JP7414627B2 - インプリント装置、インプリント方法、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
本発明に係る第1実施形態について説明する。インプリント装置は、部材上に供給されたインプリント材と型とを接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギを与えることにより、型の凹凸パターンが転写された硬化物のパターンを形成する装置である。例えば、インプリント装置は、部材上に液状のインプリント材を供給し、凹凸のパターンが形成されたモールド(型)を部材上のインプリント材に接触させた状態で当該インプリント材を硬化させる。そして、モールドと部材との間隔を広げて、硬化したインプリント材からモールドを剥離(離型)することで、部材上のインプリント材にモールドのパターンを転写することができる。このような一連の処理は「インプリント処理」と呼ばれ、部材における複数のショット領域の各々について行われる。
図1は、本実施形態のインプリント装置1の構成を示す概略図である。本実施形態では、モールド3に照射される光の光軸に平行な方向をZ方向とし、当該Z方向に垂直な平面内で互いに直交する方向をX方向およびY方向とする。
従来では、所定状態でモールド3のパターン領域3aと部材5の対象領域5aとが目標相対傾き(例えば平行)になるように、モールド3と部材上のインプリント材との接触開始前にパターン領域3aと対象領域5aとの相対傾きを制御しているだけであった。当該所定状態とは、例えば、モールド3のパターン領域3aの全体が部材5(対象領域5a)上のインプリント材に接触し、パターン領域3aおよび/または対象領域5aを平坦とした状態でありうる。つまり、従来では、パターン領域3aとインプリント材との接触面積を徐々に拡大させる過程(接触処理中、接触工程中)において、パターン領域3aと対象領域5aとの相対傾きの制御が行われていなかった。
上述したインプリント装置1で行われる本実施形態のインプリント処理について、図3を参照しながら説明する。図3は、本実施形態のインプリント処理を示すフローチャートである。図3に示すフローチャートの各工程は、制御部19によって制御されうる。なお、以下では、接触処理において、モールド3のパターン領域3aおよび部材5の対象領域5aの両方とも凸形状に変形させる例について説明するが、どちらか一方を凸形状に変形させるだけであってもよい。
次に、第1情報の生成方法について、図4を参照しながら説明する。図4は、第1情報の生成方法を示すフローチャートであり、図3に示すフローチャートの実行前に行われうる。図4に示すフローチャートの各工程は、制御部19によって制御されうる。なお、第1情報は、上述したように、第1変形部20aによりモールド3のパターン領域3aに加えられる圧力の変化とパターン領域3aの傾きの変化との関係を示す情報である。
次に、第2情報の生成方法について説明する。第2情報は、上述したように、第2変形部20bにより部材5の対象領域5aに加えられる圧力の変化と対象領域5aの傾きの変化との関係を示す情報である。第2情報は、第1情報と同様に図4のフローチャートに従って生成されうる。但し、上述した図4のフローチャートにおいて、モールド3のパターン領域3aは部材5の対象領域5aに、第1変形部20aは第2変形部20bに、第1計測部8は第2計測部9にそれぞれ置き換えられうる。例えば、制御部19は、図6に示すように、複数の状態の各々について決定された対象領域5aの傾きtsに対して一次近似を行うことにより、その近似関数fs(一次関数)を第2情報として生成することができる。近似関数fsは、対象領域5aにおけるX方向およびY方向の各々について求めておくとよい。
本発明に係る第2実施形態について説明する。本実施形態は、第1実施形態を基本的に引き継ぐものであり、特に言及がない限り、装置構成やインプリント処理のフロー等については第1実施形態と同様である。
本発明に係る第3実施形態について説明する。本実施形態は、特に言及がない限り第1実施形態および/または第2実施形態を基本的に引き継ぐものである。上記実施形態では、接触処理におけるモールド3と部材5との相対傾きの調整量に応じて、パターン領域3aと対象領域5aとに並進ずれ(XY方向の位置ずれ)が生じうる。したがって、本実施形態では、制御部19は、当該相対傾きの調整量に基づいて、当該相対傾きの調整で生じるパターン領域3aと対象領域5aとの並進ずれを求め、当該並進ずれが補正されるようにパターン領域3aと対象領域5aとを相対的に並進駆動する。パターン領域3aと対象領域5aとを相対的に並進駆動する駆動部としては、インプリントヘッド4および/またはステージ6が用いられうる。
本発明の実施形態にかかる物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。本実施形態の物品の製造方法は、部材(基板)上に供給(塗布)されたインプリント材に上記のインプリント装置(インプリント方法)を用いてパターンを形成する工程と、かかる工程でパターンが形成された部材(基板)を加工する工程とを含む。更に、かかる製造方法は、他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、レジスト剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含む。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明は、上述の実施形態の1以上の機能を実現するプログラムを、ネットワーク又は記憶媒体を介してシステム又は装置に供給し、そのシステム又は装置のコンピュータにおける1つ以上のプロセッサーがプログラムを読出し実行する処理でも実現可能である。また、1以上の機能を実現する回路(例えば、ASIC)によっても実現可能である。
Claims (12)
- パターン領域を有するモールドを用いて部材の対象領域上のインプリント材を成形するインプリント装置であって、
前記パターン領域および前記対象領域の少なくとも一方に圧力を加えることで、前記少なくとも一方を他方側に突出した凸形状に変形させる変形部と、
前記モールドと前記部材との相対傾きを調整する調整部と、
前記変形部により前記少なくとも一方を変形させた状態で前記パターン領域と前記インプリント材との接触を開始させ、その後、前記少なくとも一方の変形が徐々に解除されるように前記圧力を変化させながら前記パターン領域と前記インプリント材との接触面積を拡大させる接触処理を制御する制御部と、
を含み、
前記制御部は、前記圧力の変化と前記少なくとも一方の傾きの変化との関係を示す情報に基づいて、前記接触処理中における前記圧力の変化による前記少なくとも一方の傾きの変化が低減されるように前記調整部を制御する、ことを特徴とするインプリント装置。 - 前記少なくとも一方の傾きは、前記少なくとも一方の代表点における接平面の傾きを表す指標値である、ことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記変形部により前記少なくとも一方に加えられる前記圧力が互いに異なる複数の状態の各々について前記少なくとも一方の前記傾き値を求めることにより、前記情報を生成する、ことを特徴とする請求項1又は2に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記複数の状態の各々について、前記少なくとも一方における複数箇所でそれぞれ得られた高さデータに基づいて前記少なくとも一方の傾きを求める、ことを特徴とする請求項3に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記複数箇所でそれぞれ得られた前記高さデータに対して一次近似した結果に基づいて、前記少なくとも一方の傾きを求める、ことを特徴とする請求項4に記載のインプリント装置。
- 前記少なくとも一方の高さを計測する計測部を更に含み、
前記制御部は、前記複数箇所でそれぞれ得られた前記計測部の計測値を前記高さデータとして用いる、ことを特徴とする請求項4又は5に記載のインプリント装置。 - 前記少なくとも一方の高さを計測する計測部を更に含み、
前記制御部は、前記複数箇所の各々について、前記少なくとも一方に加えられる圧力を変化させたときの高さの変化に関する近似関数を求め、当該近似関数から算出される算出値を前記高さデータとして用いる、ことを特徴とする請求項4又は5に記載のインプリント装置。 - 前記パターン領域と前記対象領域とを並進駆動する駆動部を更に含み、
前記制御部は、前記調整部による前記相対傾きの調整量に基づいて、前記相対傾きの調整で生じる前記パターン領域と前記対象領域との並進ずれを求め、当該並進ずれが補正されるように前記駆動部を制御する、ことを特徴とする請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置。 - 前記変形部は、前記モールドに圧力を加えることにより前記パターン領域を前記部材側に突出した凸形状に変形させる第1変形部を含む、ことを特徴とする請求項1乃至8のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記変形部は、前記部材に圧力を加えることにより前記対象領域を前記モールド側に突出した凸形状に変形させる第2変形部を含む、ことを特徴とする請求項1乃至9のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至10のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて部材上にパターンを形成する形成工程と、
前記形成工程でパターンが形成された前記部材を加工する加工工程と、を含み、
前記加工工程で加工された前記部材から物品を製造することを特徴とする物品の製造方法。 - パターン領域を有するモールドを用いて部材の対象領域上のインプリント材を成形するインプリント方法であって、
前記パターン領域および前記対象領域の少なくとも一方に圧力を加えることで、前記少なくとも一方を他方側に突出した凸形状に変形させる変形工程と、
前記変形工程で前記少なくとも一方を変形させた状態で前記パターン領域と前記インプリント材との接触を開始させ、その後、前記少なくとも一方の変形が徐々に解除されるように前記圧力を変化させながら前記パターン領域と前記インプリント材との接触面積を拡大させる接触工程と、
を含み、
前記接触工程では、前記圧力の変化と前記少なくとも一方の傾きの変化との関係を示す情報に基づいて、前記接触工程中における前記圧力の変化による前記少なくとも一方の傾きの変化が低減されるように、前記モールドと前記部材との相対傾きを調整する、ことを特徴とするインプリント方法。
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