JP2014057236A5 - - Google Patents
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Description
[適用例1]本適用例に係る振動片は、基部と、前記基部から一方の方向へ突出している2つの振動腕と、前記基部から前記一方の方向へ突出し、前記2つの振動腕の間に配置され、且つ、一方の主面に第1導電パッド及び第2導電パッドが設けられている支持腕と、を含み、前記第1導電パッドと前記第2導電パッドとの間に第1の凹部が配置されていることを特徴とする。
[適用例2]上記適用例に記載の振動片において、前記第1の凹部が有底であり、前記一方の主面を平面視して、前記第1の凹部と重ならないように、前記支持腕の他方の主面に有底の第2の凹部が設けられていることを特徴とする。
[適用例3]上記適用例に記載の振動片において、前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に沿って前記支持腕に穴が設けられていることを特徴とする。
[適用例4]上記適用例に記載の振動片において、前記支持腕に貫通孔が設けられ、平面視で、前記貫通孔の開口が前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に配置されていることを特徴とする。
[適用例5]本適用例に係る振動子は、上記適用例に記載の振動片と、前記振動片が収納されている容器と、を備えていることを特徴とする。
[適用例6]本適用例に係る発振器は、上記適用例に記載の振動片と、発振回路と、
を備えていることを特徴とする。
を備えていることを特徴とする。
Claims (8)
- 基部と、
前記基部から一方の方向へ突出している2つの振動腕と、
前記基部から前記一方の方向へ突出し、前記2つの振動腕の間に配置され、且つ、一方の主面に第1導電パッド及び第2導電パッドが設けられている支持腕と、
を含み、
前記第1導電パッドと前記第2導電パッドとの間に第1の凹部が配置されていることを特徴とする振動片。 - 請求項1において、
前記第1の凹部が有底であり、
前記一方の主面を平面視して、前記第1の凹部と重ならないように、前記支持腕の他方の主面に有底の第2の凹部が設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1又は2において、
前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に沿って前記支持腕に穴が設けられていることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至3のいずれか一項において、
前記支持腕に貫通孔が設けられ、平面視で、前記貫通孔の開口が前記第1導電パッド及び前記第2導電パッドの少なくとも一方の外縁に配置されていることを特徴とする振動片。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片と、
前記振動片が収納されている容器と、
を備えていることを特徴とする振動子。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片と、
発振回路と、
を備えていることを特徴とする発振器。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする電子機器。
- 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の振動片を備えていることを特徴とする移動体。
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JPH09237848A (ja) * | 1996-02-29 | 1997-09-09 | Sony Corp | フラット形パッケージ |
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JP2000013171A (ja) | 1998-06-24 | 2000-01-14 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 水晶振動子 |
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JP2001196717A (ja) * | 2000-01-11 | 2001-07-19 | Toyo Commun Equip Co Ltd | 電子部品搭載用のベース及びこれを用いた圧電振動子 |
JP2002009576A (ja) | 2000-06-20 | 2002-01-11 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス及びそのパッケージ構造 |
JP2002141770A (ja) | 2000-11-01 | 2002-05-17 | Citizen Watch Co Ltd | 小型振動子 |
JP2002353766A (ja) * | 2001-03-19 | 2002-12-06 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイス |
JP4696419B2 (ja) * | 2001-07-30 | 2011-06-08 | エプソントヨコム株式会社 | 圧電振動子 |
TW567664B (en) | 2001-10-09 | 2003-12-21 | Ebauchesfabrik Eta Ag | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case |
JP2003152499A (ja) * | 2001-11-19 | 2003-05-23 | Seiko Epson Corp | 圧電デバイスとその圧電振動片の製造方法及び圧電デバイスを利用した携帯電話装置及び圧電デバイスを利用した電子機器 |
JP2004328338A (ja) | 2003-04-24 | 2004-11-18 | Kyocera Corp | 水晶振動子及びその実装構造 |
JP4219737B2 (ja) | 2003-05-30 | 2009-02-04 | リバーエレテック株式会社 | 圧電振動子 |
JP4026074B2 (ja) | 2003-06-30 | 2007-12-26 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子と水晶ユニットと水晶発振器 |
JP4379119B2 (ja) | 2003-06-30 | 2009-12-09 | 有限会社ピエデック技術研究所 | 水晶振動子 |
WO2005090912A1 (ja) | 2004-03-19 | 2005-09-29 | Citizen Watch Co., Ltd. | 振動子デバイスとその製造方法 |
JP2005278069A (ja) * | 2004-03-26 | 2005-10-06 | Seiko Epson Corp | 圧電振動片およびこれを用いた圧電デバイス |
US7112914B1 (en) * | 2005-06-09 | 2006-09-26 | Eta Sa Manufacture Horlogere Suisse | Piezoelectric resonator and assembly comprising the same enclosed in a case |
ATE421799T1 (de) | 2005-06-09 | 2009-02-15 | Eta Sa Mft Horlogere Suisse | Kompakter piezoelektrischer resonator |
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EP1732220B1 (en) | 2005-06-09 | 2008-03-26 | ETA SA Manufacture Horlogère Suisse | Small-sized piezoelectric resonator |
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JP2007096528A (ja) | 2005-09-27 | 2007-04-12 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動素子の支持構造、表面実装用圧電振動子、表面実装用圧電発振器、及び圧電振動素子の搭載方法 |
JP2007208537A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動片の接合構造、及び圧電デバイス |
JP5061496B2 (ja) | 2006-04-19 | 2012-10-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電基板、圧電振動素子、圧電振動子及び圧電発振器 |
JP2008099144A (ja) * | 2006-10-13 | 2008-04-24 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片および圧電デバイス |
JP2008131167A (ja) | 2006-11-17 | 2008-06-05 | Epson Toyocom Corp | 圧電デバイスのパッケージ構造及び圧電デバイス |
JP4629094B2 (ja) * | 2007-12-28 | 2011-02-09 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス及びそれらの製造方法 |
WO2009116523A1 (ja) * | 2008-03-18 | 2009-09-24 | シチズンホールディングス株式会社 | 圧電デバイス |
JP2009171591A (ja) | 2009-03-04 | 2009-07-30 | Epson Toyocom Corp | 圧電振動子 |
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JP5774295B2 (ja) | 2010-11-30 | 2015-09-09 | 京セラクリスタルデバイス株式会社 | 圧電デバイス |
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-
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