよい。また、本発明の振動デバイスは、前述の実施形態および変形例のうち、任意の２以上の構成（特徴）を組み合わせたものであってもよい。

１…振動デバイス、２…ジャイロ素子、３…振動片、４…振動体、８…導電性固定部材（銀ペースト）、９…パッケージ、１０…接続パッド、２２…基部、４１…基部、５１…第１支持部、５１ａ…接合部、５１ｂ…接合部、５２…第２支持部、５２ａ…接合部、５２ｂ…接合部、６１…第１梁、６２…第２梁、６３…第３梁、６４…第４梁、９１…ベース、９２…リッド、４２１…第１検出振動腕、４２２…第２検出振動腕、４３１…第１連結腕、４３２…第２連結腕、４４１…第１駆動振動腕、４４２…第２駆動振動腕、４４３…第３駆動振動腕、４４４…第４駆動振動腕、５１２…溝、５１２ａ、５１２ｂ…端、５１２ｂ’、５１２ｂ”…一端、５１４…溝、５２２…溝、５２４…溝、７１０…検出信号電極、７１２…検出信号配線、７１４…固定部としての検出信号端子、７２０…検出接地電極、７２２…検出接地配線、７２４…固定部としての検出接地端子、７３０…駆動信号電極、７３２…駆動信号配線、７３４…固定部としての駆動信号端子、７４０…駆動接地電極、７４２…駆動接地配線、７４４…固定部としての駆動信号端子、９１１…底板、９１２…側壁、Ｓ１〜Ｓ１０…領域。

Claims (9)

1. 振動体と、
   前記振動体から延出された梁と連結され、前記振動体を支持している支持部と、
   前記支持部に設けられ、前記梁の延出方向と交わる方向に沿って、離間して並設されている少なくとも２つの固定部と、を備え、
   前記２つの固定部間で前記梁と前記支持部とが連結されており、
   前記２つの固定部間には、前記支持部の表裏方向の厚さが前記支持部の前記固定部が設けられている部分よりも薄くなるように形成されている薄肉部、または前記支持部が表裏方向に貫通除去された貫通部が、設けられていることを特徴とする振動片。
2. 前記支持部は、前記梁から前記２つの固定部にそれぞれ延出し、前記支持部の幅が前記支持部の前記固定部が設けられている部分の幅より狭い狭幅部を備えていることを特徴とする請求項１に記載の振動片。
3. 前記薄肉部または前記貫通部の前記振動体側の端は、前記支持部の側面に開放されていることを特徴とする請求項１または２に記載の振動片。
4. 前記振動体は、基部と、前記基部から両側へ第１方向に沿って延出している第１検出振動腕および第２検出振動腕と、前記基部から両側へ前記第１方向と直交する第２方向に沿って延出している第１連結腕および第２連結腕と、前記第１連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第１駆動振動腕および第２駆動振動腕と、前記第２連結腕から両側へ前記第１方向に沿って延出している第３駆動振動腕および第４駆動振動腕と、を備え、前記第１検出振動腕および前記第２検出振動腕にて検出振動系が構成され、前記第１駆動振動腕、前記第２駆動振動腕、前記第３駆動振動腕および前記第４駆動振動腕にて駆動振動系が構成され、
   前記支持部は、前記振動体を挟んで前記第１方向に沿って対向配置され、前記第２方向に延在している第１支持部および第２支持部を備え、
   前記梁は、前記第１検出振動腕と前記第１駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第１梁と、前記第１検出振動腕と前記第３駆動振動腕との間を通って、前記第１支持部と前記基部とを連結している第２梁と、前記第２検出振動腕と前記第２駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第３梁と、前記第２検出振動腕と前記第４駆動振動腕との間を通って、前記第２支持部と前記基部とを連結している第４梁と、を備えていることを特徴とする請求項１ないし請求項３のいずれか一項に記載の振動片。
5. 前記第１梁と前記第２梁とが連結された第１連結梁、および前記第３梁と前記第４梁とが連結された第２連結梁を備えており、
   前記第１連結梁および前記第２連結梁によって前記振動体が、対向配置された前記第１支持部および前記第２支持部のそれぞれに連結されていることを特徴とする請求項４に記載の振動片。
6. 少なくとも２つの接続パッドを備えている基板と、
   請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片と、を備え、
   前記接続パッドと前記固定部とが導電性固定部材により接合されていることを特徴とする振動デバイス。
7. 前記基板の平面視にて、前記接続パッドの輪郭の一部と、前記薄肉部または前記貫通部が設けられている領域の一部とが重なり合っていることを特徴とする請求項６に記載の振動デバイス。
8. 請求項４または請求項５に記載の振動片と、
   前記振動片を駆動する駆動回路と、
   前記振動片からの検出信号に基づいて所定の物理量を検出する検出回路と、を備えていることを特徴とする物理量検出装置。
9. 請求項１ないし請求項５のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。

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