JP2012013705A5

JP2012013705A5 -

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Publication number: JP2012013705A5
Application number: JP2011147162A
Authority: JP
Filing date: 2011-07-01
Publication date: 2014-08-14
Anticipated expiration: 2031-07-01

Claims

半導体チップ（６）と、該半導体チップ（６）の表面に配置される平らな形状の少なくとも２つの磁場集中装置（７、８）であって、互いに距離をおいて配置される磁場集中装置（７、８）と、４つのホール・センサ（９−１２）とを含む磁気角度センサであって、各々の該ホール・センサは該磁場集中装置（７、８）の１つに割り当てられ、ホール要素またはホール要素の一群を含み、該ホール要素は該半導体チップ（６）において一体化され、該割り当てられた磁場集中装置（７、８）の端の領域で配置されて、それらは、該磁場集中装置（７、８）の端の領域において該半導体チップ（６）の表面にほぼ垂直に延長する磁場の磁力線によって広げられ、そこにおいて、２つのホール・センサ（９、１１）は、磁場の第１の構成要素を測定するためのセンサの第１の対を形成し、他の２つのホール・センサ（１０、１２）は、磁場の第２の構成要素を測定するためのセンサの第２の対を形成し、そして、同じ該磁場集中装置の端の領域に配置される該ホール・センサを連結する連結線は互いに関して平行である、または、単一の共通の線（１３）を形成する、磁気角度センサ。
前記磁場集中装置（７、８）が円形であることにおいて特徴付けられる、請求項１記載の磁気角度センサ。
前記磁場の第１の構成要素および前記連結線は−４５°の角度を含み、前記磁場の第２の構成要素および前記連結線は４５°の角度を含むことにおいて特徴付けられる、請求項１または２記載の磁気角度センサ。
４つの前記ホール・センサ（９−１２）は、半導体チップ（６）の表面に配置された円形の前記磁場集中装置（７、８）の端の領域に配置され、円形の前記磁場集中装置（７、８）が互いに重なり合うように配置されると、４つの前記ホール・センサ（９−１２）は前記磁場集中装置（７、８）の中心に対して互いに９０°の角度を有するように配置されることにおいて特徴づけられる、請求項１から３のいずれか１項に記載の磁気角度センサ。