JP6641874B2 - 物理量検出装置、電子機器および移動体 - Google Patents
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前記振動素子に接続されている複数のリードと、を含み、
前記振動素子は、
基部と、
前記基部から一方側へ延出している駆動部と、
前記基部から他方側へ延出している検出部と、
前記駆動部に配置され、前記駆動部を駆動する駆動信号が印加される駆動信号電極と、
前記検出部に配置され、物理量に応じた検出信号を出力する検出信号電極と、を含み、
前記複数のリードは、
前記駆動信号電極に電気的に接続された駆動信号リードと、
前記検出信号電極に電気的に接続された検出信号リードと、を含み、
前記駆動信号リードおよび前記検出信号リードは、前記基部に対して互いに反対側に位置していることを特徴とする。
前記検出部は、前記基部の前記第1軸方向の他方側へ延出し、
前記第1軸方向において、前記駆動信号リードは、前記検出信号リードよりも前記一方側に位置していることが好ましい。
前記検出信号リードは、前記第1検出信号電極と電気的に接続されている第1検出信号リードと、前記第2検出信号電極と電気的に接続されている第2検出信号リードと、を含んでいることが好ましい。
これにより、物理量の検出感度をより高めることができる。
前記駆動信号リードは、前記駆動信号端子に接続され、前記基部の前記一方側に位置し、
前記第1検出信号リードは、前記第1検出信号端子に接続され、前記基部の前記他方側に位置し、
前記第2検出信号リードは、前記第2検出信号端子に接続され、前記基部の前記他方側に位置していることが好ましい。
これにより、駆動信号の印加や、検出信号の出力が容易となる。
前記駆動信号リードは、前記仮想中心線に沿い、前記仮想中心線と重なるように配置されていることが好ましい。
前記複数のリードは、前記定電位端子と接続された基準電位リードを含み、
前記基準電位リードは、前記振動素子の平面視で、前記第1検出信号リードと前記第2検出信号リードとの間に位置していることが好ましい。
これにより、リードの対称性が向上する。
これにより、振動素子の姿勢がより安定する。
これにより、利便性の高い物理量検出装置となる。
前記検出信号に基づいて前記物理量を検出する検出回路と、を含んでいることが好ましい。
これにより、物理量を検出することができる。
これにより、信頼性の高い電子機器が得られる。
これにより、信頼性の高い移動体が得られる。
まず、本発明の第1実施形態に係る物理量検出装置について説明する。
パッケージ2は、図1および図2に示すように、上面に開口する凹部211を有するキャビティ状のベース21と、凹部211の開口を塞いでベース21に接合された板状のリッド22と、を有する。このようなパッケージ2は、凹部211の開口がリッド22で塞がれることにより形成された内部空間Sを有し、この内部空間Sにジャイロ素子3、支持基板4およびIC5を収容している。なお、内部空間Sは、気密封止され、減圧状態(10Pa以下程度。好ましくは真空)となっている。これにより、ジャイロ素子3を効率的に駆動することができる。
ジャイロ素子3は、X軸まわりの角速度ωxを検出することができる。ジャイロ素子3は、図4および図5に示すように、水晶で構成された振動片30と、振動片30に配置された電極および端子とを有する。ただし、振動片30の構成材料としては、水晶に限定されず、例えば、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウムなどの水晶以外の圧電材料が挙げられる。
支持基板4は、従来から知られるTAB(Tape Automated Bonding)実装用の基板である。このような支持基板4は、図8に示すように、枠状の基部41と、基部41に設けられた複数(本実施形態では6本)のリード421、422、423、424、425、426とを有する。基部41は、ベース21に固定されており、リード421〜426の先端部にはジャイロ素子3が固定されている。そのため、支持基板4を介してジャイロ素子3がベース21に固定(支持)された状態となる。
IC5は、ベース21の凹部211の底面に、金属ペースト、接着材等の固定部材を介して固定されている。また、IC5は、支持基板4を介してジャイロ素子3と電気的に接続されている。このようなIC5は、図10に示すように、駆動信号を印加してジャイロ素子3を駆動させる駆動回路51と、ジャイロ素子3からの第1、第2検出信号に基づいて角速度ωxの検出処理を行う検出回路52と、を有する。
図11は、本発明の第2実施形態に係る物理量検出装置の平面図(上面図)である。図12は、ジャイロ素子と支持基板の接続状態を示す下面図である。
図13は、本発明の第3実施形態に係る物理量検出装置が有するジャイロ素子の平面図(上面図)である。
次に、本発明の物理量検出装置を備える電子機器について説明する。
次に、本発明の物理量検出装置を備える移動体について説明する。
図17に示すように、自動車1500には物理量検出装置1が内蔵されており、例えば、物理量検出装置1によって車体1501の姿勢を検出することができる。物理量検出装置1の検出信号は、車体姿勢制御装置1502に供給され、車体姿勢制御装置1502は、その信号に基づいて車体1501の姿勢を検出し、検出結果に応じてサスペンションの硬軟を制御したり、個々の車輪1503のブレーキを制御したりすることができる。その他、このような姿勢制御は、二足歩行ロボットやラジコンヘリコプター(ドローンを含む)で利用することができる。以上のように、各種移動体の姿勢制御の実現にあたって、物理量検出装置1が組み込まれる。
Claims (14)
- 振動素子と、
前記振動素子に接続されている複数のリードと、を含み、
前記振動素子は、
基部と、
前記基部から一方側へ延出している駆動部と、
前記基部から他方側へ延出している検出部と、
前記駆動部に配置され、前記駆動部を駆動する駆動信号が印加される駆動信号電極と、
前記検出部に配置され、物理量に応じた検出信号を出力する検出信号電極と、を含み、
前記複数のリードは、
前記駆動信号電極に電気的に接続された駆動信号リードと、
前記検出信号電極に電気的に接続された検出信号リードと、
補強用の1対の補強リードと、を含み、
前記駆動信号リードおよび前記検出信号リードは、前記基部に対して互いに反対側に位置し、
前記1対の補強リードは、前記基部に対して互いに反対側に位置し、前記振動素子を両持ち支持していることを特徴とする物理量検出装置。 - 前記駆動部は、前記基部から第1軸方向の一方側へ延出し、
前記検出部は、前記基部から前記第1軸方向の他方側へ延出し、
前記第1軸方向において、前記駆動信号リードは、前記検出信号リードよりも前記一方側に位置している請求項1に記載の物理量検出装置。 - 前記検出信号電極は、第1検出信号を出力する第1検出信号電極と、前記第1検出信号と逆相の第2検出信号を出力する第2検出信号電極と、を含み、
前記検出信号リードは、前記第1検出信号電極と電気的に接続されている第1検出信号リードと、前記第2検出信号電極と電気的に接続されている第2検出信号リードと、を含んでいる請求項2に記載の物理量検出装置。 - 前記振動素子は、前記基部に配置され、前記駆動信号電極と電気的に接続されている駆動信号端子と、前記基部に配置され、前記第1検出信号電極と電気的に接続されている第1検出信号端子と、前記基部に配置され、前記第2検出信号電極と電気的に接続されている第2検出信号端子と、を含み、
前記駆動信号リードは、前記駆動信号端子に接続され、前記基部の前記一方側に位置し、
前記第1検出信号リードは、前記第1検出信号端子に接続され、前記基部の前記他方側に位置し、
前記第2検出信号リードは、前記第2検出信号端子に接続され、前記基部の前記他方側に位置している請求項3に記載の物理量検出装置。 - 前記振動素子の平面視にて、前記基部の重心を通り前記第1軸方向に沿う直線を仮想中心線としたとき、
前記駆動信号リードは、前記仮想中心線に沿い、前記仮想中心線と重なるように配置されている請求項4に記載の物理量検出装置。 - 前記振動素子の平面視で、前記基部の前記仮想中心線に対して一方側に前記第1検出信号リードが接続されており、他方側に前記第2検出信号リードが接続されている請求項5に記載の物理量検出装置。
- 前記第1検出信号リードおよび前記第2検出信号リードは、前記仮想中心線に対して対称的に配置されている請求項5または6に記載の物理量検出装置。
- 前記振動素子は、前記駆動部に配置され、前記駆動信号に対する基準電位となる基準電位電極と、前記基部に配置され、前記基準電位電極と電気的に接続されている定電位端子と、を含み、
前記複数のリードは、前記定電位端子と接続された基準電位リードを含み、
前記基準電位リードは、前記振動素子の平面視で、前記第1検出信号リードと前記第2検出信号リードとの間に位置している請求項7に記載の物理量検出装置。 - 前記基準電位リードは、前記振動素子の平面視で、前記仮想中心線に沿い、前記仮想中心線と重なるように配置されている請求項8に記載の物理量検出装置。
- 前記駆動信号リードおよび前記検出信号リードは、前記基部から互いに離間する方向に延在している請求項1ないし9のいずれか1項に記載の物理量検出装置。
- 前記物理量は、角速度である請求項1ないし10のいずれか1項に記載の物理量検出装置。
- 前記駆動信号を生成する駆動回路と、
前記検出信号に基づいて前記物理量を検出する検出回路と、を含んでいる請求項1ないし11のいずれか1項に記載の物理量検出装置。 - 請求項1ないし12のいずれか1項に記載の物理量検出装置を有することを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし12のいずれか1項に記載の物理量検出装置を有することを特徴とする移動体。
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