JP2015087286A5 - - Google Patents

Claims (8)

1. 基部と、
   前記基部に接続されている振動部と、
   前記基部に接続されていて、検出軸まわりの角速度に応じたコリオリ力の作用により振動する検出部と、
   固定部と、
   前記固定部および前記基部に接続されている支持部と、
   前記検出部に電気的に接続されている検出回路と、を備え、
   前記検出回路は、検出周波数帯域の幅をｆ１［Ｈｚ］に設定されており、
   前記基部、前記振動部および前記検出部を含む質量部が前記支持部の変形によって前記固定部に対して前記検出軸まわりに回転振動する回転振動モードの共振周波数がｆ２［Ｈｚ］であり、
   前記振動部の共振周波数と前記検出部の共振周波数の差である離調周波数がｆ３［Ｈｚ］であり、
   かつ、ｆ１＜ｆ２＜ｆ３の関係を満たすことを特徴とする角速度センサー。
2. 前記回転振動モードは、１次の回転振動モードである請求項１に記載の角速度センサー。
3. １．４≦ｆ３／ｆ２の関係を満たす請求項２に記載の角速度センサー。
4. ｆ３／ｆ２≦４の関係を満たす請求項２または３に記載の角速度センサー。
5. 前記１次の回転振動モードのＱ値が５以上１００以下である請求項２ないし４のいずれか１項に記載の角速度センサー。
6. ｆ１／ｆ２≦０．５の関係を満たす請求項２ないし５のいずれか１項に記載の角速度センサー。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする電子機器。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項に記載の角速度センサーを備えていることを特徴とする移動体。