JP2013213754A5 - - Google Patents

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本発明は、上述の課題の少なくとも一部を解決するためになされたものであり、以下の形態又は適用例として実現することが可能である。
［適用例１］駆動部により第１方向に駆動される駆動マスと、前記駆動マスに連結された検出マスと、一端が前記駆動マスに連結され、他端が第１アンカー部に固定された駆動用バネ部と、前記第１アンカー部に接続され、前記駆動マスに隣接して配置されるとともに当該駆動マスに電気的に接続された第１の島部と、前記駆動マスの前記第１の島部に対向する面と前記第１の島部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられた突起と、を備え、前記駆動部は、前記駆動マスに接続された可動電極部と、前記可動電極部に対向して設けられた固定電極部と、を含み、前記駆動マス及び前記第１の島部の間の最短距離は、前記駆動マスの駆動振幅よりも大きく、且つ、前記可動電極部の最大振幅よりも小さいことを特徴とするジャイロセンサー。
また、駆動部により第１方向に駆動される駆動マスと、前記駆動マスに連結された検出マスと、一端が前記駆動マスに連結され、他端が第１アンカー部に固定された駆動用バネ部と、前記第１アンカー部に接続され、前記駆動マスに対して前記第１方向に配置されるとともに当該駆動マスに電気的に接続された第１の島部と、前記駆動マスの前記第１の島部に対向する面と前記第１の島部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられた突起と、を備え、前記駆動部は、前記駆動マスに接続された可動電極部と、前記可動電極部に対向して設けられた固定電極部と、を含み、前記駆動マス及び前記第１の島部の間の最短距離は、前記駆動マスの駆動振幅よりも大きく、且つ、前記可動電極部の最大振幅よりも小さいことを特徴とするジャイロセンサー。

Claims (8)

  1. 駆動部により第１方向に駆動される駆動マスと、
    前記駆動マスに連結された検出マスと、
    一端が前記駆動マスに連結され、他端が第１アンカー部に固定された駆動用バネ部と、
    前記第１アンカー部に接続され、前記駆動マスに対して前記第１方向に配置されるとともに当該駆動マスに電気的に接続された第１の島部と、
    前記駆動マスの前記第１の島部に対向する面と前記第１の島部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられた突起と、を備え、
    前記駆動部は、前記駆動マスに接続された可動電極部と、前記可動電極部に対向して設けられた固定電極部と、を含み、
    前記駆動マス及び前記第１の島部の間の最短距離は、前記駆動マスの駆動振幅よりも大きく、且つ、前記可動電極部の最大振幅よりも小さいことを特徴とするジャイロセンサー。
  2. 前記第１の島部は、前記駆動マスに対向する位置に向けて延設され、前記駆動マスとの距離を規定する第１の距離規定部を備え、
    前記突起は、前記駆動マスの前記第１の距離規定部に対向する面と前記第１の距離規定部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項１に記載のジャイロセンサー。
  3. 前記駆動マスは、前記第１方向に沿って２つ設けられており、
    前記２つの前記駆動マスを連結し、中間部が第２アンカー部で固定された連結バネ部と、
    前記２つの前記駆動マスの間に配置され、前記第２アンカー部に接続された第２の島部と、
    前記駆動マスの前記第２の島部に対向する面と前記第２の島部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられた突起と
    を備えたことを特徴とする請求項１又は２に記載のジャイロセンサー。
  4. 前記第２の島部は、前記駆動マスの各々に対向する位置に向けて延設され、前記駆動マスとの距離を規定する第２の距離規定部を備え、
    前記突起は、前記駆動マスの前記第２の距離規定部に対向する面と前記第２の距離規定部の前記駆動マスに対向する面との少なくとも一方に設けられていることを特徴とする請求項３に記載のジャイロセンサー。
  5. 前記第１の島部は、前記第１方向に交差する方向に沿って少なくとも一対設けられていることを特徴とする請求項１乃至４の何れか１項に記載のジャイロセンサー。
  6. 前記検出マスは、検出用バネ部により前記駆動マスに連結され、
    前記検出マスと前記検出用バネ部との少なくとも一方に突起を設けたことを特徴とする請求項１乃至５の何れか１項に記載のジャイロセンサー。
  7. 前記アンカー部は基板上に固定されており、
    平面視で前記基板の前記駆動マスおよび前記検出マスの少なくとも一方に重なる位置には、突起が設けられていることを特徴とする請求項１乃至６の何れか１項に記載のジャイロセンサー。
  8. 請求項１乃至７のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを備えた電子機器。
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