WO2001067058A1

WO2001067058A1 - Verfahren und vorrichtung zur messung eines an einem bauteil wirkenden moments

Info

Publication number: WO2001067058A1
Application number: PCT/DE2001/000845
Authority: WO
Inventors: Valentin Magori; Ulrich Wolff
Original assignee: Siemens Aktiengesellschaft
Priority date: 2000-03-10
Filing date: 2001-03-06
Publication date: 2001-09-13
Also published as: WO2001067058A8

Abstract

Ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Messung insbesondere eines an einer Motorwelle wirkenden Drehmoments, bei dem am piezoelektrischen Substrat eines OFW-Sensors (16) wenigstens drei akustische Oberflächenwellen mit unterschiedlichen Ausbreitungsrichtungen erzeugt werden, wobei den vom Sensor abgegebenen Antwortsignalen drei unabhängige vom zu messenden Drehmoment verursachte Verzerrungskomponenten für die Bestimmung des Drehmoments entsprechend.

Description

Beschreibung

Verfahren und Vorrichtung zur Messung eines an einem Bauteil wirkenden Moments

Die Erfindung betrifft ein Verfahren nach dem Oberbegriff des Patentanspruches 1 und eine Vorrichtung nach dem Oberbegriff des Patentanspruches .

Ein derartiges Verfahren und eine derartige Vorrichtung sind aus der WO 97/09596 bekannt. Beim bekannten Verfahren und der bekannten Vorrichtung werden mittels eines OFW (Oberflächenwellen) -Funksensors an einem Rotor, insbesondere einer von einem Elektromotor angetriebenen Welle wirkende Drehmomente gemessen. Hierzu werden akustische Oberflächenwellen an einem kraftschlüssig, beispielsweise durch Kleben mit der Welle verbundenen piezoelektrischen Substrat mittels hochfrequenter Abfrageimpulse angeregt und reflektiv verzögerte Antwortsignale, welche vom zu messenden Drehmoment beeinflusst sind, für die Bestimmung des Drehmoments ausgewertet. Bei lastaufnehmenden Bauteilen oder Bauteilen, welche Kräfte insbesondere Drehmomente übertragen, wie beispielsweise Wellen, treten MaterialVerformungen durch Dehnung, Stauchung und Biegemomente auf. Am jeweiligen Messgeber (Sensor) ergeben sich erhebliche Störeinflüsse. Ferner ergeben sich bei der direkten Befestigung der Sensoren durch Kleben auf dem Bauteil, insbesondere auf der Welle Schwierigkeiten bei der Fertigung. Bei herkömmlicher Fertigungsumgebung ist eine Präzisionskle- bung nicht möglich. Die erforderliche thermische Härtung der Kleber wird durch die bei dem Bauteil, insbesondere einer Welle vorhandene große Wärmekapazität behindert.

Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung der eingangs genannten Art zu schaffen, bei denen mit einfachen Hilfsmitteln eine hohe Messgenauigkeit erreicht wird. Diese Aufgabe wird beim Verfahren erfindungsgemäß durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentanspruches 1 und bei der Vorrichtung durch die kennzeichnenden Merkmale des Patentan^¬ spruches 4 gelöst.

Die Unteransprüche beinhalten vorteilhafte Weiterbildungen der Erfindung.

Beim Verfahren sowie bei einer bevorzugten Ausführungsform der Vorrichtung wird eine Oberflächenverzerrung in wenigstens drei verschiedenen Richtungen gemessen, wobei von drei unabhängigen Verzerrungskomponenten Messwerte erhalten werden. Die Messung der drei unabhängigen Verzerrungskomponenten der Oberflächenverformung erfolgt simultan. Hierzu werden mindes- tens drei akustische Oberflächenwellen angeregt, die sich in verschiedenen Richtungen, beispielsweise unter 0°, 45° und - 45° oder unter 0°, 60° und -60° zu einer Vorzugsrichtung ausbreiten. Es können auch andere Ausbreitungsrichtungen gewählt werden. Die akustischen Oberflächenwellen werden von elektro- akustischen Wandlern (OFW-Interdigitalwandlern) erzeugt und von den jeweiligen Wandlern zugeordneten Reflektoren reflektiert und gelangen wieder zum Wandler zurück. Die Länge der jeweiligen Laufzeiten sind ein Maß für die Verzerrung der 0- berfläche. Zur Erzeugung der akustischen Oberflächenwellen dienen hochfrequente Abfrageimpulse. Diese können per Funk mittels einer Empfangs und Sendeantenne, die mit den Sammelschienen der Interdigitalwandler verbunden ist, übertragen werden. Das als reflektive Verzögerungsleitung ausgebildete OFW-Bauelement bildet einen OFW-Funksensor . In bekannter Wei- se VDI Reihe 8, Nr. 515, VDI-Verlag 1995, Seiten 62 bis 79) können auch mehrere Reflektoren pro OFW-Richtung sowie Reflektoren in Resonatoranordnung verwendet werden.

In bevorzugter Weise überkreuzen sich die Wege der insbeson- dere drei Oberflächenwellen in einer gemeinsamen Kreuzungsstelle. Man erreicht dadurch einen kompakten Aufbau des OFW- Bauelements. Hierdurch wird ferner sichergestellt, dass auf allen Messstrecken die gleiche Temperatur herrscht, wodurch Messfehler infolge thermischer Inhomogenitäten vermieden werden.

Bei der Vorrichtung ist zur Lösung obiger Aufgabe das OFW- Bauelement in einem nach außen abgedichteten Hohlraum des Bauteils, an welchem die Momentenmessung durchgeführt wird, angeordnet und kraftschlüssig mit dem Bauteil verbunden. Hierzu ist in bevorzugter Weise ein Träger vorgesehen, wel- eher durch das zu messende Moment, insbesondere Drehmoment verformbar ist. Beispielsweise durch Kleben kann das OFW-Bau- ele ent mit dem Träger fest verbunden werden. Der Träger ist mit For schluss in einer Ausnehmung des Bauteils befestigt. Der den Deformationskörper bildende Träger kann als runde Scheibe oder rechteckige Trägerplatte ausgebildet sein. Die Ausnehmung, in welcher der Träger angeordnet wird, ist in die Oberfläche des Bauteils, insbesondere der Welle, an welcher das Drehmoment gemessen werden soll, formschlüssig einge- passt. Mit Hilfe von Spannmitteln wird der Träger an die Wand der Ausnehmung im Bauteil bzw. der Welle angepresst. Die Verbindung zwischen dem Bauteil bzw. der Welle und dem Trägermaterial kann auch durch Stoffschluss, beispielsweise Kaltpressschweißen, hergestellt werden. Durch diese kraftschlüssige Befestigung des Trägers in einer Ausnehmung, insbeson- dere Sackbohrung des Bauteils werden am Bauteil wirksame Kräfte auf den als Deformationskörper wirkenden Träger und damit auf das am Träger befestigte OFW-Bauelement übertragen. Zur Erzielung einer hinreichend starken Vorspannung des Trägers gegenüber dem Bauteil können aus der Konstruktionslehre bekannte Mittel, welche Reibschluss mit oder ohne Zwischenelemente, beispielsweise Federelemente, herstellen, vorgesehen sein. Durch das Kaltpressschweißen lässt sich ein dauerhafter Stoffschluss zwischen dem Träger- und dem Bauteilmaterial herstellen.

Die Oberfläche des OFW-Bauelements, an welcher die Wandler- und Reflektor- bzw. Resonatorstrukturen vorgesehen sind, er- streckt sich vorzugsweise parallel zur Wellenachse beim Einsatz an einer beispielsweise von einem Elektromotor angetriebenen Welle für die Drehmomentmessung.

Für den Einbauort des OFW-Bauelements an einer von einem Elektromotor angetriebenen Welle sind mehrere Möglichkeiten vorhanden. Der Einbauort befindet sich grundsätzlich zwischen dem Ort der Drehmomentübertragung vom Motorständer auf den Motorläufer und dem Ort der Drehmomentübertragung von der Welle auf den angetriebenen Körper. In bevorzugter Weise kann der Einbauort an der Stelle der Drehmomentübertragung von der Motorausgangswelle auf die angetriebene Arbeitswelle, beispielsweise im Bereich einer Passfeder liegen. Das OFW-Bauelement kann in der gleichen Passnut angeordnet sein, in der auch die Passfeder zur Übertragung des Drehmoments von der Motorwelle auf die Arbeitswelle sitzt. Hierzu kann die Passnut in Richtung auf den Motor hin entsprechend verlängert sein. Die Passfeder kann gleichzeitig als Träger für das OFW- Bauelement dienen.

Hierdurch ist die Anordnung des OFW-Bauelements als Drehmomentsensor mit einfachem fertigungsgerechten Einbau insbesondere an der Motorwelle des Elektromotors ermöglicht. Der Einbau kann mit den gleichen Mitteln erfolgen, welche bei der Motormontage zur Verfügung stehen. OFW-Bauelemente können als Funksensoren (WO 97/09596) zum Einsatz kommen. Hierdurch ist eine einfache berührungslose Übertragung der Sensorsignale über Funk auf eine stationäre Abfrage- und Auswerteeinheit möglich.

Anhand der Figuren wird an Ausführungsbeispielen die Erfindung noch näher erläutert.

Es zeigt:

Fig. 1 eine schnittbildliche Darstellung eines ersten Ausführungsbeispiels eingebaut in einer Welle; Fig. 2 eine Ansicht auf das Ausführungsbeispiel von unten;

Fig. 3 eine Draufsicht auf ein OFW-Bauelement, welches beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 zur Anwendung kommt;

Fig. 4 eine schnittbildliche Darstellung durch ein Ausführungsbeispiel mit zugehöriger Empfangs- und Sen- deantenne;

Fig. 5 eine weitere Ausführungsform für ein OFW-Bauelement in Draufsicht;

Fig. 6 ein weiteres Ausführungsbeispiel in Draufsicht, eingebaut in eine Welle;

Fig. 7 eine schnittbildliche Darstellung des Ausführungsbeispiel der Fig. 6 entlang der Schnittlinie VII-VII;

Fig. 8 eine schnittbildliche Darstellung des Ausführungsbeispiels der Fig. 6 und 7 entlang der Schnittlinie VIII-VIII in Fig. 7

Fig. 9 eine Welle mit eingebauten Funksensoren, welche Ausführungsbeispiele der Erfindung sind; und

Fig. 10 eine perspektivische Ansicht einer Welle mit einem eingebauten Ausführungsbeispiel und einer stationären Antenne einer Abfrage- und Auswerteeinrichtung.

Die in den Fig. 1 bis 6 dargestellten Ausführungsbeispiele eines OFW (Oberflächenwellen) -Sensors 16 besitzen jeweils ei- nen Träger 3, an welchem ein OFW-Bauelement 2, insbesondere durch Kleben befestigt ist. Der Träger 3 bildet einen Deformationskörper, welcher beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 4 als kreisrunde Trägerplatte ausgebildet ist, die einen Durchmesser von etwa 10,0 mm aufweist. Beim Ausführungsbei- spiel der Fig. 6 bis 8 ist der Träger 3 als rechteckige Trägerplatte ausgebildet. Das OFW-Bauelement 2 ist an der Unter- seite des Trägers 3 in einer Vertiefung 5 (Fig. 4, 7) angeordnet. Die Vertiefung 5 wird durch einen Deckel 6 dicht verschlossen. Dies kann beispielsweise durch ein in der OFW- Technik übliches Rollennahtschweißen erfolgen. Im Träger 3 ist ferner eine Hochfrequenzdurchführung 17 für die galvani- sehe Verbindung einer Sende- und Empfangsantenne 15 mit den beiden Sammelschienen jeweiliger elektroakustischer Wandler 8, 9 und 10 (Fig. 3, 5), welche in bekannter Weise als Inter- digitalwandler ausgebildet sind, vorgesehen.

Wie aus den Fig. 3 und 5 zu ersehen ist, sind beim OFW-Bauelement auf einem piezoelektrischen Substrat 7 drei akustische Wandler 8, 9 und 10 vorgesehen, welche in unterschiedlichen Richtungen akustische Oberflächenwellen im in piezoelektrischen Substrat 2 erzeugen. Jedem elektroakustischen Wandler 8, 9, 10 ist ein Reflektor 11, 12, 13 (Fig. 3) zugeordnet, welcher die vom jeweiligen elektroakustischen Wandler ausgesendete Oberflächenwelle reflektiert. Jede aus einem e- lektroakustischen Wandler und einem zugeordneten Reflektor gebildete Einheit bildet in bekannter Weise eine reflektive Verzögerungsleitung VDI Reihe 8, Nr. 515, 1995, Seiten 62 bis 79) . Es können in bekannter Weise auch mehrere Reflektoren in der jeweiligen OFW-Richtung vorgesehen sein, die auch disper- sive Strukturen aufweisen können. Ferner können die Reflektoren in Resonatoranordnung auf dem Substrat 7 vorgesehen sein, wie es die Fig. 5 zeigt.

Wie aus den Fig. 3 und 5 zu ersehen ist, kreuzen sich die Wege der drei Oberflächenwellen in einer gemeinsamen Kreuzungsstelle 14. Die Länge der Laufzeiten der Oberflächenwel- len vom jeweiligen Wandler 8, 9, 10 zum zugeordneten Reflektor bzw. zu den zugeordneten Reflektoren 11, 12, 13 und wieder zum Wandler zurück, ist ein Maß für die Verzerrung der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 7, welches fest mit dem Träger 3 verbunden ist.

Damit die Verzerrung der Oberfläche des piezoelektrischen Substrats 7 ein Maß für ein am Bauteil 1 wirkendes Moment, insbesondere Drehmoment ist, wird der Träger 3 mit Form- schluss in eine Ausnehmung 4 des Bauteils 1 eingebaut. Beim Ausführungsbeispiel der Fig. 1 bis 4 wird der Träger 3 in eine etwa 5 mm tiefe Sackbohrung des Bauteils 1 eingesetzt. Der Träger 3 besitzt an seinem oberen (äußeren) Teil ein Außengewinde 18 und ist an seiner unteren (inneren) Hälfte konisch verbreitert. In die als Sackbohrung ausgebildete Ausnehmung 4 wird ein an die untere Hälfte des Trägers 3 ange- passter konischer Spannring 20 eingesetzt. Mittels einer Spannmutter 19, deren Innengewinde auf das Außengewinde 18 des Trägers 3 aufgesetzt wird, wird über den Spannring 20 der Träger 3 an die Wand der Ausnehmung 4 des Bauteils 1 angepresst. Hierdurch wird der Träger 3 in der Ausnehmung 4 gegenüber dem Material des Bauteils 1 vorgespannt. Die erfor- derliche Spannkraft wird durch die Spannmutter 19 geliefert und durch den Spannring 20 übertragen. Die Spannmutter 19 drückt hierzu auf eine plane Oberfläche des Spannringes 20.

Bei dem in den Fig. 6 bis 8 dargestellten Ausführungsbeispiel wird der rechteckige Träger 3 in einer Ausfräsung des beispielsweise als Welle ausgebildeten Bauteils 1 eingepasst und vorgespannt. Zur Übertragung der Vorspannung dienen zwei Ver- schraubungen 27. Der rechteckige Träger 3 kann als Passfeder zur Übertragung eines Drehmoments von einer Motorwelle eines Elektromotors auf einen anzutreibenden Rotor ausgebildet sein. Der rechteckige Träger 3 ist in eine längsverlaufende Ausnehmung 4 der Welle 1 eingesetzt, wobei seine beiden seitlichen Flächen 26 mit Formschluss an den Seitenwänden der Ausnehmung 4 anliegen. Das zu messende Drehmoment wird an den beiden Seitenflächen 26, welche parallel zur Wellenachse 24 sich erstrecken, übertragen. An den beiden Enden des rechteckigen im wesentlichen plattenförmig ausgebildeten Trägers 3 sind Spalten 25 zwischen dem Material der Welle 1 und dem Träger 3 vorgesehen, so dass eine einwandfreie Übertragung des zu messenden Drehmoments auf den Träger 3 erfolgt. An der Unterseite des Trägers 3 befindet sich in der Vertiefung 5 das OFW-Bauelement. Für den Fall, dass der rechteckige Träger 3 als Passfeder ausgebildet ist, ragt diese mit einer bestimmten Abmessung über den Umfang der Welle 1 hinaus, so dass das von der Welle 1 vermittelte Drehmoment sicher auf den anzutreibenden Rotor übertragen wird.

Der Träger 3 besteht in den Ausführungsbeispielen vorzugsweise aus dem gleichen Material, wie das beispielsweise als Welle ausgebildete Bauteil 1 und kann aus Stahl bestehen. Hierdurch wird ein guter Passsitz bei vielfältigen mechani- sehen und thermischen Bedingungen erreicht. Der Träger kann jedoch auch aus einem elastischen Material bestehen, das weicher als das Material des Bauteils 1 ist. Das elastische Material kann beispielsweise Federstahl sein. Hierdurch wird eine starke Vorspannung beim Einpassen des als Deformations- körper wirkenden Trägers 3 in das Bauteil 1 erreicht.

Durch den beschriebenen Einbau des OFW-Sensors 16 in das Bauteil 1 wird ein Form- und Kraftschluss über den gesamten zu erfassenden Messbereich des zu messenden Drehmoments gewähr- leistet. Dies wird durch die hinreichend starke Vorspannung des Trägers 3 in der Ausnehmung 4 des Bauteils erreicht. Der Träger 3 kann mit dem Material des Bauteils 1 auch durch Stoffschluss, insbesondere durch Kaltpressschweißen dauerhaft verbunden werden.

Bei den dargestellten Ausführungsbeispielen befindet sich der OFW-Sensor 16 an der Unterseite (Innenseite) des Trägers 3, welcher dem Bauteil 1, insbesondere der Wellenachse zugewandt ist. Durch diese Anordnung ergibt sich der Vorteil, dass beim Einsatz des OFW-Sensors 16 bei der Drehmomentmessung an einer Welle durch die Rotation der Welle der OFW-Sensor infolge der Fliehkraft gegen den Träger 3 gepresst wird. Ferner ist der Sensor infolge der Unterbringung in dem Hohlraum, der zwischen dem Bauteil 1 und dem Träger 3 gebildet wird, ein zu^¬ sätzlicher Schutz gegen Umgebungseinflüsse erreicht.

Ferner kann zur hermetischen Abdichtung des OFW-Bauelements 2 ein Quarzdeckel ("all quartz package" ) vorgesehen sein, wie es in G.K. Montress, T.E. Parker und J. Callera e "A minia- ture hybrid circuit SAW oscillator using an all quartz packa- ged resonator" , Proceedings of the IEEE Ultrasonics Sy po- siu , 1985, Vol. 1, Seiten 277 bis 282, beschrieben ist. Der Quarzdeckel ist mit einer umlaufenden Glasfritte dicht mit dem Trägermaterial verbunden.

Bei einer weiteren nicht näher dargestellten Ausführungsform kann der OFW-Sensor auch außenliegend am Träger 3 befestigt sein, wobei bevorzugt der gemäß Fig. 4 aufgeschweißte Deckel 6 zur Anwendung kommt. Die Hochfrequenzdurchführung 17 erfolgt dann durch den Deckel 6.

Mit den in den Fig. 3 und 5 dargestellten Ausführungsbeispiel des OFW-Bauelements werden drei Sensorsignale gewonnen, die die Bestimmung von drei voneinander unabhängigen Verzerrungskomponenten, welche aus der Belastung des Bauteils 1, insbesondere der Welle bei einer Drehmomentübertragung resultie- ren, ermöglichen. In bevorzugter Weise sind die akustischen Wandler 8, 9, 10 sowie die zugeordneten Reflektoren 11, 12, 13 in der Weise angeordnet, dass die Wege der Oberflächenwellen bezüglich einer Vorzugsrichtung unter 0°, 45° und -45° oder unter 0°, 60° und -60° verlaufen. Bei Anwendung des OFW- Sensors 16 zur Drehmomentmessung an einer Welle, insbesondere Motorwelle erfolgt die Anordnung des OFW-Bauelements so, dass durch die Wellenachse 24 die Vorzugsrichtung bestimmt ist. Die Anordnung kann beispielsweise so erfolgen, dass der Weg der Oberflächenwelle, die in der vom elektroakustischen Wand- 1er 9 und dem zugeordneten Reflektor 12 gebildeten mittleren OFW-Einheit gebildet wird, parallel zur Wellenachse 24 verläuft. Diese Ausbreitungsrichtung erfolgt dann unter 0° und

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sind an diametralen Orten als Funksensoren ausgebildete OFW- Sensoren eingebaut. Zugeordnete Empfangs- und Sendeantennen 22 sind induktiv oder kapazitiv an den jeweiligen OFW-Funk- sensor angekoppelt. Hierdurch wird vermieden, dass Kräfte auf den Sensor übertragen werden, die das Messsignal verfälschen könnten. Es können auch mehr als zwei Sensoren am Umfang der Welle eingesetzt werden.

Das in Fig. 10 dargestellte Ausführungsbeispiel zeigt eine stationäre Antenne 22, welche die Welle (Bauteil 1) im Bereich der Anordnung des OFW-Sensors 16 umfasst. Hierdurch wird ein ständiger Funkkontakt mit der stationären Antenne 22, welche an ein nicht näher dargestelltes Abfrage- und Auswertegerät angeschlossen ist, unabhängig von der jeweiligen Drehwinkelposition der Welle aufrechterhalten.

Claims

Patentansprüche

1. Verfahren zur Messung eines an einem Bauteil wirkenden Moments, insbesondere Drehmoments, bei dem akustische Oberflä- chenwellen an einem zumindest kraftschlüssig mit dem Bauteil verbundenen piezoelektrischen Substrat durch hochfrequente Abfrageimpulse angeregt und reflektiv verzögerte Antwortsignale, welche vom zu messenden Moment beeinflusst sind, für die Bestimmung des Moments ausgewertet werden, dadurch gekennzeichnet, dass am Substrat wenigstens drei akustische Oberflächenwellen (OFW) mit unterschiedlichen Ausbreitungsrichtungen erzeugt werden und dass die dadurch gebildeten Antwortsignale, welche drei unabhängige vom zu messenden Moment verursachte Verzerrungskomponenten aufweisen, zur Mo- mentenbestimmung ausgewertet werden.

2. Verfahren nach Anspruch 1, dadurch gekennzeichnet, dass die wenigstens drei Ausbreitungsrichtungen der OFW sich an einer gemeinsamen Kreuzungsstelle überkreuzen.

3. Verfahren nach Anspruch 1 oder 2, dadurch gekennzeichnet, dass die Ausbreitungsrichtungen unter 0°, 45° und -45° oder unter 0°, 60° und -60° zu einer Vorzugsrichtung liegen.

4. Vorrichtung zur Messung eines an einem Bauteil (1) wirkenden Moments, insbesondere nach einem der Ansprüche 1 bis 3, mit einem OFW-Sensor (16), der ein OFW-Bauelement (2) mit re- flektiver Verzögerungsleitung aufweist, dessen piezoelektri- sches Substrat (7) zumindest kraftschlüssig mit dem Bauteil (1) verbunden ist, an welchem das zu messende Moment wirkt, dadurch gekennzeichnet, dass das OFW-Bauelement (2) in einem nach außen abgedichteten Hohlraum (5) des Bauteils (1) angeordnet ist und über einen Formschluss mit dem Bauteil (1) verbunden ist.

5. Vorrichtung nach Anspruch 4, dadurch gekennzeichnet, dass das OFW-Bauelement (2) mit einem Träger (3) fest verbunden ist, und dass der Träger (3) mit Formschluss in ei^¬ ner Ausnehmung (4) des Bauteils (1) befestigt ist.

6. Vorrichtung nach Anspruch 4 oder 5, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) mit Vorspannung oder Stoff- schluss, insbesondere Kaltpressschweißen in die Ausnehmung (4) des Bauteils (1) eingesetzt ist.

7. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 6; dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) aus dem gleichen Material wie das Bauteil (1) besteht.

8.Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 6, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) aus einem elastischen Material besteht.

9. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 5 bis 8, dadurch gekennzeichnet, dass die Abmessungen des Trägers (3) so bemessen sind, dass senkrecht zur Ausbreitungsrichtung der akustischen Oberflächenwellen (OFW) einwirkende Kräfte das OFW-Bauelement nicht beeinflussen.

10. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass das OFW-Bauelement (2) in einer Vertiefung (5) am Träger (3) angeordnet ist, welche mit einem Deckel (6) dicht abgeschlossen ist.

11. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 9, dadurch gekennzeichnet, dass die Oberfläche des OFW-Bauelements (2) durch einen Quarzdeckel geschützt ist.

12. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 11, dadurch gekennzeichnet, dass auf dem piezoelektrischen Substrat (7) des OFW-Bauelements (2) wenigstens drei akustische Wandler (8, 9, 10) mit unterschiedlichen Ausbreitungsrichtun- gen der von ihnen erzeugten Oberflächenwellen und den jeweiligen Wandler zugeordneten Reflektoren (11, 12, 13) gebildet sind.

13. Vorrichtung nach Anspruch 12, dadurch gekennzeichnet, dass die elektroakustischen Wandler (8 - 10) und die Reflektoren (11 - 13) so angeordnet sind, dass die Ausbreitungsrichtungen der Oberflächenwellen sich in einer gemeinsamen Kreuzungsstelle (14) kreuzen.

14. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 13, dadurch gekennzeichnet, dass der OFW-Sensor als Funksensor ausgebildet ist.

15. Vorrichtung nach Anspruch 14; dadurch gekennzeichnet, dass der als Funksensor ausgebildete OFW-Sensor (16) eine als Schleifenantenne ausgebildete Empfangs- und Sendeantenne (14) aufweist.

16. Vorrichtung nach Anspruch 15, dadurch gekennzeichnet, dass an dem OFW-Sensor (16) induktiv eine Emp- fangs-Sendeanstenne (21) gekoppelt ist.

17. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 4 bis 16; dadurch gekennzeichnet, dass das Bauteil (1) ein Drehmoment, welches von dem OFW-Bauelement (2) erfasst wird, überträgt.

18. Vorrichtung nach Anspruch 17; dadurch gekennzeichnet, dass das Drehmoment von einem Elektromotor er- zeugt wird.

19. Vorrichtung nach einem der Ansprüche 1 bis 18, dadurch gekennzeichnet, dass der Träger (3) ein Verbindungselement bildet, das einen Formschluss zwischen dem als Welle ausgebildeten Bauteil (1) und einem anzutreibenden Rotor bildet.