JP7204457B2 - インプリント装置、インプリント方法及び物品の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、第1の実施形態に係るインプリント装置の概要について説明する。インプリント装置は、基板上に供給された光硬化性組成物であるインプリント材を型と接触させ、インプリント材に硬化用のエネルギーを与えることにより、型の凹凸パターンが転写された硬化物のパターンを形成する成形装置である。
次に、前述のインプリント装置を利用した物品(半導体IC素子、液晶表示素子、MEMS等)の製造方法を説明する。物品は、前述のインプリント装置を使用して、感光剤が塗布された基板(ウェハ、ガラス基板等)を露光する工程と、その基板(感光剤)を現像する工程と、現像された基板を他の周知の工程で処理することにより製造される。
3 モールド
5 基板
14 制御部
61 基板保持部
Claims (5)
- 基板上の硬化性組成物にモールドを接触させた状態で前記硬化性組成物を硬化させるインプリント装置であって、
前記基板を吸着する複数の吸着領域を有する基板保持部と、
前記複数の吸着領域の圧力を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記基板の形状情報または歪情報の少なくとも一方に基づいて、前記圧力を制御した状態で、前記硬化性組成物を硬化させ、
前記複数の吸着領域は同心円状に区分されており、前記複数の吸着領域を仕切る複数の隔壁のうち最外周の隔壁の高さが他の隔壁よりも低いことを特徴とするインプリント装置。 - 基板上の硬化性組成物にモールドを接触させた状態で前記硬化性組成物を硬化させるインプリント装置であって、
前記基板を吸着する複数の吸着領域を有する基板保持部と、
前記複数の吸着領域の圧力を制御する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記基板の形状情報または歪情報の少なくとも一方に基づいて、前記圧力を制御した状態で、前記硬化性組成物を硬化させ、
前記基板のショット領域が位置する基板上の形状情報または歪情報の少なくとも一方に基づいて、ショット領域ごとに前記圧力を決定することを特徴とするインプリント装置。 - 基板上の硬化性組成物にモールドを接触させた状態で前記硬化性組成物を硬化させるインプリント装置であって、
前記基板と対向する面に、圧力を独立して印加可能に区分けされた複数の領域を有する基板保持部と、
前記複数の領域に正圧または負圧を印加するための圧力印加部と、
前記複数の領域は同心円状に区分されており、前記複数の領域を仕切る複数の隔壁のうち最外周の隔壁の高さが他の隔壁よりも低く、
前記最外周の領域に対して、前記最外周の領域よりも内側に配置された領域とは異なる圧力が印加されている状態で、前記硬化性組成物を硬化させることを特徴とするインプリント装置。 - 前記モールドが表面に凹凸のパターンが形成されたモールドであり、基板上に前記モールドに形成されたパターンを転写する請求項1から3のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至4のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて基板を露光する工程と、
露光された基板を現像する工程と、
現像された基板から物品を製造する工程と、を有する、
ことを特徴とする物品の製造方法。
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