JP6552185B2 - インプリント装置、補正機構の校正方法、および物品の製造方法 - Google Patents
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Description
まず、本発明の第1実施形態に係るインプリント装置について説明する。図1は、本発明の一実施形態に係るインプリント装置100の構成を示す概略図である。インプリント装置100は、物品としての半導体デバイスなどの製造に用いられ、ウエハ7上(基板上)に塗布された未硬化の樹脂(インプリント材)とモールド2とを接触させて成形し、ウエハ7上に樹脂のパターンを形成する。なお、インプリント装置100は、一例として、光硬化法を採用するものとする。また、以下の図において、上下方向(鉛直方向)にZ軸を取り、Z軸に垂直な平面内に互いに直交するX軸およびY軸を取っている。インプリント装置100は、照明系1と、モールド保持機構3と、ウエハステージ8と、塗布部10と、アライメント計測部11と、制御部14とを備える。
次に、本発明の第2実施形態に係るインプリント装置について説明する。第1実施形態では、形状補正機構5の校正に関し、特に初期校正を行う場合について例示した。これに対して、本実施形態に係るインプリント装置の特徴は、形状補正機構5の校正方法に関して、特に経年変化に対する校正、すなわち所望の時間間隔で校正を行う場合に適用し得る点にある。なお、本実施形態に係るインプリント装置の各構成要素は、第1実施形態に係るインプリント装置100の各構成要素と同一であるため、以下、同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。
次に、本発明の第3実施形態に係るインプリント装置について説明する。本実施形態に係るインプリント装置の特徴は、形状補正機構5を用いて生産用モールドとしてのモールド2を校正する点にある。なお、本実施形態に係るインプリント装置の各構成要素も、第1実施形態に係るインプリント装置100の各構成要素と同一であるため、以下、同一構成のものには同一の符号を付し、説明を省略する。
物品としてのデバイス(半導体集積回路素子、液晶表示素子等)の製造方法は、上述したインプリント装置を用いて基板(ウエハ、ガラスプレート、フィルム状基板)にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンを形成された基板をエッチングする工程を含みうる。なお、パターンドメディア(記録媒体)や光学素子などの他の物品を製造する場合には、該製造方法は、エッチングの代わりにパターンを形成された基板を加工する他の処理を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
5 形状補正機構
14 制御部
100 インプリント装置
Claims (9)
- 型を用いてインプリント材のパターンを基板上に形成するインプリント装置であって、
前記型を保持する型保持部と、
前記型保持部に保持された前記型に力を加えて、前記型に形成されている型のパターンの形状を変形させる補正機構と、
前記基板を保持し、かつ基準マークを備える基板保持部と、
前記型に形成されたアライメントマークと前記基準マークとの相対位置を計測するアライメント計測部と、
特定の型に対して想定された複数のパターンの形状となるように、前記補正機構に前記特定の型に力を加えさせて前記特定の型の変形量を求めることで、前記特定の型に加える圧縮力と前記特定の型の変形量とを関係付けるパラメータを算出し、該パラメータを用いて前記補正機構を校正する制御部と、
を有し、
前記制御部は、前記相対位置に基づいて前記特定の型の変形量を算出することを特徴とするインプリント装置。 - 型を用いてインプリント材のパターンを基板上に形成するインプリント装置であって、前記型を保持する型保持部と、
前記型保持部に保持された前記型に力を加えて、前記型に形成されている型のパターンの形状を変形させる補正機構と、
特定の型に対して想定された複数のパターンの形状となるように、前記補正機構に前記特定の型に力を加えさせて前記特定の型の変形量を求めることで、前記特定の型に加える圧縮力と前記特定の型の変形量とを関係付けるパラメータを算出し、該パラメータを用いて前記補正機構を校正する制御部と、
前記力または該力が加えられたときの前記型の変形量を検出する検出器と、
を有し、
前記制御部は、前記型と非接触となるように前記補正機構を駆動させ、該補正機構が非接触の状態で、前記検出器の出力値がゼロまたは基準値と一致する補正値を算出し、該補正値を前記出力値に加算した上で、前記特定の型の変形量を求めることを特徴とするインプリント装置。 - 型を用いてインプリント材のパターンを基板上に形成するインプリント装置であって、前記型を保持する型保持部と、
前記型保持部に保持された前記型に力を加えて、前記型に形成されている型のパターンの形状を変形させる補正機構と、
特定の型に対して想定された複数のパターンの形状となるように、前記補正機構に前記特定の型に力を加えさせて前記特定の型の変形量を求めることで、前記特定の型に加える圧縮力と前記特定の型の変形量とを関係付けるパラメータを算出し、該パラメータを用いて前記補正機構を校正する制御部と、
前記力または該力が加えられたときの前記型の変形量を検出する検出器と
を有し、
前記制御部は、前記補正機構の校正を所望の時間間隔で行うとき、前記パラメータを算出したときに用いられた前記特定の型と同一の型を用いて前記パラメータを再び算出し、該再び算出されたパラメータに基づいて、前記検出器のリニアリティ誤差またはオフセット誤差に関する第2のパラメータを算出し、該第2のパラメータを用いて前記補正機構を校正することを特徴とするインプリント装置。 - 前記第2のパラメータは、前記パラメータとは別に管理されることを特徴とする請求項3記載のインプリント装置。
- 前記特定の型は、前記パラメータを用いて前記補正機構を校正するときに前記型保持部に保持される校正用の型であることを特徴とする請求項1ないし4のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記補正機構の校正を、前記基板を交換するとき、または、前記基板に前記インプリント材を塗布するときと並行して行うことを特徴とする請求項1ないし5のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 前記制御部は、前記パラメータを前記型の種類ごとに管理することを特徴とする請求項1ないし6のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 型を用いてインプリント材のパターンを基板上に形成する前に、前記型に形成されている型のパターンの形状を変形させる補正機構を校正する方法であって、
予め特定の型を設定する設定工程と、
前記特定の型に対して想定された複数のパターンの形状となるように、前記補正機構に前記特定の型に力を加えさせて前記特定の型の変形量を求める工程と、
前記特定の型に加える圧縮力と、前記特定の型の変形量とを関係付けるパラメータを算出する算出工程と、
前記算出工程で算出された前記パラメータを用いて、前記補正機構を校正する校正工程と、
を含む校正方法であって、
前記変形量を求める工程において、前記基板を保持する基板保持部に備えられた基準マークと前記型に形成されたアライメントマークとの相対位置に基づいて前記特定の型の変形量を算出することを特徴とする補正機構の校正方法。 - 請求項1ないし7のうちいずれか1項に記載のインプリント装置を用いてパターン形成を基板上に行う工程と、
前記工程で前記パターン形成を行われた前記基板を加工する工程と、
を含むことを特徴とする物品の製造方法。
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