JP2013238437A5 - - Google Patents

Description

［適用例１］
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
前記基板上に配置されている、第１機能素子、第２機能素子、および第３機能素子と、を含み、
前記第１機能素子は、
第１軸の方向に振動する第１振動体と、
前記第１振動体に支持され、前記第１軸と直交する第２軸を軸とする角速度に応じて、前記第１軸および前記第２軸と直交する第３軸の方向に変位する第１可動体と、
前記第１可動体に設けられている第１可動電極部と、
前記基板に固定され、前記第１可動電極部と対向して設けられている第１固定電極部と、
を有し、
前記第２機能素子は、
前記第２軸の方向に振動する第２振動体と、
前記第２振動体に支持され、前記第１軸を軸とする角速度に応じて、前記第３軸の方向に変位する第２可動体と、
前記第２可動体に設けられている第２可動電極部と、
前記基板に固定され、前記第２可動電極部と対向して設けられている第２固定電極部と、
を有し、
前記第３機能素子は、
前記第１軸の方向または前記第２軸の方向に振動する第３振動体と、
前記第３振動体に支持され、前記第３軸を軸とする角速度に応じて、前記第３振動体の振動方向および前記第３軸の方向と直交する方向に変位する第３可動体と、
前記第３可動体に設けられている第３可動電極部と、
前記基板に固定され、前記第３可動電極部と対向して設けられている第３固定電極部と、
を有し、
前記第１機能素子、前記第２機能素子、および前記第３機能素子のうちの隣り合う機能素子において、
一方の機能素子の振動体の振動方向と、他方の機能素子の可動体の変位方向とは、異なり、
一方の機能素子の可動体の変位方向と、他方の機能素子の振動体の振動方向とは、異なる。
本適用例に係るジャイロセンサーは、
基板と、
前記基板上に配置されている、第１機能素子、第２機能素子、および第３機能素子と、を含み、
前記第１機能素子は、
第１軸の方向に振動する第１振動体と、
前記第１振動体に支持され、前記第１軸と直交する第２軸を軸とする角速度に応じて、前記第１軸および前記第２軸と直交する第３軸の方向に変位する第１可動体と、
を有し、
前記第２機能素子は、
前記第２軸の方向に振動する第２振動体と、
前記第２振動体に支持され、前記第１軸を軸とする角速度に応じて、前記第３軸の方向に変位する第２可動体と、
を有し、
前記第３機能素子は、
前記第１軸の方向または前記第２軸の方向に振動する第３振動体と、
前記第３振動体に支持され、前記第３軸を軸とする角速度に応じて、前記第３振動体の振動方向および前記第３軸の方向と直交する方向に変位する第３可動体と、
を有し、
前記第１機能素子、前記第２機能素子、および前記第３機能素子のうちの隣り合う機能素子において、
一方の機能素子の振動体の振動方向と、他方の機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
一方の機能素子の可動体の変位方向と、他方の機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なる。

このようなジャイロセンサーによれば、検出感度を高めることができる。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第１機能素子の一方に前記第２機能素子が配置され、前記第１機能素子の他方に前記第３機能素子が配置されていてもよい。
本適用例に係るジャイロセンサーにおいて、
前記第２機能素子の一方に前記第１機能素子が配置され、前記第２機能素子の他方に前記第３機能素子が配置されていてもよい。

Claims (12)

1. 基板と、
   前記基板上に配置されている、第１機能素子、第２機能素子、および第３機能素子と、を含み、
   前記第１機能素子は、
   第１軸の方向に振動する第１振動体と、
   前記第１振動体に支持され、前記第１軸と直交する第２軸を軸とする角速度に応じて、前記第１軸および前記第２軸と直交する第３軸の方向に変位する第１可動体と、
   を有し、
   前記第２機能素子は、
   前記第２軸の方向に振動する第２振動体と、
   前記第２振動体に支持され、前記第１軸を軸とする角速度に応じて、前記第３軸の方向に変位する第２可動体と、
   を有し、
   前記第３機能素子は、
   前記第１軸の方向または前記第２軸の方向に振動する第３振動体と、
   前記第３振動体に支持され、前記第３軸を軸とする角速度に応じて、前記第３振動体の振動方向および前記第３軸の方向と直交する方向に変位する第３可動体と、
   を有し、
   前記第１機能素子、前記第２機能素子、および前記第３機能素子のうちの隣り合う機能素子において、
   一方の機能素子の振動体の振動方向と、他方の機能素子の可動体の変位方向とは、方向が異なり、
   一方の機能素子の可動体の変位方向と、他方の機能素子の振動体の振動方向とは、方向が異なる、ジャイロセンサー。
2. 請求項１において、
   前記第１機能素子、前記第２機能素子、および前記第３機能素子は、前記基板上に直線状に並んでいる、ジャイロセンサー。
3. 請求項１または２において、
   前記基板には、第１凹部、第２凹部、および第３凹部が設けられ、
   前記第１凹部上に、前記第１振動体および前記第１可動体が設けられ、
   前記第２凹部上に、前記第２振動体および前記第２可動体が設けられ、
   前記第３凹部上に、前記第３振動体および前記第３可動体が設けられている、ジャイロセンサー。
4. 請求項１ないし３のいずれか１項において、
   前記基板には、溝部が設けられ、
   前記溝部は、平面視において、前記一方の機能素子と前記他方の機能素子との間に設けられている、ジャイロセンサー。
5. 請求項１ないし４のいずれか１項において、
   前記第３軸の方向は、前記基板の厚さ方向と同じである、ジャイロセンサー。
6. 請求項１ないし５のいずれか１項において、
   前記基板の材質は、ガラスであり、
   前記第１振動体、前記第１可動体、前記第２振動体、前記第２可動体、前記第３振動体、および前記第３可動体の材質は、シリコンである、ジャイロセンサー。
7. 請求項１ないし６のいずれか１項において、
   前記第３振動体は、前記第１軸の方向に振動し、
   前記第２機能素子と前記第３機能素子との間に、前記第１機能素子が設けられている、ジャイロセンサー。
8. 請求項１ないし６のいずれか１項において、
   前記第３振動体は、前記第２軸の方向に振動し、
   前記第１機能素子と前記第３機能素子との間に、前記第２機能素子が設けられている、ジャイロセンサー。
9. 請求項１ないし８のいずれか１項において、
   前記第１機能素子、前記第２機能素子、および第３機能素子の少なくとも一つの機能素子は、音叉型振動する、ジャイロセンサー。
10. 請求項１ないし９のいずれか１項において、
    前記第１機能素子の一方に前記第２機能素子が配置され、前記第１機能素子の他方に前記第３機能素子が配置されている、ジャイロセンサー。
11. 請求項１ないし９のいずれか１項において、
    前記第２機能素子の一方に前記第１機能素子が配置され、前記第２機能素子の他方に前記第３機能素子が配置されている、ジャイロセンサー。
12. 請求項１ないし１１のいずれか１項に記載のジャイロセンサーを含む、電子機器。