JP2018084519A5 - - Google Patents

Claims (12)

1. 外部から力を受ける第１面と、前記第１面とは法線方向が異なる第２面と、を備える基体と、
   前記第２面上に配置されている電極指と、を有し、
   前記第２面の平面視で、前記電極指の並び方向が前記第１面の法線方向とは異なることを特徴とする力検出センサー。
2. 前記第２面は、圧電体の表面で構成されている請求項１に記載の力検出センサー。
3. 前記基体は、前記第１面および前記第２面とは法線方向が異なる第３面を備え、
   前記第３面上に配置されている電極指を有し、
   前記第３面の平面視で、前記第３面上に配置されている前記電極指の並び方向が前記第１面の法線方向とは異なる請求項１または２に記載の力検出センサー。
4. 前記第３面は、圧電体の表面で構成されている請求項３に記載の力検出センサー。
5. 前記第２面の平面視で、並び方向が前記第１面の法線に対して一方側に傾斜している第１電極指と、並び方向が前記第１面の法線に対して他方側に傾斜している第２電極指と、を有している請求項１または２に記載の力検出センサー。
6. 前記圧電体の構成材料は、水晶である請求項２または４に記載の力検出センサー。
7. 前記第１面は、前記水晶の電気軸と交差している請求項６に記載の力検出センサー。
8. 前記基体は、第１基体と、前記第１基体に接続されている第２基体と、を有し、
   前記第１基体が前記第１面を有し、
   前記第２基体が前記第２面を有している請求項１ないし７のいずれか１項に記載の力検出センサー。
9. 前記基体は、予圧されている請求項１ないし８のいずれか１項に記載の力検出センサー。
10. 請求項１ないし９のいずれか１項に記載の力検出センサーを有することを特徴とする力覚センサー。
11. 請求項１ないし９のいずれか１項に記載の力検出センサーを有することを特徴とするトルクセンサー。
12. 請求項１ないし９のいずれか１項に記載の力検出センサーを有することを特徴とするロボット。