JP2014057236A5 - - Google Patents

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[適用例1]本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部から一方の方向へ突出してる2つの振動腕と、前記基部から前記一方の方向へ突出し、前記2つの振動腕の間に配置され、且つ、一方の主面に第1導電パッド及び第2導電パッドが設けられている支持腕と、を含み、前記第1導電パッドと前記第2導電パッドとの間に第1の凹部が配置されていることを特徴とする。
[適用例2]上記適用例に記載の振動片において、前記第1の凹部が有底であり、前記一方の主面を平面視して、前記第1の凹部と重ならないように、前記支持腕の他方の主面に有底の第2の凹部が設けられていることを特徴とする。
[適用例3]上記適用例に記載の振動片において、前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に沿って前記支持腕に穴が設けられていることを特徴とする。
[適用例4]上記適用例に記載の振動片において、前記支持腕に貫通孔が設けられ、平面視で、前記貫通孔の開口が前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に配置されていることを特徴とする。
[適用例5]本適用例に係る振動子は、上記適用例に記載の振動片と、前記振動片が収納されている容器と、を備えていることを特徴とする。
[適用例6]本適用例に係る発振器は、上記適用例に記載の振動片と、発振回路と、
を備えていることを特徴とする。

Claims (8)

  1. 基部と、
    前記基部から一方の方向へ突出してる2つの振動腕と、
    前記基部から前記一方の方向へ突出し、前記2つの振動腕の間に配置され、且つ、一方の主面に第1導電パッド及び第2導電パッドが設けられている支持腕と、
    を含み
    前記第1導電パッドと前記第2導電パッドとの間に第1の凹部が配置されていることを特徴とする振動片。
  2. 請求項1において、
    前記第1の凹部が有底であり、
    前記一方の主面を平面視して、前記第1の凹部と重ならないように、前記支持腕の他方の主面に有底の第2の凹部が設けられていることを特徴とする振動片。
  3. 請求項1又は2において、
    前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に沿って前記支持腕に穴が設けられていることを特徴とする振動片。
  4. 請求項1乃至3のいずれか一項において、
    前記支持腕に貫通孔が設けられ、平面視で、前記貫通孔の開口が前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に配置されていることを特徴とする振動片。
  5. 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片と、
    前記振動片が収納されている容器と、
    を備えていることを特徴とする振動子。
  6. 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片と
    振回路と、
    を備えていることを特徴とする発振器。
  7. 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
  8. 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
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Families Citing this family (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6127495B2 (ja) 2012-12-19 2017-05-17 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器、移動体、および振動片の製造方法
JP2014179802A (ja) * 2013-03-14 2014-09-25 Seiko Epson Corp 振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6107333B2 (ja) * 2013-03-29 2017-04-05 セイコーエプソン株式会社 振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6168949B2 (ja) * 2013-09-25 2017-07-26 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片および圧電振動子
JP2015097362A (ja) * 2013-11-16 2015-05-21 セイコーエプソン株式会社 振動片、振動子、発振器、電子機器および移動体
JP6636683B2 (ja) * 2014-03-07 2020-01-29 エスアイアイ・クリスタルテクノロジー株式会社 圧電振動片及び圧電振動子
JP6432190B2 (ja) * 2014-07-25 2018-12-05 セイコーエプソン株式会社 振動素子、振動素子の製造方法、振動子、電子機器および移動体
JP6532223B2 (ja) * 2014-12-01 2019-06-19 京セラ株式会社 水晶振動素子の中間生成品の製造方法
JP2016146595A (ja) * 2015-02-09 2016-08-12 セイコーエプソン株式会社 振動片の製造方法、ウェハー、振動片、振動子、発振器、リアルタイムクロック、電子機器、および移動体
WO2019188381A1 (ja) * 2018-03-30 2019-10-03 株式会社村田製作所 振動素子
JP7076692B2 (ja) * 2018-03-30 2022-05-30 株式会社村田製作所 振動素子及びそれを備えた振動子

Family Cites Families (47)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5085170A (ja) 1973-11-30 1975-07-09
JPH02149118A (ja) 1988-11-30 1990-06-07 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 弾性表面波装置
JPH03151707A (ja) * 1989-11-08 1991-06-27 Seiko Electronic Components Ltd 表面実装型水晶振動子
JPH0568121A (ja) 1991-09-09 1993-03-19 Toshiba Corp 画像形成装置
JPH05191190A (ja) 1992-01-10 1993-07-30 Seiko Epson Corp 圧電素子のパッケージ方法
JPH0774576A (ja) 1993-06-29 1995-03-17 Meidensha Corp 圧電振動子
JP3343315B2 (ja) 1995-09-29 2002-11-11 アイホン株式会社 インターホン装置
JPH09238041A (ja) 1996-02-28 1997-09-09 Kinseki Ltd 圧電素子板の接続端子構造及びその製造方法
JPH09237848A (ja) * 1996-02-29 1997-09-09 Sony Corp フラット形パッケージ
JP3840698B2 (ja) 1996-07-03 2006-11-01 セイコーエプソン株式会社 圧電振動子
JP3303292B2 (ja) 1998-06-23 2002-07-15 株式会社大真空 表面実装型圧電振動デバイス
JP2000013171A (ja) 1998-06-24 2000-01-14 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶振動子
JP2001036345A (ja) 1999-07-23 2001-02-09 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 水晶発振器
JP2001196717A (ja) * 2000-01-11 2001-07-19 Toyo Commun Equip Co Ltd 電子部品搭載用のベース及びこれを用いた圧電振動子
JP2002009576A (ja) 2000-06-20 2002-01-11 Seiko Epson Corp 圧電デバイス及びそのパッケージ構造
JP2002141770A (ja) 2000-11-01 2002-05-17 Citizen Watch Co Ltd 小型振動子
JP2002353766A (ja) * 2001-03-19 2002-12-06 Seiko Epson Corp 圧電デバイス
JP4696419B2 (ja) * 2001-07-30 2011-06-08 エプソントヨコム株式会社 圧電振動子
TW567664B (en) 2001-10-09 2003-12-21 Ebauchesfabrik Eta Ag Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
JP2003152499A (ja) * 2001-11-19 2003-05-23 Seiko Epson Corp 圧電デバイスとその圧電振動片の製造方法及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び圧電デバイスを利用した電子機器
JP2004328338A (ja) 2003-04-24 2004-11-18 Kyocera Corp 水晶振動子及びその実装構造
JP4219737B2 (ja) 2003-05-30 2009-02-04 リバーエレテック株式会社 圧電振動子
JP4026074B2 (ja) 2003-06-30 2007-12-26 有限会社ピエデック技術研究所 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器
JP4379119B2 (ja) 2003-06-30 2009-12-09 有限会社ピエデック技術研究所 水晶振動子
WO2005090912A1 (ja) 2004-03-19 2005-09-29 Citizen Watch Co., Ltd. 振動子デバイスとその製造方法
JP2005278069A (ja) * 2004-03-26 2005-10-06 Seiko Epson Corp 圧電振動片およびこれを用いた圧電デバイス
US7112914B1 (en) * 2005-06-09 2006-09-26 Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
ATE421799T1 (de) 2005-06-09 2009-02-15 Eta Sa Mft Horlogere Suisse Kompakter piezoelektrischer resonator
EP1732219B1 (en) 2005-06-09 2008-03-26 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case
EP1732220B1 (en) 2005-06-09 2008-03-26 ETA SA Manufacture Horlogère Suisse Small-sized piezoelectric resonator
US7084556B1 (en) * 2005-06-09 2006-08-01 Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse Small-sized piezoelectric resonator
JP2007096528A (ja) 2005-09-27 2007-04-12 Epson Toyocom Corp 圧電振動素子の支持構造、表面実装用圧電振動子、表面実装用圧電発振器、及び圧電振動素子の搭載方法
JP2007208537A (ja) * 2006-01-31 2007-08-16 Epson Toyocom Corp 圧電振動片の接合構造、及び圧電デバイス
JP5061496B2 (ja) 2006-04-19 2012-10-31 セイコーエプソン株式会社 圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器
JP2008099144A (ja) * 2006-10-13 2008-04-24 Nippon Dempa Kogyo Co Ltd 圧電振動片および圧電デバイス
JP2008131167A (ja) 2006-11-17 2008-06-05 Epson Toyocom Corp 圧電デバイスのパッケージ構造及び圧電デバイス
JP4629094B2 (ja) * 2007-12-28 2011-02-09 日本電波工業株式会社 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法
WO2009116523A1 (ja) * 2008-03-18 2009-09-24 シチズンホールディングス株式会社 圧電デバイス
JP2009171591A (ja) 2009-03-04 2009-07-30 Epson Toyocom Corp 圧電振動子
JP5399767B2 (ja) 2009-04-28 2014-01-29 京セラクリスタルデバイス株式会社 水晶振動素子
JP2011091670A (ja) 2009-10-23 2011-05-06 Seiko Epson Corp 圧電デバイスおよびその製造方法
JP5520618B2 (ja) 2010-01-21 2014-06-11 京セラクリスタルデバイス株式会社 音叉型屈曲水晶振動素子
JP5534828B2 (ja) 2010-01-21 2014-07-02 京セラクリスタルデバイス株式会社 音叉型屈曲水晶振動素子
JP2012065000A (ja) * 2010-09-14 2012-03-29 Seiko Epson Corp 圧電振動片、圧電振動子
JP5774295B2 (ja) 2010-11-30 2015-09-09 京セラクリスタルデバイス株式会社 圧電デバイス
JP2012160872A (ja) * 2011-01-31 2012-08-23 Kyocera Crystal Device Corp 圧電デバイス及びその製造方法。
JP5510417B2 (ja) 2011-09-02 2014-06-04 セイコーエプソン株式会社 振動基板の製造方法

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