JP2016152478A5 - - Google Patents
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Claims (15)
- 表裏の面に励振電極が設けられている中間基板と、
前記中間基板の一方の面側に配置されており、前記中間基板に第1接合材を介して接合されている第1基板と、
前記中間基板の他方の面側に配置されており、前記中間基板に第2接合材を介して接合されている第2基板と、
を含み、
前記第1接合材および前記第2接合材は、平面視で前記励振電極を囲み、且つ、前記中間基板の外縁に沿って配置されており、
前記第1接合材の前記励振電極側の第1端と、前記第2接合材の前記励振電極側の第2端とは、平面視で重なっておらず、
前記第1接合材の前記第1端と前記第1端とは反対側の端との間の距離は、前記第2接合材の前記第2端と前記第2端とは反対側の端との間の距離と異なる、振動子。 - 請求項1において、
平面視で、前記第1端は、前記第2端よりも前記励振電極側に配置されている、振動子。 - 請求項1または2において、
前記第1接合材の前記反対側の端および前記第2接合材の前記反対側の端は、前記中間基板の外縁と連続している、振動子。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記中間基板は、厚み滑り振動を主振動とし、
前記第1端および前記第2端の少なくとも一方は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されている、振動子。 - 請求項4において、
前記励振電極の端部は、前記中間基板に生じる屈曲振動の最大振幅の位置に配置されている、振動子。 - 請求項1ないし5のいずか1項において、
前記第1基板は、前記中間基板側の面に、平面視で前記第1接合材と重なっている第1凸部を有し、
前記第2基板は、前記中間基板側の面に、平面視で前記第2接合材と重なっている第2凸部を有する、振動子。 - 請求項6において、
平面視で、前記第1凸部の前記励振電極側の第3端と、前記第2凸部の前記励振電極側の第4端とは重なっていない、振動子。 - 請求項7において、
平面視で、前記第3端は、前記第4端よりも前記励振電極側に配置されている、振動子。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記第1基板は、前記中間基板側の面において、平面視で前記第1接合材と前記励振電極との間に、第3凸部を有し、
前記第3凸部は、前記中間基板に第3接合材を介して接合されている、振動子。 - 請求項1ないし8のいずれか1項において、
前記第1基板は、前記中間基板側の面において、平面視で前記第1接合材と前記励振電極との間に、第4凸部を有し、
前記中間基板は、前記第1基板側の面において、平面視で前記第1接合材と前記励振電極との間に、第5凸部を有し、
前記第4凸部と前記第5凸部とは、平面視で重なっている、振動子。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子と、
電子素子と、
を備えている、振動デバイス。 - 請求項11において、
前記電子素子は、感温素子である、振動デバイス。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子と、
前記振動子と電気的に接続されている発振回路と、
を備えている、発振器。 - 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子を備えている、電子機器。
- 請求項1ないし10のいずれか1項に記載の振動子を備えている、移動体。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2015028433A JP6481813B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2015028433A JP6481813B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
Related Child Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2019022348A Division JP6680372B2 (ja) | 2019-02-12 | 2019-02-12 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2016152478A JP2016152478A (ja) | 2016-08-22 |
JP2016152478A5 true JP2016152478A5 (ja) | 2018-03-15 |
JP6481813B2 JP6481813B2 (ja) | 2019-03-13 |
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ID=56696835
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015028433A Active JP6481813B2 (ja) | 2015-02-17 | 2015-02-17 | 振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6481813B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6756325B2 (ja) * | 2017-10-02 | 2020-09-16 | 株式会社大真空 | 圧電振動デバイス |
JP7434724B2 (ja) | 2019-05-23 | 2024-02-21 | セイコーエプソン株式会社 | 振動デバイス、電子機器および移動体 |
WO2021220544A1 (ja) * | 2020-04-30 | 2021-11-04 | 株式会社村田製作所 | 圧電振動子及びそれを備える圧電発振器 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010129898A (ja) * | 2008-11-28 | 2010-06-10 | Kyocera Kinseki Corp | 水晶振動子 |
JP5262946B2 (ja) * | 2009-04-15 | 2013-08-14 | セイコーエプソン株式会社 | 電子デバイス |
JP5646367B2 (ja) * | 2011-02-25 | 2014-12-24 | 日本電波工業株式会社 | 水晶デバイス |
JP2014072883A (ja) * | 2012-10-02 | 2014-04-21 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電デバイス |
JP6158505B2 (ja) * | 2012-12-21 | 2017-07-05 | 京セラ株式会社 | 水晶デバイス |
JP2014171152A (ja) * | 2013-03-05 | 2014-09-18 | Seiko Epson Corp | 振動素子、振動子、発振器、電子機器および移動体 |
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