JP2016125927A5 - 電子デバイス、電子機器、移動体、及び電子デバイスの製造方法 - Google Patents

Claims (16)

1. 第１機能素子と、
   平面視で、前記第１機能素子の外周に沿って配置されている外縁部と、
   を含み、
   平面視で、前記外縁部には、第１溝部、及び長手方向が前記第１溝部の長手方向と直交している第２溝部が設けられていることを特徴とする電子デバイス。
2. 請求項１において、
   平面視で、前記第１溝部および前記第２溝部の少なくとも何れかは、前記外縁部に複数設けられていることを特徴とする電子デバイス。
3. 請求項１または２において、
   基板を含み、
   前記第１機能素子は、
   前記基板に固定されている固定部と、
   前記固定部に設けられている支持部と、
   前記支持部に支持され、変位可能な可動部と、
   を含み、
   前記可動部は、前記基板から遊離していることを特徴とする電子デバイス。
4. 請求項３において、
   変位可能な可動部を含み、当該可動部が前記基板から遊離している第２機能素子を含むことを特徴とする電子デバイス。
5. 請求項４において、
   平面視で、前記外縁部には、長手方向が、前記第１機能素子および前記第２機能素子の少なくとも何れかの中心を通る線に対して直交している第３溝部が設けられていることを特徴とする電子デバイス。
6. 請求項５において、
   平面視で、前記外縁部は、矩形形状であり、
   前記第３溝部は、前記外縁部の角部に配置されていることを特徴とする電子デバイス。
7. 請求項５または６において、
   平面視で、前記第３溝部は、前記中心に対して回転対称となるように配置されていることを特徴とする電子デバイス。
8. 請求項５乃至７のいずれか一項において、
   平面視で、前記第１機能素子と前記第２機能素子との間の前記外縁部に、前記第１溝部、前記第２溝部、および前記第３溝部の少なくとも何れかが設けられていることを特徴とする電子デバイス。
9. 請求項３乃至８のいずれか一項において、
   前記第１機能素子の前記可動部の変位方向は、前記第１溝部の前記長手方向であることを特徴とする電子デバイス。
10. 請求項１乃至９のいずれか一項において、
    前記第１溝部は、前記外縁部を貫通していることを特徴とする電子デバイス。
11. 請求項１乃至１０のいずれか一項において、
    前記外縁部は、固定電位であることを特徴とする電子デバイス。
12. 請求項１乃至１１のいずれか一項において、
    前記第１機能素子の材料と、前記外縁部の材料とは、同一材料であることを特徴とする電子デバイス。
13. 請求項１乃至１２のいずれか一項において、
    前記第１機能素子は、物理量を検出するセンサー素子であることを特徴とする電子デバイス。
14. 請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする電子機器。
15. 請求項１乃至１３のいずれか一項に記載の電子デバイスを備えていることを特徴とする移動体。
16. 基板に凹陥部を形成する工程と、
    前記凹陥部に対向するように機能素子基板を前記基板に接合する工程と、
    前記機能素子基板をパターニング加工することにより、機能素子及び外縁部を形成する工程と、
    を含み、
    前記機能素子及び前記外縁部を形成する工程は、
    平面視で、前記外縁部に、第１溝部、及び長手方向が前記第１溝部の長手方向と直交している第２溝部を形成することを特徴とする電子デバイスの製造方法。