JP2012013705A5 - - Google Patents
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- 半導体チップ(6)と、該半導体チップ(6)の表面に配置される平らな形状の少なくとも2つの磁場集中装置(7、8)であって、互いに距離をおいて配置される磁場集中装置(7、8)と、4つのホール・センサ(9−12)とを含む磁気角度センサであって、各々の該ホール・センサは該磁場集中装置(7、8)の1つに割り当てられ、ホール要素またはホール要素の一群を含み、該ホール要素は該半導体チップ(6)において一体化され、該割り当てられた磁場集中装置(7、8)の端の領域で配置されて、それらは、該磁場集中装置(7、8)の端の領域において該半導体チップ(6)の表面にほぼ垂直に延長する磁場の磁力線によって広げられ、そこにおいて、2つのホール・センサ(9、11)は、磁場の第1の構成要素を測定するためのセンサの第1の対を形成し、他の2つのホール・センサ(10、12)は、磁場の第2の構成要素を測定するためのセンサの第2の対を形成し、そして、同じ該磁場集中装置の端の領域に配置される該ホール・センサを連結する連結線は互いに関して平行である、または、単一の共通の線(13)を形成する、磁気角度センサ。
- 前記磁場集中装置(7、8)が円形であることにおいて特徴付けられる、請求項1記載の磁気角度センサ。
- 前記磁場の第1の構成要素および前記連結線は−45°の角度を含み、前記磁場の第2の構成要素および前記連結線は45°の角度を含むことにおいて特徴付けられる、請求項1または2記載の磁気角度センサ。
- 4つの前記ホール・センサ(9−12)は、半導体チップ(6)の表面に配置された円形の前記磁場集中装置(7、8)の端の領域に配置され、円形の前記磁場集中装置(7、8)が互いに重なり合うように配置されると、4つの前記ホール・センサ(9−12)は前記磁場集中装置(7、8)の中心に対して互いに90°の角度を有するように配置されることにおいて特徴づけられる、請求項1から3のいずれか1項に記載の磁気角度センサ。
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