JP5954531B2 - 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 - Google Patents
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Description
本適用例に係る物理量検出デバイスは、
基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して設けられており、物理量の変化に応じて変位する可動部と、
前記変位方向の平面視において前記基部から前記可動部に掛け渡されている物理量検出素子と、
を含み、
前記物理量検出素子は、前記基部と前記可動部とに設けられている溝部内に配置されている。
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記溝部の深さは、前記物理量検出素子の厚さ以上であってもよい。
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記変位方向の平面視で前記可動部の前記溝部に重なる部分を有して前記可動部と固定されている質量体を含み、
前記物理量検出素子は、前記質量体の前記溝部に重なる部分と前記可動部との間に位置していてもよい。
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記基部の前記溝部内に設けられている第1接合部材を含み、
前記第1接合部材は、前記物理量検出素子と前記基部とを接合していてもよい。
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記可動部の前記溝部内に設けられている第2接合部材を含み、
前記第2接合部材は、前記物理量検出素子と前記可動部とを接合していてもよい。
本適用例に係る物理量検出デバイスにおいて、
前記物理量検出素子は、双音叉型振動素子であってもよい。
本適用例に係る物理量検出器は、
本適用例に係る物理量検出デバイスと、
前記物理量検出デバイスを収容しているパッケージと、
を含む。
本適用例に係る電子機器は、
本適用例に係る物理量検出デバイスを含む。
まず、本実施形態に係る物理量検出デバイスについて、図面を参照しながら説明する。図1は、本実施形態に係る物理量検出デバイス100を模式的に示す斜視図である。図2は、本実施形態に係る物理量検出デバイス100を模式的に示す平面図である。図3は、本実施形態に係る物理量検出デバイス100を模式的に示す断面図であり、図2のIII−III線断面図である。なお、図1および図2では、便宜上、第1質量体50を透視して図示している。また、図1〜図3では、互いに直交する3つの軸として、X軸、Y軸、Z軸を図示している。
このように、溝部30内において、基部10と第1ベース部22とを接合部材60を介して接合することにより、接合面を大きくすることができ、接合強度を高めることができる。また、溝部30内において、可動部14と第2ベース部23が接合部材62を介して接合されることにより、図示の例では、溝部30の底面および側面を規定する可動部14の面と、第2ベース部23の底面および側面とが、接合部材62を介して接合される。このように、溝部30内において、可動部14と第2ベース部23とを接合部材60を介して接合することにより、接合面を大きくすることができ、接合強度を高めることができる。
次に、本実施形態に係る物理量検出器について、図面を参照しながら説明する。図6は、本実施形態に係る物理量検出器300を模式的に示す平面図である。図7は、本実施形態に係る物理量検出器300を模式的に示す断面図である。なお、図7は、図6のVII−VII線断面図である。
次に、本実施形態に係る電子機器について説明する。以下では、本実施形態に係る電子機器として、本発明に係る物理検出デバイス(以下の例では物理量検出デバイス100)を含む傾斜計について、図面を参照しながら説明する。図8は、本実施形態に係る傾斜計400を模式的に示す斜視図である。
Claims (7)
- 第1の溝部を有する基部と、
前記基部に継ぎ手部を介して接続され、第2の溝部を有する可動部と、
前記可動部の厚み方向からの平面視において、前記第1の溝部の内部の前記基部と前記第2の溝部の内部の前記可動部とに固定されている物理量検出素子と、
前記平面視で前記第2の溝部に重なる部分を有して前記可動部と固定されている質量体と、
を含み、
前記物理量検出素子は、前記質量体と前記可動部との間の前記第2の溝部内に位置している、物理量検出デバイス。 - 請求項1において、
前記第1の溝部および前記第2の溝部の深さは、前記物理量検出素子の厚さ以上である、物理量検出デバイス。 - 請求項1または2において、
前記第1の溝部内に設けられている第1接合部材を含み、
前記第1接合部材は、前記物理量検出素子と前記基部とを接合している、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし3のいずれか1項において、
前記第2の溝部内に設けられている第2接合部材を含み、
前記第2接合部材は、前記物理量検出素子と前記可動部とを接合している、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし4のいずれか1項において、
前記物理量検出素子は、双音叉型振動素子である、物理量検出デバイス。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の物理量検出デバイスと、
前記物理量検出デバイスを収容しているパッケージと、
を含む、物理量検出器。 - 請求項1ないし5のいずれか1項に記載の物理量検出デバイスを含む、電子機器。
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JP2012085867A JP5954531B2 (ja) | 2012-04-04 | 2012-04-04 | 物理量検出デバイス、物理量検出器、および電子機器 |
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2012
- 2012-04-04 JP JP2012085867A patent/JP5954531B2/ja not_active Expired - Fee Related
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