JP2015201556A5 - - Google Patents

Description

上記課題を解決するために、本発明の第一の形態は、モールドを用いて基板に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、基板を保持する基板保持部を備え、基板保持部は、所定の方向に並んでいる複数の保持領域を含み、複数の保持領域は、前記方向における位置に応じて前記方向の幅寸法が異なり、複数の保持領域のうち幅寸法が異なる２つの保持領域の面積比が０．８〜１．２の範囲内にあることを特徴とする。また本発明の第二の形態は、基板を保持するための基板保持部材であって、基板保持部材は、所定の方向に並んでいる複数の保持領域を含み、複数の保持領域は、前記方向における位置に応じて前記方向の幅寸法が異なり、複数の保持領域のうち幅寸法が異なる２つの保持領域の面積比が０．８〜１．２の範囲内にあることを特徴とする。

Claims (10)

1. モールドを用いて基板に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記基板を保持する基板保持部を備え、
   前記基板保持部は、所定の方向に並んでいる複数の保持領域を含み、
   前記複数の保持領域は、前記方向における位置に応じて前記方向の幅寸法が異なり、前記複数の保持領域のうち幅寸法が異なる２つの保持領域の面積比が０．８〜１．２の範囲内にあることを特徴とするインプリント装置。
2. 前記複数の保持領域は、直線状の境界により規定され、
   前記基板保持部は、前記複数の保持領域を囲む外周保持領域を含むことを特徴とする請求項１に記載のインプリント装置。
3. モールドを用いて基板に硬化した樹脂のパターンを形成するインプリント装置であって、
   前記基板を保持する基板保持部を備え、
   前記基板保持部は、
   所定の方向に並んでおり、直線状の境界により規定される複数の保持領域と、
   前記複数の保持領域を囲む外周保持領域と、
   を含むことを特徴とするインプリント装置。
4. 前記基板保持部の外周は円形であり前記方向は前記基板保持部の径方向であり且つ前記複数の保持領域は３つ以上あって、前記複数の保持領域は、前記径方向において前記基板保持部の中心側に位置する保持領域の前記径方向の幅寸法が、前記径方向において前記基板保持部の外周側に位置する保持領域の前記径方向の幅寸法よりも小さくなるように構成されることを特徴とする請求項２または３に記載のインプリント装置。
5. 前記基板の被処理領域上で硬化した前記樹脂と前記モールドとの引き剥がしのために、
   前記複数の保持領域のうちの前記被処理領域に対応する第１保持領域における保持力を、前記複数の保持領域のうち前記第１保持領域とは異なる第２保持領域の保持力よりも小さくすることを特徴とする請求項１乃至４のいずれか１項に記載のインプリント装置。
6. 前記基板保持部は、負圧を利用して前記基板を保持するように構成されることを特徴と
   する請求項１乃至５のいずれか１項に記載のインプリント装置。
7. パターン形成工程において、硬化した前記樹脂と前記モールドとを引き剥がす力に関する値を計測する計測手段と、
   前記計測手段による計測結果にもとづいて、前記複数の保持領域の保持力を調整することを特徴とする請求項１乃至６のいずれか１項に記載のインプリント装置。
8. 前記基板保持部は、前記複数の保持領域内に配置され且つ前記基板に接する複数の支柱を有することを特徴とする請求項１乃至７のいずれか１項に記載のインプリント装置。
9. 基板を保持するための基板保持部材であって、
   前記基板保持部材は、所定の方向に並んでいる複数の保持領域を含み、
   前記複数の保持領域は、前記方向における位置に応じて前記方向の幅寸法が異なり、前記複数の保持領域のうち幅寸法が異なる２つの保持領域の面積比が０．８〜１．２の範囲内にあることを特徴とする基板保持部材。
10. 請求項１乃至８のいずれか１項に記載のインプリント装置を用いて基板上に硬化した樹脂のパターンを形成する工程と、
    前記工程で前記パターンを形成された基板を加工する工程と、を有し、
    前記工程で加工された基板を含む物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。