JP2015154075A5 - ウェハー - Google Patents

Description

本発明は、ウェハーに関し、より詳しくは、工程不良を引き起こさないレーザーマークを含むウェハーに関する。

Claims (20)

1. 所定の結晶方位を持った単結晶半導体材料を有するウェハーであって、
   前記ウェハーは、
   前記ウェハーの表面又は裏面の所定位置に第１深さを有する第１レーザーマークと、
   前記ウェハーの表面又は裏面に前記第１深さよりも浅い第２深さを有する第２レーザーマークと、を有し、
   前記所定位置は、前記単結晶半導体材料の前記所定の結晶方位を示すように構成され、
   前記第２レーザーマークは、前記ウェハー及び／又は前記ウェハーの属するウェハーのロットを特定する印の中に含まれることを特徴とするウェハー。
2. 前記第１レーザーマークは前記第２レーザーマークよりも少なくとも約５μｍ深いことを特徴とする請求項１に記載のウェハー。
3. 前記第２深さは５μｍ以下であることを特徴とする請求項２に記載のウェハー。
4. 前記第１深さは３５μｍ以上であることを特徴とする請求項３に記載のウェハー。
5. 前記印は、英数字コード、バーコード、および／又はＱＲコード（登録商標）を含み、
   前記第２レーザーマークは前記印に含まれる複数の第２レーザーマークを含み、
   前記第１レーザーマークは前記印に含まれる少なくとも１つの第１レーザーマークを含み、
   前記印に含まれる複数の第２レーザーマークの数は前記印に含まれる少なくとも１つの第１レーザーマークの数より大きいことを特徴とする請求項３に記載のウェハー。
6. 前記第１レーザーマークと前記第２レーザーマークとは、前記ウェハーの表面または裏面において所定の間隔で分離されていることを特徴とする請求項１に記載のウェハー。
7. 前記第１レーザーマークは前記印に含まれることを特徴とする請求項１に記載のウェハー。
8. 前記印は、英数字コード、バーコード、及び／又はＱＲコード（登録商標）を含むことを特徴とする請求項７に記載のウェハー。
9. 前記第１レーザーマークは、前記ウェハーの中心から前記第１レーザーマークまで延長される線で前記所定の結晶方位を示すように構成されることを特徴とする請求項１に記載のウェハー。
10. 前記ウェハーは、前記ウェハーの外周となる端部表面をさらに有し、
    前記端部表面は前記ウェハーの表面から前記ウェハーの裏面に伸延することを特徴とする請求項１に記載のウェハー。
11. 前記第１レーザーマークは、少なくとも部分的に前記第２レーザーマーク内にあることを特徴とする請求項１に記載のウェハー。
12. 所定の結晶方位を持った単結晶半導体材料を有するウェハーであって、
    前記ウェハーは、
    前記ウェハーの第１表面上の第１所定位置に第１深さを有する第１窪みと、
    前記ウェハーの第２表面上の第２所定位置に第２深さを有する第２窪みと、を有し、
    前記第１所定位置は、前記単結晶半導体材料の所定の結晶方位を示すように構成され、
    前記第１深さは前記第２深さより少なくとも約５μｍ深いことを特徴とするウェハー。
13. 前記第１表面は、前記ウェハーの端部表面を含み、
    前記第２表面は、前記端部表面、前記ウェハーの表面、または前記ウェハーの前記表面の反対側にある裏面のいずれか１つを含むことを特徴とする請求項１２に記載のウェハー。
14. 前記第１深さは３５μｍ以上であることを特徴とする請求項１２に記載のウェハー。
15. 前記第２深さは５μｍ以下であることを特徴とする請求項１４に記載のウェハー。
16. 前記第２窪みは、前記ウェハー及び／又は前記ウェハーが属するウェハーのロットを特定する印に含まれることを特徴とする請求項１５に記載のウェハー。
17. 所定の結晶方位を持った単結晶半導体材料を有するウェハーであって、
    前記ウェハーは、
    前記ウェハーの表面又は裏面の所定位置に第１深さを有する第１レーザーマークと、
    前記ウェハーの表面又は裏面に前記第１深さよりも少なくとも約５μｍ浅い第２深さを有する第２レーザーマークと、を有することを特徴とするウェハー。
18. 前記第２深さは５μｍ以下であることを特徴とする請求項１７に記載のウェハー。
19. 前記ウェハーは、前記ウェハー及び／又は前記ウェハーの属するウェハーのロットを特定し、英数字コード、バーコード、および／またはＱＲコード（登録商標）を含む印を有し、
    前記第２レーザーマークは前記印に含まれる複数の第２レーザーマークを含み、
    前記第１レーザーマークは前記印に含まれる少なくとも１つの第１レーザーマークを含み、
    前記印に含まれる複数の第２レーザーマークの数は前記印に含まれる少なくとも１つの第１レーザーマークの数より大きいことを特徴とする請求項１８に記載のウェハー。
20. 前記第１レーザーマークは少なくとも１つの第１レーザーマークを含み、
    前記第２レーザーマークは複数の第２レーザーマークを含み、
    前記複数の第２レーザーマークの数は少なくとも１つの第１レーザーマークの数より大きいことを特徴とする請求項１８に記載のウェハー。