JP2012064703A5 - - Google Patents
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Description
即ち、固体撮像素子２１Ｅでは、導体構造体層２４Ｅが、固体撮像素子２１の導体構造体層２４と異なる構成とされている。固体撮像素子２１Ｅの導体構造体層２４Ｅでは、２層の微小粒子層２９−１および２９−２が形成されている。そして、微小粒子層２９−１では、画素ごとにアイランド２８−１が１個ずつ配置されるとともに、微小粒子層２９−２では、画素ごとにアイランド２８−２が１個ずつ配置されている。また、微小粒子層２９−２のアイランド２８−２は、微小粒子層２９−１のアイランド２８−１よりも若干小さいことが望ましい。
ここで、微小粒子層２９は、図６を参照して上述したような基本間隔でＸＹ平面に２次元周期的にアイランド２８が配置されて構成されるが、画素ないし複数画素からなる画素ブロック内に配置されるアイランド２８の周期数は、画素サイズに応じて増減する。例えば、画素サイズの１辺がアイランド２８の基本間隔のＸ倍（但し、Ｘは正の整数）よりも小さい場合は、Ｘ個よりも少ない数のアイランド数が好適である。また、画素サイズの他の１辺がアイランド２８の基本間隔のＹ倍（但し、Ｙは正の整数であり、Ｘと同じであっても良いし異なっても構わない）よりも小さい場合は、Ｙ個よりも少ない数のアイランド数が好適である。従って、画素のサイズが微細な場合は、ＸＹともにアイランド数が１、つまり１画素のＸＹ平面に１個のアイランド２８のみが配置されるような構成であっても構わない。
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