JP6862794B2 - 力検出センサー、力覚センサー、トルクセンサーおよびロボット - Google Patents
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Description
前記第2面上に配置されている電極指と、を有し、
前記第2面の平面視で、前記電極指の並び方向が前記第1面の法線方向とは異なることを特徴とする。
これにより、第1面が力を受けると、電極指のピッチが変化する。電極指のピッチが変化すると、電極指に通電することで基体の表面に励起される弾性表面波の周波数(SAW共振子の共振周波数)も変化するため、この周波数変化に基づいて、受けた力を検出することができる。このように、周波数変化に基づいて受けた力を検出することで、高い分解能および応答性を発揮することができる。そのため、高い力検出特性を発揮することのできる力検出センサーとなる。
これにより、電極指に通電することで、より確実に、第2面に弾性表面波を励起することができる。
前記第3面上に配置されている前記電極指を有し、
前記第3面の平面視で、前記第3面上に配置されている前記電極指の並び方向が前記第1面の法線方向とは異なることが好ましい。
これにより、より多くの検出軸を有する力検出センサーとなる。
これにより、櫛歯電極に通電することで、より確実に、第3面に弾性表面波を励起することができる。
これにより、より多くの検出軸を有する力検出センサーとなる。
これにより、優れた温度特性、および、優れた機械的強度を発揮することができる。
これにより、より確実に、基体の表面(第2面や第3面)に弾性表面波を励起することができる。
前記第1基体が前記第1面を有し、
前記第2基体が前記第2面を有していることが好ましい。
これにより、基体の設計の自由度が増す。
これにより、力検出センサーの応答性が向上する。
これにより、本発明の力検出センサーの効果を享受でき、高い信頼性および力検出特性を有する力覚センサーが得られる。
これにより、本発明の力検出センサーの効果を享受でき、高い信頼性および力検出特性を有するトルクセンサーが得られる。
これにより、本発明の力検出センサーの効果を享受でき、高い信頼性および力検出特性を有するロボットが得られる。
図1は、本発明の第1実施形態に係る力覚センサーを示す断面図である。図2は、図1に示す力覚センサーが有する力検出センサーの斜視図である。図3は、図1に示す力覚センサーの平面図である。以下では、説明の便宜上、図1、図2中の上側および図3中の紙面手前側を「上」とも言い、図1、図2中の下側および図3中の紙面奥側を「下」とも言う。また、各図に示すように、以下では、互いに直交する3軸をX軸、Y軸およびZ軸とし、また、X軸に平行な方向を「X軸方向」、Y軸に平行な方向を「Y軸方向」、Z軸に平行な方向を「Z軸方向」ともいう。
図1および図2に示すように、力検出センサー2は、外部から力(Fz、Fx)を受ける第1面としての受圧面211と、受圧面211とは法線方向が異なる第2面としての配置面213と、を備える基体21と、配置面213上に配置されている電極指25と、を有している。また、配置面213の平面視で、電極指25の並び方向が受圧面211の法線方向(Z軸方向)とは異なっている。すなわち、配置面213の平面視で、電極指25の並び方向が受圧面211の法線に対して傾斜している。
図1に示すように、パッケージ3は、上方に開口する凹部311を有するベース31と、凹部311の開口を覆うようにベース31の上面に接合されたキャップ状のリッド32とを有している。また、パッケージ3の内側には気密な収納空間Sが形成されており、この収納空間Sに力検出センサー2が収納されている。収納空間Sの雰囲気としては、特に限定されないが、例えば、窒素、アルゴン、ヘリウム等の希ガスが充填されていることが好ましい。これにより、収納空間Sの雰囲気が安定する。また、櫛歯電極22や反射器23、24の腐食等を抑制することができる。また、収納空間Sは、減圧(好ましくは真空)状態となっていてもよい。これにより、例えば、粘性抵抗が減って、力検出センサー2のQ値が高まるため、弾性表面波を励起し易くなる。
図1に示すように、一対の基板41、42は、パッケージ3を間に挟んでZ軸方向に重なるようにして設けられている。また、パッケージ3は、Z軸方向から見た平面視で、基板41、42の中央部に位置している。
図1および図3に示すように、基板41、42は、4つの予圧ボルト5で固定(連結)されている。4つの予圧ボルト5は、基板41、42の外縁部に周方向に沿って等間隔(すなわち、90°間隔)に設けられている。また、各予圧ボルト5は、その頭部51が基板41側となるように配置され、各予圧ボルト5のネジ部52が基板42に螺合している。そして、各予圧ボルト5により、パッケージ3内の力検出センサー2にZ軸方向の圧力が加えられている。すなわち、基体21は、予圧ボルト5によって予圧されている。このように、基体21を予圧することで、例えば、予圧しない場合と比較して、力覚センサー1の応答性が向上する。また、圧縮方向の力Fz1のみならず、伸張方向の力Fz2についてもより精度よく検出することができる。
図4は、本発明の第2実施形態に係るトルクセンサーを示す平面図である。図5は、図4に示すトルクセンサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図6は、本発明の第3実施形態に係る力覚センサーを示す断面図である。図7は、図6に示す力覚センサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図8は、本発明の第4実施形態に係るトルクセンサーを示す平面図である。図9は、図8に示すトルクセンサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図10は、本発明の第5実施形態に係る力覚センサーを示す断面図である。図11は、図10に示す力覚センサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図12は、本発明の第6実施形態に係るトルクセンサーを示す平面図である。図13は、図12に示すトルクセンサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図14は、本発明の第7実施形態に係る力覚センサーが有する力検出センサーの斜視図である。
図15は、本発明の第8実施形態に係るロボットを示す斜視図である。
Claims (12)
- 外部から力を受ける第1面と、前記第1面とは法線方向が異なる第2面と、前記第1面および前記第2面とは法線方向が異なる第3面と、を備える基体と、
前記第2面上に配置されている電極指と、
前記第3面上に配置されている電極指と、を有し、
前記第2面の平面視で、前記第2面上に配置されている前記電極指の並び方向が前記第1面の法線に対して傾斜し、
前記第3面の平面視で、前記第3面上に配置されている前記電極指の並び方向が前記第1面の法線に対して傾斜していることを特徴とする力検出センサー。 - 前記第2面の法線と前記第3面の法線とが直交している請求項1に記載の力検出センサー。
- 前記第1面の法線と前記第2面の法線と前記第3面の法線とがすべて直交している請求項1に記載の力検出センサー。
- 前記第2面は、圧電体の表面で構成されている請求項1ないし3のいずれか1項に記載の力検出センサー。
- 前記第3面は、圧電体の表面で構成されている請求項4に記載の力検出センサー。
- 前記圧電体の構成材料は、水晶である請求項4に記載の力検出センサー。
- 前記第1面は、前記水晶の電気軸と交差している請求項6に記載の力検出センサー。
- 前記基体は、第1基体と、前記第1基体に接続されている第2基体と、を有し、
前記第1基体が前記第1面を有し、
前記第2基体が前記第2面を有している請求項1ないし7のいずれか1項に記載の力検出センサー。 - 前記基体は、予圧されている請求項1ないし8のいずれか1項に記載の力検出センサー。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の力検出センサーを有することを特徴とする力覚センサー。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の力検出センサーを有することを特徴とするトルクセンサー。
- 請求項1ないし9のいずれか1項に記載の力検出センサーを有することを特徴とするロボット。
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