JP2017199730A5 - インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 - Google Patents

インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 Download PDF

Info

Publication number
JP2017199730A5
JP2017199730A5 JP2016087383A JP2016087383A JP2017199730A5 JP 2017199730 A5 JP2017199730 A5 JP 2017199730A5 JP 2016087383 A JP2016087383 A JP 2016087383A JP 2016087383 A JP2016087383 A JP 2016087383A JP 2017199730 A5 JP2017199730 A5 JP 2017199730A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
imprint
article manufacturing
imprint apparatus
article
manufacturing
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2016087383A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2017199730A (ja
JP6700936B2 (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority claimed from JP2016087383A external-priority patent/JP6700936B2/ja
Priority to JP2016087383A priority Critical patent/JP6700936B2/ja
Priority to TW106112637A priority patent/TWI718288B/zh
Priority to SG10201703225PA priority patent/SG10201703225PA/en
Priority to US15/492,314 priority patent/US10828808B2/en
Priority to KR1020170051374A priority patent/KR102126177B1/ko
Priority to CN201710265042.1A priority patent/CN107305317B/zh
Publication of JP2017199730A publication Critical patent/JP2017199730A/ja
Publication of JP2017199730A5 publication Critical patent/JP2017199730A5/ja
Publication of JP6700936B2 publication Critical patent/JP6700936B2/ja
Application granted granted Critical
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

JP2016087383A 2016-04-25 2016-04-25 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 Active JP6700936B2 (ja)

Priority Applications (6)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016087383A JP6700936B2 (ja) 2016-04-25 2016-04-25 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
TW106112637A TWI718288B (zh) 2016-04-25 2017-04-14 壓印設備、壓印方法及製造物品的方法
SG10201703225PA SG10201703225PA (en) 2016-04-25 2017-04-19 Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
US15/492,314 US10828808B2 (en) 2016-04-25 2017-04-20 Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
KR1020170051374A KR102126177B1 (ko) 2016-04-25 2017-04-21 임프린트 장치, 임프린트 방법, 및 물품의 제조 방법
CN201710265042.1A CN107305317B (zh) 2016-04-25 2017-04-21 压印装置、压印方法以及制造物品的方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2016087383A JP6700936B2 (ja) 2016-04-25 2016-04-25 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JP2017199730A JP2017199730A (ja) 2017-11-02
JP2017199730A5 true JP2017199730A5 (ja) 2019-04-25
JP6700936B2 JP6700936B2 (ja) 2020-05-27

Family

ID=60089303

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016087383A Active JP6700936B2 (ja) 2016-04-25 2016-04-25 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10828808B2 (ja)
JP (1) JP6700936B2 (ja)
KR (1) KR102126177B1 (ja)
CN (1) CN107305317B (ja)
SG (1) SG10201703225PA (ja)
TW (1) TWI718288B (ja)

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7129259B2 (ja) 2018-07-24 2022-09-01 キヤノン株式会社 検査方法、インプリント装置、および物品製造方法

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6942491B2 (ja) * 2016-03-15 2021-09-29 キヤノン株式会社 インプリント装置、および物品の製造方法
JP7134717B2 (ja) 2018-05-31 2022-09-12 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品製造方法
JP7150535B2 (ja) * 2018-09-13 2022-10-11 キヤノン株式会社 平坦化装置、平坦化方法及び物品の製造方法
JP7341769B2 (ja) * 2019-07-24 2023-09-11 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
JP7309572B2 (ja) 2019-11-08 2023-07-18 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
KR20210012932A (ko) 2019-07-24 2021-02-03 캐논 가부시끼가이샤 임프린트 장치, 임프린트 방법 및 물품 제조 방법
JP7414627B2 (ja) 2020-04-15 2024-01-16 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
US11869813B2 (en) 2020-12-15 2024-01-09 Canon Kabushiki Kaisha Planarization apparatus, planarization process, and method of manufacturing an article

Family Cites Families (18)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20080160129A1 (en) 2006-05-11 2008-07-03 Molecular Imprints, Inc. Template Having a Varying Thickness to Facilitate Expelling a Gas Positioned Between a Substrate and the Template
US6871558B2 (en) * 2002-12-12 2005-03-29 Molecular Imprints, Inc. Method for determining characteristics of substrate employing fluid geometries
US7636999B2 (en) * 2005-01-31 2009-12-29 Molecular Imprints, Inc. Method of retaining a substrate to a wafer chuck
CN100503265C (zh) 2005-06-08 2009-06-24 佳能株式会社 模子、图案形成方法以及图案形成设备
JP4736821B2 (ja) 2006-01-24 2011-07-27 株式会社日立製作所 パターン形成方法およびパターン形成装置
TWI388418B (zh) * 2008-10-09 2013-03-11 Hitachi Ind Equipment Sys Precision imprinting device and its embossing load control method
KR20100135353A (ko) 2009-06-17 2010-12-27 주식회사 동진쎄미켐 임프린트 또는 롤-프린트 리소그래피용 스탬프 제조장치 및 제조방법
JP5822597B2 (ja) * 2010-10-01 2015-11-24 キヤノン株式会社 インプリント装置、及びそれを用いた物品の製造方法
JP6061524B2 (ja) 2011-08-11 2017-01-18 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品の製造方法
JP5893303B2 (ja) 2011-09-07 2016-03-23 キヤノン株式会社 インプリント装置、それを用いた物品の製造方法
KR101924309B1 (ko) * 2011-12-20 2018-11-30 가부시키가이샤 니콘 기판 처리 장치, 디바이스 제조 시스템 및 디바이스 제조 방법
JP6166516B2 (ja) * 2012-07-17 2017-07-19 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法および物品の製造方法
JP2015050437A (ja) * 2013-09-04 2015-03-16 キヤノン株式会社 インプリント装置および物品の製造方法
JP6363838B2 (ja) 2014-01-08 2018-07-25 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP2016021440A (ja) * 2014-07-11 2016-02-04 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP6472189B2 (ja) * 2014-08-14 2019-02-20 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法
JP6553926B2 (ja) 2015-04-09 2019-07-31 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
JP6748461B2 (ja) * 2016-03-22 2020-09-02 キヤノン株式会社 インプリント装置、インプリント装置の動作方法および物品製造方法

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP7129259B2 (ja) 2018-07-24 2022-09-01 キヤノン株式会社 検査方法、インプリント装置、および物品製造方法

Similar Documents

Publication Publication Date Title
IL278006B (en) Metrology methods, metrology apparatus and device manufacturing method
IL253833B (en) Metrological methods, metrological device and method for preparing the standard
JP2017199730A5 (ja) インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法
IL248489B (en) Substrate and device for creating a template for use in metrology, a metrological method and a method for preparing the device
SG11201608330YA (en) Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
GB201604112D0 (en) Manufacturing method and manufacturing apparatus
SG10201602475TA (en) Imprint apparatus and article manufacturing method
SG11201605280UA (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
HK1255940A1 (zh) 霧氣產生裝置、成膜裝置、霧氣產生方法、成膜方法、及元件製造方法
SG10201703225PA (en) Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
SG11201707268PA (en) Imprint apparatus, imprint method, and method of manufacturing article
SG11201609890VA (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
SG10201603103UA (en) Imprint device, substrate conveying device, imprinting method, and method for manufacturing article
SG10201602726TA (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
SG10201600019RA (en) Imprint apparatus and method of manufacturing article
HK1245208A1 (zh) 內部中空體、模具及其製造方法
SG11201607890SA (en) Imprint apparatus and article manufacturing method
SG11201704948TA (en) Patterned stamp manufacturing method, patterned stamp and imprinting method
SG10201700817UA (en) Imprint apparatus and article manufacturing method
EP3464656C0 (en) MANUFACTURING APPARATUS AND METHOD
SG10201604147RA (en) Imprint apparatus, imprint method, and article manufacturing method
SG10201610538TA (en) Adjusting method for imprint apparatus, imprinting method, and article manufacturing method
SG11201708862WA (en) Imprint apparatus, imprinting method, and method of manufacturing product
SG10201700942WA (en) Lithography apparatus and article manufacturing method
HUE058775T2 (hu) Fúvóforma, módszer és felhasználás