JP6255903B2 - 角速度センサー、電子機器および移動体 - Google Patents
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Description
例えば、特許文献1に記載の角速度センサーは、枠体に対して振動体支持梁を介して支持されている振動体を有する。この角速度センサーでは、振動体をX軸方向に振動(駆動振動)させた状態で、外部からZ軸まわりの角速度が加わると、振動体にコリオリ力が作用することにより、振動体がY軸方向に変位(検出振動)する。そして、この振動体のY軸方向の変位量を検出することにより、Z軸まわりの角速度を検出する。
そこで、特許文献1に記載の角速度センサーでは、枠体が支持部に対して枠体支持梁を介して支持されており、枠体および枠体支持梁が振動体の振動方向および検出方向のうちの少なくとも1つの方向に沿った衝撃が支持部から振動体に伝わるのを減衰する衝撃減衰機構を構成している。これにより、振動体の振動方向および検出方向について、角速度センサーに加わる衝撃の波形が振動体の共振周波数に近い振動を含んでいても、検出精度への影響を抑制することができる。
[適用例1]
本発明の角速度センサーは、固定部と、
基部と、
前記固定部に対して前記基部を支持する支持部と、
前記基部に接続されている振動部と、
前記基部に接続されていて、検出軸まわりの角速度に応じたコリオリ力の作用により振動する検出部と、を備え、
検出周波数帯域の幅をf1[Hz]とし、前記支持部の変形を伴って前記基部が前記固定部に対して前記検出軸まわりに回転振動する回転振動モードの共振周波数をf2[Hz]とし、離調周波数をf3[Hz]としたとき、
f1<f2<f3の関係を満たすことを特徴とする。
以上のことから、外部から検出軸まわりの回転振動を受けたとき、その回転振動の周波数が離調周波数f3付近であっても、出力の変動を抑制することができる。
本発明の角速度センサーでは、前記回転振動モードは、1次の回転振動モードであることが好ましい。
これにより、基部の検出軸まわりの他の回転振動モードの共振周波数がf2よりも低周波数側に存在しないため、f1とf2との差を比較的小さくし、それに伴って、離調周波数f3も小さくすることができる。その結果、優れたS/N比を実現することができる。
本発明の角速度センサーでは、1.4≦f3/f2の関係を満たすことが好ましい。
これにより、外部からの検出軸まわりの回転振動を抑制する効果を高めることができる。
[適用例4]
本発明の角速度センサーでは、f3/f2≦4の関係を満たすことが好ましい。
これにより、離調周波数が大きくなりすぎるのを防止し、その結果、優れたS/N比を実現することができる。
本発明の角速度センサーでは、前記1次の回転振動モードのQ値が5以上100以下であることが好ましい。
これにより、1次の回転振動モードの共振振動が大きくなりすぎて検出振動に悪影響を与えたり損傷の原因となったりするのを防止しつつ、回転振動減衰モードの効果を高めることができる。
[適用例6]
本発明の角速度センサーでは、f1/f2≦0.5の関係を満たすことが好ましい。
これにより、外部から検出軸まわりの回転振動を受けたとき、検出周波数帯域において、その回転振動の増幅を極めて小さくすることができる。
本発明の電子機器は、本発明の角速度センサーを備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する電子機器を提供することができる。
[適用例8]
本発明の移動体は、本発明の角速度センサーを備えていることを特徴とする。
これにより、優れた信頼性を有する移動体を提供することができる。
1.角速度センサー
<第1実施形態>
図1は、本発明の第1実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す断面図、図2は、図1に示す角速度センサーの平面図、図3は、図1に示す角速度センサーが備えるセンサー素子の平面図である。また、図4は、図3に示すセンサー素子の動作を説明するための平面図である。
図1および図2に示す角速度センサー1は、z軸まわりの角速度を検出する振動ジャイロセンサーである。この角速度センサー1は、センサー素子(振動片)2と、ICチップ3と、センサー素子2およびICチップ3を収納するパッケージ9とを有している。
(センサー素子)
センサー素子2は、z軸まわりの角速度を検出する「面外検出型」のセンサー素子である。このセンサー素子2は、図3に示すように、振動片20と、振動片20の表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子61〜66とを備える。
具体的に説明すると、振動片20は、基部21と、基部21を支持する支持部22と、基部21から延出した2つの検出用振動腕23、24および4つの駆動用振動腕25〜28とを有する。
基部21は、本体部211と、本体部211からx軸方向に沿って互いに反対側へ延出する1対の連結腕212、213とを有する。
駆動用振動腕25、26は、基部21の連結腕212の先端部からy軸方向に沿って互いに反対側へ延出している。同様に、駆動用振動腕27、28は、基部21の連結腕213の先端部からy軸方向に沿って互いに反対方向へ延出している。ここで、駆動用振動腕25、26、27、28は、基部21に接続されている「振動部」を構成している。
かかる圧電体材料としては、例えば、水晶、タンタル酸リチウム、ニオブ酸リチウム、ホウ酸リチウム、チタン酸バリウム等が挙げられる。特に、振動片20を構成する圧電体材料としては水晶(Zカット板)が好ましい。水晶で振動片20を構成すると、振動片20の振動特性(特に周波数温度特性)を優れたものとすることができる。また、エッチングにより高い寸法精度で振動片20を形成することができる。
なお、これら駆動電極等と振動片20との間には、駆動電極等が振動片20から剥離するのを防止する機能を有する下地層としてTi、Cr等の層が設けられていてもよい。また、これら駆動電極等は、同一の成膜工程により一括形成することができる。
まず、端子61と端子64との間に電圧(駆動信号)を印加することにより、図4(a)に示すように、図中矢印Aに示す方向に、駆動用振動腕25と駆動用振動腕27とを互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させるとともに、駆動用振動腕26と駆動用振動腕28とを上記屈曲振動と同方向に互いに接近・離間するように屈曲振動(駆動振動)させる。
このとき、センサー素子2に角速度が加わらないと、駆動用振動腕25、26と駆動用振動腕27、28とは、中心点(重心G)を通るyz平面に対して面対称の振動を行っているため、基部21(本体部211および連結腕212、213)および検出用振動腕23、24は、ほとんど振動しない。
このように端子62、63、65、66から出力された電荷に基づいて、センサー素子2に加わった角速度ωを求めることができる。
図1および図2に示すICチップ3は、前述したセンサー素子2を駆動する機能と、センサー素子2からの出力(センサー出力)を検出する機能とを有する電子部品である。
このようなICチップ3は、図示しないが、センサー素子2を駆動する駆動回路と、センサー素子2からの出力(電荷)を検出する検出回路とを備える。
複数の接続端子31は、前述したセンサー素子2を駆動する駆動信号を出力する1つの接続端子31bと、センサー素子2からの検出信号が入力される2つの接続端子31aとを含む。
2つの接続端子31aは、一方の接続端子31aが配線70を介してセンサー素子2の端子63に電気的に接続され、他方の接続端子31aが配線70を介してセンサー素子2の端子66に電気的に接続されている。
一方、接続端子31bは、後述するパッケージ9のベース91に設けられた配線73を介して、センサー素子2の端子61に電気的に接続されている。
パッケージ9は、センサー素子2およびICチップ3を収納するものである。
パッケージ9は、上面に開放する凹部を有するベース91と、ベース91の凹部の開口を塞ぐようにベース91に接合部材93(シールリング)を介して接合されたリッド(蓋体)92とを有している。このようなパッケージ9は、その内側に収納空間Sを有しており、この収納空間S内に、センサー素子2およびICチップ3が気密的に収納、設置されている。
本実施形態では、図2に示すように、ベース91を平面視したときに、センサー素子2およびICチップ3がx軸方向に互いに並んで配置されている。
ベース91は、平板状の基板911と、基板911の上面に接合された平板状の基板912と、基板912の上面に接合された枠状の基板913と、基板913の上面に接合された枠状の914とで構成されている。
ベース91の構成材料(基板911〜914の各構成材料)としては、特に限定されないが、例えば、酸化アルミニウム等の各種セラミックスを用いることができる。
このようなベース91の基板913の上面には、複数の内部端子71および複数の内部端子72が設けられている。
内部端子71bは、ベース91に設けられた配線73を介して1つの内部端子72に電気的に接続されている。
この配線73は、センサー素子2の端子61と、ICチップ3の接続端子31bとを電気的に接続している。
一方、2つの内部端子71aは、内部端子72に対して電気的に接続されていないダミー端子であり、センサー素子2をベース91に対して固定する際の安定性を高めるものである。
このような複数(6つ)の内部端子71には、それぞれ、固定部材81を介してセンサー素子2が固定されている。
また、2つの内部端子71aに対応する2つの固定部材81(固定部材81a)は、例えば、半田、銀ペースト、導電性接着剤(樹脂材料中に金属粒子などの導電性フィラーを分散させた接着剤)等で構成されていてもよいし、エポキシ樹脂、アクリル樹脂等を含む非導電性の接着剤で構成されていてもよい。
なお、各接続端子31aは、前述したように、ボンディングワイヤーで構成された配線70を介して、センサー素子2の端子63または端子66に電気的に接続されている。
また、ベース91の基板911の下面(センサー素子2とは反対側)には、角速度センサー1が組み込まれる機器(外部機器)に実装される際に用いられる複数の外部端子74と、ICチップ3を調整するための外部端子75(調整用端子)とが設けられている。
このような各内部端子71、72および各外部端子74、75等は、それぞれ、例えば、タングステン(W)等のメタライズ層にニッケル(Ni)、金(Au)等の被膜をメッキ等により積層した金属被膜からなる。
このリッド92は、例えば、ベース91と同材料、または、コバール、42アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。
また、接合部材93は、例えば、コバール、42アロイ、ステンレス鋼等の金属で構成されている。
ベース91とリッド92との接合方法としては、特に限定されないが、例えば、シーム溶接、レーザー溶接等の溶接方法等を用いることができる。
例えば、収納空間S内を減圧する場合、まず、封止材95により封止される前の貫通孔94を介して収納空間S内の空気を除去し、その状態を維持したまま、次いで、封止材95となる金属ボールを貫通孔94内に載置し、この金属ボールをレーザーにより溶融させることにより封止材95を形成し、貫通孔94を封止する。
そこで、角速度センサー1では、検出周波数帯域の幅をf1[Hz]とし、梁部223、224、225、226の変形を伴って基部21が固定部221、222に対して検出軸まわりに回転振動(往復回動)する回転振動モードの共振周波数をf2[Hz]とし、離調周波数をf3[Hz]としたとき、f1<f2<f3の関係を満たす。
前述したような構成を有する角速度センサー1は、図5(a)に示すように、基部21、検出用振動腕23、24および駆動用振動腕25、26、27、28からなる質量29が、バネ(弾性体)である梁部223、224、225、226を介して固定部221、222に支持されている振動系とみなすことができる。
ここで、回転振動抑制モードとして1次の回転振動モードを利用することにより、基部21の検出軸まわりの他の回転振動モードの共振周波数がf2よりも低周波数側に存在しないため、f1とf2との差を比較的小さくし、それに伴って、離調周波数f3も小さくすることができる。その結果、優れたS/N比を実現することができる。
また、離調周波数f3が大きくなりすぎるのを防止する観点から、f3/f2≦4の関係を満たすことが好ましく、f3/f2≦3.5の関係を満たすことがより好ましい。これにより、優れたS/N比を実現ことができる。
また、具体的な検出周波数帯域の幅f1(上限周波数)は、必要に応じて設定されるものであり、特に限定されないが、例えば、10Hz以上300Hz以下であることが好ましく、10Hz以上200Hz以下であることがより好ましい。
また、具体的な離調周波数f3は、特に限定されないが、100Hz以上8.0kHz以下であることが好ましく、1.0kHz以上6.0kHz以下であることがより好ましく、2.0kHz以上3.0kH以下であることがさらに好ましい。
また、具体的な1次の回転振動モードの共振周波数f2は、f1、f3に応じて設定されるものであり、特に限定されないが、50Hz以上4.0kHz以下であることが好ましい。
また、回転振動モードの共振周波数f2を検出周波数帯域の幅f1よりも大きくすることにより、外部から検出軸まわりの回転振動を受けたとき、検出周波数帯域において、その回転振動の増幅を小さくすることができる。
以上のことから、外部から検出軸まわりの回転振動を受けたとき、その回転振動の周波数が離調周波数f3付近であっても、出力の変動を抑制することができる。
次に、本発明の第2実施形態について説明する。
図7(a)(a)は、本発明の第2実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す平面図、図7(b)は、図7(a)中のA−A線断面図である。また、図8は、図7に示す角速度センサーが備える支持部を説明するための裏面図である。
以下、第2実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
センサー素子2Aは、振動片20Aと、振動片20Aの表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子67とを備える。
このような振動片20Aの基部21の本体部211には、複数の端子67が設けられている。この複数の端子67は、前述した第1実施形態の複数の端子61〜66と同様に、図示しない配線を介して、検出用振動腕23、24に設けられた検出電極および駆動用振動腕25〜28に設けられた駆動電極に電気的に接続されている。
パッケージ9Aは、上面に開放する凹部を有するベース91Aと、ベース91Aの凹部の開口を塞ぐようにベース91Aに接合部材93(シールリング)を介して接合されたリッド(蓋体)92とを有している。
このようなベース91Aには、各基板911A、912A、913A、914A間に段差を有する凹部が形成されている。
また、基板912Aの上面には、複数の内部端子72が設けられている。また、基板913Aの上面には、複数の内部端子71が設けられている。
そして、基板914Aの上面には、複数の内部端子71および支持部材4を介してセンサー素子2Aが設置されている。
フィルム41の中央部には、デバイスホール411が形成され、各配線42は、フィルム41上からこのデバイスホール411側に延出し、その延出した部分がフィルム41側(ICチップ3とは反対側)に折り曲げられている。
したがって、このような角速度センサー1Aにおいても、検出周波数帯域の幅をf1[Hz]とし、フィルム41に対する基部21の検出軸まわりの回転振動モードの共振周波数をf2[Hz]とし、離調周波数をf3[Hz]としたとき、f1<f2<f3の関係を満たすことにより、検出軸まわりの回転振動を受けた場合であっても、その回転振動による出力の変動を抑制することができる。
次に、本発明の第3実施形態について説明する。
図9は、本発明の第3実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す平面図、図10は、図9に示す角速度センサーが備えるセンサー素子の動作を説明するための平面図である。また、図11(a)は、図12に示す角速度センサーの回転振動に関する簡略化モデルを示す図、図11(b)は、検出軸まわりの1次の回転振動モード(モード1)を示す図である。
以下、第3実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
センサー素子2Bは、y軸まわりの角速度を検出する「面内検出型」のセンサー素子である。このセンサー素子2Bは、図9に示すように、振動片20Bと、振動片20Bの表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子61〜66とを備える。
基部21Bは、支持部22Bに支持されている。この支持部22Bは、固定部221Bと、基部21Bを固定部221Bに対して支持する4つの連結部223B、224B、225B、226Bとを有している。4つの連結部223B、224B、225B、226Bは、それぞれ、長尺形状をなし、一端が基部21Bに連結され、他端が固定部221Bに連結されている。ここで、連結部223B、224B、225B、226Bは、固定部221Bに対して基部21Bを支持する「支持部」を構成していると言える。なお、支持部22Bが「支持部」を構成し、パッケージ9Bまたは後述するパッケージ9Bのベース91Bが「固定部」を構成しているとも言える。
このように端子62、63、65、66から出力された電荷に基づいて、センサー素子2Bに加わった角速度ωを求めることができる。
具体的に説明すると、前述したような構成を有する角速度センサー1Bは、図11(a)に示すように、基部21B、検出用振動腕23B、24Bおよび駆動用振動腕25B、26Bからなる質量29Bが、バネ(弾性体)である連結部223B、224B、225B、226Bを介して固定部221Bに支持されている振動系とみなすことができる。
したがって、このような角速度センサー1Bにおいても、検出周波数帯域の幅をf1[Hz]とし、固定部221Bに対する基部21Bの検出軸まわりの回転振動モードの共振周波数をf2[Hz]とし、離調周波数をf3[Hz]としたとき、f1<f2<f3の関係を満たすことにより、検出軸まわりの回転振動を受けた場合であっても、その回転振動による出力の変動を抑制することができる。
次に、本発明の第4実施形態について説明する。
図12は、本発明の第4実施形態に係る角速度センサーの概略構成を示す平面図である。
以下、第4実施形態について、前述した実施形態との相違点を中心に説明し、同様の事項については、その説明を省略する。なお、前述した第1実施形態と同様の構成には、同一符号を付してある。
センサー素子2Cは、振動片20Cと、振動片20Cの表面に設けられた複数の検出電極(図示せず)、複数の駆動電極(図示せず)および複数の端子67とを備える。
振動片20Cは、基部21Bと、基部21Bから延出した2つの検出用振動腕23B、24Bおよび4つの駆動用振動腕25B、26Bとを有する。
このような振動片20Cの基部21Bには、複数の端子67が設けられている。
したがって、このような角速度センサー1Cにおいても、検出周波数帯域の幅をf1[Hz]とし、フィルム41に対する基部21Cの検出軸まわりの回転振動モードの共振周波数をf2[Hz]とし、離調周波数をf3[Hz]としたとき、f1<f2<f3の関係を満たすことにより、検出軸まわりの回転振動を受けた場合であっても、その回転振動による出力の変動を抑制することができる。
以上説明したような角速度センサーは、各種電子機器に組み込むことにより、信頼性に優れた電子機器を提供することができる。
図13は、本発明の電子機器を適用したモバイル型(またはノート型)のパーソナルコンピュータの一例を示す斜視図である。
このようなパーソナルコンピュータ1100には、ジャイロセンサーとして機能する前述した角速度センサー1が内蔵されている。
この図において、携帯電話機1200は、複数の操作ボタン1202、受話口1204および送話口1206を備え、操作ボタン1202と受話口1204との間には、表示部100が配置されている。
このような携帯電話機1200には、ジャイロセンサーとして機能する前述した角速度センサー1が内蔵されている。
ここで、通常のカメラは、被写体の光像により銀塩写真フィルムを感光するのに対し、ディジタルスチルカメラ1300は、被写体の光像をCCD(Charge Coupled Device)などの撮像素子により光電変換して撮像信号(画像信号)を生成する。
また、ケース1302の正面側(図中裏面側)には、光学レンズ(撮像光学系)やCCDなどを含む受光ユニット1304が設けられている。
撮影者が表示部に表示された被写体像を確認し、シャッタボタン1306を押下すると、その時点におけるCCDの撮像信号が、メモリ1308に転送・格納される。
このようなディジタルスチルカメラ1300には、ジャイロセンサーとして機能する前述した角速度センサー1が内蔵されている。
図16は、本発明の移動体(自動車)の一例を示す斜視図である。この図において、移動体1500は、車体1501と、4つの車輪1502とを有しており、車体1501に設けられた図示しない動力源(エンジン)によって車輪1502を回転させるように構成されている。このような移動体1500には、角速度センサー10(角速度センサー1)が内蔵されている。
このような移動体によれば、優れた信頼性を発揮することができる。
また、前述した実施形態では、センサー素子が4つまたは2つの駆動用振動腕および2つの検出用振動腕を備えるものを例に説明したが、これに限定されず、駆動用振動腕の数は、1つ、3つまたは5つ以上であってもよく、また、検出用振動腕の数は、1つまたは3つ以上であってもよい。
また、前述した実施形態では、駆動部および検出部がそれぞれ腕状をなす場合を例に説明したが、本発明は、これに限定されず、例えば、静電駆動方式や静電容量検出方式を用いる場合、駆動部や検出部が板状、櫛歯状等をなす部分を有していてもよい。
Claims (6)
- 基部と、
前記基部に接続されている振動部と、
前記基部に接続されていて、検出軸まわりの角速度に応じたコリオリ力の作用により振動する検出部と、
固定部と、
前記固定部および前記基部に接続されている支持部と、
前記検出部に電気的に接続されている検出回路と、を備え、
前記検出回路は、検出周波数帯域の上限周波数をf1[Hz]に設定されており、
前記基部、前記振動部および前記検出部を含む質量部が前記支持部の変形によって前記固定部に対して前記検出軸まわりに回転振動する1次の回転振動モードの共振周波数がf2[Hz]であり、
前記振動部の共振周波数と前記検出部の共振周波数の差である離調周波数がf3[Hz]であり、
かつ、f1<f2<f3の関係および1.4≦f3/f2の関係を満たすことを特徴とする角速度センサー。 - f3/f2≦4の関係を満たす請求項1に記載の角速度センサー。
- 前記1次の回転振動モードのQ値が5以上100以下である請求項1または2に記載の角速度センサー。
- f1/f2≦0.5の関係を満たす請求項1ないし3のいずれか1項に記載の角速度センサー。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1ないし4のいずれか1項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする移動体。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
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